JPH01237919A - 複合型磁気ヘッド用コアの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、複合型磁気ヘッド用コアの製造法に係り、特
にＶＴＲ等の高周波信号の記録再生に適した磁気ヘッド
、なかでも、高保磁力媒体に対して好適な複合型磁気ヘ
ッドを与える複合型磁気ヘッド用コアを有利に製造し得
る方法に関するものである。

（背景技術） 高密度磁気記録再生装置においては、磁気記録媒体の保
磁カニＨＣを大きくすれば有利であることが知られてい
るが、高保磁力の磁気記録媒体に情報を記録するために
は、磁気ヘッドからの漏れ磁界を強くする必要がある。

ところが、現在、磁気ヘッドを構成するコアに用いられ
ているフェライト材は、その飽和磁束密度二Ｂ、が４０
００〜５０００ガウスであるため、得られる記録磁界の
強さに限度があり、磁気記録媒体の保磁力が１０００エ
ルステツドを越える場合には、記録が不充分になるとい
う欠点がある。

一方、金属磁性材料で総称されるＦｅ−Ａｆｆｉ−３ｉ
合金（センダスト）、Ｎｉ−Ｆｅ合金（パーマロイ）等
の結晶質合金、或いは非晶質合金を用いた磁気ヘッドは
、一般に、フェライト材より飽和磁束密度が高く、また
摺動ノイズが低いという優れた特性を有している。しか
しながら、一般に使用されるトラック幅（１０μｍ以上
）の厚みでは、渦電流損失により、ビデオ周波数領域で
の実効透磁率がフェライトより低下し、再生効率が低下
するという欠点を有する。また、耐摩耗性に関しては、
フエライ］・よりも数段劣っているのである。

そこで、上記のような問題を解決するために、フエライ
１−と金属磁性材を組み合わせて、両者の良い点を利用
した複合型磁気へ・ンド用コアが提案されている。

例えば、第１図に、そのような複合型磁気ヘッド用コア
の一つの斜視図が示されているように、コア部１．１′
が高透磁率のフェライトからなり、また記録作用の主要
部となる磁気ギャップ５の近傍部がスパッタリング等の
物理蒸着によって形成された金属磁性材２，２′からな
る構造の複合型磁気ヘッド用コアが提案されている。こ
の磁気へンド用コアにおいては、高密度記録のため、ト
ランク幅を狭くし、磁気ギャップ５の近傍にトラック幅
絞り用の切欠溝７．７を両側に設けて、そこに補強用の
非磁性材３が充填されている。なお、６はコイル巻線用
の窓（孔）である。第２図には、かかる従来の磁気ヘッ
ド用コアの記録媒体対向面の平面図が示されているが、
そこにおいて、フェライトコア部１，１′と金属磁性材
２，２′の結合境界部４．４′が擬似ギャップとして作
用して、記録再生特性を損なう欠点があることが認めら
れている。特に、結合境界部４．４′と磁気ギャップ５
が平行になると、その境界部で相当量の信号を拾うこと
になり、再生出力の周波数特性にうねりが生ずる、所謂
コンタ効果が激しくなるという問題を内在しているので
ある。

ところで、このコンタ効果の原因としては、以下のこと
が考えられる。即ち、上記の構造のヘンドコアは、一般
的には次のような工程で製造される。先ず、フェライト
ブロックの鏡面仕上げされたギャップ対向面に金属磁性
材を被着させた後、トラック幅規定溝を形成し、該トラ
ック幅規定溝に非磁性材、−船釣にはガラスを埋設する
。その後、ギャップ接合を行なうというプロセスである
。

しかしながら、このような製造方法では、金属磁性材か
らなる磁性層の形成後に非磁性材（ガラス）を流し込む
こととなるため、信幀性のあるガラスを用いるためには
、その流し込み温度が６５０°Ｃ以上となり、フェライ
トと金属磁性層の界面での拡散反応が生じ、非磁性層が
生し易い。そしζ、この界面の非磁性層が擬似ギャップ
として作用し、コンタ効果が現れることとなるのである
。また、トラック幅規定溝を形成する際、金属磁性層を
砥石で切り込むため、フェライトに比べ砥石摩耗が大き
いと共に、金属磁性層が剥がれ易いという難点を有して
いるのである。

一方、第３図に示すコア形状の場合は、トランク幅規定
溝形成後に金属磁性膜を形成するため、砥石摩耗、金属
磁性膜の剥がれは生じ難いが、金属磁性膜形成後に、ト
ラック幅規定溝に非磁性材（ガラス）を流し込むため、
第１図の如き構造のヘッドコアと同様に、界面での拡散
反応層を生じ、擬似ギャップとして作用し易い。また、
金属磁性膜の厚み精度がトラック幅に影響するという欠
点を有するのである。

さらに、特開昭５８−１５５５１３号公報には、第４図
（ａ）及び（ｂ）に示される如き構造の複合型磁気ヘッ
ド用コアも堤案されている。この磁気ヘッド用コアは、
磁気記録媒体対向面における断面形状が突出している突
起部を有する二個の高透磁率フェライトブロック２１．
２ビの該突出部の少なくとも両側面に、フェライトより
飽和磁束密度の高い磁性体２２．２２’が被着され、該
突出部の先端において、磁気ギャップ２３を介して、該
磁性体２２．２２’が相対峙し、且つ該突出部の先端に
おけるフェライトの幅がトラック幅より小なるように構
成されている。なお、２５．２６は、それぞれ、非磁性
埋設材、コイル巻線用窓を示す。

このような構造の場合において、フェライト２１．２ビ
と金属磁性材２２．２２’の境界結合部２４．２４’が
磁気ギャップ２３に対して大きく傾斜しているため、第
１図に示される如き磁気ヘッド用コアにおけるような再
生出力のコンタ効果がない利点があるものの、フェライ
トブロックの突起部の強度が弱く、所望の形状が得難い
上に、磁気ギャップ２３の形成面の研磨量によりトラッ
ク幅が変動し易いため、トラック幅の精度を得ることも
難しく、従って歩留りが低く、量産性に乏しいという問
題を内在している。

そしてまた、特開昭６１−２６５７１４号公報や特開昭
６１−２７３７０６号公報等には、フェライトと金属磁
性材とを組み合わせてなる複合型磁気ヘッド用コアとし
て、フェライトとｉｆｉ性材との接合部に凹凸部を設け
て、左右のコア部上の凹凸部の位置を非対称の位置に配
したり、前記磁性材中に磁気ギャップ部に向って延びる
少なくとも一本の微小間隙を形成せしめた構造のものが
明らかにされ、そこでは、そのような磁気ヘッド用コア
が、次のように製造されている。

すなわち、所定のフェライトブロックに、縞状にスリッ
トを入れてなるレジスト膜を付与して、エツチングせし
めることにより、波形の凹凸面を形成したフェライトブ
ロックと為し、次いでそのような波形の凹凸面に金属磁
性材からなる磁性層を形成し、そしてその表面を研磨し
て平坦な面とした後、トラック幅を規定する溝を互いに
平行に複数条形成し、次いでコイル巻線用の溝を形成し
た後、二つのフェライトブロックを組み合わせて接合せ
しめることにより、一体的な組合せ体と為し、更にその
後、このフェライトブロック組合せ体を所定の位置にて
切断して、目的とする複合型磁気ヘッド用コアを順次切
り出すようにした！！Ｉ造手法が、明らかにされている
のである。

し示しながら、このような複合型磁気ヘッド用コアの製
造方式にあっては、金属磁性材からなる磁性層の形成の
後にトラック幅規定溝に非磁性材（ガラス）を流し込む
こととなるために、次のような問題を内在しているので
ある。即ち、金属磁性材がアモルファス合金或いはパー
マロイ合金の場合において、そのような磁性材が５００
°Ｃ以上に熱せられると、その磁気特性が劣化し、特に
アモルファス合金の場合、結晶化するために、大幅に劣
化するようになるところから、５００°Ｃ以下でトラッ
ク幅規定溝にガラスを流し込まねばならず、それ故低融
点ガラスを使用しなければならない。而して、低融点ガ
ラスの場合、磁気記録媒体の摺動時の耐摩耗性に難点が
あるのみならず、強度が弱く、研削、切断等に欠けを生
じるという難点を有しているのである。

また、金属磁性材がセンダストの場合にあっては、上記
した如き高融点ガラスの流し込みにより、その磁気特性
が劣化するという問題はないが、５００°Ｃ以上、例え
ば７００〜８００°Ｃ以上に熱すると、フェライトとの
熱膨張係数差が大きいため（センダスト１５０Ｘ１０−
’、フェライト：ｌｉｏ〜１２０ＸＩＯ−’）、ガラス
融着時にセンダストの内部応力が大きくなり、またセン
ダストの材質自体が粘りがなく、脆＜且つフェライトの
波形表面に付着しているため、このガラス融着時或いは
後の研削、切断加工時にクラックが入ったり、或いは剥
離し易い等という問題を惹起する。

何れにしても、このような、金属磁性材からなる磁性膜
を形成した後に、トラック幅規定溝に非磁性材（ガラス
）を流し込む方式に従う複合型磁気ヘッド用コアの製造
手法には、実用上において幾つかの難点があり、工業的
に有利に採用し得るものではなかったのである。

更にまた、特開昭６１−２４２３０７号公報には、トラ
ック幅規制用の溝にトラックガラスを埋め込んだ後に、
そのトラック幅規制用の溝間の部分にトラック幅相当の
溝を形成（トラック溝入れ）して、そこにアモルファス
磁性材の層を形成することからなる複合型磁気ヘッド用
コアの製造手法も明らかにされているが、そこではその
トラック溝入れ法に関して何等の具体的開示も為されで
おらず、従ってそのような手法の実用化には、尚解決さ
れるべき問題が残されているのである。例えば、仮に、
そのようなトラック溝入れを砥石を用い゛て行なった場
合において、砥石の位置精度及び切り込み深さにより、
トラック幅が変動することとなり、量産性に欠ける等と
いう問題が内在しているのである。

（発明の目的） ここにおいて、本発明は、かかる事情に鑑みて為された
ものであって、その目的とするところは、ト記従来の複
合型磁気ヘッド用コア及びその製造手法における問題を
解決し、高保磁力記録媒体にも優れた記録再生特性を示
す磁気ヘッド用コアを提供し、且つその容易な製造方法
を提供するものであり、特にトラック幅精度の向上を容
易にし、エツチング技術によりフェライトのみを優先的
にエツチングさせ、フェライトと金属磁性材の結合界面
を磁気ギャップに対し略平行としつつも、再生出力にお
けるコンタ効果の少ない複合型磁気ヘッド用コアを有利
に製造することにある。

（発明の構成） そして、本発明は、かかる目的を達成するために、第一
及び第二のフェライトブロックを突き合わせて、環状の
磁路を構成する一方、それらフェライトブロックの突合
せ部に所定間隙の磁気ギャップを形成してなる組合せ体
を用いた磁気ヘッド用コアの製造法において、（ａ）前
記二つのフェライトブロックの少なくとも一方のものの
他方のフェライトブロックに対する突合せ面の少なくと
も磁気ギャップ形成部位に、トラック幅を規定する互い
に平行な少なくとも２つの溝を、前記突合せ面に平行な
方向で且つ前記磁気ギャップとは直交する方向において
形成する第一工程と、（ｂ）該トラック幅規定溝の形成
されたフェライトブロックの突合せ面に所定の非磁性材
を適用して、該トラック幅規定溝内に該非磁性材を埋設
する第二工程と、＜ｃ＞該フェライトブロックの突合せ
面に適用された非磁性材の不要部分を除去して、前記ト
ラック幅規定溝に挟まれた］・ラック部を露呈せしめる
第三工程と、（ｄ）該露呈せしめられたトラック部の少
なくとも磁気ギャップ形成部位に位置する部分が露出部
として残るように、所定のレジスト膜を前記フェライト
ブロックの突合せ面に形成した後、かかるトラック部の
露出部を、リン酸にて化学エツチングせしめ、該露出部
を所定深さの凹所と為す第四［Ｌ程と、（ｅ）該フェラ
イトブロックのエッチングされた突合せ面に所定の金属
磁性材を被着させる第五工程と、（ｆ）該金属磁性材の
被着されたフェライトプロ・ンクの突合せ面の所定厚さ
部分を除去し、前記トラ・ンク部の凹所上に形成された
該金属磁性材の被着層を所定厚さで残しつつ、前記トラ
ック幅規定溝に埋設されている非磁性材を露呈せしめる
第六工程と、（ｇ）該第六工程に先立って或いは該第六
工程の後に、前記第一及び第二のフェライトプロ・ンク
の少なくとも一方の突合せ面に、コイル巻線用の溝を形
成する第七工程と、（ｈ）前記第一工程乃至第七工程の
終了した第一及び第二のフェライトブロックの少なくと
も一方のものの突合せ面の少なくとも磁気ギャップ形成
部位に、所定厚さの非磁性層を形成する第八工程と、（
ｉ）該第八工程を終了した第一及び第二のフェライトプ
ロ・ンクの突合せ面の磁気ギャップ形成部位を対向させ
、互いに接合して、一体化する第九工程と、Ｎ）かかる
接合一体化された第一及び第二のフェライトブロック組
合せ体を所定の位置にて切断し、少なくとも１個の複合
型磁気ヘッド用コアを得る第１一工程とを含むことを特
徴とする複合型磁気ヘッド用コアの製造法を、その要旨
とするものである。

（発明の具体的構成・実施例） ところで、かかる本発明において、目的とする複合型磁
気ヘッド用コアを製造するために用いられる組合せ体を
与える第一及び第二のフェライトブロックには、従来か
らの高透磁率のフェライト材が用いられ、一般に、複数
の磁気ヘッド用コアが製造され得るように、所定厚さの
長手板状のブロックとして用いられて、それらの突合せ
によって、環状の磁路が構成せしめられるのである。な
お、この高透磁率のフェライトブロックとしては、Ｍｎ
−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライト等の単結晶体
若しくは多結晶体或いはそれらの複合体が用いられ、特
に単結晶体を用いる場合にあっては、その＜１００）、
（１１０）、（３１１）。

（３３２）等の結晶面がギャップ対向面（フェライトブ
ロック突合せ面）として有利に選択されることとなる。

そして、本発明にあっては、先ず、第一工程において、
上記二つのフェライトブロックの少なくとも一方のもの
の他方のフェライトブロックに対する突合せ面の少なく
とも磁気ギャップ形成部位にトラック幅を規定する互い
に平行な少なくとも二つの溝が、該突合せ面に平行な方
向で且つ磁気ギャップとは直交する方向において形成さ
れることとなる。

ところで、第５図（ａ）には、所定の高透磁率フェライ
トブロック３１のギャップ対向面（突合せ面）３１ａに
おける磁気ギャップ形成部位にトラック幅を規定する溝
３２の複数が形成された例が示されているが、このトラ
ック幅規定溝は、第５図（ａ）の如く、フェライトブロ
ック３１の稜部（磁気ギャップ形成部位）のみに形成さ
れる他、第５図（ｂ）に示される如く、コア後部（磁気
記録媒体対向面３１ｂとは反対側の部分）まで通して形
成された溝３２′であっても、何等差し支えない。なお
、このトラック幅規定溝３２．３２’の溝形状は適宜に
選択され、例えば、第６図（ａ）や（ｂ）の如き形状に
おいて設けられることとなるが、後工程においてギャッ
プ対向面３１ａの研ＩＩＩの大小が生じても、トラック
幅の変動が小さい形状、即ちギャップ対向面３１ａに直
角な直線部を存する第６図（ａ）に示される如き溝形状
が、第６図（ｂ）の溝形状よりも、好適に採用される。

そして、このようにして、トラック幅規定溝３２の設け
られたフェライトブロック３１には、第７図に示される
ように、第二工程として、そのトラック幅規定溝３２の
形成されたギャップ対向面３１ａ上に所定の非磁性材３
３が適用され、以てかかるトラック幅規定溝３２内にも
、該非磁性材３３が埋設、充填せしめられることとなる
。なお、この非磁性材３３は、ガラス、セラミック系の
無機接着剤或いは硬質樹脂等が用いられるが、磁気記録
媒体の走行性等の安定性面からは、ガラスが適している
。

次いで、このようにして、非磁性材３３をトラック幅規
定溝３２内に埋設した後、フェライトブロンク３１のギ
ャップ形成面３１ａ上の不要な非磁性材３３部分を少な
くとも除去して、該トラック幅規定溝３２．３２にて挟
まれたトラック部が露呈せしめられる（第三工程）。こ
の非磁性材３３の不要部分の除去には、一般に、砥石に
より研削除去せしめる手法が採用され、またそのような
除去操作によって、フェライトブロック３１のギャップ
対向面３１ａの所定厚さ部分が除去せしめられる。そし
て、このような除去操作によって、第８図に示される如
く、トラック幅規定溝３２内にのみ非磁性材３３が埋設
されてなるフェライトブロック３１が得られる。

第四工程では、かかるトラック幅規定溝３２内に所定の
非磁性材３３が埋設されてなるフェライトブロック３１
に対して、そのトラック部が露呈されたギャンブ対向面
３１ａに、第９図及び第１０図に示されるように、かか
るギャップ対向面３１ａの少なくとも記録媒体摺動部側
（磁気ギャップ形成部位）を残して、所定のレジスト膜
３４が形成される。即ち、前記露呈せしめられたトラッ
ク部の少なくとも磁気ギャップ形成部位に位置する部分
が露出部として残るように、レジスト膜３４がフェライ
トブロック３１のギャップ対向面３１ａ上に形成される
のである。

次いで、かかる所定のレジスト膜３４が形成されたフェ
ライトブロック３１には、リン酸を用いた化学エツチン
グ処理が施され、それによって、トラック幅規定溝３２
内に埋め込まれたガラスの如き非磁性材３３のエツチン
グを回避しつつ、レジスト膜３４にて覆われていないト
ランク部の露出部が第１１図及び第１２図に示される如
く除去されて、該トラック部の幅に一致する幅を有する
所定深さの凹所が形成されるのである。なお、この化学
エツチング条件としては、トラック幅規定溝３２内に埋
設された非磁性材３３に対するフェライトのエツチング
比の極めて大きい条件が選ばれることとなる。また、か
かる化学エツチングは、具体的には、一般にリン酸水溶
液を用いて実施されミそして例えば液比型：１．６０＝
１．７０、液温：４０〜１５０°Ｃ程度の条件下におい
て遂行されるものである。なお、トラック幅規定溝３２
埋込用非磁性材であるガラスとして、ＰｂＯ５ｉＯｚ系
のガラスを用いれば、フェライトに対するガラスのエツ
チング比は１／１００以下となり、トラック幅精度に影
響を与えることはないのである。

そして、このエツチングの後、レジスト膜３４を除去す
ると、第１２図に拡大して示される如き形状、即ち磁気
ギャップに対し、略平行な形状にエツチングされた所定
深さの凹所が形成されたトラック部が露呈することとな
る。

そして、このエツチング処理の施されたフェライトブロ
ック３１には、第１３図に示されるように、そのギャッ
プ対向面３１ａ全面に対して、フェライトより飽和磁束
密度の高い金属磁性材３７がスパッタリング等によって
被着せしめられる（第五工程）。この金属磁性材３７に
は、Ｆｅ−３ｉ（Ｓｉ：６．５重量％）、Ｆｅ−Ａ／２
−３ｉ合金（センダスト）、Ｎｉ−Ｆｅ合金（パーマロ
イ）等で代表される公知の結晶質合金があり、一方非晶
質合金としても、例えばＦｅ−Ｃｏ−３ｉ　−Ｂ系で代
表される周知のメタル−メタロイド系合金やＣｏ−Ｚｒ
、、Ｃｏ−Ｚｒ　−Ｎｂ等の周知ツメタル−メタル系合
金等が用いられる。なお、Ｆｅ−３ｉ、Ｆｅ−３ｉ−Ａ
／！系合金を用いる場合には、耐食性向上のために、５
重量％以下のＣｒ、Ｔｉ。

Ｔａ等の元素添加が適宜行なわれる。また、このような
磁性材の被着には、他に真空蒸着、イオンブレーティン
グ、ＣＶＤ、メツキ等でも可能であるが、組成変動等が
大きいことや、被着物質が限定されることから、スパッ
タリング法が好適に採用される。

なお、このような金属磁性材３７の被着に先立ち、フェ
ライトブロック３１の少なくともトラック部のエツチン
グ面３６上に、中間層として、ガラス層を、例えば数十
〜１００人程度０厚さにおいて被着せしめることにより
、かかる金属磁性材の層の密着性をより高めることが可
能である。また、この中間ガラス層の厚みが１００Å以
下ならば、擬似ギヤノブとしての作用は小さく、実用上
問題はないのであり、また中間層として、Ｆｅ。

Ｎｉ、Ｃｏ等のうち少なくとも１種の元素を用いれば、
密着上有利となる。更に、これらの磁性材の場合、ｌ０
００Å以下ならば、擬似ギャップとしての作用は小さく
、実用上問題とはならないのである。

次いで、かかる金属磁性材３７の被着されたフェライト
ブロック３１には、そのギャップ対向面３１ａに対して
、通常の切削、研磨操作が施され、かかるフェライトブ
ロック３１に被着した金属磁性材３７の不要部、フェラ
イト部分及び非磁性材３３の一部が除去せしめられる（
第六工程）。即ち、この金属磁性材３７の被着されたフ
ェライトブロック３１のギャップ対向面３Ｉ２１の所定
厚さ部分を除去することにより、第１４図に示されるよ
うに、トラック部のエツチング面３６上に形成された金
属磁性材３７の被着層を所定厚さで残しつつ、トラック
幅規定溝３２に埋設されている非磁性材３３を露呈せし
めて、かかる残存する金属磁性材層とフェライト部分に
て構成されるトラック部の幅が規定されることとなる。

また、かかる第六工程に先立つか、或いはその工程の後
で、二つのフェライトブロック３１，３１′の少なくと
も一方に、そのギャップ対向面３１ａ側において、コイ
ル巻線用の溝３８、また必要に応じて後部に補強用のガ
ラスを埋め込むための溝が形成される。なお、ここでは
、一方のフェライトブロック３１にのみ、上記第一工程
乃至第六工程が適用されているが、また他方のフェライ
トブロック３１′に対しても、同様に第一工程乃至第六
工程が付与されていても、同等差支えなく、特に本発明
にあっては、二つのフェライトブロック３１．３１’に
対して、それぞれ上記第一工程乃至第六工程が有利に適
用されることとなる。そして、その後、フェライトブロ
ック３１．３１’の互いに突き合わされるギャップ対向
面（３１ａ）には、表面研磨が施されて最終仕上げが行
なわれ、第１５図に示されるように、ギャップ対向仕上
げ面３９を有するフェライトブロック３１．３１’とさ
れる。

そして、かかる第七工程で得られたフェライトブロック
３］、３１’　の少なくとも一方のギャップ対向仕上げ
面３９　（３９’　）のギャップ形成部位に、５ｉｎ２
．ガラス等のギャップ形成用非磁性材が所定厚みにスパ
ッタリングにて適用され、所定厚さのギャップ形成層が
形成されることとなる（第八工程）。

次いで、かかる第八工程で得られた二つのフェライトブ
ロック３１．３１’を、それぞれのギャップ対向仕上げ
面３９．３９’　をそれぞれのトラック部が合致するよ
うに整列、対向させて、環状の磁路を構成せしめ、コイ
ル巻線溝、更に必要に応じて後部溝にガラス棒を差し込
み、加熱、加圧することにより、これらの溝に入れたガ
ラスを溶融させてフェライトブロック３１．３１’を接
合する。例えば、軟化点３６０°Ｃのガラスを用い、５
００　”Ｃで接合するのである。

また、かかる第九工程で接合されたフェライトブロック
接合体（Ｍｉ合せ体）４０を、トラック幅を中心にして
第１７図において点線で示される所要のコア幅（Ｔ）と
なるように切断せしめることにより、目的とする複合型
磁気ヘンド用コアが順次切り出され、以てその少なくと
も１個が取得されることとなる。なお、このコアの切り
出しに際して、場合により、公知の如く、アジマス角だ
け傾けて切断する方法も採用される。

このようにして得られた、本発明に従う複合型磁気ヘッ
ド用コアの構造が、第１８図に斜視図として示されてい
る。この構造は、第一工程において、フェライトブロッ
ク３１の稜部にのみトラック幅規定溝３２を形成した第
５図（ａ）の場合に対応しており、また第１９図は、か
がる磁気ヘッド用コアの磁気記録媒体対向面からみた要
部の形態が示されている。一方、第２０図に示される磁
気ヘッド用コアの構造は、前記第一工程でフェライトブ
ロック３１の後部までトラック幅規定溝３２′を形成し
た第５図（ｂ）の場合に対応する構造のものである。な
お、これらの図において、４１は、左右のトラック部の
金属ｆｆｆ性材層３７．３７′間に形成される磁気ギャ
ップである。

そして、このようにして、本発明に従って得られた複合
型磁気ヘッド用コアには、更に公知の如く、そのコイル
巻線用の溝３８によって形成された孔４２を利用して、
コイルが巻装され６．以て目的とする複合型磁気ヘソ！
・とされるのである。

以上、本発明に従う磁気ヘット用コアの製造手法につい
て、ＶＴＲ用磁気ヘッド用コアの製造例に基づいて、詳
細に説明してきたが、本発明が、かかる例示の具体例に
のみ限定して解釈されるものでは決してなく、本発明の
趣旨を逸脱しない限りにわいて、当業者の知識に基づい
て種々なる変更、修正、改良等を加えた形態において実
施され得るものであることが、理解されるべきである。

また、本発明に従う複合型磁気ヘッド用コアの製造手法
は、単に例示のＶＴ）マ用ヘッドに止まらず、ＦＤＤ用
ヘッド、ＲＤＤ用ヘッド、更にはＤＡＴ用ヘント等の磁
気ヘットのためのコアの製造にも、適用可能であること
は、言うまでもないところである。

（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明に従う複合型磁
気ヘッド用コアの製造手法は、（ａ）得られる複合型磁
気ヘッド用コアにおいて、従来のものに比べ、主磁気回
路がフェライトから構成されており、金属磁性材は磁気
ギャップ近傍のみに存在する構成のため、渦電流損失を
小さく出来る方法となっていること、（ｂ）トラック幅
規定溝にガラスを埋設した後に金属磁性材を成膜するた
め、高信頼性のトラックガラスが使用可能であると共に
、ギャップ接合は低温で接合出来るため、金属磁性材と
フェライトの拡散反応層を薄くすることが出来、擬似ギ
ャップ効果、即ちコンタ効果を小さくすることが出来る
こと、更に、金属磁性層と接するフェライト表面はエツ
チングされた面であるため、磁気特性の劣化がなく、擬
似ギャップに寄与する影響はないという利点も有してい
ること、 （ｃ）金属磁性材を埋込むための溝形成が不要となるこ
とにより、またトラック幅規定用の溝に予め埋設された
非磁性材とフェライトのエツチング速度の比を利用する
ことにより、高精度のトラック幅からなる磁気ヘッド用
コアが量産出来ること、 （ｄ）レジストを用いたリソグラフィー技術とエツチン
グ技術の組合せにより、多数のフェライトブロックを同
時に且つ均一な形状にエツチングすることが出来、ひい
てはベント特性の均一な磁気ヘッド用コアが量産出来る
こと、（ｅ）予めトラック幅規定溝内に非磁性材を流し
込んだ後に、金属磁性材からなる磁性膜を形成するもの
であるところから、耐摩耗性、加工時の欠は等の問題の
ない、高融点ガラスの使用が可能であり、特に金属磁性
材としてアモルファス合金やパーマロイ合金ヲ用いり場
合にあっては熱劣化がなく、一方センダスｌ−を用いた
場合にあっては、後の加工工程においてクラック、剥離
等の問題がないところから、磁気ヘッド用コアの工業的
な製造が有利に行なわれ得ること、 等の数々の大きな利点を有しているのである。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は、それぞれ、従来の複合型磁気ヘッ
ド用コアの一例を示す斜視図及び−Ｆ面図であり、第３
図は、従来の複合型磁気ヘンド用コアの他の例を示す第
２図に相当する図であり、第４図（ａ）及び（ｂ）は、
それぞれ、従来の複合型磁気ヘッド用コアの更に他の例
を示す斜視図及び上面図である。 第５図乃至第２０図は、本発明の一実施例に係る各工程
の説明図であって、第５図（ａ）及び（ｂ）は、それぞ
れ異なるトラック幅規定溝を設けたフェライトブロック
の斜視図、第６図（ａ）及び（ｂ）は、それぞれトラン
ク幅規定溝の異なる断面形態を示す断面略図、第７図は
第二工程を終了した状態のフェライトブロックの要部斜
視図、第８図は第三工程を終了した状態を示すフェライ
トブロックの斜視図、第９図は第四工程においてレジス
ト膜の形成された状態を示すフェライトブロックの斜視
図、第１０図は、第９図のレジスト膜を設けてなるフェ
ライトブロックの要部拡大説四囲、第１．１図は第四工
程におけるエツチング後の状態を示すフェライトブロッ
クの斜視図、第１２図は、第１１図における要部拡大説
明図、第１３図は第五工程の実施されたフェライトブロ
ックの要部断面説明図、第１４図は第六工程の施された
フェライトブロックの斜視図、第１５図は第七工程の実
施されたフェライトブロックの斜視図、第１６図は第九
工程において二つのフェライトブロックが一体化されて
なる組合せ体の斜視図、第１７図は弟子工程において１
個の複合型磁気ヘッド用コアを得るための切断位置を説
明する組合せ体の上面図、第１８図及び第１９図は、そ
れぞれ本発明の工程に従って得られる複合型磁気ヘッド
用コアの一例を示す斜視図及び上面図、第２０図は本発
明に従って得られる複合型磁気ヘッド用コアの他の一例
を示す第１８図に対応する図である。 ａｘ、’　３ｔ’：フェライトブロック３１ａ：ギャン
ブ対向面 ３２．３２’　　：　トラック幅規定溝３３．３３’　
　：非磁性埋設材 ３４ニレジスト膜　　３６；エツチング面３７．３７’
　　：金属磁性材 ３８；コイル巻線用溝 ３９：ギャップ対向仕上げ面 ４０：フェライトブロック接合体 ４１：磁気ギャップ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 第一及び第二のフェライトブロックを突き合わせて、環
   状の磁路を構成する一方、それらフェライトブロックの
   突合せ部に所定間隙の磁気ギャップを形成してなる組合
   せ体を用いた磁気ヘッド用コアの製造法において、 前記二つのフェライトブロックの少なくとも一方のもの
   の他方のフェライトブロックに対する突合せ面の少なく
   とも磁気ギャップ形成部位に、トラック幅を規定する互
   いに平行な少なくとも２つの溝を、前記突合せ面に平行
   な方向で且つ前記磁気ギャップとは直交する方向におい
   て形成する第一工程と、 該トラック幅規定溝の形成されたフェライトブロックの
   突合せ面に所定の非磁性材を適用して、該トラック幅規
   定溝内に該非磁性材を埋設する第二工程と、 該フェライトブロックの突合せ面に適用された非磁性材
   の不要部分を除去して、前記トラック幅規定溝に挟まれ
   たトラック部を露呈せしめる第三工程と、 該露呈せしめられたトラック部の少なくとも磁気ギャッ
   プ形成部位に位置する部分が露出部として残るように、
   所定のレジスト膜を前記フェライトブロックの突合せ面
   に形成した後、かかるトラック部の露出部を、リン酸に
   て化学エッチングせしめ、該露出部を所定深さの凹所と
   為す第四工程と、 該フェライトブロックのエッチングされた突合せ面に所
   定の金属磁性材を被着させる第五工程と、該金属磁性材
   の被着されたフェライトブロックの突合せ面の所定厚さ
   部分を除去し、前記トラック部の凹所上に形成された該
   金属磁性材の被着層を所定厚さで残しつつ、前記トラッ
   ク幅規定溝に埋設されている非磁性材を露呈せしめる第
   六工程と、 該第六工程に先立って或いは該第六工程の後に、前記第
   一及び第二のフェライトブロックの少なくとも一方の突
   合せ面に、コイル巻線用の溝を形成する第七工程と、 前記第一工程乃至第七工程の終了した第一及び第二のフ
   ェライトブロックの少なくとも一方のものの突合せ面の
   少なくとも磁気ギャップ形成部位に、所定厚さの非磁性
   層を形成する第八工程と、該第八工程を終了した第一及
   び第二のフェライトブロックの突合せ面の磁気ギャップ
   形成部位を対向させ、互いに接合して、一体化する第九
   工程と、 かかる接合一体化された第一及び第二のフェライトブロ
   ック組合せ体を所定の位置にて切断し、少なくとも１個
   の複合型磁気ヘッド用コアを得る第十工程とを、 含むことを特徴とする複合型磁気ヘッド用コアの製造法
   。