JPH01217831A - 開放式ｘ線管の自動エージング装置 - Google Patents
開放式ｘ線管の自動エージング装置Info
- Publication number
- JPH01217831A JPH01217831A JP63039510A JP3951088A JPH01217831A JP H01217831 A JPH01217831 A JP H01217831A JP 63039510 A JP63039510 A JP 63039510A JP 3951088 A JP3951088 A JP 3951088A JP H01217831 A JPH01217831 A JP H01217831A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- time
- ray tube
- load
- vacuum gauge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、開放式Ｘ線管のターゲットに吸着したガスを
放出させるための自動エージング装置に関する。
放出させるための自動エージング装置に関する。
［従来の技術］
開放式Ｘ線管は、真空容器を大気にしてターゲットや電
子銃フィラメントを交換できる利点があるが、真空容器
を再び排気して真空に戻した後は、Ｘ線管を実際に使用
する前に、ターゲットの吸着ガスを放出させておく必要
がある。このようなガス放出作業をエージングと呼ぶ。
子銃フィラメントを交換できる利点があるが、真空容器
を再び排気して真空に戻した後は、Ｘ線管を実際に使用
する前に、ターゲットの吸着ガスを放出させておく必要
がある。このようなガス放出作業をエージングと呼ぶ。
従来のエージング方法は、作業者が、所定の手順に従っ
て、Ｘ線管の管電圧と管電流を段階的に増加させていく
ものである。すなわち、一定の時間だけＸ線管に所定の
負荷をかけたら、負荷を増加してまた一定の時間だけＸ
線管に負荷をかけるというもので、この作業を繰り返し
て、そのＸ線管の最大負荷まで持っていくものである。
て、Ｘ線管の管電圧と管電流を段階的に増加させていく
ものである。すなわち、一定の時間だけＸ線管に所定の
負荷をかけたら、負荷を増加してまた一定の時間だけＸ
線管に負荷をかけるというもので、この作業を繰り返し
て、そのＸ線管の最大負荷まで持っていくものである。
その際、Ｘ線管の真空容器内の圧力を真空計で監視しな
がらエージングを行い、圧力が急激に上昇するよう
゛なら負荷を減少させるなどの措置をとっている。
がらエージングを行い、圧力が急激に上昇するよう
゛なら負荷を減少させるなどの措置をとっている。
［発明が解決しようとする課題］
上述した従来のエージング方法では、作業者がＸ線管の
高圧電源に付きっきりでその操作をしなければならない
。しかも、ターゲットからのガス放出を適度に抑えなが
ら、Ｘ線管の管電圧と管電流を増加させていくのは、面
倒な作業である。
高圧電源に付きっきりでその操作をしなければならない
。しかも、ターゲットからのガス放出を適度に抑えなが
ら、Ｘ線管の管電圧と管電流を増加させていくのは、面
倒な作業である。
以上の点に鑑み、本発明の目的は、作業者の手を煩わす
こと無く開放式ｘ１！管のエージングを自動的に実施で
きる自動エージング装置を提供することにある。
こと無く開放式ｘ１！管のエージングを自動的に実施で
きる自動エージング装置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するため、本発明に係る自動エージング
装置は次の構成要素を有する。
装置は次の構成要素を有する。
（ａ） Ｘ線管の真空容器内の圧力を検出する真空計。
（ｂ）前記真空計で検出された圧力に基づいて、所定の
手順に従って、Ｘ線管の高圧電源に対して管電圧および
管電流の指示を与える制御装置。
手順に従って、Ｘ線管の高圧電源に対して管電圧および
管電流の指示を与える制御装置。
この自動エージング装置をより具体化すれば、次の構成
要素を有することができる。
要素を有することができる。
（ａ） Ｘ線管の真空容器内の圧力を検出する真空計。
（ｂ）時間の経過を出力するタイマー。
（ｃ）前記真空計に接続されて、前記検出圧力が所定の
基準圧力を下回ったら出力信号を発生する基準圧力判定
手段。
基準圧力を下回ったら出力信号を発生する基準圧力判定
手段。
（ｄ）前記真空計と前記タイマーに接続されて、前記検
出圧力の上昇速度が所定の制限速度を越えたら出力信号
を発生する圧力上昇速度判定手段。
出圧力の上昇速度が所定の制限速度を越えたら出力信号
を発生する圧力上昇速度判定手段。
（ｅ）前記真空計に接続されて、前記検出圧力が所定の
監視圧力を越えたら出力信号を発生する監視圧力判定手
段。
監視圧力を越えたら出力信号を発生する監視圧力判定手
段。
（ｆ）前記真空計と前記タイマーに接続されて、Ｘ線管
の負荷を増加させた時点から前記検出圧力が極大値とな
る時点までの上昇時間が、所定の第１制限時間を越えた
ら、出力信号を発生する上昇時間判定手段。
の負荷を増加させた時点から前記検出圧力が極大値とな
る時点までの上昇時間が、所定の第１制限時間を越えた
ら、出力信号を発生する上昇時間判定手段。
ｒＱ）前記真空計と前記タイマーに接続されて、Ｘ線管
の負荷を増加させた時点から前記検出圧力が再び前記基
準圧力を下回る時点までの復元時間が、所定の第２制限
時間を越えたら、出力信号を発生する復元時間判定手段
。
の負荷を増加させた時点から前記検出圧力が再び前記基
準圧力を下回る時点までの復元時間が、所定の第２制限
時間を越えたら、出力信号を発生する復元時間判定手段
。
（ｈ）前記基準圧力判定手段からの出力信号を受けたと
きにＸ線管の負荷を増加させる指令を出力し、前記圧力
上昇速度判定手段と前記監視圧力判定手段と前記上昇時
間判定手段と前記復元時間判定手段の任意の手段から出
力信号を受けたときにＸ線管の負荷を減少させる指令を
出力する、制御手段。
きにＸ線管の負荷を増加させる指令を出力し、前記圧力
上昇速度判定手段と前記監視圧力判定手段と前記上昇時
間判定手段と前記復元時間判定手段の任意の手段から出
力信号を受けたときにＸ線管の負荷を減少させる指令を
出力する、制御手段。
［作用］
この自動エージング装置では、Ｘ線管の真空容器内の圧
力を真空計で検出し、その検出圧力に基づいて、Ｘ線管
の管電圧および管電流を制御している。すなわち、制御
装置に記憶された所定の手順に従って、Ｘ線管の負荷が
段階的に増加していくことになる。その際、検出圧力に
基づいて、負荷を増加または減少させる時期を判断して
いる。
力を真空計で検出し、その検出圧力に基づいて、Ｘ線管
の管電圧および管電流を制御している。すなわち、制御
装置に記憶された所定の手順に従って、Ｘ線管の負荷が
段階的に増加していくことになる。その際、検出圧力に
基づいて、負荷を増加または減少させる時期を判断して
いる。
これにより、作業者の手を煩わせずに、Ｘ線管のエージ
ングが自動化できる。
ングが自動化できる。
より、具体的には、Ｘ線管の負荷を適切に増加または減
少させるために、次の五つの判定基準を利用することが
できる。すなわち、 （イ）検出圧力が所定の基準圧力を下回ったか。
少させるために、次の五つの判定基準を利用することが
できる。すなわち、 （イ）検出圧力が所定の基準圧力を下回ったか。
（ロ）検出圧力の上昇速度が所定の制限速度を越えたか
。
。
（ハ）検出圧力が所定の監視圧力を越えたか。
（ニ）Ｘ線管の負荷を増加させた時点から検出圧力が極
大値となる時点までの上昇時間が、所定の第１制限時間
を越えたか。
大値となる時点までの上昇時間が、所定の第１制限時間
を越えたか。
（ホ）Ｘ線管の負荷を増加させた時点から検出圧力が再
び前記基準圧力を下回る時点までの復元時間が、所定の
第２制限時間を越えたか。
び前記基準圧力を下回る時点までの復元時間が、所定の
第２制限時間を越えたか。
以上の五つの判定を実行する各手段を制御装置内に設け
ることにより、Ｘ線管の負荷を適切に増加させていくこ
とができる。
ることにより、Ｘ線管の負荷を適切に増加させていくこ
とができる。
［実施例］
次に、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の一実施例のブロック図である。
Ｘ線管１０の真空容器１２の内部には、電子銃１４とタ
ーゲット１６が設置されている。真空容器１２には、ゲ
ート弁１８を介して、ターボ分子ポンプ２０が接続され
、ターボ分子ポンプ２０にはざらに油回転真空ポンプ２
２が接続されている。
ーゲット１６が設置されている。真空容器１２には、ゲ
ート弁１８を介して、ターボ分子ポンプ２０が接続され
、ターボ分子ポンプ２０にはざらに油回転真空ポンプ２
２が接続されている。
真空容器］２にはざらに、熱陰極電離真空計２４が接続
されている。
されている。
電子銃１４には高圧電源２６が接続され、この高圧電源
２６は高電圧発生部２８と高電圧！ｌ１ｆＪ御部３０と
を含む。高電圧制御部３０には制ｗＪ装置３２が接続さ
れている。真空計２４は、Ａ−Ｄ変換器３４を経て制御
装置３２に接続されている。
２６は高電圧発生部２８と高電圧！ｌ１ｆＪ御部３０と
を含む。高電圧制御部３０には制ｗＪ装置３２が接続さ
れている。真空計２４は、Ａ−Ｄ変換器３４を経て制御
装置３２に接続されている。
制６１１装置３２にはざらに、タイマー３６が接続され
ている。ターボ分子ポンプ２０と油回転真空ポンプ２２
は排気コントロー２３８で駆動制御され“、排気コント
ローラ３８はざらに、制御装置３２に接続されている。
ている。ターボ分子ポンプ２０と油回転真空ポンプ２２
は排気コントロー２３８で駆動制御され“、排気コント
ローラ３８はざらに、制御装置３２に接続されている。
排気コントローラ３８は、自動エージング動作において
は制御装置３２から指令を受けることはないが、制御装
置３２上で排気系の操作も命令できるようになっている
。
は制御装置３２から指令を受けることはないが、制御装
置３２上で排気系の操作も命令できるようになっている
。
第２図は、制御装置３２の構成を示したブロック図であ
る。制御装置３２には、五つの判定手段が含まれている
。すなわち、基準圧力判定手段４０、圧力上昇速度判定
手段４２、監視圧力判定手段４４、上昇時間判定手段４
６、復元時間判定手段４８である。そして、これらの五
つの判定手段には真空計２４の出力が入力される。また
、時間の経過を判断要素として利用する三つの判定手段
、すなわち、圧力上昇速度判定手段４２、上昇時間判定
手段４６、復元時間判定手段４８には、タイマー３６の
出力が入力される。五つの判定手段の出力はすべて制御
手段５０に入力され、その出力は高圧電ｍ２６に対する
指令信号となる。
る。制御装置３２には、五つの判定手段が含まれている
。すなわち、基準圧力判定手段４０、圧力上昇速度判定
手段４２、監視圧力判定手段４４、上昇時間判定手段４
６、復元時間判定手段４８である。そして、これらの五
つの判定手段には真空計２４の出力が入力される。また
、時間の経過を判断要素として利用する三つの判定手段
、すなわち、圧力上昇速度判定手段４２、上昇時間判定
手段４６、復元時間判定手段４８には、タイマー３６の
出力が入力される。五つの判定手段の出力はすべて制御
手段５０に入力され、その出力は高圧電ｍ２６に対する
指令信号となる。
次に、この実施例の動作を説明する。第１図において、
Ｘ線管１０の真空容器１２が大気にされて、例えばター
ゲット１６が交換されたと仮定する。その後、真空容器
１２はターボ分子ポンプ２０で所定の圧力まで真空排気
される。次に、制御装置３２のニージンクスタートボタ
ンを押して、Ｘ線管１０の自動エージングをスタートさ
せる。
Ｘ線管１０の真空容器１２が大気にされて、例えばター
ゲット１６が交換されたと仮定する。その後、真空容器
１２はターボ分子ポンプ２０で所定の圧力まで真空排気
される。次に、制御装置３２のニージンクスタートボタ
ンを押して、Ｘ線管１０の自動エージングをスタートさ
せる。
第３図は、自動エージング中の、真空容器１２内の圧力
Ｐと、Ｘ線管の管電圧Ｅと管電流Ｉを、時間の経過に沿
って示したグラフである。時刻ｔ。
Ｐと、Ｘ線管の管電圧Ｅと管電流Ｉを、時間の経過に沿
って示したグラフである。時刻ｔ。
において、エージングがスタートすると、まず、管電圧
Ｅ＝２０ｋＶ、管電流Ｉ＝１０ｍＡに初期設定される。
Ｅ＝２０ｋＶ、管電流Ｉ＝１０ｍＡに初期設定される。
ターゲットに電子ビームが衝突するので、当然、ターゲ
ットからはガス放出が起こり、圧力は急に上昇する。し
かし、いずれ圧力は下降を始め、所定の基準圧力１Ｏ−
４Ｐａ（パスカル）まで下がってくる（−Ａ点、時刻ｔ
１〉。すると、第２図に示す基準圧力判定手段４０から
出力信号が出て、制御手段５０に送られる。これを受け
て、制御手段５０は、高圧電源２６に負荷の増り口を指
令する。
ットからはガス放出が起こり、圧力は急に上昇する。し
かし、いずれ圧力は下降を始め、所定の基準圧力１Ｏ−
４Ｐａ（パスカル）まで下がってくる（−Ａ点、時刻ｔ
１〉。すると、第２図に示す基準圧力判定手段４０から
出力信号が出て、制御手段５０に送られる。これを受け
て、制御手段５０は、高圧電源２６に負荷の増り口を指
令する。
この実施例では、第１段階の負荷の増加は次のような手
順で実施される。まず、時刻ｔ１でＥ＝２２ｋＶにされ
、次に、Ｉ＝２０ｍＡにされる。
順で実施される。まず、時刻ｔ１でＥ＝２２ｋＶにされ
、次に、Ｉ＝２０ｍＡにされる。
その俊、順に、Ｅ＝２４ｋＶ、Ｉ＝４０ｍＡ、Ｅ＝２６
ｋＶ、Ｉ＝６０ｍＡと、管電圧Ｅは２ｋＶずつ、管電流
Ｉは２０ｍＡずつ交互に増加され、最終的にＥ＝３０ｋ
Ｖ、Ｉ＝１００ｍＡ１．：ＨＵ定される。以上で、第１
段階の負荷の増加が完了する。
ｋＶ、Ｉ＝６０ｍＡと、管電圧Ｅは２ｋＶずつ、管電流
Ｉは２０ｍＡずつ交互に増加され、最終的にＥ＝３０ｋ
Ｖ、Ｉ＝１００ｍＡ１．：ＨＵ定される。以上で、第１
段階の負荷の増加が完了する。
負荷が増加すると圧力が上昇し、再び下降してきて、基
準圧力１０’Ｐａまで下がる（８点、時刻ｔｚ）。そし
て、時刻ｔ１のときと同様に負荷が増加される。すなわ
ち、Ｅ＝２ｋＶずつ、■＝２０ｍＡずつ、交互に負荷が
増加され、最終的にＥ＝４０ｋＶ、Ｉ−ｌ−２Ｏ０にさ
れる。これで、第２段階の負荷の増加が完了する。
準圧力１０’Ｐａまで下がる（８点、時刻ｔｚ）。そし
て、時刻ｔ１のときと同様に負荷が増加される。すなわ
ち、Ｅ＝２ｋＶずつ、■＝２０ｍＡずつ、交互に負荷が
増加され、最終的にＥ＝４０ｋＶ、Ｉ−ｌ−２Ｏ０にさ
れる。これで、第２段階の負荷の増加が完了する。
圧力が上昇および下降して、再び基準圧力に達すると（
０点、時刻ｔ３）、第３段階の負荷の増加が実施される
。この時点では、すでに、管電流は最大電流２００ｍＡ
に達しているので、そのまま管電圧を増加させると、負
荷が大きくなり過ぎてしまう。そこで、これを避けるた
めに、まず、管電流を２００ｍＡから１００ｍＡに下げ
る。そして、管電圧を５０ｋＶに上げ、その後、管電流
を２０ｍＡずつ増加させる。最終的に、Ｅ＝５０ｋＶ、
Ｉ ＝ ２００ｍＡとなる。これで、第３段階の負荷の
増加が終了する。
０点、時刻ｔ３）、第３段階の負荷の増加が実施される
。この時点では、すでに、管電流は最大電流２００ｍＡ
に達しているので、そのまま管電圧を増加させると、負
荷が大きくなり過ぎてしまう。そこで、これを避けるた
めに、まず、管電流を２００ｍＡから１００ｍＡに下げ
る。そして、管電圧を５０ｋＶに上げ、その後、管電流
を２０ｍＡずつ増加させる。最終的に、Ｅ＝５０ｋＶ、
Ｉ ＝ ２００ｍＡとなる。これで、第３段階の負荷の
増加が終了する。
圧力が上昇および下降して、再び基準圧力に達すると（
０点、時刻ｔ４）、最終段階の負荷の増加が実施される
。この増加は、第３段階の負荷の増加と同様に実施され
、最終的に、Ｅ＝６０ｋＶ、Ｉ＝２００ｍＡとなる。
０点、時刻ｔ４）、最終段階の負荷の増加が実施される
。この増加は、第３段階の負荷の増加と同様に実施され
、最終的に、Ｅ＝６０ｋＶ、Ｉ＝２００ｍＡとなる。
圧力が上昇および下降して、再び基準圧力に達すると（
Ｅ点、時刻ｔ５）、ここでエージングが終了し、管電圧
と管電流がゼロに戻される。
Ｅ点、時刻ｔ５）、ここでエージングが終了し、管電圧
と管電流がゼロに戻される。
以上説明したような負荷増加手順は、制御装置内にあら
かじめ記憶させておくものであるが、各種のパラメータ
を外部から変更できるようにすることもできる。すなわ
ち、第３図では、管電圧は２０ｋＶ、３０ｋＶ、４０ｋ
Ｖ、！：、１０ｋＶ’ｆ”）設定されていったが、これ
をもつと細かく設定することもできる。ざらに、２０ｋ
Ｖから３０ｋＶに増加させるときには、第３図では、２
ｋＶ刻みで徐々に増加させているが、この刻みを別の値
にすることもできる。管電流についても、第３図とは異
なる設定、刻みを採用できる。
かじめ記憶させておくものであるが、各種のパラメータ
を外部から変更できるようにすることもできる。すなわ
ち、第３図では、管電圧は２０ｋＶ、３０ｋＶ、４０ｋ
Ｖ、！：、１０ｋＶ’ｆ”）設定されていったが、これ
をもつと細かく設定することもできる。ざらに、２０ｋ
Ｖから３０ｋＶに増加させるときには、第３図では、２
ｋＶ刻みで徐々に増加させているが、この刻みを別の値
にすることもできる。管電流についても、第３図とは異
なる設定、刻みを採用できる。
以上の説明は、特に負荷の増加手順を明らかにするため
に、負荷の増加および減少のための判定基準としては、
第２図の基準圧力判定手段４０だけが機能している例を
示した。この基準圧力による判定は、自動エージングの
ための判定としては最も基本的なものであり、この判定
基準だけが負荷の増加のためのものである。残りの四つ
の判定基準は、いずれも、ガス放出が多すぎた場合に機
能するものである。ガス放出が多すぎると、Ｘ線管内で
放電などの不安定現象が起き易く、また排気系にも負担
がかかり過ぎるので、負荷を減少させる必要がある。
に、負荷の増加および減少のための判定基準としては、
第２図の基準圧力判定手段４０だけが機能している例を
示した。この基準圧力による判定は、自動エージングの
ための判定としては最も基本的なものであり、この判定
基準だけが負荷の増加のためのものである。残りの四つ
の判定基準は、いずれも、ガス放出が多すぎた場合に機
能するものである。ガス放出が多すぎると、Ｘ線管内で
放電などの不安定現象が起き易く、また排気系にも負担
がかかり過ぎるので、負荷を減少させる必要がある。
第４図は、これら残りの四つの判定基準を説明する圧力
−時間グラフである。圧力が基準圧力Ｐ１まで下がると
（１点）、Ｘ線管の負荷が増加され、圧力は上昇する。
−時間グラフである。圧力が基準圧力Ｐ１まで下がると
（１点）、Ｘ線管の負荷が増加され、圧力は上昇する。
このときの圧力の上昇速度は、例えば８点からに点まで
の圧力上昇量ΔＰを経過時間Δｔで割り算して得た値（
ΔＰ／Δｔ）となる。実際は、制御装置の内部では、第
４図で示すよりも短い時間間隔で、上述の上昇速度を時
々刻々求めている。経過時間Δｔは、タイマー３６から
のクロック信号をカウントして求めることができる。得
られた圧力上昇速度は、所定の制限速度と比較され、所
定の制限速度よりも大きい場合は、ガス放出が多すぎる
と判断されて、Ｘ線管の負荷を減少させることになる。
の圧力上昇量ΔＰを経過時間Δｔで割り算して得た値（
ΔＰ／Δｔ）となる。実際は、制御装置の内部では、第
４図で示すよりも短い時間間隔で、上述の上昇速度を時
々刻々求めている。経過時間Δｔは、タイマー３６から
のクロック信号をカウントして求めることができる。得
られた圧力上昇速度は、所定の制限速度と比較され、所
定の制限速度よりも大きい場合は、ガス放出が多すぎる
と判断されて、Ｘ線管の負荷を減少させることになる。
このような動作は、第２図の圧力上昇速度判定手段４２
とそれに続く制御手段５０で実施される。
とそれに続く制御手段５０で実施される。
第４図に戻って、圧力はＧ点で極大値となる。
もし、極大値に達する前に圧力が監視圧力Ｐ２に達する
と、監視圧力判定手段４４が機能して、ガス放出が多す
ぎると判断され、負荷が下げられる。
と、監視圧力判定手段４４が機能して、ガス放出が多す
ぎると判断され、負荷が下げられる。
１点から極大値０点までの経過時間すなわち圧力上昇時
間Ｔ１が、所定の第１制限時間を越えると、上昇時間判
定手段４６が機能して、ガス放出がなかなかおざまらな
いと判断され、負荷が下げられる。第１制限時間は、タ
イマー３６であらかじめ設定しておくことができる。
間Ｔ１が、所定の第１制限時間を越えると、上昇時間判
定手段４６が機能して、ガス放出がなかなかおざまらな
いと判断され、負荷が下げられる。第１制限時間は、タ
イマー３６であらかじめ設定しておくことができる。
圧力が下降していくと再びＨ点で基準圧力を下回ること
になる。ここで、負荷の増加が再び実施される。ただし
、もし、Ｆ点からＨ点までの経過時間すなわち復元時間
Ｔ２が、所定の第２制限時間を越えていると、復元時間
判定手段４６が機能して、ガス放出がなかなかおさまら
ないと判断され、負荷が下げられる。実際は、Ｈ点に到
達する前に、Ｆ点からの経過時間が第２制限時間を越え
た時点で復元時間判定手段４６が機能する。第２゜制限
時間も、タイマー３６であらかじめ設定しておくことが
できる。
になる。ここで、負荷の増加が再び実施される。ただし
、もし、Ｆ点からＨ点までの経過時間すなわち復元時間
Ｔ２が、所定の第２制限時間を越えていると、復元時間
判定手段４６が機能して、ガス放出がなかなかおさまら
ないと判断され、負荷が下げられる。実際は、Ｈ点に到
達する前に、Ｆ点からの経過時間が第２制限時間を越え
た時点で復元時間判定手段４６が機能する。第２゜制限
時間も、タイマー３６であらかじめ設定しておくことが
できる。
負荷を下げる場合には、もう−度前段階の負荷に戻して
も良いし、前段階の負荷と現在の負荷との中間の値に戻
しても良い。
も良いし、前段階の負荷と現在の負荷との中間の値に戻
しても良い。
以上説明した動作をまとめると、第５図のフローチャー
トのようになる。第３図のグラフに示したエージングの
例は、第５図において、初期設定段階（ステップ５２）
と、基準圧力判定手段が機能して負荷が段階的に増加さ
れていく段階（ステップ５４，５６．５８の繰返し）と
を含むものであり、最後に負荷が解除されて（ステップ
６０）、自動エージングが終了する。ステップ６２〜７
０は、ガス放出が多すぎて負荷を下げる場合の手順であ
る。
トのようになる。第３図のグラフに示したエージングの
例は、第５図において、初期設定段階（ステップ５２）
と、基準圧力判定手段が機能して負荷が段階的に増加さ
れていく段階（ステップ５４，５６．５８の繰返し）と
を含むものであり、最後に負荷が解除されて（ステップ
６０）、自動エージングが終了する。ステップ６２〜７
０は、ガス放出が多すぎて負荷を下げる場合の手順であ
る。
［発明の効果コ
以上説明したように本発明は、Ｘ線管の真空容器内の圧
力を真空計で検出し、その検出圧力に基づいて、Ｘ線管
の管電圧および管電流を制御するようにしたので、作業
者の手を煩わせずに、Ｘ線管の自動エージングが可能と
なった。
力を真空計で検出し、その検出圧力に基づいて、Ｘ線管
の管電圧および管電流を制御するようにしたので、作業
者の手を煩わせずに、Ｘ線管の自動エージングが可能と
なった。
また、請求項２の発明では、負荷の増加または減少の判
断のために、五つの判定基準を利用するしている。した
がって、特に、ガス放出が多すぎた場合、その現象を多
角的な観点から判定することができ、適切に負荷を下げ
ることができて、放電などの不安定現象を事前に避ける
ことができる。
断のために、五つの判定基準を利用するしている。した
がって、特に、ガス放出が多すぎた場合、その現象を多
角的な観点から判定することができ、適切に負荷を下げ
ることができて、放電などの不安定現象を事前に避ける
ことができる。
従来の手動によるエージングではこのような多角的な観
点からの判定はまったく不可能である。
点からの判定はまったく不可能である。
第１図は本発明の一実施例のブロック図、第２図は制御
装置の構成を示すブロック図、第３図は圧力と負荷の時
間経過を示すグラフ、第４図は各種の判定基準を説明す
るための圧力−時間グラフ、 第５図はこの実施例のフローチャートである。 １０・・・Ｘ線管 １２・・・真空容器 ２４・・・真空計 ２６・・・高圧電源 ３２・・・制御装置 ３６・・・タイマー ４０・・・基準圧力判定手段 ４２・・・圧力上昇速度判定手段 ４４・・・監視圧力判定手段 ４６・・・上昇時間判定手段 ４８・・・復元時間判定手段 ５０・・・制御手段
装置の構成を示すブロック図、第３図は圧力と負荷の時
間経過を示すグラフ、第４図は各種の判定基準を説明す
るための圧力−時間グラフ、 第５図はこの実施例のフローチャートである。 １０・・・Ｘ線管 １２・・・真空容器 ２４・・・真空計 ２６・・・高圧電源 ３２・・・制御装置 ３６・・・タイマー ４０・・・基準圧力判定手段 ４２・・・圧力上昇速度判定手段 ４４・・・監視圧力判定手段 ４６・・・上昇時間判定手段 ４８・・・復元時間判定手段 ５０・・・制御手段
Claims (2)
- （１）次の構成要素を有する開放式Ｘ線管の自動エージ
ング装置。 （ａ）Ｘ線管の真空容器内の圧力を検出する真空計。 （ｂ）前記真空計で検出された圧力に基づいて、所定の
手順に従って、Ｘ線管の高圧電源に対して管電圧および
管電流の指示を与える制御装置。 - （２）次の構成要素を有する開放式Ｘ線管の自動エージ
ング装置。 （ａ）Ｘ線管の真空容器内の圧力を検出する真空計。 （ｂ）時間の経過を出力するタイマー。 （ｃ）前記真空計に接続されて、前記検出圧力が所定の
基準圧力を下回つたら出力信号を発生する基準圧力判定
手段。 （ｄ）前記真空計と前記タイマーに接続されて、前記検
出圧力の上昇速度が所定の制限速度を越えたら出力信号
を発生する圧力上昇速度判定手段。 （ｅ）前記真空計に接続されて、前記検出圧力が所定の
監視圧力を越えたら出力信号を発生する監視圧力判定手
段。 （ｆ）前記真空計と前記タイマーに接続されて、Ｘ線管
の負荷を増加させた時点から前記検出圧力が極大値とな
る時点までの上昇時間が、所定の第１制限時間を越えた
ら、出力信号を発生する上昇時間判定手段。 （ｇ）前記真空計と前記タイマーに接続されて、Ｘ線管
の負荷を増加させた時点から前記検出圧力が再び前記基
準圧力を下回る時点までの復元時間が、所定の第２制限
時間を越えたら、出力信号を発生する復元時間判定手段
。 （ｈ）前記基準圧力判定手段からの出力信号を受けたと
きにＸ線管の負荷を増加させる指令を出力し、前記圧力
上昇速度判定手段と前記監視圧力判定手段と前記上昇時
間判定手段と前記復元時間判定手段の任意の手段から出
力信号を受けたときにＸ線管の負荷を減少させる指令を
出力する、制御手段。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63039510A JP2761725B2 (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 | 開放式ｘ線管の自動エージング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63039510A JP2761725B2 (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 | 開放式ｘ線管の自動エージング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01217831A true JPH01217831A (ja) | 1989-08-31 |
| JP2761725B2 JP2761725B2 (ja) | 1998-06-04 |
Family
ID=12555037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63039510A Expired - Fee Related JP2761725B2 (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 | 開放式ｘ線管の自動エージング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2761725B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6149480A (en) * | 1998-02-24 | 2000-11-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming device fabrication method and fabrication apparatus |
| JP2006120457A (ja) * | 2004-10-21 | 2006-05-11 | Futaba Corp | エミッション安定化装置及びエミッション安定化方法 |
| JP2014002023A (ja) * | 2012-06-18 | 2014-01-09 | Anritsu Sanki System Co Ltd | Ｘ線検査装置 |
| CN112530769A (zh) * | 2020-11-26 | 2021-03-19 | 杭州凯龙医疗器械有限公司 | X射线管老练顺化装置及其操作方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54142989A (en) * | 1978-04-28 | 1979-11-07 | Toshiba Corp | Automatic aging unit |
| JPS5755736U (ja) * | 1980-09-16 | 1982-04-01 |
-
1988
- 1988-02-24 JP JP63039510A patent/JP2761725B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54142989A (en) * | 1978-04-28 | 1979-11-07 | Toshiba Corp | Automatic aging unit |
| JPS5755736U (ja) * | 1980-09-16 | 1982-04-01 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6149480A (en) * | 1998-02-24 | 2000-11-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming device fabrication method and fabrication apparatus |
| JP2006120457A (ja) * | 2004-10-21 | 2006-05-11 | Futaba Corp | エミッション安定化装置及びエミッション安定化方法 |
| JP2014002023A (ja) * | 2012-06-18 | 2014-01-09 | Anritsu Sanki System Co Ltd | Ｘ線検査装置 |
| CN112530769A (zh) * | 2020-11-26 | 2021-03-19 | 杭州凯龙医疗器械有限公司 | X射线管老练顺化装置及其操作方法 |
| CN112530769B (zh) * | 2020-11-26 | 2023-08-01 | 杭州凯龙医疗器械有限公司 | X射线管老练顺化装置及其操作方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2761725B2 (ja) | 1998-06-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2132264A (en) | Control system | |
| JPH01217831A (ja) | 開放式ｘ線管の自動エージング装置 | |
| JP2000038990A (ja) | 空気圧縮装置の制御装置および制御方法 | |
| JPS6070976A (ja) | 加速電源装置 | |
| US6967446B2 (en) | High pressure discharge lamp lighting apparatus and high pressure discharge lamp lighting method | |
| CN111251825A (zh) | 运行控制方法、装置、外挂式空调器和计算机存储介质 | |
| JPH04233607A (ja) | 伝達関数を有する被制御装置を少なくとも部分的に制御するための制御装置および方法 | |
| JP2972277B2 (ja) | スパツタイオンポンプの自動起動方法 | |
| JPH10106792A (ja) | インバータ式ｘ線高電圧装置 | |
| JPH03219091A (ja) | プラズマ処理装置 | |
| JPS61155872A (ja) | クライストロン試験装置 | |
| JP3684984B2 (ja) | 荷電粒子線加速装置 | |
| US4047778A (en) | Apparatus for converting CRT cathodes | |
| JPH07109560A (ja) | 放電脱ガス装置 | |
| JPH11144897A (ja) | 線形加速器用高周波電源の制御方法 | |
| JPS5863084A (ja) | 加速電源装置 | |
| JPH11111177A (ja) | Ｘ線管製造方法 | |
| JPS63123108A (ja) | 真空制御装置 | |
| JP2001356199A (ja) | 電子線照射装置 | |
| JPH0612996A (ja) | イオンビーム処理方法および装置 | |
| JP3731270B2 (ja) | 電子線照射装置 | |
| JPH0773807A (ja) | 電子管のエ−ジング装置 | |
| JPH0254850A (ja) | イオン処理装置の制御方法 | |
| JPH0636733A (ja) | Ｅｃｒイオン源搭載イオン注入装置のビーム電流制御方法 | |
| JPH11144663A (ja) | 電界放出形電子顕微鏡 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |