JPH0117840Y2

JPH0117840Y2 -

Info

Publication number: JPH0117840Y2
Application number: JP19689384U
Authority: JP
Priority date: 1984-12-28
Filing date: 1984-12-28
Publication date: 1989-05-24
Also published as: JPS61114797U

Description

【考案の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本考案は、平面薄型デイスプレイ・デバイスと
して、文字、記号及び図形等を含むコンピユータ
の出力表示端末機器その他種々の表示装置に文
字、記号、及び図形等の静止画像、動画像の表示
手段として利用される薄膜ELパネルに関し、特
に、交流電界の印加に依つてEL発光を呈する薄
膜EL素子を使用した薄膜ELパネルの電極構造に
関するものである。

〔従来の技術〕

従来、この種のELパネルは、第４図に示すよ
うなものがあつた。すなわち、ガラス基板１上
に、複数帯状に平行配列し、かつ、後記する外囲
器外方へ延設したIn₂ O₃，Sn O₂，ITO（Indium
Tin Oxide）等の透明導電膜からなる透明電極２
と、Y₂ O₃，Ta₂ O₅，Si₃ N₄，Al₂ O₃等からな
る第１誘電体層３と、発光中心として0.1〜2.0重
量％のMn（又はTb，Sm，Cu，Al，Br等）をド
ープしたZnS（又はZnSe等）の薄膜EL層４と、前
記した第１誘電体層３と同様な物質からなる第２
誘電体層５と、前記透明電極２と直行する方向に
複数帯状に平行配列したAl等からなる背面電極
６とを順次積層して形成した薄膜EL素子と、こ
の薄膜EL素子の発光特性等の特性が湿気により
著しく劣化することから、防湿のためにこの薄膜
EL素子の側面を包囲する大きさの周辺領域に設
けたスペーサ７を介して、背面板８を接着剤９に
よつて固着し（スペーサ７も同様に固着され
る。）、前記ガラス基板１とスペーサ７と背面板８
とからなる外囲器１０とからなり、かつ、前記透
明電極２の一端が、前記外囲器１０外に延設され
ている薄膜ELパネルがあつた。しかし、前記し
たような材質からなる透明電極２は、結晶性が高
く、多孔質のため透湿性を有するので、外気の水
分がこの外囲器内に侵入し、薄膜ELパネルの特
性を劣化し、長寿命化を妨げている。この欠点を
除去するために、第５図ａ，ｂのような構造の薄
膜ELパネルがある。なお、同図ｂは、同図ａの
スペーサ、背面板、接着剤及び薄膜EL層を省略
した拡大部分平面図である。この薄膜ELパネル
の形成は、下記のとおりである。先ず、ガラス基
板１上に、前述した透明電極２と同様の透明電極
２を積層する。ただし、後記する外囲器内に位置
されている。次に、前述したと同様に第１誘電体
層３、薄膜EL層４及び第２誘電体層５を順次積
層する。次に、透明電極２等を積層した表面を除
くガラス基板１の表面、透明電極２、第１誘電体
層３及び第２誘電体層５を被覆するようにAl薄
膜を設け、さらに、このAl薄膜にフオトレジス
トを塗布し、このフオトレジストの上方に、第５
図ａ及びｂで示すような形状のAlからなる背面
電極６（この背面電極６は、前記透明電極２と直
行する方向に複数帯状に平行配列されている。）
と、前記第２誘電体層５から突出して、延設され
ている前記背面電極２の突出部２１の一部が連結
されるようにして設けられたAlからなる矩形状
の給電電極１１とを設けるべくフオトマスクを配
置し、このマスクを通して前記フオトレジストを
露光し、現像し、レジストパターンを形成し、次
に、このレジストパターンをマスクとしてAl薄
膜をエツチング除去する。そして、前記レジスト
パターンを有機溶剤を用いて剥離して、Alから
なる背面電極６と給電電極１１とを同時に形成す
る。次に、透明電極２及び給電電極１１の透明電
極２に連絡している部分が内在するように、前記
したと同様のスペーサ７及び背面板８を接着剤９
によつて固着し、ガラス基板１、スペーサ７及び
背面板８からなる外囲器１０を形成し、薄膜EL
パネルを形成する。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、従来の薄膜ELパネルは、前記
したようにAlからなる給電電極１１が透明導電
膜からなる透明電極２の突出部２１の一部を被覆
した構造であるので、この給電電極を形成すると
き、リン酸、硝酸、酢酸及び水の混合液以外の
Alの薄膜のエツチヤントに浸されたとき、透明
電極２の突出部２１が還元され黒化又は溶解して
しまい、さらに、この還元が、誘電体層の下部の
透明電極２部分にも進行して透明性を損う欠点が
あつたばかりか、レジストパターンで被覆されて
いる給電電極１１のうち、透明電極２の突出部２
１と連結されている部分が、エツチング液の介在
によつて、局部電池を形成して、変質したり溶出
してしまうという重大な欠点があつた。さらに、
Al薄膜をエツチングした後、フオトレジストを
剥離するとき、有機溶剤のみしか使用することが
できなく、他の剥離液、例えばアルカリ性溶液を
使用すると、前記したと同様に透明電極２が還元
してしまい、さらに局部電池を形成する欠点があ
つた。すなわち、従来の構造の薄膜ELパネルの
給電電極を形成するときには、エツチヤントやフ
オトレジスト剥離液が限定されてしまう欠点があ
つた。

本考案は、前記した事情に鑑みてなされたもの
で、その目的は、エツチヤントやレジスト剥離液
を限定することなく給電電極を形成することがで
きる構造をもつ薄膜ELパネルを提供することで
ある。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は、透光性基板上に設けられた酸化物か
らなる透明電極と背面電極との間に、薄膜EL層
及び誘電体層を挟持し、前記透明電極の一端が前
記誘電体層に被覆されず突出して延設されている
薄膜EL素子と、前記薄膜EL素子を封止すべく前
記透光性基板と背面板とを備えた外囲器とからな
り、かつ給電手段及び前記透明電極の劣化防止手
段としての給電金属電極を前記誘電体層から前記
突出している透明電極の全面と前記突出近傍の前
記誘電体層の一部を被覆するように設け、さらに
前記給電金属電極を前記外囲器外方へ延設したこ
とを特徴とする薄膜ELパネルであり、その態様
は、前記透明電極が、酸化インジウム、酸化ス
ズ、スズをドープした酸化インジウム、アンチモ
ンをドープした酸化スズ等の透明導電膜の何れか
ら選択され、前記給電金属電極が、Al又はAl合
金である。以下、本考案の実施例を図に基づき詳
細に説明する。

〔実施例１〕先ず、本例の構造を第１図に基づき説明する。
アルミノシリケートガラスNA40（HOYA(株)商品
名）からなるガラス基板１上に、前述したと同様
に、スズをドープした酸化インジウム（ITO）か
らなる透明電極２，Si₃ N₄からなる第１誘電体
層３、0.5重量％のMnをドープしたZnSからなる
薄膜EL層４及び前記透明電極２と直行する方向
に複数帯状に平行配列したAlからなる背面電極
６（後記する外囲器１０外方へ延設されている。）
を順次積層し、かつ、前記透明電極２の一端が、
前記第１誘電体層３から突出・延設されている
（以下、「突出部」２１という。）薄膜EL素子と、
前記突出部２１の全面と第１、第２誘電体層３，
５の一部を被覆するAlからなる給電用金属１２
（以下、「給電電極」という。）と、さらに、エポ
キシ系樹脂からなるスペーサ７とガラス基板１と
同種の背面板８とをエポキシ系樹脂の接着剤９に
よつて、ガラス基板１に固着し、ガラス基板１と
スペーサ７と背面板８とによつて形成された外囲
器１０とから本例の薄膜ELパネルは形成されて
いる。このとき、前記給電用電極１２は、外囲器
１０の外方へ延設され、駆動制御用回路（図示せ
ず。）と電気的に接続されている。

次に、本例の製造工程を第２図に基づき説明す
る。なお、同図ｅは、同図ｄの薄膜EL層４を略
した拡大部分平面図である。

先ず、ガラス基板１上に、ITOからなる透明導
電膜（膜厚：2000Å）を真空蒸着によつて成膜
し、通常のフオトリソグラフイによつて、複数帯
状に平行配列して透明電極２を形成する。次に、
この透明電極２上に、スパツタリング法によつて
Si₃ N₄からなる第１誘電体層３（膜厚：4000Å）
を透明電極２の一端が突出するように積層し、次
に、真空蒸着法によつて薄膜EL層４（膜厚：
6000Å）を積層し、次に、スパツタリング法によ
つてSi₃ N₄からなる第２誘電体層５（膜厚：
2500Å）を前記薄膜EL層を被覆するように積層
し、さらに、透明電極２等を設けたガラス基板１
の露出している表面と、透明電極２の突出部２１
と、第１及び第２誘電体層３，５を被覆するよう
に、Al薄膜１３（膜厚：5000Å）を抵抗加熱法
により積層する（同図ａ）。次に、このAl薄膜１
３上にポジ型のフオトレジスト１４（MP−
1370、ヘキスト社商品名）をコートし、このフ
オトレジスト１４の上方に、後記する背面電極６
と給電電極１２を形成するためのCrからなる遮
光性パターン１５を有するフオトマスク１６を配
置し、このフオトマスク１６を通し、紫外光等の
光によつて前記フオトレジスト１４を露光する
（同図ｂ）。次に、前記露光されたフオトレジスト
１４を現像し、レジストパターン１７を形成する
（同図ｃ）。次に、レジストパターン１７をマスク
として、前記Al薄膜１３をリン酸、酢酸及び水
の混合液をエツチヤントとしてAl薄膜１３をエ
ツチングし、前記レジストパターン１７を水酸化
ナトリウム溶液によつて剥離し、背面電極６と給
電電極１２を形成する（同図ｄ，ｅ）。そして、
前述したように外囲器１０を形成し、本例の薄膜
ELパネルを製造する。

以上のように、本例によれば、透明電極２の突
出部２１と第１及び第２誘電体層３，５の一部を
給電電極にて被覆しているので、エツチヤントや
レジスト剥離液によつて、透明電極２が還元され
ず、さらに、給電電極１２が、外囲器１０の外方
に延設されているので、外気の湿気が外囲器１０
内に侵入することもない。

〔実施例２〕第３図に基づいて説明する。なお、同図ｂは同
図ａのスペーサ、背面板、接着剤及び薄膜EL層
を略した拡大部分平面図である。

本例と、前記実施例と異なる構造は、透明電極
２の突出部２１が、外囲器１０外方へ延設されて
いることであり、他は前記実施例と同様であるの
で説明を省略する。

この透明電極２（材質は、ITO。）は、外囲器
１０外方へ延設されているが、給電電極１２（材
質はAl。）によつて、その突出部２１は全面被覆
されている。

本例によれば、前記実施例と同様の効果があ
り、さらに、ガラスとAlとの付着力よりも透明
導電膜とAlとの付着力及びガラスと透明導電膜
との付着力の方が強いので、実質的に、透明電極
２の突出部２１を介して、ガラス基板１と給電電
極１２との付着力も強化している。

以上、前記実施例１，２において、背面電極及
び給電電極を同一材質にしたが、異なる材質でも
よいが、望ましくは製造工程の簡素化のために同
一材質がよい。また、背面電極及び給電電極の材
質としてAlを用いたが、例えば、Al−Ni等のAl
合金やAg−Mn，Au，Ag，Cu等の金属であつて
もよい。さらに、前記実施例１，２において、第
１及び第２誘電体層の透明電極の突出部近傍に給
電電極を被覆したが、これに限らず、突出部近傍
にある第１又は第２誘電体層を少なくとも被覆す
ればよい。さらにまた、透明電極としては、前記
以外に、In₂ O₃，Sn O₂，アンチモンをドープし
たスズ酸化物等の透明導電膜や透明性を有する金
属酸化物も使用することができる。

〔考案の効果〕

本考案は、透明電極の突出部のみならず、突出
部近傍の誘電体層にも給電電極を被覆しているの
で、突出部全面を完全に被覆することができ、給
電電極及び背面電極を形成するときに使用するエ
ツチヤントやレジスト剥離液によつて、透明電極
を還元して、黒化又は溶解することを防止する効
果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す断面図であ
り、第２図ａ〜ｄは本考案の一実施例の製造工程
を示す断面図であり、同図ｅは同図ｄの薄膜EL
層を略した拡大部分平面図である。第３図ａは本
考案の他の実施例を示す断面図であり、同図ｂは
同図ａのスペーサ、背面板、接着剤及び薄膜EL
層を略した拡大部分平面図である。第４図は従来
の薄膜ELパネルの断面図であり、第５図ａは従
来の他の薄膜ELパネルを示す断面図であり、同
図ｂは同図ａのスペーサ、背面板、接着剤及び薄
膜EL層を略した拡大部分平面図である。２……透明電極、３……第１誘電体層、５……
第２誘電体層、６……背面電極、１２……給電電
極、２１……突出部。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】 (1) 透光性基板上に設けられた酸化物からなる透
明電極と背面電極との間に、薄膜EL層及び誘
電体層を挟持し、前記透明電極の一端が前記誘
電体層に被覆されず突出して延設されている薄
膜EL素子と、前記薄膜EL素子を封止すべく前
記透光性基板と背面板とを備えた外囲器とから
なり、かつ給電手段及び前記透明電極の劣化防
止手段としての給電金属電極を前記誘電体層か
ら前記突出している透明電極の全面と前記突出
近傍の前記誘電体層の一部を被覆するように設
け、さらに前記給電金属電極を前記外囲器外方
へ延設したことを特徴とする薄膜ELパネル。 (2) 前記透明電極が、酸化インジウム、酸化ス
ズ、スズをドープした酸化インジウム、アンチ
モンをドープした酸化スズ等の透明導電膜の何
れから選択され、前記給電金属電極が、Al又
はAl合金であることを特徴とする実用新案登
録請求の範囲第(1)項記載の薄膜ELパネル。