JPH01189029A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH01189029A JPH01189029A JP63012965A JP1296588A JPH01189029A JP H01189029 A JPH01189029 A JP H01189029A JP 63012965 A JP63012965 A JP 63012965A JP 1296588 A JP1296588 A JP 1296588A JP H01189029 A JPH01189029 A JP H01189029A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic recording
- recording medium
- film
- layer
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁気
記録層とする磁気記録媒体に関する。
記録層とする磁気記録媒体に関する。
従来の技術
最近の磁気記録技術の進歩によシ、記録密度の向上は目
覚しく、磁気記録層に平滑な強磁性金属薄膜を用いた蒸
着テープ等の薄膜型の磁気記録媒体の実用化が強く望ま
れている。しかしながら、蒸着テープを直接磁気ヘッド
の高速摺動下にさらすと、トライポロジーにかかわる種
々の問題が発生することから、保護潤滑層に関する改善
提案が急増してきている〔例えば、テレビジョン学会誌
。
覚しく、磁気記録層に平滑な強磁性金属薄膜を用いた蒸
着テープ等の薄膜型の磁気記録媒体の実用化が強く望ま
れている。しかしながら、蒸着テープを直接磁気ヘッド
の高速摺動下にさらすと、トライポロジーにかかわる種
々の問題が発生することから、保護潤滑層に関する改善
提案が急増してきている〔例えば、テレビジョン学会誌
。
Ｖｏｌ ４０ ｔ Ａ ６．４７２ （１９８８）
参照）。第２図に従来の薄膜型の磁気記録媒体の拡大
断面図で示したように、かかる媒体は、ポリエステル等
の高分子フィルム１上にＣｏ −Ｎｉ −０，Ｃｏ−Ｃ
ｒ等の強磁性金属薄膜から成る磁気記録層２を配し、そ
の上に保護潤滑Ｎ３を配した構成が一般的である。
参照）。第２図に従来の薄膜型の磁気記録媒体の拡大
断面図で示したように、かかる媒体は、ポリエステル等
の高分子フィルム１上にＣｏ −Ｎｉ −０，Ｃｏ−Ｃ
ｒ等の強磁性金属薄膜から成る磁気記録層２を配し、そ
の上に保護潤滑Ｎ３を配した構成が一般的である。
特に保護潤滑層は、短波長記録時に問題となるヌペーシ
ング損失の面から制約を受けるため、材料、製造条件に
ついて多くの提案がなされているものである。
ング損失の面から制約を受けるため、材料、製造条件に
ついて多くの提案がなされているものである。
脂肪酸金属塩の蒸着膜（特開昭６４−１１３３０３号公
報）、イミド基を有する高分子のヌパッタ膜（特開昭５
７−１１８７７１号公報）ダイアモンド状硬質炭素膜（
日本応用磁気学会、第４６回研究会資料）、脂肪酸金属
塩の吸着層上にフルオロカーボン系の潤滑層を設けたも
の（特開昭６１−１２０３３ ｊ 号公報） 、 Ｓ
１−Ｎ−０，系薄膜上に潤滑層を形成したもの（特開昭
８１−１ｊ１２３１号公報）等が検討され、特性向上が
図られてきている。更に、Ｓｉｏ２．Ａｌ２Ｏ３微粒子
等を高分子フィルム上に塗布固定してから磁気記録層を
形成し微細な凹凸を形成し耐久性の向上ができることも
知られている〔アイイーイーイー トランザクションズ
オン マグネティクス（ＩＥＥＥＴＲＡＮＳＡＣＴＩ
ＯＮＳ ＯＮ ＭＡＧＮＥＴＩＣ８）ＶｏｌＭＡＧ−２
１，Ｐ、Ｐ、１５２４〜１５２６（ｊ９８５）参照〕。
報）、イミド基を有する高分子のヌパッタ膜（特開昭５
７−１１８７７１号公報）ダイアモンド状硬質炭素膜（
日本応用磁気学会、第４６回研究会資料）、脂肪酸金属
塩の吸着層上にフルオロカーボン系の潤滑層を設けたも
の（特開昭６１−１２０３３ ｊ 号公報） 、 Ｓ
１−Ｎ−０，系薄膜上に潤滑層を形成したもの（特開昭
８１−１ｊ１２３１号公報）等が検討され、特性向上が
図られてきている。更に、Ｓｉｏ２．Ａｌ２Ｏ３微粒子
等を高分子フィルム上に塗布固定してから磁気記録層を
形成し微細な凹凸を形成し耐久性の向上ができることも
知られている〔アイイーイーイー トランザクションズ
オン マグネティクス（ＩＥＥＥＴＲＡＮＳＡＣＴＩ
ＯＮＳ ＯＮ ＭＡＧＮＥＴＩＣ８）ＶｏｌＭＡＧ−２
１，Ｐ、Ｐ、１５２４〜１５２６（ｊ９８５）参照〕。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、微粒子を強固に高分子フィルム上に付着
させるために樹脂量を増すと、凝集が発生し、ヘッドと
の高速摺動で欠落し、ヘッドに付着し消磁作用をひき起
こすのと、凝集が多くなると、欠落した磁性粉により、
凝着摩耗が起り、耐久性が低下する問題かあり、改善が
望まれていた。
させるために樹脂量を増すと、凝集が発生し、ヘッドと
の高速摺動で欠落し、ヘッドに付着し消磁作用をひき起
こすのと、凝集が多くなると、欠落した磁性粉により、
凝着摩耗が起り、耐久性が低下する問題かあり、改善が
望まれていた。
本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、磁性粉の
欠落のない、耐久性の良好な磁気記録媒体を提供するも
のである。
欠落のない、耐久性の良好な磁気記録媒体を提供するも
のである。
課題を解決するための手段
上記した問題点を解決するため、本発明の磁気記録媒体
は、高分子フィルム上に下地層をスパッタリング法で高
速形成し、異常析出突起を有する層とした上に強磁性金
属薄膜を配したものである。
は、高分子フィルム上に下地層をスパッタリング法で高
速形成し、異常析出突起を有する層とした上に強磁性金
属薄膜を配したものである。
作 用
本発明の磁気記録媒体は上記した構成により、突起が下
地層の一部として形成されることで、欠落しないことか
ら、耐久性が十分確保されるものである。
地層の一部として形成されることで、欠落しないことか
ら、耐久性が十分確保されるものである。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の一実施例について詳
しく説明する。第１図は本発明の一実施例の磁気記録媒
体の拡大断面図である。第１図で４はポリエチレンテレ
フタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテ
ルサルケオン等の高分子フィルムで６は下地層で、Ｔｉ
、Ｏｒ、Ｇｅ、Ｔａ等のスパッタリング膜か、パーマロ
イ等の軟磁性膜でもよく、高速析出により異常析出突起
６部と、平均的成長部７とで構成されるもので、異常析
出突起は突起高さが５０八から２００八が好ましく、密
度は０．５〜２５０ケ／（μｍ ） ２が好ましい。
しく説明する。第１図は本発明の一実施例の磁気記録媒
体の拡大断面図である。第１図で４はポリエチレンテレ
フタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテ
ルサルケオン等の高分子フィルムで６は下地層で、Ｔｉ
、Ｏｒ、Ｇｅ、Ｔａ等のスパッタリング膜か、パーマロ
イ等の軟磁性膜でもよく、高速析出により異常析出突起
６部と、平均的成長部７とで構成されるもので、異常析
出突起は突起高さが５０八から２００八が好ましく、密
度は０．５〜２５０ケ／（μｍ ） ２が好ましい。
この析出突起を形成するには、高速でスパッタリング法
にて下地層を形成前に、平均したら膜厚が５人ぐらいと
なる薄い領域で異種元素の蒸着。
にて下地層を形成前に、平均したら膜厚が５人ぐらいと
なる薄い領域で異種元素の蒸着。
スパッタを行ってやれば、再現よく制御できる。
８は強磁性金属薄膜で、磁化容易軸の方向とは熱間１系
でＣｏ−Ｃｒ 、 Ｃｏ−Ｔａ 、 Ｃｏ −Ｔ ｉ
、 Ｇｏ −Ｍｏ 、 Ｃｏ −Ｗ。
でＣｏ−Ｃｒ 、 Ｃｏ−Ｔａ 、 Ｃｏ −Ｔ ｉ
、 Ｇｏ −Ｍｏ 、 Ｃｏ −Ｗ。
Ｃｏ−Ｒｕ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｃｏ−０，Ｃｏ−３ｔ、Ｃｏ
−Ｎｉ−０等の電子ビーム蒸着膜、スパッタリング膜等
から成るものである。９は保護潤滑剤島で、ＢＮ膜。
−Ｎｉ−０等の電子ビーム蒸着膜、スパッタリング膜等
から成るものである。９は保護潤滑剤島で、ＢＮ膜。
アモルファスカーボン膜、プラズマ重合膜等の保、、！
！膜と脂肪酸、パーフルオロカルボン酸等の潤滑剤を積
層したものである。以下、更に具体的に本発明の実施例
について比較例との対比で詳しく説明する。
！膜と脂肪酸、パーフルオロカルボン酸等の潤滑剤を積
層したものである。以下、更に具体的に本発明の実施例
について比較例との対比で詳しく説明する。
厚み１０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム表
面を１３．５８ （ｌｖｉＨｚ） 、 ０．９ （ＫＷ
） 、 Ａｒ： ８ Ｘ １０−”（Ｔｏｒｒ）のグ
ロー放電で２秒間表面処理し、その上で、Ａｑを高周波
スパッタリング［１３，５ｅ （ＭＨｚ） 、 ０．４
（ＫＷ） 、 Ａｒ ８Ｘ１０−３（Ｔｏｒｒ）］法で
、平均、模写換算５へのスパッタ蒸着を行い、引き続き
、Ｔｉを高周波マグネトロンスパッタリング法で４ＯＯ
（−八か〕の高速でスパッタ蒸着し、突起高さ８０人、
突起密度１ｏケ／（μｍ） のチタンの異常析出突起を
もつ下地層を５００人形成し、その上に高周波マグネト
ロンスパッタリング法で、Ｃｏ−Ｃｒ （Ｃｒ ：２０
．４ｗｔ％）垂直磁化膜を６０（Ａ鷹）で１４００．Ａ
形成し、その上にグラファイトをターゲットにし、Ａｒ
十Ｈ２＝ ９ｘ１σ５（Ｔｏｒｒ） 、 Ａｒ ：Ｈ＝
１ ： ４ 、１３．５６（ＭＨｚ） 。
面を１３．５８ （ｌｖｉＨｚ） 、 ０．９ （ＫＷ
） 、 Ａｒ： ８ Ｘ １０−”（Ｔｏｒｒ）のグ
ロー放電で２秒間表面処理し、その上で、Ａｑを高周波
スパッタリング［１３，５ｅ （ＭＨｚ） 、 ０．４
（ＫＷ） 、 Ａｒ ８Ｘ１０−３（Ｔｏｒｒ）］法で
、平均、模写換算５へのスパッタ蒸着を行い、引き続き
、Ｔｉを高周波マグネトロンスパッタリング法で４ＯＯ
（−八か〕の高速でスパッタ蒸着し、突起高さ８０人、
突起密度１ｏケ／（μｍ） のチタンの異常析出突起を
もつ下地層を５００人形成し、その上に高周波マグネト
ロンスパッタリング法で、Ｃｏ−Ｃｒ （Ｃｒ ：２０
．４ｗｔ％）垂直磁化膜を６０（Ａ鷹）で１４００．Ａ
形成し、その上にグラファイトをターゲットにし、Ａｒ
十Ｈ２＝ ９ｘ１σ５（Ｔｏｒｒ） 、 Ａｒ ：Ｈ＝
１ ： ４ 、１３．５６（ＭＨｚ） 。
１、ｏ（ＫＷ）でダイアモンド状硬質炭素膜を１００人
酉己し、更にパーフルオロポリエーテルンテフルオス社
製の１フオンプリンＺ−２５”を５０八塗布し、８ミリ
幅の磁気テープとした。−方比較例は、同じ高分子フィ
ルム上に、直径１５０へのＳ ｘ ０２微粒子を平均１
５ケ／ （ μｍ ）の密度で、ボリエヌテル樹脂を厚
み７０への塗布厚で固定した層を形成し、その上に、７
０（八か）でチタンを高周波スパッタリングし、４００
への下地層を形成し、他の膜は実施例と同一条件で形成
し、同じく８ミリ幅の磁気テープとした。
酉己し、更にパーフルオロポリエーテルンテフルオス社
製の１フオンプリンＺ−２５”を５０八塗布し、８ミリ
幅の磁気テープとした。−方比較例は、同じ高分子フィ
ルム上に、直径１５０へのＳ ｘ ０２微粒子を平均１
５ケ／ （ μｍ ）の密度で、ボリエヌテル樹脂を厚
み７０への塗布厚で固定した層を形成し、その上に、７
０（八か）でチタンを高周波スパッタリングし、４００
への下地層を形成し、他の膜は実施例と同一条件で形成
し、同じく８ミリ幅の磁気テープとした。
両者のテープを用い、改造した８ミリビデオにより、記
録再生し、出力を比較した。用いた磁気ヘッドは、ギャ
ップ長０．１８μｍのメタルインギャップ型のアモルフ
ァスヘッドで、記録波長０．４５μｍを記録し、再生出
力を比較した。２０°Ｃ１５％ＲＨでくり返し再生を行
った結果、実施例は、５０回目チー０．２ （ｄＢ）
、 １ｏｏ回目チー ０．３ （ｄＢ）〔初期の再生出
力をｏ （ｄＥ）とした〕であったのに対し、比較例は
２０回目チー１．０（ｄＢ）、 ５０回目で−２，２
（ｄＢ） 、 １００回目で−３，６（ｄＢ）と出力低
下が大きかった。
録再生し、出力を比較した。用いた磁気ヘッドは、ギャ
ップ長０．１８μｍのメタルインギャップ型のアモルフ
ァスヘッドで、記録波長０．４５μｍを記録し、再生出
力を比較した。２０°Ｃ１５％ＲＨでくり返し再生を行
った結果、実施例は、５０回目チー０．２ （ｄＢ）
、 １ｏｏ回目チー ０．３ （ｄＢ）〔初期の再生出
力をｏ （ｄＥ）とした〕であったのに対し、比較例は
２０回目チー１．０（ｄＢ）、 ５０回目で−２，２
（ｄＢ） 、 １００回目で−３，６（ｄＢ）と出力低
下が大きかった。
発明の効果
以上のように本発明によれば、耐久性の改善された、短
波長記録に適した磁気記録媒体が得られるといったすぐ
れた効果がある。
波長記録に適した磁気記録媒体が得られるといったすぐ
れた効果がある。
第１図は本発明の一実施例に係る磁気記録媒体の拡大断
面図、第２図は従来の磁気記録媒体の拡大断面図である
。 ４・・・・・・高分子フィルム、６・・・・・・異常析
出突起、８・・・−・・強磁性金属薄膜。
面図、第２図は従来の磁気記録媒体の拡大断面図である
。 ４・・・・・・高分子フィルム、６・・・・・・異常析
出突起、８・・・−・・強磁性金属薄膜。
Claims (1)
- 高分子フィルム上に下地層をスパッタリング法で高速形
成し、異常析出突起を有する層とした上に強磁性金属薄
膜を配したことを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63012965A JPH01189029A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63012965A JPH01189029A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01189029A true JPH01189029A (ja) | 1989-07-28 |
Family
ID=11819962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63012965A Pending JPH01189029A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01189029A (ja) |
-
1988
- 1988-01-22 JP JP63012965A patent/JPH01189029A/ja active Pending
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