JPH0123348B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0123348B2 JPH0123348B2 JP4856483A JP4856483A JPH0123348B2 JP H0123348 B2 JPH0123348 B2 JP H0123348B2 JP 4856483 A JP4856483 A JP 4856483A JP 4856483 A JP4856483 A JP 4856483A JP H0123348 B2 JPH0123348 B2 JP H0123348B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- track
- wheels
- traveling
- curved
- straight
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Chain Conveyers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、LSIウエハ等クリーンは環境で取扱
う必要のある製品の搬送に用いられる高架式搬送
装置に関する。
う必要のある製品の搬送に用いられる高架式搬送
装置に関する。
従来、LSIウエハ等の製品を工場内において搬
送する装置としては、通常第１図に示すような搬
送装置が用いられている。この第１図において符
号１は車体、２は車輪、３は車軸、４は軌道であ
る。この搬送装置は、車体１に対して車輪２が常
に一定の方向を向くように車軸３が支持されてい
るもので、いわゆる走舵機構を有しないものであ
る。したがつてこの搬送装置においては、車体１
が曲線軌道を通過する際に、車輪２が軌道４の側
面に衝突しながら進み、車体１の旋回角度θとホ
イールベース長ｈの積で表わされる車輪２の横す
べりを生じていた。この結果、車輪２と軌道４と
が擦れる際に塵埃が飛散するという不都合があつ
た。このため、上記の搬送装置を実際に使用する
には、軌道をダクトカバーで覆い、車輪周辺部か
ら発生する塵埃を吸引するなどの防塵策をとる必
要があつた。
送する装置としては、通常第１図に示すような搬
送装置が用いられている。この第１図において符
号１は車体、２は車輪、３は車軸、４は軌道であ
る。この搬送装置は、車体１に対して車輪２が常
に一定の方向を向くように車軸３が支持されてい
るもので、いわゆる走舵機構を有しないものであ
る。したがつてこの搬送装置においては、車体１
が曲線軌道を通過する際に、車輪２が軌道４の側
面に衝突しながら進み、車体１の旋回角度θとホ
イールベース長ｈの積で表わされる車輪２の横す
べりを生じていた。この結果、車輪２と軌道４と
が擦れる際に塵埃が飛散するという不都合があつ
た。このため、上記の搬送装置を実際に使用する
には、軌道をダクトカバーで覆い、車輪周辺部か
ら発生する塵埃を吸引するなどの防塵策をとる必
要があつた。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、
車輪周辺部からの塵埃の発生を防止することので
きる高架式搬送装置を提供することを目的とする
ものであり、直線および曲線からなる高架式軌道
上を走行、停止させ、任意の１つのステーシヨン
で架下の荷を積み込み、他のステーシヨンで荷降
しを行う高架式搬送装置において、左右の車輪の
駆動系に直線軌道走行時に左右双方の車輪を駆動
させ、曲線軌道走行時に曲線軌道の外周側に位置
する車輪のみを駆動させるクラツチ機構を設け、
曲線軌道走行時に車輪が軌道の延在する方向に向
くように車軸を回転させる車軸回転機構を設けて
なることを特徴とするものである。
車輪周辺部からの塵埃の発生を防止することので
きる高架式搬送装置を提供することを目的とする
ものであり、直線および曲線からなる高架式軌道
上を走行、停止させ、任意の１つのステーシヨン
で架下の荷を積み込み、他のステーシヨンで荷降
しを行う高架式搬送装置において、左右の車輪の
駆動系に直線軌道走行時に左右双方の車輪を駆動
させ、曲線軌道走行時に曲線軌道の外周側に位置
する車輪のみを駆動させるクラツチ機構を設け、
曲線軌道走行時に車輪が軌道の延在する方向に向
くように車軸を回転させる車軸回転機構を設けて
なることを特徴とするものである。
以下、本発明の一実施例を第２図ないし第６図
を参照して説明する。
を参照して説明する。
第２図は、本発明による高架式搬送装置の平面
図であつて、この図において９は搬送装置車体、
１０は直流モータ、１１はウオームおよびウオー
ムホイール、１２は走行クラツチ（クラツチ機
構）、１３は車輪、１４，１４′は車台、１５はブ
ツシユ、１６は伸縮性自在継手、１７はガイド
輪、１８はカーブ検知スイツチである。本装置で
は、車体９から、モータ１０、ウオーム機構１
１、およびクラツチ１２を内蔵して車輪１３を駆
動する駆動車台１４と車輪１３のみをもつ従動車
台１４′とを分割して構成し、これら車台１４，
１４′の突出部１４ａ，１４a′を各々ブツシユ１
５，１５を介して車体９と接続し、かつ両車台１
４，１４′を伸縮性自在継手１６で結合する。こ
こでブツシユ１５は、車台１４または１４′を車
体９に垂直方向の軸線を中心として回動し得るよ
うに連結するものであり、車体９の曲線軌道走行
時に車輪１８が軌道４の延在する方向に向くよう
に車輪の車軸１３ａを回転させる車軸回転機構を
構成している。車体９および車台１４，１４′の
両側面には軌道４と接し、進向幅方向の横ずれを
防ぐためのガイド輪１７を備える。
図であつて、この図において９は搬送装置車体、
１０は直流モータ、１１はウオームおよびウオー
ムホイール、１２は走行クラツチ（クラツチ機
構）、１３は車輪、１４，１４′は車台、１５はブ
ツシユ、１６は伸縮性自在継手、１７はガイド
輪、１８はカーブ検知スイツチである。本装置で
は、車体９から、モータ１０、ウオーム機構１
１、およびクラツチ１２を内蔵して車輪１３を駆
動する駆動車台１４と車輪１３のみをもつ従動車
台１４′とを分割して構成し、これら車台１４，
１４′の突出部１４ａ，１４a′を各々ブツシユ１
５，１５を介して車体９と接続し、かつ両車台１
４，１４′を伸縮性自在継手１６で結合する。こ
こでブツシユ１５は、車台１４または１４′を車
体９に垂直方向の軸線を中心として回動し得るよ
うに連結するものであり、車体９の曲線軌道走行
時に車輪１８が軌道４の延在する方向に向くよう
に車輪の車軸１３ａを回転させる車軸回転機構を
構成している。車体９および車台１４，１４′の
両側面には軌道４と接し、進向幅方向の横ずれを
防ぐためのガイド輪１７を備える。
車体９を走行させるに際して、直線軌道走行の
場合には、クラツチ１２を２個とも連結し、２輪
で駆動を行うとともに、６個のガイド輪１７で軌
道４側面方向の動きを規制する。一方、曲線軌道
走行の場合には、直線からの曲線軌道にさしかか
るとき、車輪軸により前方に配置した進行側のガ
イド輪１７により前の車台１４または１４′にカ
ーブに沿つた方向の曲げモーメントを与え、車体
９の軌道の接線方向に向かせると同時に、伸縮性
自在継手１６が伸びて曲がり、後の車台１４′ま
たは１４も軌道の接線方向に倣わせる。すなわち
車台１４および１４′がブツシユ１５，１５を中
心として水平方向に回動し、車輪１８が軌道４の
延在する方向に向く。このとき、カーブ検知スイ
ツチ１８を動作させて、内周車輪側のクラツチ１
２を切り、内周車輪を自由にして外周車輪のみの
１輪駆動で走行する。また伸縮性自在継手１６
は、曲線から直線軌道にもどるとき、車台１４，
１４′に直進方向の復元力をも与える。
場合には、クラツチ１２を２個とも連結し、２輪
で駆動を行うとともに、６個のガイド輪１７で軌
道４側面方向の動きを規制する。一方、曲線軌道
走行の場合には、直線からの曲線軌道にさしかか
るとき、車輪軸により前方に配置した進行側のガ
イド輪１７により前の車台１４または１４′にカ
ーブに沿つた方向の曲げモーメントを与え、車体
９の軌道の接線方向に向かせると同時に、伸縮性
自在継手１６が伸びて曲がり、後の車台１４′ま
たは１４も軌道の接線方向に倣わせる。すなわち
車台１４および１４′がブツシユ１５，１５を中
心として水平方向に回動し、車輪１８が軌道４の
延在する方向に向く。このとき、カーブ検知スイ
ツチ１８を動作させて、内周車輪側のクラツチ１
２を切り、内周車輪を自由にして外周車輪のみの
１輪駆動で走行する。また伸縮性自在継手１６
は、曲線から直線軌道にもどるとき、車台１４，
１４′に直進方向の復元力をも与える。
このように動作させることにより、搬送装置は
直線軌道で直進性をそこなわず、曲線軌道におい
ても前後の車輪軸とホイールベース中心位置で軌
道と曲率が一致し、車輪１３の進行方向と横方向
のすべりをなくすことができる。したがつて、塵
埃の発生を防止することができる。
直線軌道で直進性をそこなわず、曲線軌道におい
ても前後の車輪軸とホイールベース中心位置で軌
道と曲率が一致し、車輪１３の進行方向と横方向
のすべりをなくすことができる。したがつて、塵
埃の発生を防止することができる。
第３図は本装置の集電子の構成を示す図であ
る。図において、１９は集電子、２０は送電レー
ルである。集電子１９は転動形集電子として構成
されたものであつて、枠体１９ａに集電リング１
９ｂを回転自在に取付けてなるものである。ボー
ルベアリングの外輪に組み込んだ集電リング１９
ｂは、外周を送電レール２０と接触させ、内周か
ら図示しないブラシを介して搬送装置側の固定電
極に給電するものであり、ブラシ部は密閉されて
いる。このため、集電子１９は、走行の際機構外
部で摺動せず、転動接触によつて搬送装置に給電
できる。したがつて塵埃の発生を防止することが
できる。これを搬送装置のホイールベース中心ま
たは車輪軸位置に取り付けることにより横すべり
も防止できる。さらに、１本の送電レール２０に
対して進行方向に２個配置することにより、送電
レールの継ぎ目での瞬断をなくすことができる。
る。図において、１９は集電子、２０は送電レー
ルである。集電子１９は転動形集電子として構成
されたものであつて、枠体１９ａに集電リング１
９ｂを回転自在に取付けてなるものである。ボー
ルベアリングの外輪に組み込んだ集電リング１９
ｂは、外周を送電レール２０と接触させ、内周か
ら図示しないブラシを介して搬送装置側の固定電
極に給電するものであり、ブラシ部は密閉されて
いる。このため、集電子１９は、走行の際機構外
部で摺動せず、転動接触によつて搬送装置に給電
できる。したがつて塵埃の発生を防止することが
できる。これを搬送装置のホイールベース中心ま
たは車輪軸位置に取り付けることにより横すべり
も防止できる。さらに、１本の送電レール２０に
対して進行方向に２個配置することにより、送電
レールの継ぎ目での瞬断をなくすことができる。
第４図、第５図は本装置の側面図および正面図
である。これらの図において２１はモータ駆動
軸、２２はリフト駆動軸、２３ａ，２３ｂはギ
ヤ、２４はリフトクラツチ、２５，２５′はウオ
ーム機構、２６はリール、２７はリフトベルトで
ある。上記走行駆動用のモータ軸２１の回転をギ
ヤ２３ａ，２３ｂを介してリフト駆動軸２２に伝
達するように構成し、リフト駆動軸２２にはクラ
ツチ２４を設ける。さらに、この軸２２の両端の
車台１４，１４′の中には左右反対向きのウオー
ム機構２５，２５′を取り付ける。そしてこのウ
オーム機構２５，２５′を介してリール２６を回
転させリフトベルトを移動させるように構成す
る。この構成において、搬送装置の走行中は、ク
ラツチ２４を切り、クラツチ１２を入れてモータ
軸を回転させる。そしてステーシヨンで停止した
ときには、クラツチ１２を切る。そしてリフト機
構を動作させるには、クラツチ２４を入れてモー
タ１０を駆動する。すると、車輪１８は回転せ
ず、モータ軸２１とリフト駆動軸２２が回転し、
ウオーム機構２５，２５′を介して前後のリール
２６が反対方向に同一速度で回転し、これによつ
てリフトベルト２７を昇降させることができる。
である。これらの図において２１はモータ駆動
軸、２２はリフト駆動軸、２３ａ，２３ｂはギ
ヤ、２４はリフトクラツチ、２５，２５′はウオ
ーム機構、２６はリール、２７はリフトベルトで
ある。上記走行駆動用のモータ軸２１の回転をギ
ヤ２３ａ，２３ｂを介してリフト駆動軸２２に伝
達するように構成し、リフト駆動軸２２にはクラ
ツチ２４を設ける。さらに、この軸２２の両端の
車台１４，１４′の中には左右反対向きのウオー
ム機構２５，２５′を取り付ける。そしてこのウ
オーム機構２５，２５′を介してリール２６を回
転させリフトベルトを移動させるように構成す
る。この構成において、搬送装置の走行中は、ク
ラツチ２４を切り、クラツチ１２を入れてモータ
軸を回転させる。そしてステーシヨンで停止した
ときには、クラツチ１２を切る。そしてリフト機
構を動作させるには、クラツチ２４を入れてモー
タ１０を駆動する。すると、車輪１８は回転せ
ず、モータ軸２１とリフト駆動軸２２が回転し、
ウオーム機構２５，２５′を介して前後のリール
２６が反対方向に同一速度で回転し、これによつ
てリフトベルト２７を昇降させることができる。
第６図は、搬送装置に搭載する走行制御回路の
構成を示す図であり、２８はロータリーエンコー
ダ、２９は一定速度指令を与えるためのカウンタ
Ａ、３０は加減速指令を与えるためのカウンタ
Ｂ、３１，３２は加速用ゲート、３３，３４は減
速用ゲートである。これを動作するには、走行指
令をデイジタル伝送で与え、速度フイードバツク
制御を行うため、モータ駆動軸２１にロータリー
エンコーダ２８を取り付け、出力信号をＦ／Ｖ変
換して速度制御に用いるとともに、モータ１０の
回転角度に対応したパルス数により加減速指令値
を定める。搬送装置は発進指令を受けるとモータ
１０に起動トルクを与えるために一定の初期値ｍ
をカウンタＡ２９にラツチし、またカウンタＢ３
０には加速ステツプ数ｎをラツチして加速用ゲー
ト３１，３２を開く。このため、ロータリエンコ
ーダ２８からのパルスをカウントパルスとしてカ
ウンタＢ３０の値は減少し、カウンタＡ２９の値
は増加していき、モータ１０は加速される。そし
てカウンタＢ３０の値が０になればゲート３２が
閉じ、カウンタＡ２９の値は一定値になつて定速
度制御に入る。次に、搬送装置が停止指令を受け
ると減速用ゲート３３，３４が開かれ、カウンタ
Ａ２９の値は減少していき、モータ１０が減速さ
れ、カウンタＡ２９の値が０になると停止する。
構成を示す図であり、２８はロータリーエンコー
ダ、２９は一定速度指令を与えるためのカウンタ
Ａ、３０は加減速指令を与えるためのカウンタ
Ｂ、３１，３２は加速用ゲート、３３，３４は減
速用ゲートである。これを動作するには、走行指
令をデイジタル伝送で与え、速度フイードバツク
制御を行うため、モータ駆動軸２１にロータリー
エンコーダ２８を取り付け、出力信号をＦ／Ｖ変
換して速度制御に用いるとともに、モータ１０の
回転角度に対応したパルス数により加減速指令値
を定める。搬送装置は発進指令を受けるとモータ
１０に起動トルクを与えるために一定の初期値ｍ
をカウンタＡ２９にラツチし、またカウンタＢ３
０には加速ステツプ数ｎをラツチして加速用ゲー
ト３１，３２を開く。このため、ロータリエンコ
ーダ２８からのパルスをカウントパルスとしてカ
ウンタＢ３０の値は減少し、カウンタＡ２９の値
は増加していき、モータ１０は加速される。そし
てカウンタＢ３０の値が０になればゲート３２が
閉じ、カウンタＡ２９の値は一定値になつて定速
度制御に入る。次に、搬送装置が停止指令を受け
ると減速用ゲート３３，３４が開かれ、カウンタ
Ａ２９の値は減少していき、モータ１０が減速さ
れ、カウンタＡ２９の値が０になると停止する。
このような構成になつているから、搬送装置は
急激な発進停止をして積荷に振動を与えることな
く走行できるとともに、停止指令を受けた後にモ
ータ１０の回転角に応じた一定距離で、しかもロ
ータリーエンコーダ２８の分割数に依存した高精
度でステーシヨンに停止させることができる。
急激な発進停止をして積荷に振動を与えることな
く走行できるとともに、停止指令を受けた後にモ
ータ１０の回転角に応じた一定距離で、しかもロ
ータリーエンコーダ２８の分割数に依存した高精
度でステーシヨンに停止させることができる。
以上説明したように、本発明によれば、左右の
車輪の駆動系に直線軌道走行時に左右双方の車輪
を駆動させ、曲線軌道走行時に曲線軌道の外周側
に位置する車輪のみを駆動させるクラツチ機構を
設け、曲線軌道走行時に車輪が軌道の延在する方
向に向くように車軸を回転させる車軸回転機構を
設け、車輪を常に直線および曲線軌道の軌跡に倣
わせるようにしたので、車輪と軌道とが強い力で
擦れるのを防止することができ、これによつて走
行中の車輪周辺部から塵埃が発生するのを防止す
ることができ、装置の配置されている工場内の環
境を保つことができる効果が得られる。
車輪の駆動系に直線軌道走行時に左右双方の車輪
を駆動させ、曲線軌道走行時に曲線軌道の外周側
に位置する車輪のみを駆動させるクラツチ機構を
設け、曲線軌道走行時に車輪が軌道の延在する方
向に向くように車軸を回転させる車軸回転機構を
設け、車輪を常に直線および曲線軌道の軌跡に倣
わせるようにしたので、車輪と軌道とが強い力で
擦れるのを防止することができ、これによつて走
行中の車輪周辺部から塵埃が発生するのを防止す
ることができ、装置の配置されている工場内の環
境を保つことができる効果が得られる。
第１図は従来の搬送装置の概略構成とその走行
状態を示す説明図、第２図ないし第６図は本発明
の一実施例を示す図であつて、第２図は装置の平
面図、第３図は集電子の斜視図、第４図は装置の
側面図、第５図は装置の正面図、第６図は走行制
御回路の回路図である。 ４……軌道、９……搬送装置車体、１２……走
行クラツチ（クラツチ機構）、１３……車輪、１
４，１４′……車台、１５……ブツシユ（車軸回
転機構）。
状態を示す説明図、第２図ないし第６図は本発明
の一実施例を示す図であつて、第２図は装置の平
面図、第３図は集電子の斜視図、第４図は装置の
側面図、第５図は装置の正面図、第６図は走行制
御回路の回路図である。 ４……軌道、９……搬送装置車体、１２……走
行クラツチ（クラツチ機構）、１３……車輪、１
４，１４′……車台、１５……ブツシユ（車軸回
転機構）。
Claims (1)
- １ 直線および曲線からなる高架式軌道上を走
行、停止させ、任意の１つのステーシヨンで架下
の荷を積み込み、他のステーシヨンで荷降しを行
う高架式搬送装置において、左右の車輪の駆動系
に直線軌道走行時に左右双方の車輪を駆動させ、
曲線軌道走行時に曲線軌道の外周側に位置する車
輪のみを駆動させるクラツチ機構を設け、曲線軌
道走行時に車輪が軌道の延在する方向に向くよう
に車軸を回転させる車軸回転機構を設けてなるこ
とを特徴とする高架式搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4856483A JPS59176151A (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 高架式搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4856483A JPS59176151A (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 高架式搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59176151A JPS59176151A (ja) | 1984-10-05 |
| JPH0123348B2 true JPH0123348B2 (ja) | 1989-05-02 |
Family
ID=12806882
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4856483A Granted JPS59176151A (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 高架式搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59176151A (ja) |
-
1983
- 1983-03-23 JP JP4856483A patent/JPS59176151A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59176151A (ja) | 1984-10-05 |
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