JPH01184820A - 半導体用炉心管 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の１ この発明は半導体拡散炉に用いる半導体用炉心管に関す
るものである。

１股丸１１ 半導体拡散炉においては、炉心管の外側にヒーターが配
置してあり、そのヒーターにより炉内を加熱するように
なっている。

が　゛しようとする。１、 炉心管が電気絶縁性のもので作られていない場合は、ヒ
ーターと炉心管とが接触すると、重大なトラブルが発生
する恐れがあった。

１１へ１１ この発明は前述のような従来の炉心管の欠点を改良して
ヒーターと炉心管との接触によって生じるトラブルを最
小にすることのできる半導体用炉心管を提供することを
目的としている。

Ｒ」Ｊと■上− この目的を達成するために、この発明は請求項１に記載
の半導体用炉心管を要旨としている。

山　１、を解゛するための手 半導体炉心管の管本体１の外表面にリード線２の一端部
を金属箔３を介して固定する。

さらに、リード線２と金属箔３をカバーする形に固定板
５を管本体１の外表面に固定する。

好ましくは、金属箔３はＮｉのようにＡＱおよび３ｉと
８００℃で合金をつくらない金属で作り、その金属箔３
と固定板５との間にアルミ箔７を設置し、炉心管を約８
００℃に加熱してアルミ箔７を溶融させ、そのとき、そ
の溶融アルミと固定板中のＳｉとによって合金をつくり
、その合金がリード線２を金属箔３に固定するようにす
る。

Ｌ 金属箔３を介してリード線２を炉心管本体１の表面に固
定しているので、リード線２やそれを固定するためのア
ルミ等が直接炉心管本体１の表面に接触せず、炉心管本
体１を汚染する恐れがない。

支ＬｆＬ 第１〜２図において、符号１は半導体拡散炉に用いる半
導体用炉心管の管本体の上部を示している。

リード線２の一端部が金属箔３を介して管本体１に固定
されている。金属箔３は約８００℃でＡＱやＳｉと合金
を作らない金属（たとえばＮｉ）にして厚みを０．３〜
０．６ｆｌ１ｍにするのが好ましい。リード線２の他端
部は漏電検出器４に接続されており、さらに接地されて
いてアース線として機能している。リード線３は耐熱性
を有するものが好ましい。

固定板５は金属箔３とリード線２をカバーする形で管本
体１の外表面に接着剤６によって固定されている。図示
例では、浅い溝状の凹所５ａが形成してあって、そこに
リード線２と金属箔３が収納されている。また、固定板
５はＳｉ　−８ｉ　Ｃやそれに類した材料で作られてお
り、少なくとも３ｉを含有している。

接着剤６はスミセラム（商品名）のような無機系接着剤
で、熱膨張係数が管本体１と実質上同一のものが最適で
ある。

複数のアルミ箔７を固定板５と金属箔３の間にはさみ、
そこにリード線２を設け、約８００℃でアルミ箔７を溶
融させ、その溶融アルミと固定板中の８１とによって合
金をつくり、その合金によってリード線２を金属箔３に
固定する。

１１へ１１ 万が一炉内加熱用のヒータ（図示せず）が炉心管本体１
の外表面と接触したとしても、その際の漏電を漏電検出
器４によって即時に検出し、警報を発したり、自動的に
通電を停止したりできるので、トラブルの発生を最小限
にとどめることができる。

金属箔３を介してリード線２を管本体１に固定している
ので、リード線２によって炉心管が悪影響をうけない。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による半導体用炉心管の改良部分のみ
を示す断面図、第２図は第１図のＸ−Ｘ線に沿った断面
図（アルミ箔は図示を省略しである）である。 １、、、、、炉心管本体 ２、、、、、リード線 ３、、、、、金属箔 ４、、、、、漏電検出器 ５、、、、、固定板 ６、、、、、接着剤 ７、、、、、アルミ箔

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、半導体拡散炉に用いる半導体用炉心 管において、管本体の外表面にリード線の一端部を金属
   箔を介して固定し、それらのリード線と金属箔をカバー
   する形に固定板を管本体の外表面に固定し、リード線の
   他端部を漏電検出器に接続したことを特徴とする半導体
   用炉心管。