JPH01221202A - セラミック生シートの製造方法 - Google Patents
セラミック生シートの製造方法Info
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- JPH01221202A JPH01221202A JP4800288A JP4800288A JPH01221202A JP H01221202 A JPH01221202 A JP H01221202A JP 4800288 A JP4800288 A JP 4800288A JP 4800288 A JP4800288 A JP 4800288A JP H01221202 A JPH01221202 A JP H01221202A
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- Japan
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- ceramic
- ceramic green
- sheet
- green sheet
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はセラミック生シートの製造方法に関し、特に
たとえば積層セラミックコンデンサや積層セラミック基
板などのような積層セラミック電子部品に用いられる、
セラミック生シートの製造方法に関する。
たとえば積層セラミックコンデンサや積層セラミック基
板などのような積層セラミック電子部品に用いられる、
セラミック生シートの製造方法に関する。
従来の積層セラミック電子部品の製造方法としては、セ
ラミック生シート上に内部電極ペーストを印刷して乾燥
し、このように形成したセラミック生シートを所定の枚
数積層した後プレス圧着する方法がある。
ラミック生シート上に内部電極ペーストを印刷して乾燥
し、このように形成したセラミック生シートを所定の枚
数積層した後プレス圧着する方法がある。
また、他の方法として、キャリアフィルムが付着した状
態のセラミック生シート上に内部電極ペーストを印刷し
て乾燥し、それを熱圧着で積層してキャリアフィルムを
剥がすという工程を繰り返す方法も案出されている。
態のセラミック生シート上に内部電極ペーストを印刷し
て乾燥し、それを熱圧着で積層してキャリアフィルムを
剥がすという工程を繰り返す方法も案出されている。
いずれの方法においても、セラミック生シートはドクタ
ブレード法等による1層ないし単層のものである。した
がって、高容量化のためにセラミック生シートを薄くす
れば、セラミック生シート中にボアやピンホールなどの
欠陥が顕在化し、内部電極材料としての導電ペーストが
その欠陥部分を貫通して下層のものと導通し、耐圧が低
下したり甚だしくは短絡事故を生じてしまうなどの問題
点があった。
ブレード法等による1層ないし単層のものである。した
がって、高容量化のためにセラミック生シートを薄くす
れば、セラミック生シート中にボアやピンホールなどの
欠陥が顕在化し、内部電極材料としての導電ペーストが
その欠陥部分を貫通して下層のものと導通し、耐圧が低
下したり甚だしくは短絡事故を生じてしまうなどの問題
点があった。
このような問題点を解決するために、積層するセラミッ
ク生シートと内部電極との間に内部電極が形成されてい
ないセラミック生シート(白シート)を介挿する方法が
あった。
ク生シートと内部電極との間に内部電極が形成されてい
ないセラミック生シート(白シート)を介挿する方法が
あった。
しかしながら、この方法では、上述のような内部電極の
導通による耐圧低下や短絡事故は防止できるものの、内
部電極間の誘電体層(セラミック層)を薄くできないの
で高容量化が難しく、また薄くするためにはセラミック
生シート自体を薄(しなければなず、薄すぎると取り扱
いが困難になってしまう。さらに、上述の白シートを作
る場合にも、高価なキャリアフィルムを用いなければな
らず、したがってコスト高になってしまう。
導通による耐圧低下や短絡事故は防止できるものの、内
部電極間の誘電体層(セラミック層)を薄くできないの
で高容量化が難しく、また薄くするためにはセラミック
生シート自体を薄(しなければなず、薄すぎると取り扱
いが困難になってしまう。さらに、上述の白シートを作
る場合にも、高価なキャリアフィルムを用いなければな
らず、したがってコスト高になってしまう。
それゆえに、この発明の主たる目的は、欠陥のないセラ
ミック生シートをより安価に得ることができる、セラミ
ック生シートの製造方法を提供することである。
ミック生シートをより安価に得ることができる、セラミ
ック生シートの製造方法を提供することである。
この発明は、セラミックスラリを塗布してその後乾燥す
る工程を2回以上繰り返し、2層以上が一体的に積層さ
れた1枚のセラミック生シートをキャリアフィルム上に
形成するようにした、セラミック生シートの製造方法で
ある。
る工程を2回以上繰り返し、2層以上が一体的に積層さ
れた1枚のセラミック生シートをキャリアフィルム上に
形成するようにした、セラミック生シートの製造方法で
ある。
キャリアフィルム上にセラミックスラリを塗布してその
後乾燥させ、乾燥されたセラミック生シート上に、連続
的にさらにセラミックスラリを塗布してその後乾燥させ
る。必要に応じてセラミックスラリの塗布と乾燥とを繰
り返し、2層以上が積層された1枚のセラミック生シー
トをキャリアフィルム上に得る。
後乾燥させ、乾燥されたセラミック生シート上に、連続
的にさらにセラミックスラリを塗布してその後乾燥させ
る。必要に応じてセラミックスラリの塗布と乾燥とを繰
り返し、2層以上が積層された1枚のセラミック生シー
トをキャリアフィルム上に得る。
この発明によれば、2層以上のセラミック生シートが積
層されて1枚のセラミック生シートが形成されるため、
1層にボアやピンホールの欠陥があっても他の層でカバ
ーされるので、そのような欠陥に起因する不良の発生を
可及的減じることができる。
層されて1枚のセラミック生シートが形成されるため、
1層にボアやピンホールの欠陥があっても他の層でカバ
ーされるので、そのような欠陥に起因する不良の発生を
可及的減じることができる。
また、セラミック生シート1枚あたりの厚みを極端に薄
くする必要はないので、取り扱いが容易になり、薄いと
きに問題になった膨潤(導電ペーストの浸出やそれによ
るセラミック生シートの変形)も緩和される。
くする必要はないので、取り扱いが容易になり、薄いと
きに問題になった膨潤(導電ペーストの浸出やそれによ
るセラミック生シートの変形)も緩和される。
さらに、白シートを使う場合に比べて、キャリアフィル
ムの消費量を抑えることができるので、高コストが回避
できる。
ムの消費量を抑えることができるので、高コストが回避
できる。
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
第1A図および第1B図はこの発明の一実施例を示す図
解図である。この実施例の製造装置1゜では、送り出し
ローラ12と巻き取りローラ14との間に、キャリアフ
ィルム16を掛は渡す。キャリアフィルム16としては
、その一方面に離型処理が施されたもの、たとえばシリ
コン樹脂がコーティングされたポリエチレンフィルムな
どが利用され得る。
解図である。この実施例の製造装置1゜では、送り出し
ローラ12と巻き取りローラ14との間に、キャリアフ
ィルム16を掛は渡す。キャリアフィルム16としては
、その一方面に離型処理が施されたもの、たとえばシリ
コン樹脂がコーティングされたポリエチレンフィルムな
どが利用され得る。
そして、送り出しローラ12から送り出されたキャリア
フィルム16は、2つのテンションローラ18によって
平坦にされ、巻き取りローラ14に導かれる。
フィルム16は、2つのテンションローラ18によって
平坦にされ、巻き取りローラ14に導かれる。
キャリアフィルム16の平坦部における通路上には、そ
の中にセラミックスラリ2oを貯留しておくための容器
22が、昇降可能に設けられる。
の中にセラミックスラリ2oを貯留しておくための容器
22が、昇降可能に設けられる。
容器22のキャリアフィルム16の搬送方向下流側には
、ドクタブレード24が設けられる。
、ドクタブレード24が設けられる。
キャリアフィルム16の搬送経路上には、容器22のさ
らに下流側に、乾燥器26が配置され、この乾燥器26
は、ドクタブレード24によって塗布されたセラミック
スラリ2oを乾燥させてセラミック生シート28とする
。
らに下流側に、乾燥器26が配置され、この乾燥器26
は、ドクタブレード24によって塗布されたセラミック
スラリ2oを乾燥させてセラミック生シート28とする
。
まず、ドクタブレード24によって、容器22内のセラ
ミックスラリ20をキャリアフィルム16上に所定の厚
みで塗布する。塗布されるセラミックスラリ20の厚み
は、キャリアフィルム16の上面とドクタブレード24
の下端との間隙の大きさに依存する。したがって、ドク
タブレード24は、必要な厚みのセラミックスラリを塗
布することができるように、上記間隙を任意に調整設定
できるようにされている。
ミックスラリ20をキャリアフィルム16上に所定の厚
みで塗布する。塗布されるセラミックスラリ20の厚み
は、キャリアフィルム16の上面とドクタブレード24
の下端との間隙の大きさに依存する。したがって、ドク
タブレード24は、必要な厚みのセラミックスラリを塗
布することができるように、上記間隙を任意に調整設定
できるようにされている。
キャリアフィルム16上に塗布されたセラミックスラリ
20は、キャリアフィルム16の移送に伴って、上述の
乾燥器28にもたらされ、そこで乾燥されてセラミック
生シート28となる。このようにして形成された1層の
セラミック生シート2日は、キャリアフィルム16とと
もに、順次巻き取りローラ14に巻き取られ、1回目の
工程が完了する。
20は、キャリアフィルム16の移送に伴って、上述の
乾燥器28にもたらされ、そこで乾燥されてセラミック
生シート28となる。このようにして形成された1層の
セラミック生シート2日は、キャリアフィルム16とと
もに、順次巻き取りローラ14に巻き取られ、1回目の
工程が完了する。
続いて2回目の工程に移る。第1B図に示すように、1
回目の工程でセラミック生シート28(およびキャリア
フィルム16)を巻き取った巻き取りローラ14を送り
出し側にセットし、空になった送り出しローラ12を巻
き取り側にセットする。
回目の工程でセラミック生シート28(およびキャリア
フィルム16)を巻き取った巻き取りローラ14を送り
出し側にセットし、空になった送り出しローラ12を巻
き取り側にセットする。
その後、1回目と同様にして、先に形成されたセラミッ
ク生シート28上に再びドクタブレード24によってセ
ラミックスラリ20を所定厚さで塗布し、乾燥させて2
層目のセラミック生シート28′を形成する。このとき
、1回目の工程で形成されたセラミック生シート28の
厚みを考慮して、容器22を上に上げてから、ドクタブ
レード24の先端とセラミック生シート28との間隙を
調整する必要がある。
ク生シート28上に再びドクタブレード24によってセ
ラミックスラリ20を所定厚さで塗布し、乾燥させて2
層目のセラミック生シート28′を形成する。このとき
、1回目の工程で形成されたセラミック生シート28の
厚みを考慮して、容器22を上に上げてから、ドクタブ
レード24の先端とセラミック生シート28との間隙を
調整する必要がある。
さらに積層数を多くしたければ、2回目の工程を繰り返
せばよい。
せばよい。
このようにセラミックスラリの塗布および乾燥を所定回
繰り返すことによって、2層以上のセラミック生シート
が一体的に積層された1枚の所望の厚みを有するセラミ
ック生シートを得る。
繰り返すことによって、2層以上のセラミック生シート
が一体的に積層された1枚の所望の厚みを有するセラミ
ック生シートを得る。
なお、この実施例では、セラミックスラリ20はドクタ
ブレード法によって塗布されたが、塗布方法は第2図の
ようなグラビア転写による方法でもよい。
ブレード法によって塗布されたが、塗布方法は第2図の
ようなグラビア転写による方法でもよい。
第2図に示すグラビア転写による場合は、容器30中の
セラミックスラリ20をグラビアローラ32で持ち上げ
、ブレード34でセラミックスラIJ20の量を調節し
、通過するキャリアフィルム16の下面にセラミックス
ラリ20を塗布する。
セラミックスラリ20をグラビアローラ32で持ち上げ
、ブレード34でセラミックスラIJ20の量を調節し
、通過するキャリアフィルム16の下面にセラミックス
ラリ20を塗布する。
なお、上述の実施例では、キャリアフィルム16を、1
工程毎に巻き取って再セットしたが、これは、キャリア
フィルム16をエンドレスとしてローラの取り外しや再
セットなしに連続的に繰り返すことができるようにして
もよい。
工程毎に巻き取って再セットしたが、これは、キャリア
フィルム16をエンドレスとしてローラの取り外しや再
セットなしに連続的に繰り返すことができるようにして
もよい。
第1A図および第1B図はその発明の一実施例を示す図
解図であり、第1A図は1層目のセラミック生シートの
製造工程を示し、第1B図は2層目のセラミック生シー
トの製造工程を示す。 第2図はセラミックスラリの塗布方法の変形例を示す。 図において、16はキャリアフィルム、20はセラミッ
クスラリ、28.28”はセラミック生シートを示す。 特許出願人 株式会社 村田製作所 代理人 弁理士 山 1) 義 人 −二1B図 富2図
解図であり、第1A図は1層目のセラミック生シートの
製造工程を示し、第1B図は2層目のセラミック生シー
トの製造工程を示す。 第2図はセラミックスラリの塗布方法の変形例を示す。 図において、16はキャリアフィルム、20はセラミッ
クスラリ、28.28”はセラミック生シートを示す。 特許出願人 株式会社 村田製作所 代理人 弁理士 山 1) 義 人 −二1B図 富2図
Claims (1)
- セラミックスラリを塗布してその後乾燥する工程を2回
以上繰り返し、2層以上が一体的に積層された1枚のセ
ラミック生シートをキャリアフィルム上に形成する、セ
ラミック生シートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4800288A JPH01221202A (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | セラミック生シートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4800288A JPH01221202A (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | セラミック生シートの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01221202A true JPH01221202A (ja) | 1989-09-04 |
Family
ID=12791104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4800288A Pending JPH01221202A (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 | セラミック生シートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01221202A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03108502A (ja) * | 1989-09-22 | 1991-05-08 | Yokogawa Electric Corp | グリーンシートの積層方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS639505A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-16 | 株式会社村田製作所 | セラミツクグリ−ンシ−トの製造方法 |
-
1988
- 1988-02-29 JP JP4800288A patent/JPH01221202A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS639505A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-16 | 株式会社村田製作所 | セラミツクグリ−ンシ−トの製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03108502A (ja) * | 1989-09-22 | 1991-05-08 | Yokogawa Electric Corp | グリーンシートの積層方法 |
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