JPS59176151A - 高架式搬送装置 - Google Patents
高架式搬送装置Info
- Publication number
- JPS59176151A JPS59176151A JP4856483A JP4856483A JPS59176151A JP S59176151 A JPS59176151 A JP S59176151A JP 4856483 A JP4856483 A JP 4856483A JP 4856483 A JP4856483 A JP 4856483A JP S59176151 A JPS59176151 A JP S59176151A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- track
- wheels
- wheel
- traveling
- running
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Chain Conveyers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本つ６明は、Ｌ Ｓエウエハ等クリーンな環境で取扱う
必要のある・製品の搬送に用いられる高架式搬送装置に
関する。
必要のある・製品の搬送に用いられる高架式搬送装置に
関する。
従来、ＬＳＩウェハ等の製品を工場内において搬送する
装置としては、通常第を図に示すような搬送装置が用い
られている。この第１図において符号ｌは車体、２は車
輪、８は車軸、４は軌道である１、この搬送装置は、框
体ｌに対して車輪２が常に一定の方向を向くように車軸
８が支持されているもので、いわゆる走舵機構を有しな
いものである。したがってこの搬送装置においては、車
体ｌが曲線軌道を通過する際に、ＪＩＬ輪２が軌−４の
側面に衝突しながら進み、爪体ｌの旋回角度θとホイー
ルペース長ｈ １７）積で表わされる車輪２の横すべり
を生じていた。この結果、車輪２と軌道４とが擦れる際
に屓挨が飛散するという不都合があった。このため、上
記の搬送装置を実際に使用するには、軌道をダクトカバ
ーで覆い、Ｊ［輪周辺部から発生する塵埃を吸引するな
どの防塵策をとる必要があった。
装置としては、通常第を図に示すような搬送装置が用い
られている。この第１図において符号ｌは車体、２は車
輪、８は車軸、４は軌道である１、この搬送装置は、框
体ｌに対して車輪２が常に一定の方向を向くように車軸
８が支持されているもので、いわゆる走舵機構を有しな
いものである。したがってこの搬送装置においては、車
体ｌが曲線軌道を通過する際に、ＪＩＬ輪２が軌−４の
側面に衝突しながら進み、爪体ｌの旋回角度θとホイー
ルペース長ｈ １７）積で表わされる車輪２の横すべり
を生じていた。この結果、車輪２と軌道４とが擦れる際
に屓挨が飛散するという不都合があった。このため、上
記の搬送装置を実際に使用するには、軌道をダクトカバ
ーで覆い、Ｊ［輪周辺部から発生する塵埃を吸引するな
どの防塵策をとる必要があった。
不発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、車輪周辺
部からの塵埃の発生全防止することのできる高架式搬送
装置を提供することを目的とするものであり、直線およ
び曲線からなる高架式軌道上を走行、停止させ、任意の
１つのステーションで架下り荷を槓み込み、他のステー
ションで荷降し？行う高架式搬送装置において、左右の
ＴＬ輪の駆動系に直線軌道走行時に左右双方の車輪を駆
動させ、曲線軌道走行時に曲線軌道の外周側に位置する
車輪のみを駆動どせるクラッチ機構を設け、曲線軌道走
行時に車輪が軌道の延在する方向に同くように車＠を回
転させる車軸回転＠構を設けてなること？特徴とするも
のである。
部からの塵埃の発生全防止することのできる高架式搬送
装置を提供することを目的とするものであり、直線およ
び曲線からなる高架式軌道上を走行、停止させ、任意の
１つのステーションで架下り荷を槓み込み、他のステー
ションで荷降し？行う高架式搬送装置において、左右の
ＴＬ輪の駆動系に直線軌道走行時に左右双方の車輪を駆
動させ、曲線軌道走行時に曲線軌道の外周側に位置する
車輪のみを駆動どせるクラッチ機構を設け、曲線軌道走
行時に車輪が軌道の延在する方向に同くように車＠を回
転させる車軸回転＠構を設けてなること？特徴とするも
のである。
以下、本発明の一実１例を第２図ないし第６図を参照し
て説明する。
て説明する。
第２図は、本発明による高架式搬送装置の平面図であっ
て、この図において９は搬送装置車体、１０は直流モー
タ、１１はウオームおよびウオームホイール、１２は走
行うラッチ（クラッチｉ構）、１８はＭＬ輪、１４．１
４’は車台、１５はブツシュ、１６は伸縮性自在継手、
１７はガイド輪、１８はカーブ検知スイッチである。本
装置では、車体９から、モータｌＯ、ウオーム機構１１
、およびクラッチ１２ｔ−内蔵してＪＩＬ輪１Ｂ？駆動
する駆動車台１４と車輪１８のみ？もつ従動車台１４′
と？分割して構成し、ごれら車台１４．１４’の突出ｍ
ｌ ４ ａ ＋ ｌ ４ ａ ’ ｋ各々ブツシュ
ｌ ＦＩＴ Ｉ Ｆ＋を介して車体９と接続し、かつ
両車台１４．１４’を伸縮性自在継手１６で結合する。
て、この図において９は搬送装置車体、１０は直流モー
タ、１１はウオームおよびウオームホイール、１２は走
行うラッチ（クラッチｉ構）、１８はＭＬ輪、１４．１
４’は車台、１５はブツシュ、１６は伸縮性自在継手、
１７はガイド輪、１８はカーブ検知スイッチである。本
装置では、車体９から、モータｌＯ、ウオーム機構１１
、およびクラッチ１２ｔ−内蔵してＪＩＬ輪１Ｂ？駆動
する駆動車台１４と車輪１８のみ？もつ従動車台１４′
と？分割して構成し、ごれら車台１４．１４’の突出ｍ
ｌ ４ ａ ＋ ｌ ４ ａ ’ ｋ各々ブツシュ
ｌ ＦＩＴ Ｉ Ｆ＋を介して車体９と接続し、かつ
両車台１４．１４’を伸縮性自在継手１６で結合する。
ここでブツシュ１５は、台車１４または１４’を車体９
に垂直方向の軸線？中心として回動じ得るように連結す
るものであり、Ｎ一体９０曲線軌軌道性時にｍ輪１８が
軌道４の延在する方向に向くようにＲＬ輪の車軸Ｌ８ａ
全回転させる車軸回転機構を構成している。
に垂直方向の軸線？中心として回動じ得るように連結す
るものであり、Ｎ一体９０曲線軌軌道性時にｍ輪１８が
軌道４の延在する方向に向くようにＲＬ輪の車軸Ｌ８ａ
全回転させる車軸回転機構を構成している。
車体９および車台１４．１４’の両側面には軌道４と接
し、進同閘方向の横ずれを防ぐためのガイド輪１７Ｔｈ
備える。
し、進同閘方向の横ずれを防ぐためのガイド輪１７Ｔｈ
備える。
Ｉｆ体９を走行させるに際して、直礫軌道走行の場合に
は、クラッチ１２を２個とも連結し、２輪で駆１１ＩＩ
ｋ行うとともに、６個のガイド輪１７ｒ軌迫４側面方同
の動き全規制する。一方、曲線軌道走行の場合には、直
線から曲線軌道にさしかかるとき、Ｊ［輪軸より削方に
配置した通行側のガイド輪１７により汀σの車台１４ま
たは１４′にカーブに沿った方向の曲げモーメントラ与
え、車体９の軌道の接線方向に向かせると同時に、伸縮
性自在継手１６が伸びて曲がり、後の車台１４’または
１４も軌道の接線方向に倣わせる。すなわち車台１４お
よび１４’がブツシュ１５．１ｆｉ’？中心として水平
方向に回動し、車Ｗｉｔ１Ｂが軌道４の延在する方向に
向く。このとき、カーブ検知スイッチ１８を動作させて
、内周車輪側のクラッチ１２？切り、内周車輪を自由に
して外周車輪のみの１輪駆動で走行する。また伸縮性自
在継手１６は、曲線から直線軌道にもどるとき、ホ台１
４，１４’Ｋｒｔ−ｘ進方向の復元力をも与える。
は、クラッチ１２を２個とも連結し、２輪で駆１１ＩＩ
ｋ行うとともに、６個のガイド輪１７ｒ軌迫４側面方同
の動き全規制する。一方、曲線軌道走行の場合には、直
線から曲線軌道にさしかかるとき、Ｊ［輪軸より削方に
配置した通行側のガイド輪１７により汀σの車台１４ま
たは１４′にカーブに沿った方向の曲げモーメントラ与
え、車体９の軌道の接線方向に向かせると同時に、伸縮
性自在継手１６が伸びて曲がり、後の車台１４’または
１４も軌道の接線方向に倣わせる。すなわち車台１４お
よび１４’がブツシュ１５．１ｆｉ’？中心として水平
方向に回動し、車Ｗｉｔ１Ｂが軌道４の延在する方向に
向く。このとき、カーブ検知スイッチ１８を動作させて
、内周車輪側のクラッチ１２？切り、内周車輪を自由に
して外周車輪のみの１輪駆動で走行する。また伸縮性自
在継手１６は、曲線から直線軌道にもどるとき、ホ台１
４，１４’Ｋｒｔ−ｘ進方向の復元力をも与える。
このように動作させることにより、搬送装置は直線軌道
で直進性とそこなわず、曲懐軌道九おいても前後の単輪
軸とホイールベース中心位置で軌道と曲率が一致し、車
輪１８の進行方向と横方間のすべりをなくすことかでき
る。したがって、雇埃の発生を防止することができる。
で直進性とそこなわず、曲懐軌道九おいても前後の単輪
軸とホイールベース中心位置で軌道と曲率が一致し、車
輪１８の進行方向と横方間のすべりをなくすことかでき
る。したがって、雇埃の発生を防止することができる。
第３図は本装置の集電子の構成を示す図である。
図において、１９は集電子、２０は送電レールである。
集１６子１９は転動杉菜α子として構成されたものであ
って、枠体１９ａに集１［１１ング１９ｂと回転目在に
取付けてなるものである。ボールベアリングの外＠ＶＣ
組み込んだ集電リング１９ｂは、外周？送電レール２０
と接触させ、内周から図示しないブラシ？介して搬送装
置側の固定成極に給電するものであり、ブラシ部は密閉
されている。
って、枠体１９ａに集１［１１ング１９ｂと回転目在に
取付けてなるものである。ボールベアリングの外＠ＶＣ
組み込んだ集電リング１９ｂは、外周？送電レール２０
と接触させ、内周から図示しないブラシ？介して搬送装
置側の固定成極に給電するものであり、ブラシ部は密閉
されている。
このため、集電子１９は、走行の際＠何件６で摺動せず
、転＃ＪＪ接触によって搬送装置に給電できる。
、転＃ＪＪ接触によって搬送装置に給電できる。
したがって塵埃の発生？防止することができる。
これを搬送装置のホイールベース中心または車叫軸位置
に取り付けることにより横すべりも防止できる。ざらに
、ｆ本の送電レール２０に対して進１句方回Ｋ ２４＊
配置することにより、送電レールの継ぎ目でのｂｌｌｒ
！ｔｒ′になくすことができる。
に取り付けることにより横すべりも防止できる。ざらに
、ｆ本の送電レール２０に対して進１句方回Ｋ ２４＊
配置することにより、送電レールの継ぎ目でのｂｌｌｒ
！ｔｒ′になくすことができる。
第ψ図、第５図は不装置Ｒｇ）側面図および正面図であ
る。これらの図において２１はモータ駆動軸、２２はり
７ト駆動軸、２８ａ、２８ｂはギヤ、２４はリフトクラ
ッチ、２５．２５’はウオーム機構、２ ｆｌはリール
−２７はリフトベルトである。上Ｊ己走行駆動用のモー
タ軸２１の回転ｒギヤ２８ａ・９３ｂを介してり７ト駆
動軸２２に伝達するようにａ或し、リフト駆動軸２ｚに
はクラッチ２４を設ける。さらに、この軸２２の両端の
ボ台１４゜１４’の中には左右反対向きのウオーム機構
２５゜２５７？取り付ける。そしてこのウオーム機構２
５゜２５′を介してリール２６を回転させ１１７トベル
トを移動させるように構成する。この構成におし）て、
搬送装置の走行中は、クラッチ２４Ｔｔ切り、クラッチ
１２ｔ−入れてモータ軸を回転させる。そしてステーシ
ョンで停止したときには、クラッチ１２全切る。そして
リフト機構を動作させるにをま、クラッチ２４を入れて
モータ１０に駆動する。すると、車輪１８は回転せず、
モータ軸２１と１Ｊフト駆動軸２２が回転し、ウオーム
機構２５．２５’を介してＭＩＪ後のリール２６が反対
方向に同一速度で回転し、これによってリフトベルト２
７？昇降させることかできる０ 第６図は、搬送装置に塔載する走行制御回路の構成を示
す図であり、ｚ８はロータリーエンコーダ、２９は−ｉ
速度指令を与えるためのカウンタＡ１８０は８口減速指
令を与えるためのカウンタＢ１１３１．８２は＋ＪＯ逮
用ゲート、８；３．８４は減速用ゲートである。これを
動作するには、走行指令をディジタル伝送で与え、庫度
フィードバック制御？行うため、モータｌ［Ｊ＠２１に
ロータリーエンコーダ２８？取り付け、出力信号をｙ／
ｖ 変換して速度制御に用いるとともに、モータｌＯの
回転角度に対応したパルス数により加減速指令値を定め
る。搬送装置は発進指令を受けるとモータ１０に起動ト
ルク？与えるために一定の初期値ｍｒカウンタＡ２９に
ランチし、またカウンタＢ１３０にはυ０速ステップ＠
ｎをラッチして）ノロ連用ゲー） ８１ 。
る。これらの図において２１はモータ駆動軸、２２はり
７ト駆動軸、２８ａ、２８ｂはギヤ、２４はリフトクラ
ッチ、２５．２５’はウオーム機構、２ ｆｌはリール
−２７はリフトベルトである。上Ｊ己走行駆動用のモー
タ軸２１の回転ｒギヤ２８ａ・９３ｂを介してり７ト駆
動軸２２に伝達するようにａ或し、リフト駆動軸２ｚに
はクラッチ２４を設ける。さらに、この軸２２の両端の
ボ台１４゜１４’の中には左右反対向きのウオーム機構
２５゜２５７？取り付ける。そしてこのウオーム機構２
５゜２５′を介してリール２６を回転させ１１７トベル
トを移動させるように構成する。この構成におし）て、
搬送装置の走行中は、クラッチ２４Ｔｔ切り、クラッチ
１２ｔ−入れてモータ軸を回転させる。そしてステーシ
ョンで停止したときには、クラッチ１２全切る。そして
リフト機構を動作させるにをま、クラッチ２４を入れて
モータ１０に駆動する。すると、車輪１８は回転せず、
モータ軸２１と１Ｊフト駆動軸２２が回転し、ウオーム
機構２５．２５’を介してＭＩＪ後のリール２６が反対
方向に同一速度で回転し、これによってリフトベルト２
７？昇降させることかできる０ 第６図は、搬送装置に塔載する走行制御回路の構成を示
す図であり、ｚ８はロータリーエンコーダ、２９は−ｉ
速度指令を与えるためのカウンタＡ１８０は８口減速指
令を与えるためのカウンタＢ１１３１．８２は＋ＪＯ逮
用ゲート、８；３．８４は減速用ゲートである。これを
動作するには、走行指令をディジタル伝送で与え、庫度
フィードバック制御？行うため、モータｌ［Ｊ＠２１に
ロータリーエンコーダ２８？取り付け、出力信号をｙ／
ｖ 変換して速度制御に用いるとともに、モータｌＯの
回転角度に対応したパルス数により加減速指令値を定め
る。搬送装置は発進指令を受けるとモータ１０に起動ト
ルク？与えるために一定の初期値ｍｒカウンタＡ２９に
ランチし、またカウンタＢ１３０にはυ０速ステップ＠
ｎをラッチして）ノロ連用ゲー） ８１ 。
８２を開く。このため、ロータリエンフーダ２８からの
パルスをカウントパルスとしてカウンタＢ８０の１直は
減少し、カウンタＡ２９の値は増ＩＪ口していき、モー
タ１０はＩＪＤ速される。そしてカウンタＢ１３０の値
が０になればゲー）！３２が閉じ、カウンタＡ２９の直
は一定値になって定速度制御に入る。次に、搬送装置が
停止指令を受けると減速用ゲー）８８．８４が開かれ、
カウンタＡ２９の値は減少していき、モータｌＯが減速
され、カンンタＡ２９の値か０になると停止する。
パルスをカウントパルスとしてカウンタＢ８０の１直は
減少し、カウンタＡ２９の値は増ＩＪ口していき、モー
タ１０はＩＪＤ速される。そしてカウンタＢ１３０の値
が０になればゲー）！３２が閉じ、カウンタＡ２９の直
は一定値になって定速度制御に入る。次に、搬送装置が
停止指令を受けると減速用ゲー）８８．８４が開かれ、
カウンタＡ２９の値は減少していき、モータｌＯが減速
され、カンンタＡ２９の値か０になると停止する。
このような′！！ｔｔ［１Ｉ２１になっているから、搬
送装置は急激な発進停止をして積荷に振動全与えること
なく走行できるとともに、停止指令を受けた後にモータ
１００回転角に応じた一定距離で、しかもロータリーエ
ンコーダ２８０分割数に依存した高精度でステーション
に停止させることができる。
送装置は急激な発進停止をして積荷に振動全与えること
なく走行できるとともに、停止指令を受けた後にモータ
１００回転角に応じた一定距離で、しかもロータリーエ
ンコーダ２８０分割数に依存した高精度でステーション
に停止させることができる。
以上説明したように、本発明によれば、左右の車輪の駆
動系に直線軌道走行時に左右双方のｉ輪に駆動させ、曲
線軌道走行時に曲線軌道の外周側に位置する車輪のみＴ
ｈ駆動させるクラッチ機構を設け、曲線軌道走行時に車
輪が軌道の延在する方向に同くように車軸を回転させる
車軸回転機６１を設け、軍＠全常に直線および曲線軌道
の軌跡に倣わせるようにしたので、凰輪と軌道とが強い
力で擦れるのを防止することができ、これによって走行
中の車輪周辺部から塵埃が発生するのを防止することが
でき、装置の配置６されている工場内の環境を清浄に保
つことができる効果が得られる。
動系に直線軌道走行時に左右双方のｉ輪に駆動させ、曲
線軌道走行時に曲線軌道の外周側に位置する車輪のみＴ
ｈ駆動させるクラッチ機構を設け、曲線軌道走行時に車
輪が軌道の延在する方向に同くように車軸を回転させる
車軸回転機６１を設け、軍＠全常に直線および曲線軌道
の軌跡に倣わせるようにしたので、凰輪と軌道とが強い
力で擦れるのを防止することができ、これによって走行
中の車輪周辺部から塵埃が発生するのを防止することが
でき、装置の配置６されている工場内の環境を清浄に保
つことができる効果が得られる。
第１図は従来の搬送装置の概略構成とその走行状態を示
す説明図、第２図ないし第６図は本発明の一実施例？示
す図であって、第２図は製脱の平面図、第３図は集電子
の斜視図、第ψ図は装置Ｗ。 側１１０図、第５図は装置の正［ｍ図、第６図は走行制
御回路の回路図である０ ４・・・・・・＠道、９・・・・・・搬送装置車体、１
２・・・・・・走行うラッチ（クラッチ機構）、１８・
・・・・・車輪、１４゜１４’・・・・・・本台、１５
・・・・・ブツシュ（単軸回転機構）。
す説明図、第２図ないし第６図は本発明の一実施例？示
す図であって、第２図は製脱の平面図、第３図は集電子
の斜視図、第ψ図は装置Ｗ。 側１１０図、第５図は装置の正［ｍ図、第６図は走行制
御回路の回路図である０ ４・・・・・・＠道、９・・・・・・搬送装置車体、１
２・・・・・・走行うラッチ（クラッチ機構）、１８・
・・・・・車輪、１４゜１４’・・・・・・本台、１５
・・・・・ブツシュ（単軸回転機構）。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 直線および曲線からなる高架式軌道上？走行。 停止させ、任意の１つのステーションで架下り荷を積み
込み、他やステーションで荷降しを行う高架式搬送装置
において、左右の車輪の駆動系に直暇軌道走行時に左右
双方の車輪ｖｉ−駆ｖＪすせ、曲線軌道走行時に曲線軌
道の外周側に位置するｍｆ！１のみを駆動させるクラッ
チ＠構を設け、曲線軌道走行時に１４Ｌ輪が軌道の延在
する方向に向くように車軸ｔ−何回転せる本軸回転機構
？設けてなること全特徴とする高架式搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4856483A JPS59176151A (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 高架式搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4856483A JPS59176151A (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 高架式搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59176151A true JPS59176151A (ja) | 1984-10-05 |
| JPH0123348B2 JPH0123348B2 (ja) | 1989-05-02 |
Family
ID=12806882
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4856483A Granted JPS59176151A (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 高架式搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59176151A (ja) |
-
1983
- 1983-03-23 JP JP4856483A patent/JPS59176151A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0123348B2 (ja) | 1989-05-02 |
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