JPH01173689U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01173689U JPH01173689U JP7037388U JP7037388U JPH01173689U JP H01173689 U JPH01173689 U JP H01173689U JP 7037388 U JP7037388 U JP 7037388U JP 7037388 U JP7037388 U JP 7037388U JP H01173689 U JPH01173689 U JP H01173689U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive elastic
- sheet
- elastic body
- integrated circuit
- group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
第１図は本考案に係る集積回路部品の試験装置
の一例の構成を示す説明用断面図、第２図イは検
査用回路基板の一例における一面の構成を示す説
明用平面図、第２図ロは当該検査用回路基板の説
明用断面図、第２図ハは当該検査用回路基板にお
ける他面の構成を示す説明用平面図、第３図イお
よびロはそれぞれシート状導電性弾性構造体の構
成例を示す説明用平面図および説明用断面図、第
４図はシート状導電性弾性体構造体の他の構成例
を示す説明用断面図である。 Ａ……集積回路部品、Ａ１……被検査電極、１
……シート状導電性弾性体、２……検査用回路基
板、３……シート状導電性弾性体構造体、４……
共通電極回路基板、Ｌ……積重体、５……挾圧機
構、Ｂ……フイルムキヤリア、６……第１の位置
決め用ガイドピン、７……第２の位置決め用ガイ
ドピン、２０……絶縁性板材、２１……検査電極
、２２，２５，２７……配線、２３……第１の中
継端子、２４……第２の中継端子、２６……外部
接続電極、２８……貫通孔、３１……導電部、３
２……絶縁性弾性体シート、３３……弾性導電部
、３４……絶縁板、３５……貫通孔、３６……導
電ピン、３７，３８……導電性弾性カバーシート
、４０……絶縁性板材、４１……共通電極、５１
……加圧板、５２……加圧ロツド。
の一例の構成を示す説明用断面図、第２図イは検
査用回路基板の一例における一面の構成を示す説
明用平面図、第２図ロは当該検査用回路基板の説
明用断面図、第２図ハは当該検査用回路基板にお
ける他面の構成を示す説明用平面図、第３図イお
よびロはそれぞれシート状導電性弾性構造体の構
成例を示す説明用平面図および説明用断面図、第
４図はシート状導電性弾性体構造体の他の構成例
を示す説明用断面図である。 Ａ……集積回路部品、Ａ１……被検査電極、１
……シート状導電性弾性体、２……検査用回路基
板、３……シート状導電性弾性体構造体、４……
共通電極回路基板、Ｌ……積重体、５……挾圧機
構、Ｂ……フイルムキヤリア、６……第１の位置
決め用ガイドピン、７……第２の位置決め用ガイ
ドピン、２０……絶縁性板材、２１……検査電極
、２２，２５，２７……配線、２３……第１の中
継端子、２４……第２の中継端子、２６……外部
接続電極、２８……貫通孔、３１……導電部、３
２……絶縁性弾性体シート、３３……弾性導電部
、３４……絶縁板、３５……貫通孔、３６……導
電ピン、３７，３８……導電性弾性カバーシート
、４０……絶縁性板材、４１……共通電極、５１
……加圧板、５２……加圧ロツド。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 検査すべき集積回路部分の被検査電極群が位置
する面にその一面が重ね合わせられる、厚み方向
に導電路を形成するシート状導電性弾性体と、 このシート状導電性弾性体の他面にその一面が
重ね合わせられる、当該一面に前記集積回路部品
の被検査電極群に対応する検査電極群を有し、他
面に規格化された標準配列に従つて配置され、前
記検査電極群と電気的に接続された外部接続電極
群を有する検査用回路基板と、 この検査用回路基板の他面にその一面が重ね合
わせられる、厚み方向に導電路を形成するシート
状導電性弾性体構造体と、 このシート状導電性弾性体構造体の他面に重ね
合わせられる、その表面に前記規格化された標準
配列に従つて配置された共通電極群を有する共通
電極回路基板と、 前記集積回路部品、シート状導電性弾性体、検
査用回路基板、シート状導電性弾性体構造体およ
び共通電極回路基板よりなる積重体を挾圧する挾
圧手段とよりなり、 前記挾圧手段により挾圧することにより被検査
電極と共通電極とを導通させて集積回路部品の試
験を行なうことを特徴とする集積回路部品の試験
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7037388U JPH01173689U (ja) | 1988-05-30 | 1988-05-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7037388U JPH01173689U (ja) | 1988-05-30 | 1988-05-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01173689U true JPH01173689U (ja) | 1989-12-08 |
Family
ID=31295621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7037388U Pending JPH01173689U (ja) | 1988-05-30 | 1988-05-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01173689U (ja) |
-
1988
- 1988-05-30 JP JP7037388U patent/JPH01173689U/ja active Pending
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