JPH0115507Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本考案は、ピンセツトに係り、特に、ウエハ等
を挟持するウエハ用ピンセツト（以下単にピンセ
ツトという）に関する。

(ロ) 従来技術 従来、ピンセツトでもつてウエハのフアセツト
部を挟む場合には、予めストツパと挟持部との間
隔（一方向からのみ）を設定して、ウエハに対し
て直角方向から挟むようにピンセツトの角度を限
定している。しかし、ピンセツトを左や右方向か
ら挟む場合がある。

第１図は従来のピンセツトを示す斜視図であ
る。

１０はピンセツトであり、先端に上部挟持片２
０、下部挟持片３０が形成されている。

上部挟持片２０には、孔２２，２３がそれぞれ
穿設されている。又上部挟持片２０の先端が下方
に折曲され挟持部２１を形成している。

下部挟持片３０は、上部挟持片２０よりも先端
が長くなつており、ペグ３１及び丸棒形状のスト
ツパ３２がそれぞれ立設されている。

ストツパ３２は孔２２をしゆう動自在に嵌合で
きる寸法形状にされている。尚、このストツパ３
２は、ウエハ４０の挟みしろを設定するためのも
のである。

ペグ３１は挟持部２１と下部挟持片３０との隙
間を規制するためのものである。

第２図は従来のピンセツトでウエハを挟んだ状
態を示す説明図である。

図に示すように、ウエハ４０は円板の一部分を
直線状に切欠いてフアセツト部が形成されてい
る。前記フアセツト部は素子の非形成領域であつ
て、ピンセツトの挟みしろとして利用されている
部分である。

第２図ａに示すように、直角方向からウエハ４
０を挟んだ状態であり、挟持部２１の挟みしろＲ
１は、ウエハ４０に形成されたフアセツト部
（IC、トランジスタ回路等を傷つけない範囲）以
内である。

しかしながら、第２図ｂ，ｃに示すように、左
や右方向からウエハ４０を挟持する場合、挟持部
２１の挟みしろＲ２，Ｒ３は第２図ａに示す挟み
しろＲ１より大きくなり、従つて、挟持部２１の
一部が、フアセツト部以外の部分（ウエハ４０に
形成されたIC、トランジスタ回路等）を傷つけ
る結果、ウエハの歩留りが低下することになる。

(ハ) 目的 本考案は、ピンセツトであらゆる方向からウエ
ハを挟む場合、ウエハの挟みしろがフアセツト部
以内となるように、ストツパと挟持部との間隔を
設定して、ウエハに形成されたICやトランジス
タ回路等を傷つけないピンセツトを提供すること
を目的としている。

(ニ) 構成 本考案に係るピンセツトは、上記挟持片の先端
の挟持部と、前記挟持部と下部挟持片との隙間を
規制するペグと、被挟持物の挟みしろを設定する
ストツパを具備するピンセツトであつて、前記上
部挟持片の挟持部の周縁からストツパの周縁まで
の間隔を等しくしたことを特徴とする。

(ホ) 実施例 実施例 第３図は本考案のピンセツトの第１の実施例を
示す斜視図である。

１０ａはピンセツトであり、先端に上部挟持片
２０ａ、下部挟持片３０ａを備えている。

上部挟持片２０ａに、孔２３ａを又、円弧状の
長孔２２ａをそれぞれ上部挟持片２０ａの開脚側
に向いた円弧状凸面に穿設している。又上部挟持
片２０ａの先端を、前記長孔２２ａと同形状にし
て、下方に折曲して挟持部２１ａを形成してい
る。

下部挟持片３０ａは、上部挟持片２０ａよりも
長くし、且つ先端を肉薄として円弧状に形成して
いる。又下部挟持片３０ａの所望の位置にペグ３
１ａ及びストツパ３２ａをそれぞれ立設してい
る。

ペグ３１ａは、挟持部２１ａと下部挟持片３０
ａとの隙間を規制するためのものである。

ストツパ３２ａは、上述した長孔２２ａと同形
状であり、嵌合した状態でしゆう動自在になる寸
法形状にしている。尚、挟持部２１ａとストツパ
３２ａとの間隔をあらゆる方向から等しくなるよ
うに設定している。

第４図は第１の実施例のピンセツトでウエハを
挟んだ状態を示す説明図である。

同図ａに示すように、直角方向からウエハ４０
を挟んだ状態であり、挟持部２１ａの挟みしろＲ
１は、ウエハ４０のフアセツト部（ICやトラン
ジスタ回路等を傷つけない範囲）以内である。

しかして、第４図ｂ，ｃに示すように、左や右
方向からウエハ４０を挟持しても、ストツパ３２
ａと挟持部２１ａとであらゆる方向からの挟みし
ろを設定しているので、挟持部２１ａの挟みしろ
Ｒ２，Ｒ３は、第４図ａで示した挟みしろＲ１と
同一寸法になる。

実施例 第５図は本考案のピンセツトの第２の実施例を
示す斜視図である。

２０ｂは上部挟持片であり、孔２３ｂ、長孔２
２ｂをそれぞれ穿設している。上部挟持片２０ｂ
の先端角部を円弧状にし、中央部を平坦にしてい
る。尚、この部分は下方に折曲され挟持部２１ｂ
を形成している。

３０ｂは挟持片下辺であり、ペグ３１ｂ及びス
トツパ３２ｂをそれぞれ立設している。

このストツパ３２ｂは、上述した上部挟持片２
０ｂの先端部分と同形状であり、長孔２２ｂと嵌
合した状態でしゆう動自在になる寸法形状であ
る。尚挟持部２１ｂの周縁からストツパ３２ｂの
周縁までの間隔を等しくしている。

しかして、上述したピンセツト１０ｂであらゆ
る方向からウエハ４０を挟んでも、第１の実施例
と同様の効果があり、又ストツパ３２ｂの中央部
を平坦としたので、直角方向からウエハ４０を挟
持する場合、ストツパ３２ｂとウエハ４０のフア
セツト部との接触面が大きくなりより安定した挟
持ができる。

尚、上述した実施例では下部挟持片３０ａ，３
０ｂの先端部分を円弧状としたが、本考案はこれ
に限られないことは勿論である。又、各実施例で
は、ペグ３１ａ，３１ｂを用いているが、ストツ
パ３２ａ，３２ｂにペグ３１ａ，３１ｂの機能を
備えたストツパであつてもよい。

(ヘ) 効果 本考案によれば、ピンセツトによるウエハの挟
みしろを常にフアセツト部以内となるように設定
しているので、あらゆる方向からウエハを挟んで
も挟みしろが同一であるため、ウエハに形成され
たICやトランジスタ回路等を傷つけることがな
い。又、作業の能率が向上する結果、生産性の向
上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のピンセツトを示す斜視図、第２
図は従来のピンセツトでウエハを挟んだ状態を示
す説明図、第３図は本考案のピンセツトの第１の
実施例を示す斜視図、第４図は第１の実施例のピ
ンセツトでウエハを挟んだ状態を示す説明図、第
５図は本考案のピンセツトの第２の実施例を示す
斜視図である。 １０ａ，１０ｂ……ピンセツト、２０ａ，２０
ｂ……上部挟持片、３０ａ，３０ｂ……下部挟持
片、２１ａ，２１ｂ……挟持部、３１ａ，３１ｂ
……ペグ、３２ａ，３２ｂ……ストツパ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 上部挟持片の先端の挟持部と下部挟持片と、被
   挟持物の挟みしろを設定するストツパを具備する
   ピンセツトにおいて、前記被挟持物は円板の一部
   を直線状に切欠いてフアセツト部を形成したウエ
   ハであり、前記ストツパは各挟持片の開脚側に向
   いた円弧状凸面に形成され、かつ前記上部挟持片
   の挟持部の周縁からストツパの周縁までの間隔を
   等しくしたことを特徴とするウエハ用ピンセツ
   ト。