JPH01166954U - - Google Patents

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JPH01166954U
JPH01166954U JP6309888U JP6309888U JPH01166954U JP H01166954 U JPH01166954 U JP H01166954U JP 6309888 U JP6309888 U JP 6309888U JP 6309888 U JP6309888 U JP 6309888U JP H01166954 U JPH01166954 U JP H01166954U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案の一実施例の電子銃装置の全
体構成を示す平面図。第２図ａは、第１図の電子
銃のスイープコイルの断面図。第２図ｂは巻線の
拡大断面図。第３図は第１図の装置の概略横断面
図。 １……電子銃本体、２……フイラメント、３…
…ルツボ、４……原材料物質、５……電子ビーム
偏向用磁石、６……電子ビーム偏向用継鉄、７…
…水冷パイプ、８……電子ビームスイープコイル
、９……コイル用線材、１０……鉄芯、１１……
コイル外壁、１２……芯線（Ｃｕ）、１３……セ
ラミツクス皮膜、１４……冷却水路、１４……Ｎ
ｉ皮膜、１５……Ａｌ皮膜。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 内部が排気可能な真空処理室内にて、電子源で
    生成された電子を加速し、これを磁場で偏向させ
    て被蒸発物を照射し、該被蒸発物を加熱・蒸発さ
    せる電子銃と、電子ビームをスイープさせるため
    の電子ビームスイープコイルとを備え、該蒸発物
    に対向設置された所定の基板表面に薄膜を堆積さ
    せる電子銃装置において、 該電子ビームスイープコイルが、表面に陽極析
    出型セラミツクコーテイングを施した導体線を巻
    線としていることを特徴とする電子銃装置。
JP6309888U 1988-05-13 1988-05-13 電子銃装置 Expired - Lifetime JPH062202Y2 (ja)

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JPH01166954U true JPH01166954U (ja) 1989-11-22
JPH062202Y2 JPH062202Y2 (ja) 1994-01-19

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