JPH01180386A - 光記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
光記録媒体及びその製造方法Info
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- JPH01180386A JPH01180386A JP63004454A JP445488A JPH01180386A JP H01180386 A JPH01180386 A JP H01180386A JP 63004454 A JP63004454 A JP 63004454A JP 445488 A JP445488 A JP 445488A JP H01180386 A JPH01180386 A JP H01180386A
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- JP
- Japan
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- film
- platinum
- recording medium
- recording
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
- G11B7/242—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
- G11B7/243—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
- G11B7/2433—Metals or elements of Groups 13, 14, 15 or 16 of the Periodic Table, e.g. B, Si, Ge, As, Sb, Bi, Se or Te
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B7/243—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
- G11B2007/24302—Metals or metalloids
- G11B2007/24306—Metals or metalloids transition metal elements of groups 3-10
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明はレーザ光によって情報の記録及び再生を行う光
記録媒体及びその製造方法に関する。
記録媒体及びその製造方法に関する。
〈従来の技術〉
レーザ光によって情報の記録・再生を行う光記録媒体は
、半導体レーザ、記録材料、成膜技術などの基本技術の
向上と、大容量記録が可能であるという特徴により、最
近急速に実用化の道が開かれてきた。すでにバブル（空
隙）形成方式、ピット形成（穴あけ）方式、非結晶−結
晶質転移方式等が提案□されている。例えば空隙形成方
式の光記録媒体は特開昭５６−６５３４０号公報、特開
昭５６−穴あけ方式の光記録媒体の場合、形成される穴
部周辺に記録膜の一部が飛散したり、リムを形成するた
め、ピットエラーレイト（ＢＥＲ）を減少＊ｔ）ｉ、）
が容易、なかったり、多く、より、」ケア元素を主体と
した化合物を用いるために記録・再生特性の経時変化は
避は難く、信頼ｉに問題があった。
、半導体レーザ、記録材料、成膜技術などの基本技術の
向上と、大容量記録が可能であるという特徴により、最
近急速に実用化の道が開かれてきた。すでにバブル（空
隙）形成方式、ピット形成（穴あけ）方式、非結晶−結
晶質転移方式等が提案□されている。例えば空隙形成方
式の光記録媒体は特開昭５６−６５３４０号公報、特開
昭５６−穴あけ方式の光記録媒体の場合、形成される穴
部周辺に記録膜の一部が飛散したり、リムを形成するた
め、ピットエラーレイト（ＢＥＲ）を減少＊ｔ）ｉ、）
が容易、なかったり、多く、より、」ケア元素を主体と
した化合物を用いるために記録・再生特性の経時変化は
避は難く、信頼ｉに問題があった。
また、相転移方式の光記録媒体の場合、相転移に用する
時間が長いため、記録速度が遅く、更に記録に高パワー
を必要とするという欠点があった。
時間が長いため、記録速度が遅く、更に記録に高パワー
を必要とするという欠点があった。
また、空隙形成方式の光記録媒体は、リム形成、記録時
間、記録パワーについては問題はないものの、安定性、
ＢＥＨの点で更に高性能化が望まれている。
間、記録パワーについては問題はないものの、安定性、
ＢＥＨの点で更に高性能化が望まれている。
本発明は、前述した記録・再生特性の安定性を一保持し
つつ、ＢＢＨの向上を目的としたものである。
つつ、ＢＢＨの向上を目的としたものである。
〈問題点を解決するための手段〉
本発明は、透明樹脂基板の上に白金薄膜を積層してなり
、所定の波長領域のレーザ光を吸収して該レーザ光によ
り空隙を形成させることによりデであることを特徴とす
る光記録媒体及びそれを製造する方法に関するものであ
る。
、所定の波長領域のレーザ光を吸収して該レーザ光によ
り空隙を形成させることによりデであることを特徴とす
る光記録媒体及びそれを製造する方法に関するものであ
る。
本発明に用いられる透明樹脂としては、記録用レーザ光
によって照射された白金薄膜の基板部分が熱分解や熱変
形を生起する性質を有する透明なものであれば、何でも
使用できる。それらは、例えばポリエステル樹脂、ポリ
オレフィン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネート樹
脂又はポリメタクリル樹脂等の透明性に優れた透明樹脂
材料を例示することができる。用いるレーザは特に限定
するものではないが、ドライブ装置をコンパクトにする
ためには半導体レーザが好ましく、波長が７５０〜８５
０ｎｍ領域のものが使われる。この場合記録パワーとし
ては一般に１〜１０ｍＷ程度の範囲で用いられる。
によって照射された白金薄膜の基板部分が熱分解や熱変
形を生起する性質を有する透明なものであれば、何でも
使用できる。それらは、例えばポリエステル樹脂、ポリ
オレフィン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネート樹
脂又はポリメタクリル樹脂等の透明性に優れた透明樹脂
材料を例示することができる。用いるレーザは特に限定
するものではないが、ドライブ装置をコンパクトにする
ためには半導体レーザが好ましく、波長が７５０〜８５
０ｎｍ領域のものが使われる。この場合記録パワーとし
ては一般に１〜１０ｍＷ程度の範囲で用いられる。
透明樹脂基板の表面は、平坦であってもレーザ波長より
小さい微細な凹凸が形成されていても使用可能である。
小さい微細な凹凸が形成されていても使用可能である。
微細な凹凸が形成されている場合はレーザ光を有効に吸
収する効果があり、平坦な基板に比べて小さなレーザパ
ワーでの記録が可能である。
収する効果があり、平坦な基板に比べて小さなレーザパ
ワーでの記録が可能である。
透明樹脂基板の上に金属薄膜を設けて光記録媒体とする
技術は既に公知であり、真空蒸着法、イオンブレーティ
ング法、スパッタリング法等の方法により薄膜が形成さ
れることも公知である。どの方法を用いるかは、使用す
る金属によって適宜選択される。例えば、Ｔｅ、 Ｓｅ
等の低融点元素は真空蒸着法が主として用いられ、Ｔｂ
Ｆｅ、 ＴｂＦｅＣｏ等のアモルファス光磁気膜はスパ
ッタリング法が用いられる。
技術は既に公知であり、真空蒸着法、イオンブレーティ
ング法、スパッタリング法等の方法により薄膜が形成さ
れることも公知である。どの方法を用いるかは、使用す
る金属によって適宜選択される。例えば、Ｔｅ、 Ｓｅ
等の低融点元素は真空蒸着法が主として用いられ、Ｔｂ
Ｆｅ、 ＴｂＦｅＣｏ等のアモルファス光磁気膜はスパ
ッタリング法が用いられる。
本発明においては、金属薄膜として白金を用いる。白金
は、バルクの状態では化学的には非常に安定な金属であ
り、薄膜においてもこの特徴は維持されている。また、
白金はレーザ波長領域において反射率、吸収率が適度に
高く、レーザ記録には好ましい金属である。
は、バルクの状態では化学的には非常に安定な金属であ
り、薄膜においてもこの特徴は維持されている。また、
白金はレーザ波長領域において反射率、吸収率が適度に
高く、レーザ記録には好ましい金属である。
しかも、機械的強、度が大きいため、レーザ照射によっ
て形成されるバブルが長期にわたって安定に保持しやす
いという特徴を有する。
て形成されるバブルが長期にわたって安定に保持しやす
いという特徴を有する。
本発−における白金薄膜は、電気比抵抗が３．０８□。
−ｙ。、以下、あ６．：とが必要、あ、。ユ。範囲をは
ずれ電気比抵抗が大きいと、ＢＥＲが大きくなり好まし
くない。しかも、白金薄膜自体の強度が弱く、例えば連
続再生レーザ光によりバブルが変形するため安定性に劣
る傾向がある。
ずれ電気比抵抗が大きいと、ＢＥＲが大きくなり好まし
くない。しかも、白金薄膜自体の強度が弱く、例えば連
続再生レーザ光によりバブルが変形するため安定性に劣
る傾向がある。
白金薄膜のこのような電気比抵抗と安定性は、限定され
た製造方法によって達成される。例えばプラズマ化され
た活性化ガス中を通過する白金を透明樹脂基板上に堆積
するといったイオンブレーティング法によって達成する
ことができる。
た製造方法によって達成される。例えばプラズマ化され
た活性化ガス中を通過する白金を透明樹脂基板上に堆積
するといったイオンブレーティング法によって達成する
ことができる。
イオンブレーティング法による製造に際して、真空槽内
をまず１０−’Ｔｏｒｒ程度以上の高真空とした後、高
純度不活性ガス、例えばアルゴンガスを導入し、槽内の
真空度をＩＸ １０−’ないしｌＸ、１０−Ｔｏｒｒ。
をまず１０−’Ｔｏｒｒ程度以上の高真空とした後、高
純度不活性ガス、例えばアルゴンガスを導入し、槽内の
真空度をＩＸ １０−’ないしｌＸ、１０−Ｔｏｒｒ。
好ましくは２Ｘ １０−’ないし５Ｘ １Ｇ−’Ｔｏｒ
ｒに保持される。この状態で、真空槽内に設置したスパ
イラルコイル状の高周波励起コイルに５０〜５００ワツ
トの電力を印加し高周波電界をつくり、ガスを励起して
プラズマを生成させる。
ｒに保持される。この状態で、真空槽内に設置したスパ
イラルコイル状の高周波励起コイルに５０〜５００ワツ
トの電力を印加し高周波電界をつくり、ガスを励起して
プラズマを生成させる。
生成されるプラズマは、コイル形状、大きさ、電力、及
び真空度によって制御されるが、その制御は容易であり
、高制度の制御が可能である。
び真空度によって制御されるが、その制御は容易であり
、高制度の制御が可能である。
プラズマ生成後、電子線ビームにより白金を加熱、溶融
して蒸発される。加熱温度及び真空槽内の真空度によっ
て、白金の蒸気圧が定まり白金の蒸発量が規定される。
して蒸発される。加熱温度及び真空槽内の真空度によっ
て、白金の蒸気圧が定まり白金の蒸発量が規定される。
プラズマが安定して発生するようになったら、高周波電
圧を初期設定値に調節し、基板と蒸発源の間のシャッタ
ーを開き、基板上に蒸発粒子を堆積させる。
圧を初期設定値に調節し、基板と蒸発源の間のシャッタ
ーを開き、基板上に蒸発粒子を堆積させる。
本発明に従って形成された白金薄膜は、単なる真空蒸着
法に比較して電気比抵抗が小さく、ＢＥＲが小さく、記
録・再生特性の経時安定性に優れている。これは明確に
は説明しがｈいが、本発明に従って成膜された膜にｃネ
、非常に微細化された白金粒子が堆積し、基板上に密に
充填しているためと推測される。
法に比較して電気比抵抗が小さく、ＢＥＲが小さく、記
録・再生特性の経時安定性に優れている。これは明確に
は説明しがｈいが、本発明に従って成膜された膜にｃネ
、非常に微細化された白金粒子が堆積し、基板上に密に
充填しているためと推測される。
白金薄膜の厚さは５０人から３００人の範囲、より好ま
しくは８０人から２００人の範囲で用いられる。
しくは８０人から２００人の範囲で用いられる。
この範囲を越えて薄すぎると、薄膜の強度が弱く形勢し
たバブルが連続した再生レーザパワーによって変形して
しまったり、記録時にレーザ照射により白金薄膜が破れ
るなどの現象が見られ、ＣＮｈに悪影響を及ぼした。
たバブルが連続した再生レーザパワーによって変形して
しまったり、記録時にレーザ照射により白金薄膜が破れ
るなどの現象が見られ、ＣＮｈに悪影響を及ぼした。
一方、早すぎると、記録に要するレーザパワーが高くな
りすぎ実用性に乏しい。バブルを形成しはじめるときの
レーザパワーは、真空蒸着法に比べて本発明に基づく製
造方法に従って製造された光記録媒体はいく分高いパワ
ーを要するが、実際到達するＣＮＲのレベルは大差なく
、いずれの方法でも５０ｄＢは越えており、実用に際し
ての問題はない。
りすぎ実用性に乏しい。バブルを形成しはじめるときの
レーザパワーは、真空蒸着法に比べて本発明に基づく製
造方法に従って製造された光記録媒体はいく分高いパワ
ーを要するが、実際到達するＣＮＲのレベルは大差なく
、いずれの方法でも５０ｄＢは越えており、実用に際し
ての問題はない。
さらに、透明樹脂基板と白金薄膜の間に既に公知の中間
膜を設けることは可能である。この中間膜の素材として
は、ニトロセルロース、有機色素等を例示することがで
きる。
膜を設けることは可能である。この中間膜の素材として
は、ニトロセルロース、有機色素等を例示することがで
きる。
さらに、本発明で用いられる金属薄膜層は必須成分たる
白金に適当な他の金属あるいは半金属を１種類以上少量
添加することは可能である。
白金に適当な他の金属あるいは半金属を１種類以上少量
添加することは可能である。
以上により製造された光記録媒体は、レーザ光を強く吸
収して透明樹脂基板の局部分解によるガス発生を生起し
、白金薄膜の永久変形として認められる空隙を形成する
ことにより、永久的記録を行うことができる。
収して透明樹脂基板の局部分解によるガス発生を生起し
、白金薄膜の永久変形として認められる空隙を形成する
ことにより、永久的記録を行うことができる。
本発明の記録媒体は、任意の保護層により保護ｓ
することもできる。また記録媒体の形状の円形、方形等
であってもよく、ディスク状、カード状等であってもよ
い。
であってもよく、ディスク状、カード状等であってもよ
い。
〈実施例〉
−以下に実施例をもって本発明をより詳しく説明する。
なお、表中、各物性値は次のようにして求めた。
電気比抵抗：透明樹脂基板の上に所定の方法で成膜した
白金薄膜の電気抵抗Ｒ（Ω）を測定し、薄膜の断面積５
（ｃＩＩ＋り、電気抵抗を測定するときの端子間の距離
を（１（ｃｎ）とし、（１）式に基づいて電気比抵抗ρ
（Ω・ｃｍ）を求めた。
白金薄膜の電気抵抗Ｒ（Ω）を測定し、薄膜の断面積５
（ｃＩＩ＋り、電気抵抗を測定するときの端子間の距離
を（１（ｃｎ）とし、（１）式に基づいて電気比抵抗ρ
（Ω・ｃｍ）を求めた。
ρ ＝Ｒ，−８＃！ ・・・・・（１）ＣＮＲｍａｘ
、ＢＥＲ：製造された光記録媒体を１８０Ｏｒｐｍで回
転し、レーザパワーを、１−１−１ｌまで逐次変えて記
録を行い、次いで１ａ＋Ｗで再生し、ＣＮＲの最大値を
求めＣＮ Ｒｌｌ１ａｘとした。さらに、再生時の誤り
率を求めＢＥＲとした。
、ＢＥＲ：製造された光記録媒体を１８０Ｏｒｐｍで回
転し、レーザパワーを、１−１−１ｌまで逐次変えて記
録を行い、次いで１ａ＋Ｗで再生し、ＣＮＲの最大値を
求めＣＮ Ｒｌｌ１ａｘとした。さらに、再生時の誤り
率を求めＢＥＲとした。
連続再生に対する安定性 １ｍＷの再生レーザパワーを
連続して与え、ＣＮＨの変化の様子を観測した。変化の
全くない安定なものから◎、Ｏ１×の玉算段で評価した
。
連続して与え、ＣＮＨの変化の様子を観測した。変化の
全くない安定なものから◎、Ｏ１×の玉算段で評価した
。
［実施例１ 比較例Ａ］
厚さ１．２■、内径１５ｍｍ、外径１３０ｍｍの射出成
型したポリカーボネート製透明樹脂円板上に次の方法に
より白金を成膜した。
型したポリカーボネート製透明樹脂円板上に次の方法に
より白金を成膜した。
し真空度を４．Ｏｘ １０−’Ｔｏｒｒとし、次いで、
高周波コイルに周波数１３．５６ＭＨｚ、 ２００ワツ
トの高周波は吃 電力を印加してプラズマを発生さ昶た。そして純度９９
．９９％の白金ペレットに電子線を照射して融解、蒸発
させ、上該樹脂円板上に堆積させた。
高周波コイルに周波数１３．５６ＭＨｚ、 ２００ワツ
トの高周波は吃 電力を印加してプラズマを発生さ昶た。そして純度９９
．９９％の白金ペレットに電子線を照射して融解、蒸発
させ、上該樹脂円板上に堆積させた。
真空蒸着法：初期真空度がＩＸ １０−’Ｔｏｒｒにな
るまで排気したのち、白金ペレットに電子線を照射して
融解、蒸発させ上該樹脂円板上に堆積させた。
るまで排気したのち、白金ペレットに電子線を照射して
融解、蒸発させ上該樹脂円板上に堆積させた。
成膜した円板に記録パワーを１〜１０−１まで逐次変え
ながら記録を行い、ＣＮＲを測定した。、さらにＢＥＲ
を測定した。
ながら記録を行い、ＣＮＲを測定した。、さらにＢＥＲ
を測定した。
さらに、１ｍｌを連続して照射して、連続再生に対する
安定性を評価した。
安定性を評価した。
結果を表１に示した。単なる真空蒸着法に比較して、同
一膜厚では電気比抵抗が小さく、ＢＥＲが大幅に減少し
ており、連続再生に対する安定性も良好である。また、
ＣＮ Ｒｗａｘは比較例より特に大幅に高いことはない
が、５０ｄＢを越えており良好な結果を得た。
一膜厚では電気比抵抗が小さく、ＢＥＲが大幅に減少し
ており、連続再生に対する安定性も良好である。また、
ＣＮ Ｒｗａｘは比較例より特に大幅に高いことはない
が、５０ｄＢを越えており良好な結果を得た。
［実施例２，３ 比較例Ｂ］
同様の方法により白金の膜厚を変えて成膜し、物性を測
定した。結果を表２に示した。
定した。結果を表２に示した。
本発明に基づ〈実施例では低い電気比抵抗が得られ、Ｂ
ＥＲが小さく、連続再生に対する安定性も十分であった
。 以下余白表 １ 〈発明の効果〉 本発明によれば、透明樹脂基板上に限定された成膜方法
により白金薄膜を形成することによってＢＥＲと記録・
再生特性の経時安定性に優れた光記録媒体を製造するこ
とができる。
ＥＲが小さく、連続再生に対する安定性も十分であった
。 以下余白表 １ 〈発明の効果〉 本発明によれば、透明樹脂基板上に限定された成膜方法
により白金薄膜を形成することによってＢＥＲと記録・
再生特性の経時安定性に優れた光記録媒体を製造するこ
とができる。
特許出願人 株式会社 り ラ し
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）透明樹脂基板の上に白金薄膜を積層してなり所定の
波長領域のレーザ光を吸収して、該レーザ光により空隙
を形成することによつて記録がなされる光記録媒体にお
いて、上記白金薄膜の電気比抵抗が３．０×１０＾−＾
５Ω・ｃｍ以下であることを特徴とする光媒体記録体。 ２）上該白金薄膜の膜厚が、５０Åから３００Åより好
ましくは８０Åから２００Åの範囲であることを特徴と
する請求項１記載の光記録媒体。 ３）プライマ化された不活性ガス中を通過する白金を透
明樹脂基板上に堆積することを特徴とする請求項１記載
の光記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63004454A JPH01180386A (ja) | 1988-01-11 | 1988-01-11 | 光記録媒体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63004454A JPH01180386A (ja) | 1988-01-11 | 1988-01-11 | 光記録媒体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01180386A true JPH01180386A (ja) | 1989-07-18 |
Family
ID=11584600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63004454A Pending JPH01180386A (ja) | 1988-01-11 | 1988-01-11 | 光記録媒体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01180386A (ja) |
-
1988
- 1988-01-11 JP JP63004454A patent/JPH01180386A/ja active Pending
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