JPH01165698A - 共沸溶剤組成物 - Google Patents
共沸溶剤組成物Info
- Publication number
- JPH01165698A JPH01165698A JP32492987A JP32492987A JPH01165698A JP H01165698 A JPH01165698 A JP H01165698A JP 32492987 A JP32492987 A JP 32492987A JP 32492987 A JP32492987 A JP 32492987A JP H01165698 A JPH01165698 A JP H01165698A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- azeotropic
- compsn
- ethyl formate
- stabilizer
- azeotropic solvent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Detergent Compositions (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は１，１．２−）サクロロー１．２．２−トリフ
ルオロエタン（以下、フロン−１１３という）とギ酸エ
チルとからなる共沸溶剤組成物に関する。
ルオロエタン（以下、フロン−１１３という）とギ酸エ
チルとからなる共沸溶剤組成物に関する。
［従来の技術］
従来より、クロロフルオロエタン系化合物であるフロン
−１１３は不燃性で生体毒性が少ないほか、プラスチッ
クやゴムなどの高分子物質を侵すことなく、油脂、グリ
ース、ワックスなどを溶解するという選択溶解性に優れ
ており、単独または他の有機溶剤との混合あるいは共沸
組成′物の形で溶剤、洗浄剤などに広く用いられている
。
−１１３は不燃性で生体毒性が少ないほか、プラスチッ
クやゴムなどの高分子物質を侵すことなく、油脂、グリ
ース、ワックスなどを溶解するという選択溶解性に優れ
ており、単独または他の有機溶剤との混合あるいは共沸
組成′物の形で溶剤、洗浄剤などに広く用いられている
。
［発明が解決しようとする問題点コ
近年、フロン−１１３などの水素がすべて塩素およびフ
ッ素で置換されたクロロフルオロエタン系化合物（以下
、バーハロエタンという）が地球を取り巻くオゾン層を
破壊するという地球規模の環境汚染が問題となり、そう
したパーハロエタンの使用を低減することが急務となっ
ている。
ッ素で置換されたクロロフルオロエタン系化合物（以下
、バーハロエタンという）が地球を取り巻くオゾン層を
破壊するという地球規模の環境汚染が問題となり、そう
したパーハロエタンの使用を低減することが急務となっ
ている。
そこでフロン−１１３に代わる物質が種々検討されてい
るが、未だ有効な代替物は見出されていない。一方、フ
ロン−１１３と他の有機溶剤との混合溶剤も実用化され
ている。
るが、未だ有効な代替物は見出されていない。一方、フ
ロン−１１３と他の有機溶剤との混合溶剤も実用化され
ている。
しかしながら、溶剤として使用するためには使用時の液
管理が容易でかつ容易に回収、再使用できることが重要
な要件となり、さらに蒸気洗浄も可能であることが望ま
れる。そうした要件を満たす混合溶剤は単に２成分以上
を混合しただけではえられず、共沸点を有する状態、す
なわち共沸状態の混合物とする必要がある。
管理が容易でかつ容易に回収、再使用できることが重要
な要件となり、さらに蒸気洗浄も可能であることが望ま
れる。そうした要件を満たす混合溶剤は単に２成分以上
を混合しただけではえられず、共沸点を有する状態、す
なわち共沸状態の混合物とする必要がある。
フロン−１１３との共沸混合物としては、メタノールや
エタノールとの共沸混合物が知られているが、いずれも
アルコール成分は１０％（重量％、以下同様）未満であ
り（メタノール：６％、エタノール：４％）、シたがっ
てフロン−１１３の使用量を低減させるという点におい
ては側底満足のいくものではない。
エタノールとの共沸混合物が知られているが、いずれも
アルコール成分は１０％（重量％、以下同様）未満であ
り（メタノール：６％、エタノール：４％）、シたがっ
てフロン−１１３の使用量を低減させるという点におい
ては側底満足のいくものではない。
また、フロン−１１３とメチレンクロライドとの１：１
共沸混合物も実用化されているが、メチレンクロライド
の生体毒性が高いため、望ましいものではない。
共沸混合物も実用化されているが、メチレンクロライド
の生体毒性が高いため、望ましいものではない。
本発明はフロン−１１３のワックス洗浄能をさらに向上
させ、かつフロン−１１３の使用量を低減化させえた共
沸溶剤組成物を提供するものである。
させ、かつフロン−１１３の使用量を低減化させえた共
沸溶剤組成物を提供するものである。
［問題点を解決するための手段］
本発明の共沸溶剤組成物は、８２．１％のフロン−１１
３と１７．９％のギ酸エチルとの共沸混合物からなるこ
とを要旨とするものである。
３と１７．９％のギ酸エチルとの共沸混合物からなるこ
とを要旨とするものである。
［作用および実施例］
本発明で用いるフロン−１１３（沸点： ４７．６℃）
とギ酸エチル（沸点＝５４ｄ℃）との共沸混合物は４４
．５℃の共沸点を有している。
とギ酸エチル（沸点＝５４ｄ℃）との共沸混合物は４４
．５℃の共沸点を有している。
ギ酸エチルは従来、特殊な溶剤としてわずか”に使用さ
れているのみで、洗浄剤としての特性はとくに知られて
おらず、ワックス洗浄用の溶剤としては使用されていな
かったものであり、プラスチックやゴムへの影響も少な
からずあり、そうした高分子素材を含む被洗浄物を丸洗
いすることは困難であった。
れているのみで、洗浄剤としての特性はとくに知られて
おらず、ワックス洗浄用の溶剤としては使用されていな
かったものであり、プラスチックやゴムへの影響も少な
からずあり、そうした高分子素材を含む被洗浄物を丸洗
いすることは困難であった。
本発明によれば、フロン−１１３とギ酸エチルとを８２
．１／ １７．９の重量比で含んでいるためフロン−１
１３の使用量を大幅に減らすことができるうえ、プラス
チックやゴムへの影響を抑えることができるので被洗浄
物を丸洗いすることができ、しかもパラフィンワックス
などのワックス類の溶解能も向上させることができる。
．１／ １７．９の重量比で含んでいるためフロン−１
１３の使用量を大幅に減らすことができるうえ、プラス
チックやゴムへの影響を抑えることができるので被洗浄
物を丸洗いすることができ、しかもパラフィンワックス
などのワックス類の溶解能も向上させることができる。
さらに共沸状態であるため、液管理、回収、再使用が容
易であり蒸気洗浄にも適用でき、しかも不燃性であるの
で安全である。
易であり蒸気洗浄にも適用でき、しかも不燃性であるの
で安全である。
本発明の組成物は化学的には比較的安定であるが、さら
に安定剤を添加してもよい。
に安定剤を添加してもよい。
このような安定剤として好ましい性質としては、本発明
の組成物を安定化する効果の大きいことはもちろんであ
るが、蒸留操作により同伴留出されるものや、さらには
共沸を形成するものが望ましいが、これらに限定される
ものではない。
の組成物を安定化する効果の大きいことはもちろんであ
るが、蒸留操作により同伴留出されるものや、さらには
共沸を形成するものが望ましいが、これらに限定される
ものではない。
前記のごとき安定剤の具体例としては、たとえばニトロ
メタン、ニトロエタン、ニトロプロパンなどの脂肪族ニ
トロ化合物、３−メチル−１−ブチン−３−オール、３
−メチル−１−ペンチン−３−オールなどのアセチレン
アルコール類、グリシドール、メーチルグリシジルエー
テル、アリルグリシジルエーテル、フェニルグリシジル
エーテル、■、２−ブチレンオキシド、シクロヘキセン
オキシド、エピクロルヒドリンなどのエポキシド類、ジ
メトキシメタン、１．２−ジメトキシエタン、１．４−
ジオキサン、１．３．５−）ジオキサンなどのエーテル
類、ヘキセン、ヘプテン、オクテン、２．４．４− ）
ジメチル−１−ペンテン、ペンタジェン、オクタジエン
、シクロヘキセン、シクロペンテンなどの不飽和炭化水
素類、アリルアルコール、■−ブテンー３−オール、３
−メチル−１−ブテン−３−オールなどのオレフィン系
アルコール類、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、
アクリル酸ブチルなどのアクリル酸エステル類などがあ
げられ、これらは単独で用いてもよく、２種以上併用し
てもよい。またこれらとフェノール、トリメチルフェノ
ール、シクロヘキシルフェノール、チモール、２．６−
ジーｔ−ブチル−４−メチルフェノール、ブチルヒドロ
キシアニソール、イソオイゲノールなどのフェノール類
や、ヘキシルアミン、ペンチルアミン、ジプロピルアミ
ン、ジイソプロピルアミン、ジイソブチルアミン、トリ
エチルアミン、トリブチルアミン、ピリジン、Ｎ−メチ
ルモルホリン、シクロヘキシルアミン、２．２．６．８
−テトラメチルピペリジン、Ｎ、Ｎ’−ジアリル−ｐ−
フェニレンジアミンなどのアミン類、ベンゾトリアゾー
ル、２−（２’−ヒドロキシ−５°−メチルフェニル）
ベンゾトリアゾール、クロロベンゾトリアゾールなどの
トリアゾール類などと併用してもよく、併用するとさら
に優れた相乗的安定化効果が発揮される。
メタン、ニトロエタン、ニトロプロパンなどの脂肪族ニ
トロ化合物、３−メチル−１−ブチン−３−オール、３
−メチル−１−ペンチン−３−オールなどのアセチレン
アルコール類、グリシドール、メーチルグリシジルエー
テル、アリルグリシジルエーテル、フェニルグリシジル
エーテル、■、２−ブチレンオキシド、シクロヘキセン
オキシド、エピクロルヒドリンなどのエポキシド類、ジ
メトキシメタン、１．２−ジメトキシエタン、１．４−
ジオキサン、１．３．５−）ジオキサンなどのエーテル
類、ヘキセン、ヘプテン、オクテン、２．４．４− ）
ジメチル−１−ペンテン、ペンタジェン、オクタジエン
、シクロヘキセン、シクロペンテンなどの不飽和炭化水
素類、アリルアルコール、■−ブテンー３−オール、３
−メチル−１−ブテン−３−オールなどのオレフィン系
アルコール類、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、
アクリル酸ブチルなどのアクリル酸エステル類などがあ
げられ、これらは単独で用いてもよく、２種以上併用し
てもよい。またこれらとフェノール、トリメチルフェノ
ール、シクロヘキシルフェノール、チモール、２．６−
ジーｔ−ブチル−４−メチルフェノール、ブチルヒドロ
キシアニソール、イソオイゲノールなどのフェノール類
や、ヘキシルアミン、ペンチルアミン、ジプロピルアミ
ン、ジイソプロピルアミン、ジイソブチルアミン、トリ
エチルアミン、トリブチルアミン、ピリジン、Ｎ−メチ
ルモルホリン、シクロヘキシルアミン、２．２．６．８
−テトラメチルピペリジン、Ｎ、Ｎ’−ジアリル−ｐ−
フェニレンジアミンなどのアミン類、ベンゾトリアゾー
ル、２−（２’−ヒドロキシ−５°−メチルフェニル）
ベンゾトリアゾール、クロロベンゾトリアゾールなどの
トリアゾール類などと併用してもよく、併用するとさら
に優れた相乗的安定化効果が発揮される。
前記安定剤の使用量としては、安定剤の種類により異な
るため一概にはきめられないが、通常、本発明の組成物
に対して０．１〜ｌＯ％用いるのが好ましく、０．５〜
５％用いるのがさらに好ましい。
るため一概にはきめられないが、通常、本発明の組成物
に対して０．１〜ｌＯ％用いるのが好ましく、０．５〜
５％用いるのがさらに好ましい。
こうした利点を有する本発明の共沸溶剤組成物は、油脂
やグリースの除去のほか、半導体に用いるシリコンウェ
ハーや水晶、セラミックスなどのカッティングや研磨な
どの加工時の仮止め用ワックス類の除去などに用いる洗
浄剤として有用である。
やグリースの除去のほか、半導体に用いるシリコンウェ
ハーや水晶、セラミックスなどのカッティングや研磨な
どの加工時の仮止め用ワックス類の除去などに用いる洗
浄剤として有用である。
つぎに実施例をあげて本発明の共沸溶剤組成物を説明す
るが、本発明はかかる実施例のみに限定されるものでは
ない。
るが、本発明はかかる実施例のみに限定されるものでは
ない。
実施例１
フロン−１１３とギ酸エチルとのそれぞれ１５０ｇおよ
び１５０ｇの混合物３００ｇを蒸溜フラスコに入れ、理
論段数３０段の精留塔を用いて常圧下に蒸溜を行なった
。その結果、４４．５℃において共沸を呈し、その留分
をガスクロマトグラフィーにより分析したところ、組成
はフロン−１１３が８２．１％でギ酸エチルが１７．９
％であった。
び１５０ｇの混合物３００ｇを蒸溜フラスコに入れ、理
論段数３０段の精留塔を用いて常圧下に蒸溜を行なった
。その結果、４４．５℃において共沸を呈し、その留分
をガスクロマトグラフィーにより分析したところ、組成
はフロン−１１３が８２．１％でギ酸エチルが１７．９
％であった。
実施例２
つぎの要領でシリコンウェハー加工において一時仮止め
材として使用されているワックス類の溶解性を調べた。
材として使用されているワックス類の溶解性を調べた。
第１表に示す溶剤１００ｇをそれぞれ８貴２００ｃｃの
ビーカーに入れ４０℃に加温した。ついで攪拌しながら
粉末にしたワックスとしてフラットローワックス、イエ
ローワックスおよびブルーフワックス（いずれも日化精
工■製）を徐々に加えて溶解性を観察した。
ビーカーに入れ４０℃に加温した。ついで攪拌しながら
粉末にしたワックスとしてフラットローワックス、イエ
ローワックスおよびブルーフワックス（いずれも日化精
工■製）を徐々に加えて溶解性を観察した。
結果を第１表に示す。
溶解性の評価はつぎの基準に従って行なった。
◎：ワックス濃度２％以上溶解
Ｏ：ワックス濃度１％以上２％まで溶解Δ：ワックス濃
度１％まで溶解 ×：溶解せず 実施例３ 第１表に示す各溶剤につき、素材（プラスチック）に対
する影響（膨潤度）をつぎの要領で調べた。
度１％まで溶解 ×：溶解せず 実施例３ 第１表に示す各溶剤につき、素材（プラスチック）に対
する影響（膨潤度）をつぎの要領で調べた。
１００ｃｃの耐圧ガラスビンに第１表に示す溶剤１００
ｇと同表に示すプラスチック試験片（５Ｘ５０ｘ ２
ｍｍ）を入れて、温度５０℃の恒温槽中に４時間放置し
、取出したのち、ただちに重量増加および体積増加を調
べた。
ｇと同表に示すプラスチック試験片（５Ｘ５０ｘ ２
ｍｍ）を入れて、温度５０℃の恒温槽中に４時間放置し
、取出したのち、ただちに重量増加および体積増加を調
べた。
結果を第１表に示す。
評価は
◎二重量または体積増加０〜１％
０８重量または体積増加１〜３％
△：二重量たは体積増加３〜５％
×：重量または体積増加５％以上
とした。
［発明の効果］
本発明の共沸溶剤組成物は、フロン系溶剤のオゾン層の
破壊の原因と考えられているフロン−１１３の使用量を
減少させることができるうえ、フロン−１１３とギ酸エ
チルの調和のとれた溶解力を発揮し、かつ不燃性であり
、しかも共沸混合物の利点である使用時の液管理や回収
、再使用における取り扱い容易性を兼ね備えた極めて優
れた溶剤組成物であり、さらに被溶解物質の幅をも拡げ
ることもできるという優れた効果を奏するものである。
破壊の原因と考えられているフロン−１１３の使用量を
減少させることができるうえ、フロン−１１３とギ酸エ
チルの調和のとれた溶解力を発揮し、かつ不燃性であり
、しかも共沸混合物の利点である使用時の液管理や回収
、再使用における取り扱い容易性を兼ね備えた極めて優
れた溶剤組成物であり、さらに被溶解物質の幅をも拡げ
ることもできるという優れた効果を奏するものである。
特許出願人 ダイキン工業株式会社
Claims (1)
- １ １，１，２−トリクロロ−１，２，２−トリフルオ
ロエタン８２．１重量％とギ酸エチル１７．９重量％と
からなる共沸溶剤組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32492987A JPH01165698A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 共沸溶剤組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32492987A JPH01165698A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 共沸溶剤組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01165698A true JPH01165698A (ja) | 1989-06-29 |
Family
ID=18171188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32492987A Pending JPH01165698A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 共沸溶剤組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01165698A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4961870A (en) * | 1989-12-14 | 1990-10-09 | Allied-Signal Inc. | Azeotrope-like compositions of 1,1,2-trichloro-1,2,2-trifluoroethane,1,2-dichloroethylene, and alkanol having 3 to 7 carbon atoms |
| US5114608A (en) * | 1990-10-12 | 1992-05-19 | Baxter International Inc. | Method of cleaning hollow fiber components of a dialyzer with chloro fluorocarbon compositions stabilized by epoxidized fatty acid glycerides or esters |
-
1987
- 1987-12-22 JP JP32492987A patent/JPH01165698A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4961870A (en) * | 1989-12-14 | 1990-10-09 | Allied-Signal Inc. | Azeotrope-like compositions of 1,1,2-trichloro-1,2,2-trifluoroethane,1,2-dichloroethylene, and alkanol having 3 to 7 carbon atoms |
| US5114608A (en) * | 1990-10-12 | 1992-05-19 | Baxter International Inc. | Method of cleaning hollow fiber components of a dialyzer with chloro fluorocarbon compositions stabilized by epoxidized fatty acid glycerides or esters |
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