JPH01160829U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01160829U JPH01160829U JP4981488U JP4981488U JPH01160829U JP H01160829 U JPH01160829 U JP H01160829U JP 4981488 U JP4981488 U JP 4981488U JP 4981488 U JP4981488 U JP 4981488U JP H01160829 U JPH01160829 U JP H01160829U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- short wavelength
- wavelength light
- support mechanism
- reticle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Description
第１図は本考案の露光装置におけるレチクルの
構造を示す平面図、第２図は本考案の露光装置の
構成を示す要部斜視図、である。 図において、１は支持基板、２は光学パターン
、３は貫通孔、４は光源ランプ、５はコンデンサ
レンズ、６は支持機構、７は半導体基板、８は回
転軸、９は回転機構、１０はレチクル、１１は縮
小レンズ、１２はチツプ領域、である。
構造を示す平面図、第２図は本考案の露光装置の
構成を示す要部斜視図、である。 図において、１は支持基板、２は光学パターン
、３は貫通孔、４は光源ランプ、５はコンデンサ
レンズ、６は支持機構、７は半導体基板、８は回
転軸、９は回転機構、１０はレチクル、１１は縮
小レンズ、１２はチツプ領域、である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 所定の光学パターンが投影される半導体基板を
支持するための支持機構と、 露光用の短波長光を発生する光源を含み、該短
波長光を前記半導体基板に照射するための光学系
と、 前記短波長光に対して透明な支持基板から成り
、該支持機構に支持された前記半導体基板に対し
平行を保ちつつ該支持機構と該光学系の間に配置
され、前記半導体基板に垂直な軸を中心に回転可
能なように支持されており、同時に投影されない
複数の前記光学パターンがその表面上における回
転弧に沿つて形成されているレチクルと、 該支持基板を前記軸を中心に回転させる回転機
構 とを具備したことを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4981488U JPH01160829U (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4981488U JPH01160829U (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01160829U true JPH01160829U (ja) | 1989-11-08 |
Family
ID=31275898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4981488U Pending JPH01160829U (ja) | 1988-04-13 | 1988-04-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01160829U (ja) |
-
1988
- 1988-04-13 JP JP4981488U patent/JPH01160829U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0720913Y2 (ja) | 光処理器 | |
| JPH03106730U (ja) | ||
| JPS63118229U (ja) | ||
| JPH0270427U (ja) | ||
| JPH01160828U (ja) | ||
| JPS62104440U (ja) | ||
| JPS5999436U (ja) | 照度モニタ | |
| JPH0373428U (ja) | ||
| JPH01198026A (ja) | 半導体ウェハの露光装置 | |
| JPH0450801U (ja) | ||
| JPH0189734U (ja) | ||
| JPS5819634Y2 (ja) | 座標読取装置 | |
| JPS62252135A (ja) | パタ−ン転写装置 | |
| JPH02131334U (ja) | ||
| JPH01145125U (ja) | ||
| JPS6322730U (ja) | ||
| JPH0457854U (ja) | ||
| JPS63164739U (ja) | ||
| JPH01112041U (ja) | ||
| JPH03117829U (ja) | ||
| JPS63115213U (ja) | ||
| JPH0233022U (ja) | ||
| JPS5816239A (ja) | フオトレジスト露光装置 | |
| JPS59218729A (ja) | 投影露光装置 | |
| JPH0235463U (ja) |