JPH01210822A - ロータリーエンコーダ用ディスク - Google Patents
ロータリーエンコーダ用ディスクInfo
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- JPH01210822A JPH01210822A JP3638388A JP3638388A JPH01210822A JP H01210822 A JPH01210822 A JP H01210822A JP 3638388 A JP3638388 A JP 3638388A JP 3638388 A JP3638388 A JP 3638388A JP H01210822 A JPH01210822 A JP H01210822A
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- Japan
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- disk
- resin
- glass
- thereafter
- stamper
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- Pending
Links
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Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は光学式のローウリ−エンコーダ用ディスクに関
するものである。
するものである。
（従来の技術とその課題）
光学式ロータリーエンコーダは被移動体の回転角度位置
などを検出するセンサーとして多くの分野で利用されて
いることは周知のことである。そして、このエンコーダ
内には多数のスリットが放射状に形成されたディスクが
収納されており、このスリットを光学的に検出すること
により被移動体の角度位置を制器するものである。
などを検出するセンサーとして多くの分野で利用されて
いることは周知のことである。そして、このエンコーダ
内には多数のスリットが放射状に形成されたディスクが
収納されており、このスリットを光学的に検出すること
により被移動体の角度位置を制器するものである。
しかるに、この種口−タリーエンコーダに使用されてい
る位置検出用のディスクの製造は大路次に示す如くの工
程によってなされる。即ち、ガラス盤上にスパッタリン
グなどの薄膜形成手段によって金属膜を被るし、この金
属膜をエツチングすることによりスリットを形成してい
るが、その製造工程はｌとなるため製品は高価となって
いる。
る位置検出用のディスクの製造は大路次に示す如くの工
程によってなされる。即ち、ガラス盤上にスパッタリン
グなどの薄膜形成手段によって金属膜を被るし、この金
属膜をエツチングすることによりスリットを形成してい
るが、その製造工程はｌとなるため製品は高価となって
いる。
そこで、廉価なディスクを得るためには、機械的に打ち
抜かれた金属板からなるディスクを用い、これにスリッ
トをレジストパターンで形成し、エツチング処理したも
のがあるが、上記したものに比べて分解能が低い。
抜かれた金属板からなるディスクを用い、これにスリッ
トをレジストパターンで形成し、エツチング処理したも
のがあるが、上記したものに比べて分解能が低い。
ところで、上記した各Ｈ７Ｂ方法によって１７られたデ
ィスクはいずれも金属部分を備えているため、腐蝕し易
く耐久性が劣るなどの問題点がある。
ィスクはいずれも金属部分を備えているため、腐蝕し易
く耐久性が劣るなどの問題点がある。
（課題を解決するための手段）
本発明は上記した課題を解決するためになされたもので
あり、プラスナック樹脂を基板とした円盤状のディスク
に形成した放射状のスリット内に、一定の光を透過また
は反射する紫外線硬化材を埋設したことを特徴とするロ
ータリーエンコーダ用ディスクを促供することにより、
金属部分を右しない耐久性を有するロータリーエンコー
ダ用ディスクをｔ７る。
あり、プラスナック樹脂を基板とした円盤状のディスク
に形成した放射状のスリット内に、一定の光を透過また
は反射する紫外線硬化材を埋設したことを特徴とするロ
ータリーエンコーダ用ディスクを促供することにより、
金属部分を右しない耐久性を有するロータリーエンコー
ダ用ディスクをｔ７る。
（実 施 例）
第１図は本発明になるロータリーエンコーダ用ディスク
を得るための１Ｊ造工程図、第２図は完成されたディス
クの外観斜視図、第３図、第４図は第１図に示す工程に
Ｊ３ける要素の斜視図である。
を得るための１Ｊ造工程図、第２図は完成されたディス
クの外観斜視図、第３図、第４図は第１図に示す工程に
Ｊ３ける要素の斜視図である。
ロータリーエンコーダ用ディスクの”Ａ ’ＩＮ 工程
を第１図ａ〜ｆの工程に沿って順次説明する。
を第１図ａ〜ｆの工程に沿って順次説明する。
先ず、第１図ａおよび第３図に示す如く、表面を研磨し
、洗浄した所定の厚みの円盤状のガラス盤１を用意し、
その上に例えばポジ用のホトレジスト膜２をスピンノー
によって形成した後ベーキング処理を行なう。そして、
ホトレジスト膜２が形成されたガラスＰ！ＡＩ上に対し
て同図すおよび第４図に示す如く、レンズ３により収束
されたレーザ光または電子ビームなどの光線りによって
放射状のスリットパターン４を多数本作図してホトレジ
スト膜２を感光させる。なお、このスリットパターン４
はホトマスクによる露光にって形成してもよい。その後
、このスリットパターンが描画されたガラス１１を現像
、水洗、乾燥した後再びベーキングを？ｊなって、第１
図Ｃに示す如くのガラス原１！Ａ５を得る。
、洗浄した所定の厚みの円盤状のガラス盤１を用意し、
その上に例えばポジ用のホトレジスト膜２をスピンノー
によって形成した後ベーキング処理を行なう。そして、
ホトレジスト膜２が形成されたガラスＰ！ＡＩ上に対し
て同図すおよび第４図に示す如く、レンズ３により収束
されたレーザ光または電子ビームなどの光線りによって
放射状のスリットパターン４を多数本作図してホトレジ
スト膜２を感光させる。なお、このスリットパターン４
はホトマスクによる露光にって形成してもよい。その後
、このスリットパターンが描画されたガラス１１を現像
、水洗、乾燥した後再びベーキングを？ｊなって、第１
図Ｃに示す如くのガラス原１！Ａ５を得る。
しかる後、第１図ｄに示す如くガラス原盤５上にニッケ
ル膜６を電鋳によって形成してプラスチック成形用の金
型であるニッケル雷紡のスタンパ７を形成する。なお、
このスタンパ７を１７るに際して、上記ホトレジストを
ネガタイプのものを使用した場合にはスタンパをレプリ
カして使用することになり、また上記したポジタイプの
ホトレジス１へを使用した時には、スタンパをモのまま
使用するか、または２回レプリカしたものを用いる。
ル膜６を電鋳によって形成してプラスチック成形用の金
型であるニッケル雷紡のスタンパ７を形成する。なお、
このスタンパ７を１７るに際して、上記ホトレジストを
ネガタイプのものを使用した場合にはスタンパをレプリ
カして使用することになり、また上記したポジタイプの
ホトレジス１へを使用した時には、スタンパをモのまま
使用するか、または２回レプリカしたものを用いる。
そして、このスタンパ７を！：）Ｊ出成形殿の金型にセ
ットしてキャビティ内にプラスチック樹脂を注入して、
第１図ｅに示す如くの透明なプラスチック円盤のレプリ
カ（基板）８を冑だ後、第１図ｒに承りようにスリット
パターン（溝）４内に紫外線硬化塗料又は樹脂９を埋め
込み、紫外線Ｐを照射して樹脂９を硬化させることによ
り、最終的に第２図に示す如くの樹脂性のロータリーエ
ンコーダ用ディスク１０を得ることができる。なお、上
記紫外線硬化塗料（樹脂）はある一定の光を反射または
透過Ｊるものを用いることにより、反射型または透過型
のロータリーエンコーダ用ディスクとして用いることが
できる。
ットしてキャビティ内にプラスチック樹脂を注入して、
第１図ｅに示す如くの透明なプラスチック円盤のレプリ
カ（基板）８を冑だ後、第１図ｒに承りようにスリット
パターン（溝）４内に紫外線硬化塗料又は樹脂９を埋め
込み、紫外線Ｐを照射して樹脂９を硬化させることによ
り、最終的に第２図に示す如くの樹脂性のロータリーエ
ンコーダ用ディスク１０を得ることができる。なお、上
記紫外線硬化塗料（樹脂）はある一定の光を反射または
透過Ｊるものを用いることにより、反射型または透過型
のロータリーエンコーダ用ディスクとして用いることが
できる。
このような製造工程によって得たディスク１０は、従来
のディスクに比べて金属部分がまったく存在しないため
腐蝕がなく耐久性が向上する。また、その’ＦＪ造工程
は従来の高価なガラスマスク板によるスリットのレプリ
カに対して、安価なニッケル電鋳スタンパが使用でき、
その結果、廉価なディスクを１１にとができる。
のディスクに比べて金属部分がまったく存在しないため
腐蝕がなく耐久性が向上する。また、その’ＦＪ造工程
は従来の高価なガラスマスク板によるスリットのレプリ
カに対して、安価なニッケル電鋳スタンパが使用でき、
その結果、廉価なディスクを１１にとができる。
（発明の効果）
以上詳述した如く、本発明になるロータリーエンコーダ
用ディスクは従来のディスクに比べて金属部分がないた
め、腐蝕などが生じるようなこ、とがなく耐久性の高い
ものとなるなどの特長がある。
用ディスクは従来のディスクに比べて金属部分がないた
め、腐蝕などが生じるようなこ、とがなく耐久性の高い
ものとなるなどの特長がある。
第１図ａ−ｆは本発明になるロータリーエンコーダ用デ
ィスクを得るための製造工程図、第２図は完成されたデ
ィスクの外観斜視図、第３図、第４図は第１図に示す工
程における要素の斜視図である。 ４・・・スリットパターン、８・・・基板、９・・・紫
外ＴｆＡ硬化材、１０・・・ロータリーエンコーダ用デ
ィスク。 永頂
ィスクを得るための製造工程図、第２図は完成されたデ
ィスクの外観斜視図、第３図、第４図は第１図に示す工
程における要素の斜視図である。 ４・・・スリットパターン、８・・・基板、９・・・紫
外ＴｆＡ硬化材、１０・・・ロータリーエンコーダ用デ
ィスク。 永頂
Claims (1)
- プラスチック樹脂を基板とした円盤状のディスクに形成
した放射状のスリット内に、一定の光を透過または反射
する紫外線硬化材を埋設したことを特徴とするロータリ
ーエンコーダ用ディスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3638388A JPH01210822A (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 | ロータリーエンコーダ用ディスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3638388A JPH01210822A (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 | ロータリーエンコーダ用ディスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01210822A true JPH01210822A (ja) | 1989-08-24 |
Family
ID=12468323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3638388A Pending JPH01210822A (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 | ロータリーエンコーダ用ディスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01210822A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03137516A (ja) * | 1989-10-14 | 1991-06-12 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 目盛り構造体を有する合成樹脂製目盛り担体 |
-
1988
- 1988-02-18 JP JP3638388A patent/JPH01210822A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03137516A (ja) * | 1989-10-14 | 1991-06-12 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 目盛り構造体を有する合成樹脂製目盛り担体 |
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