JPH01196834A - 電気泳動装置 - Google Patents
電気泳動装置Info
- Publication number
- JPH01196834A JPH01196834A JP2223488A JP2223488A JPH01196834A JP H01196834 A JPH01196834 A JP H01196834A JP 2223488 A JP2223488 A JP 2223488A JP 2223488 A JP2223488 A JP 2223488A JP H01196834 A JPH01196834 A JP H01196834A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- tank
- center
- vessel
- glass powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体素子の表面安定化のためにガラス微粉
末を付着させパフシベーシッンを行うために用いる電気
泳動装置に関する。
末を付着させパフシベーシッンを行うために用いる電気
泳動装置に関する。
バンシベーシッン材料としてガラスを用いる場合、従来
は電気泳動法によりガラス微粉末を半導体素体表面に付
着させる方法が、その後の焼成で均一なガラス膜を形成
できるので採用されている。
は電気泳動法によりガラス微粉末を半導体素体表面に付
着させる方法が、その後の焼成で均一なガラス膜を形成
できるので採用されている。
第２図はそのための装置を示し、電着槽１の中にガラス
微粉末をアルコールに懸濁させた液２を収容し、この液
中に半導体ウニ）Ｘ３を支持した陰極板４とそれに平行
に対向する陽極板５を浸漬し、アンモニアガスを導入管
６より噴出させながら両電極間に直流電圧をかけること
により電気泳動法を行う。
微粉末をアルコールに懸濁させた液２を収容し、この液
中に半導体ウニ）Ｘ３を支持した陰極板４とそれに平行
に対向する陽極板５を浸漬し、アンモニアガスを導入管
６より噴出させながら両電極間に直流電圧をかけること
により電気泳動法を行う。
ところが、第２図のような装置で電気泳動法を行うと、
粒径の大きい例えば１０−を超える径のガラス粉末も半
導体ウェハ３に付着しやすく、焼成時に空隙の少ない滑
らかなパンシベーシツン膜ができにくいため、特性の安
定した素子が製造しにくいという欠点があった。しかも
この現象は、処理枚数が増加するほど顕著になるため、
処理枚数が制限され、装置の利用効率を高めることがで
きなかった０粒径の大きい粉末を付着させないためには
、アルコールに懸濁させるガラス粉末を微細化すればよ
いが、そのためにはグラインド作業を多くしなければな
らず、不純物が多く入る欠点が生ずる。
粒径の大きい例えば１０−を超える径のガラス粉末も半
導体ウェハ３に付着しやすく、焼成時に空隙の少ない滑
らかなパンシベーシツン膜ができにくいため、特性の安
定した素子が製造しにくいという欠点があった。しかも
この現象は、処理枚数が増加するほど顕著になるため、
処理枚数が制限され、装置の利用効率を高めることがで
きなかった０粒径の大きい粉末を付着させないためには
、アルコールに懸濁させるガラス粉末を微細化すればよ
いが、そのためにはグラインド作業を多くしなければな
らず、不純物が多く入る欠点が生ずる。
本発明の課題は、粒径の大きいガラス粉末も混じた懸濁
液を用いても、比較的粒径の小さいガラス粉末を選択的
に半導体素体の表面に付着させることができ、空隙の少
ない滑らかなバンシベーシッン膜を形成して特性の安定
した半導体素子の製造に用いることのできる電気泳動装
置を提供することにある。
液を用いても、比較的粒径の小さいガラス粉末を選択的
に半導体素体の表面に付着させることができ、空隙の少
ない滑らかなバンシベーシッン膜を形成して特性の安定
した半導体素子の製造に用いることのできる電気泳動装
置を提供することにある。
上記の課題を解決するために、本発明の装置はガラス微
粉末懸濁液を収容する円筒状容器が軸心の周りに回転可
能であり、容器の軸心部に外面に半導体素体を支持する
陰極体、容器の周壁内面に陽極板を固定されたものとす
る。
粉末懸濁液を収容する円筒状容器が軸心の周りに回転可
能であり、容器の軸心部に外面に半導体素体を支持する
陰極体、容器の周壁内面に陽極板を固定されたものとす
る。
ガラス微粉末懸濁液を収容した容器を回転させることに
より、遠心力で粒径の大きいガラス粉末が容器の外側に
移動し、容器の回転中心部に位置する陰極体の外面にあ
る半導体素体には粒径の小さいガラス粉末だけが付着す
る。
より、遠心力で粒径の大きいガラス粉末が容器の外側に
移動し、容器の回転中心部に位置する陰極体の外面にあ
る半導体素体には粒径の小さいガラス粉末だけが付着す
る。
第１図（ａ）、（ｂｌは本発明の一実施例を示し、ｆａ
）は断面図、（ｂ）は平面図であり、第２図と共通の部
分には同一の符号が付されている０円筒状の電着槽１に
は内側に陽極板５が張られており、底面には電源に接続
される中心軸の周りに八角柱状の半導体ウェハ３の支持
面４１を有する陰極体４が固定されている。陽極板５と
支持面４１の間隔は２〜４ｃｍとする。この電着槽１は
駆動源７により陰極体を中心として回転させることがで
きる。既にエツチングによりメサ溝を形成したウェハ３
をこの装置の各支持面４１に取付けたのち、ガラス微粉
末を懸濁させたイソプロピルアルコールを槽１内に入れ
、両極４，５間に５０〜５００Ｖの直流電圧を印加し、
ガス導入管６からアンモニアガスを吹き込みながら、電
着槽を２０〜２００ｒｐｍの回転数で回転させて電気泳
動法を行う、このあとメサ溝の内面を除くウェハ面に付
着したガラス粉末を除去してから焼成を行うと、メサ溝
内に露出したＰＮ接合を保護するガラスバッシベーシッ
ン膜が得られる。
）は断面図、（ｂ）は平面図であり、第２図と共通の部
分には同一の符号が付されている０円筒状の電着槽１に
は内側に陽極板５が張られており、底面には電源に接続
される中心軸の周りに八角柱状の半導体ウェハ３の支持
面４１を有する陰極体４が固定されている。陽極板５と
支持面４１の間隔は２〜４ｃｍとする。この電着槽１は
駆動源７により陰極体を中心として回転させることがで
きる。既にエツチングによりメサ溝を形成したウェハ３
をこの装置の各支持面４１に取付けたのち、ガラス微粉
末を懸濁させたイソプロピルアルコールを槽１内に入れ
、両極４，５間に５０〜５００Ｖの直流電圧を印加し、
ガス導入管６からアンモニアガスを吹き込みながら、電
着槽を２０〜２００ｒｐｍの回転数で回転させて電気泳
動法を行う、このあとメサ溝の内面を除くウェハ面に付
着したガラス粉末を除去してから焼成を行うと、メサ溝
内に露出したＰＮ接合を保護するガラスバッシベーシッ
ン膜が得られる。
第１図の装置により電気泳動法により付着したガラス微
粒子は粒径が７〜８ｎ以下であり、焼成時に空隙が少な
く気泡率の少ない滑らかなパフシベーシッン膜が得られ
た。その結果、逆方向のもれ電流が小さく、逆方向特性
のソフトなものが少なくなって耐圧が向上し、組立後の
高温電圧印加試験でもソフトな逆方向特性に劣化するも
のも少なくなった。
粒子は粒径が７〜８ｎ以下であり、焼成時に空隙が少な
く気泡率の少ない滑らかなパフシベーシッン膜が得られ
た。その結果、逆方向のもれ電流が小さく、逆方向特性
のソフトなものが少なくなって耐圧が向上し、組立後の
高温電圧印加試験でもソフトな逆方向特性に劣化するも
のも少なくなった。
本発明によれば、電気泳動装置の陰極を容器の中心に、
陽極を容器内壁に固定すると共に容器ごと回転させるこ
とにより、容器内の懸濁液のガラス粒子のうち粗いもの
は陽極側へ押しやられ、遠心力の小さな中央部にある微
細なガラス粒子のみが陰橋上に支持される半導体素体に
電着するため、気泡率の小さなパンシベーシッン膜を形
成することが可能になり、半導体素子の特性の向上、安
定に著しい効果をもたらした。さらに陽極と陰極の間に
のみ懸濁液が存在し、容器の内部空間が有効に利用され
、液および装置の利用効率が高い。
陽極を容器内壁に固定すると共に容器ごと回転させるこ
とにより、容器内の懸濁液のガラス粒子のうち粗いもの
は陽極側へ押しやられ、遠心力の小さな中央部にある微
細なガラス粒子のみが陰橋上に支持される半導体素体に
電着するため、気泡率の小さなパンシベーシッン膜を形
成することが可能になり、半導体素子の特性の向上、安
定に著しい効果をもたらした。さらに陽極と陰極の間に
のみ懸濁液が存在し、容器の内部空間が有効に利用され
、液および装置の利用効率が高い。
第１図（５）、（ｂ）は本発明の一実施例の装置を示し
ｆａｔは断面図、 （ｂｌは平面図、第２図は従来装置
の断面図である。
ｆａｔは断面図、 （ｂｌは平面図、第２図は従来装置
の断面図である。
Claims (1)
- １）ガラス微粉末懸濁液を収容する円筒状容器が軸心の
周りに回転可能であり、該容器の軸心部に外面に半導体
素体を支持する陰極体、容器の周壁内面に陽極板がそれ
ぞれ固定されたことを特徴とする電気泳動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2223488A JPH01196834A (ja) | 1988-02-02 | 1988-02-02 | 電気泳動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2223488A JPH01196834A (ja) | 1988-02-02 | 1988-02-02 | 電気泳動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01196834A true JPH01196834A (ja) | 1989-08-08 |
Family
ID=12077099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2223488A Pending JPH01196834A (ja) | 1988-02-02 | 1988-02-02 | 電気泳動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01196834A (ja) |
-
1988
- 1988-02-02 JP JP2223488A patent/JPH01196834A/ja active Pending
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