JPH01160445U - - Google Patents
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- JPH01160445U JPH01160445U JP5500288U JP5500288U JPH01160445U JP H01160445 U JPH01160445 U JP H01160445U JP 5500288 U JP5500288 U JP 5500288U JP 5500288 U JP5500288 U JP 5500288U JP H01160445 U JPH01160445 U JP H01160445U
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- JP
- Japan
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- heat
- retaining cover
- belt
- hot plate
- nitrogen gas
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 2
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- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Description
第１図は本考案のベルト式乾燥炉の一実施例を
示す説明図、第２図は従来のベルト式乾燥炉を示
す説明図、第３図ａ，ｂは第２図のベルト式乾燥
炉にホトレジストを施した基板を通過させた時、
発生する基板の不良を示す拡大説明図である。 １……搬送用ベルト、２１，２２，２３，２４
……ホツトプレート、３……保温用カバー、４…
…ブローノズル、５……ホトレジストが施された
基板。
示す説明図、第２図は従来のベルト式乾燥炉を示
す説明図、第３図ａ，ｂは第２図のベルト式乾燥
炉にホトレジストを施した基板を通過させた時、
発生する基板の不良を示す拡大説明図である。 １……搬送用ベルト、２１，２２，２３，２４
……ホツトプレート、３……保温用カバー、４…
…ブローノズル、５……ホトレジストが施された
基板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ホトレジストが施された基板を一定方向に搬送
する搬送用ベルトと、 搬送用ベルトに載つて搬送される基板を加熱す
る加熱用ホツトプレートと、 加熱用ホツトプレートの熱を保温する保温用カ
バーと、 搬送用ベルトの搬送方向に向けて保温用カバー
内に窒素ガスを吹き込み、保温用カバー内に搬送
方向に流れる窒素ガス気流を発生させるブローノ
ズルとを有するベルト式乾燥炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5500288U JPH01160445U (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5500288U JPH01160445U (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01160445U true JPH01160445U (ja) | 1989-11-07 |
Family
ID=31280910
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5500288U Pending JPH01160445U (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01160445U (ja) |
-
1988
- 1988-04-22 JP JP5500288U patent/JPH01160445U/ja active Pending
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