JPS6340744Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、無塵或いは無菌状態に保持されるク
リーンルームに関するものである。

（考案が解決すべき従来技術の問題点） クリーン度がクラス100〜1000程度のクリーン
ルーム内に局部的にクリーン度の高い空間、つま
りクラス０のクリーンスポツトを形成し、そこで
LSI等塵埃を特に嫌う製品が製造されている。

しかし、従来、クリーンルーム内に仕切りによ
り作業台と作業員が入るだけの大きい作業空間を
作り、そこにクリーン度がクラス０のクリーンエ
ヤを吹込んでクリーンスポツトを形成している。
このため、クリーンスポツトに対して、クリーン
度がクラス100〜1000程度のクリーンエヤとは別
にクラス０のクリーンエヤを大量に作つて供給す
る設備が必要となり、設備費と動力費がかかりす
ぎる。また、作業員がクリーンスポツトに出入り
する度にクリーンスポツト内のクリーン度が変化
するおそれがあるという不具合を免れなかつた。

（考案の目的） 本考案は、前記従来の問題点を解決するために
創案されたもので、クリーンルーム内に供給され
たクリーンエヤをさらに清浄化し、かつ、清浄化
したクリーンエヤを作業台上に吹付けて、そこに
クリーンスポツトを形成できるようにしたクリー
ンルームを提供することを目的とする。

（考案の構成） 本考案のクリーンルームは、その天井から筒状
枠を上下調節機構により上下調節可能に吊下し、
この筒状枠に吸気口を設け、かつ送風装置を内蔵
すると共に、吹出口（筒状体下端）に高性能フイ
ルタを設けてなるクリーンスポツト形成装置を備
えたことを特徴とする。

（実施例） 以下、本考案の一実施例を図面により説明する
と、図中１は天井で、天井スラブから吊ボルトで
吊下された格子状の取付フレーム２に高性能フイ
ルタ３をシール材を介して取付け、かつ支持して
なるものである。排気口はフリーアクセスフロア
等の床面４あるいは壁下部に設けられている。か
くして、天井１の上部に供給されたエヤが高性能
フイルタ３によりクリーン度クラス100〜1000程
度まで清浄化されて室内に供給され、室内エヤが
排気口から排出されるクリーンルーム５が構成さ
れている。

このようなクリーンルーム５において、天井１
の取付フレーム下部には筒状の取付具６がボルト
等により固定されており、この取付具６には筒状
枠７が後述する上下調節機構８により上下調節可
能に吊下されている。つまり、取付具６には上下
方向に沿う長孔が形成されると共に、筒状枠７の
上端には、取付具５に設けた長孔を挿通するボル
ト、ナツト等によりなる締結具８が装着されてい
る。かくして、取付具６に対して筒状枠７を上下
にスライドし、適宜位置に締結具８により固定す
ることによつて、筒状枠７のルーム内位置を上下
に調節できる構成となつている。

この筒状体７には、フアン９とモータ（図示せ
ず）とこれらの取付部材を兼ねる吹出しガイド１
０とよりなる送風装置が内蔵されると共に、吹出
しガイド１０より上方に位置する吸気口１１が設
けられている。さらに、筒状体７の下端にはスイ
ツチ１２とフイルタ受鍔１３が設けられており、
高性能フイルタ１４は、このフイルタ受鍔１３上
にパツキン材１５を介して載置され、かつ該フイ
ルタ受鍔１３に立設したフイルタ受材１６により
位置決めされている。この高性能フイルタ１４
は、クリーンルーム５内に設置した作業台１７に
対応する大きさを有し、該作業台１７に臨んだ直
上位置に設置されている。

（作用） スイツチ１２のオン動作によりフアン９を回転
駆動すると、その吸気作用で、クリーンルーム５
内の天井１から吹出したばかりのクリーンエヤ
は、吸気口１１から筒状枠７内に導入され、高性
能フイルタ１４によりクリーン度クラス０まで清
浄化されて筒状枠７の下端から直下に吹出す。こ
のため、高性能フイルタ１４の直下では、作業台
１７上部をそつくりクリーンエヤで包込むクリー
ンスポツトが形成される。このクリーンスポツト
の大きさは、筒状枠７の上下調節機構８により高
性能フイルタ１４のルーム内位置を上下に調節す
ることによつて加減できる。

（考案の効果） 以上の通り、本考案は、クリーンルーム内に供
給されたクリーンエヤからより清浄化したクリー
ンエヤをつくり出すと共に、クリーンスポツトを
必要な大きさで形成することができる簡単な構成
であり、しかも従来の仕切り方式におけるクリー
ンスポツト形成専用のダクト配管をなくし、かつ
送風装置を大巾に小容量化できるから、設備費と
動力費を大巾に低減できると共に、前記従来方式
に比してクリーンスポツトのクリーン度を常に保
持できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例を示す概要図、第２図
は第１図の部分斜視図、第３図は第１図の要部構
成を詳細に示す断面図である。 １……天井、２……取付フレーム、３……高性
能フイルタ、４……床面、５……クリーンルー
ム、６…取付具、７……筒状枠、８……締結具、
９……フアン、１０……吹出しガイド、１１……
吸気口、１２……スイツチ、１３……フイルタ受
鍔、１４……高性能フイルタ、１５……パツキン
材、１６……フイルタ受材、１７……作業台。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. クリーンルームの天井から筒状枠を上下調節機
   構により上下調節可能に吊下し、この筒状枠に吸
   気口を設け、かつ送風装置を内蔵すると共に、吹
   出口（筒状体下端）に高性能フイルタを設けたこ
   とを特徴とするクリーンスポツト形成装置を備え
   たクリーンルーム。