JPH01220125A - 垂直磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は垂直磁気記録媒体の製造方法に関するものであ
る。

［従来の技術］ 第５図に垂直磁気記録媒体１の断面図を示した。

垂直磁気記録媒体１は高分子フィルム２上に・母−マロ
イ等からなる軟磁性層３．更にその上にＣｏＣｒ合金等
の垂直磁気異方性をもつ垂直磁化層４を形成したもので
ある。

第６図に従来のこの種の製造装置の概略図を示した。

真空槽（図示せず）において２巻出しロール５に巻かれ
た長尺の高分子フィルム２を、ガイドロール６．６′を
通して巻取りロール７に巻取る搬送機構、ガイドロール
６と６′との間に高分子フィルム２を挾んで基板ホルダ
ー８，８′とターグット９゜９′とを対向して設置した
膜形成機構を設けている。

基板ホルダー８，８′には、高分子フィルム２を介して
ター’Ｉ’　ｙ　）　９　、９’側に押当て、リング１
０゜１０′（断面図）を具備しており、これが基板ホル
ダー８，８′の方向に移動することによシ、高分子フィ
ルム２を基板ホルダー８，８′に固定する役目をしてい
る。この構成を第７図に示した。

また、基板ホルダー９．９′には軟磁性層３．垂直磁化
層４の形成温度を制御するために水冷、ヒ−夕等の設備
がなされている。ターグツ）　９　、９’は軟磁性層３
．垂直磁化層４と同材質である。

巻出しロール５には高分子フィルム２の弛みを防ぐ為に
搬送と反対方向のトルクが常に働いている。

これを稼動させるには、停止した高分子フィルム２の幅
方向に張力を加えた状態（説明１図は示せず）にて、押
当てリング１０　、１０’によって高分子フィルム２を
基板ホルダー８，８′に固定させる。次に真空槽内にア
ルゴンガス等の不活性ガスを１０”〜１Ｏ−２Ｔｏｒｒ
程度に導入し、ターグット９゜９′に高電圧を加えるこ
とによりス・ぐツタ現象を起こさせ高分子フィルム２上
に軟磁性層３．垂直磁化膜４を所望する厚さに形成する
。スノやツタを停止させた後に押当てリング１０　、１
０’及び幅方向の張力を解除する。次に巻取りロール７
を回転することにより高分子フィルム２を移動させ２次
の膜形成に移る。

このようにして、スパッタと高分子フィルム２の移動を
繰シ替えすことによシ垂直磁気記録媒体■を断続に作製
することができる。

このような垂直磁気記録媒体１はプレス等を用いてドー
ナッツ状に加工し、垂直磁気ディスクとしてコンピュー
タに用いられている。

ところで軟磁性層３は垂直磁気へラド１１と垂直磁化層
４間の磁束を収束する役目をしておシ。

垂直磁気ディスクの記録再生感度を大きく向上できるこ
とが知られている。第８図に軟磁性層がある場合（ａ）
とない場合（ｂ）の磁束の模様を表わした。

また垂直磁気ディスクのヘッド走行方向に対して磁気異
方性が変化すると、これに伴い再生出力が変化すること
も分っている。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、このような製造方法では、長尺の高分子
フィルム２の長手方向と幅方向に独立した張力が働く為
に不均一になシやすい。更に押当てリング１０．１０’
で押えてもこの不均一性が残存し、高分子フィルム２の
面内方向に不均一な張力が働く。

第９図に高分子フィルム２にかかる張力を表わした。矢
印の矢先は張力の方向を長さは張力の大きさを示した。

この為に膜が形成された後にも異なった応力による逆磁
歪効果によって軟磁性層３の磁気異方性が長手方向と幅
方向とで異なる現象が現われた。

第９図の高分子フィルム２上に形成された軟磁性層３の
円周方向の磁気異方性はＡ、Ｃ部で困難軸。

Ｂ、Ｄ部で容易軸が現われた。

このような垂直磁気ディスクは垂直磁気ヘッドの走行方
向で磁気異方性が異なる為に再生出力が変動し、モジュ
レーションが悪いという結果をもたらした。

第１０図にそのモジュレーションを表わした。

そこで本発明の技術的課題は、これらの欠点を除去する
ために、高分子フィルムの全方向に均一な張力が働くよ
うにしたもので良好なモジュレーションが得られる垂直
磁気記録媒体の製造方法を提供することである。

［課題を解決するだめの手段］ 本発明によれば、長尺の高分子フィルム上に。

磁性薄膜を断続に形成する垂直磁気記録媒体の製造方法
において２円盤型基板ホルダーと、該基板ホルダーと同
円心上に位置するフィルム固定リングと、前記基板ホル
ダーと前記フィルム固定リングとの間に設けた押当てリ
ングとを有することを特徴とする垂直磁気記録媒体の製
造方法が得られる。

即ち１本発明によれば、磁性薄膜の形成時に高分子フィ
ルムの長手方向の張力を解除するためにフィルム固定リ
ングで高分子フィルムを固定した後、押当てリングで高
分子フィルムを押当てるようにしだものであシ、高分子
フィルムの全方向に張力が働かせたことを特徴とする垂
直磁気記録媒体の製造方法が得られる。

［実施例］ 次に１本発明の詳細な説明する。

第１図に示すとおシ、１１．１２はフィルム固定リング
の断面を示し、各々同径である。

・　上型固定リング１１には？ス１）．下型固定リング
１２には溝１４が設けておシ、ボス１）は溝１４に勘合
することができる。

また基板ホルダー８．押当てリング１０．フィルム固定
リング１１．１２は同心円上にあシ、基板ホルダー８と
下型固定リング１２は同程度の高さに位置し、上型固定
リング１１と押当てリングｌＯは高分子フィルム２を介
して上に位置する。

これを作動させるには高分子フィルム２の搬送を停止し
１巻出しロール５のトルクを解除する。この時１巻出し
ロール５を搬送方向に僅かに回転させることによシ高分
子フィルム２を弛ませて、基板ホルダー８，８′上に乗
せることによって長手方向の張力の依存性を無くすこと
ができる。

次に第２図の如く、上型固定リング１１を降ろし、高分
子フィルム２を固定する。更に第３図の如く、押当てリ
ング１０を基板ホルダーの表面以下に降ろすことによシ
高分子フィルム２の全方向に張力を加える。これ以後は
従来の製造方法と同様にス／ｅツタによって磁性薄膜を
順次形成していくＯ よって、従来のように長手と幅の二方向の張力が独立に
働くことがないので２高分子フィルム２の全方向に均等
な張力を加えることができる。よって、この上に形成さ
れた軟磁性層３は全直径方向に困難軸２円周方向に容易
軸をもつことができた。

本発明によって形成した軟磁性層３をもった垂直磁気記
録媒体１は第４図に示しだ如くモジーレーションが良く
、電磁変換特性が向上する効果が得られた。

尚１本実施例は磁気記録媒体の製造方法に応用できる。

［発明の効果］ 以上述べた如く２本発明によればモノニレ−ジョンが良
く、電磁変換特性の向上した垂直磁気記録媒体の製造方
法の提供が可能となった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係る膜形成機構の概略図、第
２及び第３図は第１図に示した膜形成機構の動作説明図
、第４図は本発明の実施例による垂直磁気記録媒体のモ
ノニレ−ジョンを示す図。 第５図は従来の垂直磁気記録媒体の断面図、第６図は従
来の膜形成機構の概略図、第７図は従来の膜形成機構の
動作説明図、第８図は軟磁性層がある場合の磁束の模様
（、）と軟磁性層がない場合の磁束の模様（ｂ）を示す
概念図、第９図は高分子フィルムに印加された張力を示
す概念図、第１０図は従来法による垂直磁気記録媒体の
モジーレーションを示す図である。 １・・・垂直磁気記録媒体、２・・・高分子フィルム。 ３・・・軟磁性層、４・・・垂直磁化層、１０・・・押
当てリング、１１．１２・・・フィルム固定リング。 第１図 第２図 第３図 第ろ図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）長尺の高分子フィルム上に、磁性薄膜を断続に形
   成する垂直磁気記録媒体の製造方法において、円盤型基
   板ホルダーと、該基板ホルダーと同円心上に位置するフ
   ィルム固定リングと、前記基板ホルダーと前記フィルム
   固定リングとの間に設けた押当てリングとを有すること
   を特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。