JPH01159948A - 走査型電子顕微鏡用真空排気システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は走査型電子顕微鏡用真空排気システムに係り、
特に油拡散ポンプ等の冷却水より発生する振動を減衰す
るのに好適なタンクを設けた真空排気システムに関する
。

〔従来の技術〕

従来の冷却水路は、単にビニールチューブで水導栓より
水を油拡散ポンプ等の冷却水路に直結していた。この場
合には水導水の水圧が変化するとその変化のたびに冷却
水路に微小振動が生じ、走査型電子顕微鏡による像に障
害を与えていた。

他の従来例として、冷却水路に蛇管（コイル状）を設け
これに水を流して振動を除去する方法が提案されたが、
脈流が大きく発生するとやはり振動が除去できないとい
う欠点があった。なお、この種のシステムとして関連す
るものには、例えばｒＱ＆Ａ真空５０間（立共出版株式
会社、昭和５７年１２月２５日発行）Ｐ４２．図１」が
ある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術は冷却水の流量状態の点について配慮がさ
れておらず、冷却水が脈流状態では乱流となりそれによ
り発生する振動によって走査型電子顕微鏡の像のエツジ
が振れるといった振動による像障害が生じる問題があっ
た。

本発明の目的は冷却水の流量状態を常に定常流状態とす
ることによって、冷却水によって発生する像障害を低減
することができる走査型電子顕微鏡用真空排気システム
を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

」二記目的は、冷却水路に弾性体を用いたタンクを設け
ることにより、水の脈流から発生する乱流を弾性体によ
ってその運動エネルギを吸収し、常に層流とすることに
よって、達成される。

〔作用〕

冷却水路に設けられた弾性体のタンクは、冷却水が脈流
状態では、その脈流に対応して伸縮する。

それによって水の脈流状態の運動エネルギは弾性体に吸
収され、常に定常流の状態となる。従って冷却水が走査
型電子顕微鏡に像障害を与えることがない。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例にもとすき説明する。

第１図は本発明の特徴をもつとも良く表わしている冷却
水路タンクの断面図、第２図はタンクを用いた走査型電
子顕微鏡の排気システムを表わしている図である。

第２図において走査型電子顕微鏡の試料室１の吸気口に
パンフル２を通して油拡散ポンプ３が取り付けられてい
る。バッフル２にはタンク７を用いた冷却水吸入ホース
５が配管され、油拡散ポンプ３には冷却水排出ホース６
が配管され、パンフル２と油拡散ポンプ３の間に冷却水
ホース４が配管されている。タンク７は第１図において
バネ９で押さえつけられた弾性体であるゴムタンク８が
配管金具１０によって冷却水ホースと連結している構造
となっている。

第１図において、冷却水吸入ホース５内が脈流となると
、その脈流に対応してゴムタンク８が縦方向は配管金具
１０て押さえられているので横方向に伸縮する。その伸
縮もバネ９によってタンク７から流出する流量が一定と
なるように制御される。従って冷却水吸入ホース５の脈
流はタンク７を通過することによって定常流となる。

本実施例によれば、冷却水吸入ホース５に流れる冷却水
が脈流となっても、タンク７により常に定常流となり、
排気システムに流れ込む冷却水は常に定常流となる。よ
って本実施例は冷却水が脈流となったとき起こる振動が
走査型電子顕微鏡の観察像のエツジを振らすといった振
動による像障害を減少する効果がある。

前記実施例においてタンク７は冷却水吸入ホース５にの
み用いられているが、第３図に示すように、冷却水吸入
ホース５と冷却水排出ホース６と冷却水ホース４におい
てタンク７を用いているものであってもよい。本実施例
では、排気システムに流入する冷却水の脈流と排気シス
テム内のバッフル２や油拡散ポンプ３を冷却水が通過す
ることによって生しる脈流をもそれぞれのホースに用い
られたタンク７が常に定常流とし、排気システムの全冷
却水路で定常流状態の冷却水が流れ、振動による像障害
を減少する効果がある。

〔発明の効果〕

本発明によれば、冷却水が脈流てあってもその運動エネ
ルギを弾性体を用いたタンクが吸収し、常に定常流とす
ることができるので、冷却水が脈流となることによって
発生する振動を防ぐことができ、走査型電子顕微鏡の像
障害を減少する効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の冷却水路タンクの断面図、
第２図はタンクを用いた走査型電子顕微鏡の排気システ
ムを示す図、第３図は他の実施例におけるタンクを用い
た走査型電子顕微鏡の排気システムを示す図である。 １・・試料室、２・バッフル、３・・油拡散ポンプ、４
・・冷却水ホース、５・・・冷却水吸入ホース、６・・
・冷却水排出ホース、７・・タンク、８・ゴムタンク、
第１図 第２図 第３図 「−一一下７

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、油拡散ポンプ等の水冷却通路を必要とする真空ポン
   プを用いた走査型電子顕微鏡の真空排気システムにおい
   て、該真空ポンプを冷却する水路に弾性体を用いたタン
   クを設けたことを特徴とする走査型電子顕微鏡用真空排
   気システム。 ２、特許請求の範囲第１項において、該真空ポンプとバ
   ッフルを直結した真空排気システムにて、該真空ポンプ
   と該バッフルとの間を連結した水路に弾性体を用いたタ
   ンクを設けたことを特徴とする走査型電子顕微鏡用真空
   排気システム。