JPH01229377A

JPH01229377A - 画像認識方法

Info

Publication number: JPH01229377A
Application number: JP63055650A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Morishita; 森下　博史
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1988-03-09
Filing date: 1988-03-09
Publication date: 1989-09-13
Anticipated expiration: 2014-10-18
Also published as: JP2965155B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は、画像認識技術に関する。

（従来の技術）従来から、画像認識技術は、例えば文字読み取り、位置
決め装置における位置認識等に用いられている。

例えば、画像認識により処理物の位置を認識し、位置決
めを行う場合、従来は、次のような方法によって位置の
認識を行っている。

すなわち、撮像装置により処理物を撮影し、この画像１
７ｉ　Ｗ　ｔ　Ａ　／　Ｄ寞集易により丁ンｙルｆ菖号
に変換して画像処理装置に入力する。そして、画像処理
装置では、この信号を所定数、例えば５１２×５１２の
画素信号としてバッファに収容し、これらの全ての画素
信号を演算処理して特徴抽出を行い、例えば重心座標を
求めることにより、処理物の位置を求めている。

（発明が解決しようとする課８）しかしながら、上記説明の従来の画像認識方法では、例
えば撮像装置によって得られる画素数が、５１２Ｘ　５
１２画素の場合、画像認識を行うためには、５１２×５
１２−２１ｉ２１４４画素の演算を行う必要がある。こ
のため、演算に時間を要し、例えば各種製造ラインにお
ける処理物の位置決め等に画像認識を用いると、通常の
ラインスピードに対応できない場合が多い。また、画素
数を少なくすれば、演算時間を短縮することができるが
、当然のことながら認識精度が悪くなり、例えば高精度
な位置決め等は行うことができなくなる。

本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもので
、精度の低下を招くことなく、従来に比べて大幅に演算
時間を短縮することができ、高速化を図ることのできる
画像認識方法を提供しようとするものである。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）すなわち本発明は、対象物を撮影して得られた所定数の
画素信号を演算処理して前記対象物の認識を行う画像認
識方法において、まず、前記画素信号を予め定めた間隔
で間引いて演算処理し、前記対象物が存在する画像内の
領域を認識してこの対象物の周囲に処理枠を設定し、こ
の後、前記処理枠内の全ての画素信号を演算処理するこ
とを特徴とする。

（作　用）上記構成の本発明の画像認識方法では、まず、画素信号
を幾つかおきに間引いて演算処理し、対象物が存在する
画像内の領域を認識してこの対象物の周囲に処理枠を設
定し、この後、処理枠内の全ての画素信号を演算処理す
ることにより、対象物の詳細な認識を行う。

したがって、全ての画素信号について演算処理を行う従
来の方法に比べて演算時間を短縮することができ、かつ
、認識精度の低下を招くこともない。

（実施例）以下本発明の画像認識方法を位置決め装置の位置認識に
適用した実施例を図面を参照して説明する。

撮像装置１には、Ａ／Ｄ変換器２を介して画像処理装置
３が接続されている。そして、撮像装置１の下方には、
例えばＸ−Ｙテーブル等からなる載置台４が配置されて
おり、この載置台４上に配置された対象物、例えば基板
、半導体ウェハ等のアライメントマークを撮像装置１に
よって撮影し、この画像信号を、Ａ／Ｄ変換器２によっ
てデジタル信号に変換し、画像処理装置３に入力するよ
う構成されている。

上記画像処理装置３に入力された画像信号は、第２図に
示すように、次のようにして処理される。

すなわち、まず、第２図（ａ）に示すように、画像処理
装置３に入力された画像信号を、例えば５１２Ｘ　５１
２の画素信号として、バッファ内に収容する。

次に、上記５１２Ｘ　５１２の画素信号を均等に間引い
て演算処理し、特徴抽出を行うことにより、例えば第２
図（ｂ）に示すような、１２８Ｘ　　１２８画素の縮小
された画像による重心計算を行い、この重心の座標（Ｘ
、Ｙ）を求める。

この後、第２図（ｃ）に示すように、上記（Ｘ。

Ｙ）の値を４倍して５１２Ｘ　　５１２画素の画像にお
けるおおまかな重心座標（Ｘ＋、Ｙｌ）を算出し、この
重心座標（Ｘ＋、Ｙ＋）を重心として予め設　定してお
いた幅、例えばＸ１±　１５０、Ｙ１±　１５０を付加
して処理ウィンドウ（処理枠）を設定する。

なお、この処理ウィンドウｉよ、認識対象物の太きさに
よって適宜選択する。

そして、上記処理ウィンドウ内のすべての画素信号を用
いて特徴抽出を行い、正確な重心座標（Ｘｏ、Ｙｏ）を
求める。

すなわち、第２図（ｂ）の１２８Ｘ　１２ｇ画素の縮小
された画像による重心の座標（Ｘ、Ｙ）が例えば（８０
，７０）の場合は、これらの値をそれぞれ４倍し、５１
２Ｘ　　５１２画素の画像におけるおおまかな重心座標
（Ｘｌ、Ｙｌ）を（３２０，２８０）　トｔル。

そして、これらの座標をそれぞれ±　１５０シた値、す
なわち、Ｘ−１７０〜４７０．　Ｙ−１３０〜４３０を
処理ウィンドウとして設定する。しかる後、この処理ウ
ィンドウ内の全ての画素信号を用いて重心計算を行い、
正確な重心座標（Ｘｏ　、Ｙｏ　）　、例えば（３２８
，２８１）等を求める。

このようにして、対象物の位置、例えば基板、半導体ウ
ェハ等に形成されたアライメントマーク、半導体ウェハ
の電極パッド、工作部品の孔等の位置を、画像内の重心
座標（Ｘｏ、Ｙｏ）として求める。そして、対象物の位
置を、所定位置からのずれ、例えば画像中心の座標から
のずれとして、認識し、例えば載置台４を上記ずれ分だ
け補正するよう移動させることにより、所定位置に位置
合せする。

すなわち、上記説明のこの実施例の画像認識方法では、
　１２８Ｘ　　１２８＋　　３００Ｘ　　３００−　Ｉ
Ｈ３８４画素の演算を行うことにより、従来の方法によ
る　５１２Ｘ５１２−２８２１４４画素の演算を行った
場合と同じ精度で対象物の位置を認識することができる
。

したがって、演算時間を従来の２７５程度に短縮するこ
とができ、高速化を図ることができる。このため、従来
は通常のラインスピードに対応することができず、使用
することのできなかったようなラインにおいても、画像
認識による位置決め等を可能とすることができる。

また、清浄化雰囲気が要求される半導体製造工程におい
ては、人間から多量の塵が放出されるため、装置の自動
化を行う必要があるが、このような半導体製造装置にお
ける半導体ウェハの位置決め、基板の位置決め等に適用
すれば、スルーブツトの向上を図ることができる。

［発明の効果］上述のように、本発明の画像認識方法では、精度の低下
を招くことなく、従来に比べて大幅に演算時間を短縮す
ることができ、高速化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法を説明するための装置の構成図、第
２図は本発明方法の手順を示す説明図である。１・・・・・・撮像装置、２・・・・・・Ａ／Ｄ変換器
、３・・・・・・画像処理装置、４・・・・・・載置台
。出願人　　東京エレクトロン株式会社代理人　弁理士　　須　山　佐　− 契１　図第２Ｉ

Claims

【特許請求の範囲】

（１）対象物を撮影して得られた所定数の画素信号を演
算処理して前記対象物の認識を行う画像認識方法におい
て、まず、前記画素信号を予め定めた間隔で間引いて演算処
理し、前記対象物が存在する画像内の領域を認識してこ
の対象物の周囲に処理枠を設定し、この後、前記処理枠
内の全ての画素信号を演算処理することを特徴とする画
像認識方法。