JPH0622045B2 - 複合型磁気ヘッド用コアの製造法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、複合型磁気ヘッド用コアの製造法に係り、特
にＶＴＲ等の高周波信号の記録再生に適した磁気ヘッ
ド、なかでも高保磁力媒体に対して好適な複合型磁気ヘ
ッドを与える、複合型磁気ヘッド用コアを有利に製造し
得る方法に関するものである。

（背景技術） 高密度磁気記録再生装置においては、磁気記録媒体の保
磁力：Ｈ_Ｃを大きくすれば有利であることが知られてい
るが、高保磁力の磁気記録媒体に情報を記録するために
は、磁気ヘッドからの漏れ磁界を強くする必要がある。
ところが、現在、磁気ヘッドを構成するコアに用いられ
ているフェライト材は、その飽和磁束密度：Ｂ_Ｓが４０
００〜５０００ガウスであるため、得られる記録磁界の
強さに限度があり、磁気記録媒体の保磁力が１０００エ
ルステッドを越える場合には、記録が不充分になるとい
う欠点がある。

一方、金属磁性材料で総称されるＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金
（センダスト）Ｎｉ−Ｆｅ合金（パーマロイ）等の結晶
質合金、或いは非晶質合金を用いた磁気ヘッドは、一般
に、フェライト材より飽和磁束密度が高く、また摺動ノ
イズが低いという優れた特性を有している。しかしなが
ら、一般に使用されるトラック幅（１０μｍ以上）の厚
みでは、渦電流損失により、ビデオ周波数領域での実効
透磁率がフェライトより低下し、再生効率が低下すると
いう欠点を有する。また、耐摩耗性に関しては、フェラ
イトよりも数段劣っているのである。

そこで、上記のような問題を解決するために、フェライ
トと金属磁性材料とを組み合わせて、両者の良い点を利
用した複合型磁気ヘッド用コアが種々提案され、例えば
特開昭５８−１５５５１３号公報、特開昭６１−２６５
７１４号公報、特開昭６１−２７３７０６号公報等にお
いて、各種の構造のものが明らかにされている。

ところで、このような従来から提案されている複合型磁
気ヘッド用コアは、例えば、次のようにして製造されて
いるのである。即ち、所定のフェライトブロックに、縞
状にスリットを入れてなるレジスト膜を付与して、エッ
チングせしめることにより、波形の凹凸面を形成したフ
ェライトブロックと為し、次いで、そのような波形の凹
凸面に金属磁性材料からなる磁性層を形成し、そしてそ
の表面を研磨して平坦な面とした後、トラック幅を規定
する溝を互いに平行に複数条形成し、更にコイル巻線用
の溝を形成した後、二つのフェライトブロックを組み合
わせて接合せしめることにより、一体的な組合せ接合体
と為し、更にその後、このフェライトブロック組合せ接
合体を所定の位置にて切断して、目的とする複合型磁気
ヘッド用コアを順次切り出すようにしたているのであ
る。

しかしながら、このような複合型磁気ヘッド用コアの製
造方式にあっては、トラック幅を規定する溝がそれぞれ
形成された二つのフェライトブロックを用い、それらフ
ェライトブロックを組み合わせて接合せしめることによ
り、一体的な組合せ接合体と為すものであるところか
ら、それぞれのフェライトブロックに対するトラック幅
規定溝のための溝入れ加工には、著しい厳密さが要求さ
れることとなることは勿論、それらフェライトブロック
を対向させて組み合わせるに際して、それぞれのフェラ
イブロックのトラックの位置合わせが必要となり、これ
がまた極めて面倒で、困難な作業の一つとなっているの
であり、そしてこのトラックの位置合せが完全でない
と、トラックの位置ずれが惹起され、これが、フェライ
トコア、ひいては複合型コアの品質を低下せしめること
になることとなる。

要するに、このようなトラック幅規定溝の形成された二
つのフェライトを組み合わせる方式に従う複合型磁気ヘ
ッド用コアの製造手法には、実用上において、幾つかの
難点が内在しているのであり、工業的に有利に採用し得
るものではなかったのである。

（発明の目的） ここにおいて、本発明は、かかる事情に鑑みて為された
ものであって、その目的とするところは、上記従来の複
合型磁気ヘッド用コア及びその製造手法における問題を
解決し、高保磁力記録媒体にも優れた記録再生特性を示
す磁気ヘッド用コアを提供し、且つその容易な製造方法
を提供するものであり、特にトラック幅精度を向上せし
め、またトラックの位置ずれを防止し、且つリソグラフ
ィー技術とエッチング技術の組合せによって、再生出力
におけるコンタ効果のない複合型磁気ヘッド用コアを、
歩留り良く、有利に製造することにある。

（発明の構成） そして、本発明は、かかる目的を達成するために、一対
のフェライトブロックを突き合わせて、環状の磁路を構
成する一方、それらフェライトブロックの突合せ部に所
定間隙のギャップを形成してなる組合せ接合体を用いた
磁気ヘッド用コアの製造法において、（ａ）前記一対の
フェライトブロックの少なくとも一方のものの突合せ面
の少なくともギャップ形成部位に、レジスタを被着せし
め、かかるレジストをトラック幅方向に順次所定のピッ
チでパタニングする第一工程と、（ｂ）かかるレジスト
で被覆されない露出部を介して、フェライトブロック突
合せ面の少なくともギャップ形成部位をエッチングせし
め、凹凸面を形成する第二工程と、（ｃ）該フェライト
ブロックのエッチングされた突合せ面に、所定の金属磁
性材を被着させる第三工程と、（ｄ）該フェライトブロ
ックの少なくとも該金属磁性材の被着された部分を所定
厚さに除去して、平坦と為す第四工程と、（ｅ）該第四
工程に先立って、或いは該第四工程の後に、前記一対の
フェライトブロックの少なくとも一方の突合せ面にコイ
ル巻線用の溝を形成する第五工程と、（ｆ）前記第一工
程乃至第五工程の終了した、一対のフェライトブロック
の少なくとも一方のものの突合せ面の少なくともギャッ
プ形成部位に、所定厚さの非磁性層を形成する第六工程
と、（ｇ）該第六工程の終了した、一対のフェライトブ
ロックの突合せ面のギャップ形成部位を対向させ、互い
に接合して一体化することにより、前記組合せ接合体を
得る第七工程と、（ｈ）かかる組合せ接合体に、トラッ
ク幅規定用の溝を、ギャップとは直交する方向において
形成する第八工程と、（ｉ）該トラック幅規定用の溝
に、所定の非磁性材を埋設する第九工程と、（ｊ）かか
る非磁性材の埋設された組合せ接合体を、所定の位置に
て切断し、少なくとも１個の複合型磁気ヘッド用コアを
得る第十工程とを、 含むことを特徴とする複合型磁気ヘッド用コアの製造法
を、その要旨とするものである。

なお、かかる本発明手法において、第二工程において形
成される、フェライトブロックのギャップ形成部位のエ
ッチング形状は、有利には、ギャップ形成面に対して、
平行部を有しない形状とされることとなる。

また、本発明手法における第八工程において、トラック
幅規定用の溝を形成するに際しては、前記フェライトブ
ロックの組合せ接合体の溝形成部位において、溝となる
部分を残して、換言すれば溝が形成される部分が露出さ
れるように、レジストを被着せしめた後、エッチングを
施し、それによって目的とするトラック幅規定用の溝を
形成したり、またレーザ照射によって、或いは反応液若
しくは反応ガス中にてレーザ照射して、目的とするトラ
ック幅規定用の溝を形成する手法が、一般に、採用され
ることとなる。

（発明の具体的構成・実施例） ところで、かかる本発明において、目的とする複合型磁
気ヘッド用コアを製造するために用いられる組合せ接合
体を与える一対のフェライトブロックには、従来からの
高透磁率のフェライト材が用いられ、一般に、複数の磁
気ヘッド用コアが製造され得るように、所定厚さの長手
板状のブロックとして用いられて、それらの突合せによ
って、環状の磁路が構成せしめられるのである。なお、
この高透磁率のフェライトブロックとしては、Ｍｎ−Ｚ
ｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライト等の単結晶体若し
くは多結晶体或いはそれらの複合体が用いられ、特に単
結晶体を用いる場合にあっては、その（１００）、（１
１０）、（３１１）、（３３２）等の結晶面が、磁気ギ
ャップ形成面（フェライトブロック突合せ面）として有
利に選択されることとなる。

そして、本発明にあっては、先ず、第一の工程におい
て、上記の如きフェライトブロックの二つ（一対）を用
い、その少なくとも一方のものの、他方のフェライトブ
ロックに対する突合せ面の少なくとも磁気ギャップ形成
部位に対して、所定のレジストを被着させ、トラック幅
方向に順次所定のピッチでパタニングするのである。即
ち、第１図及び第２図に示されるように、少なくとも一
方のフェライトブロック２の突合せ面（ギャップ形成
面）の少なくともギャプ形成部位に、所定間隔を隔てて
スリット４を設けたレジスト膜６が配列、形成せしめら
れるのである。なお、このレジスト膜６，６・・・の配
列方向は、フェライトブロック２に形成されるトラック
の幅方向とされ、またそれらレジスト膜６の幅や配列間
隔は、フェライトの結晶面に応じて適宜選択され、例え
ばフェライトブロック２の突合せ面が（１００）面とな
る場合にあっては、レジスト幅が１５μｍ、間隔が１μ
ｍ程度の値が採用される。

次いで、第二工程においては、かかるレジスト膜６の設
けられたフェライトブロック２の突合せ面に対してエッ
チング操作が施され、レジストが被着されていないスリ
ット４部分を介して、フェライトブロック２の突合せ面
がエッチングされる。また、このエッチング操作には、
化学エッチングや電解エッチング等の手法が採用される
こととなる。そして、このエッチングによって、フェラ
イトブロック２の突合せ面は、第３図に示されるよう
に、凹凸面８となるのであるが、そのような凹凸面８の
形態は、レジスト膜６のパターン形態によって種々異な
るものとなるのであり、第３図の形状とは異なる凹凸面
８の一例が、第４図に示されている。

このように、フェライト２の突合せ面の少なくともギャ
ップ形成部位には、エッチング操作により、種々なる形
態の凹凸面８が形成されることとなるが、何れにして
も、その表面形態は、ギャップ対向面に対し、平行部を
有しないような形状においてエッチングされるものであ
り、そしてその目的のために、エッチングされるフェラ
イトブロック２の結晶面、レジスト膜６の幅、レジスト
膜６の間隔（スリット４幅）、エッチング深さ等が適宜
に選ばれることとなる。尤も、第４図に示されるフェラ
イトブロック２のエッチングされた突合せ面は、山形状
の凹凸面８の間にギャップ対向面に対して平行となる平
行部が存在しているが、そのような平行部を有しないよ
うにトラックを形成するようにすれば、換言すれば、凹
凸面８の部位が切り出されるコアチップの磁気ギャップ
部位に位置するようにすれば、コンタ効果等の問題は惹
起されることはないのである。

そして、このようなエッチング操作の施されたフェライ
トブロック２のエッチング表面には、第三の工程におい
て、所定の金属磁性材が、スパッタリング、蒸着、メッ
キ、ＣＶＤ等の操作によって、所定厚さにおいて被着せ
しめられる。なお、この被着される金属磁性材として
は、Ｆｅ−Ｓｉ合金（Ｓｉ＝６．５重量％）、Ｆｅ−Ａ
ｌ−Ｓｉ合金（センダスト）、Ｎｉ−Ｆｅ合金（パーマ
ロイ）等で代表される結晶質合金があり、またＦｅ−Ｃ
ｏ−Ｓｉ−Ｂ系で代表されるメタル−メタロイド合金
や、Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂ系等で代表されるメタル−メタル
合金等の非晶質合金が用いられるＦｅ−Ｓｉ，Ｆｅ−Ａ
ｌ−Ｓｉ合金を用いるに当たっては、耐食性向上等のた
めに、５重量％以下のＣｒ，Ｔｉ，Ｔａ等の元素が適宜
に添加される。また、これら金属磁性材の被着法は、先
に述べた通り種々あるが、被着物質が限定されず、組成
変動が少ないスパッタリングが好適に用いられることと
なる。第５図には、フェライトブロック２のエッチング
された凹凸面８上に金属磁性材が所定厚さで被着せしめ
られてなる金属磁性層１０が設けられた状態が示されて
いる。

さらに、その後、かかる金属磁性材からなる金属磁性層
１０が所定厚さで形成されたフェライトブロック２に
は、そのギャップ対向面（突合せ面）に対して通常の切
削研磨操作が施され、かかる金属磁性層１０の不要部が
除去せしめられる（第四工程）。即ち、金属磁性材の被
着層である金属磁性層１０が形成されたフェライトブロ
ック２のギャップ対向面の所定厚さ部分を除去すること
により、かかる金属磁性層１０を所定厚さで残しつつ、
ギャップ突合せ面が平坦化されることとなるのである。

また、こと第四工程に先立つか或いはその工程の後で、
一対のフェライトブロック（２）の少なくとも一方のも
ののギャップ対向面に、従来と同様にして、コイル巻線
用の溝１２を、例えば第７図に示されるように形成する
（第五工程）。この後、表面研磨が施されて、最終仕上
げとなり、ギャップ対向仕上げ面が形成されることとな
るが、このとき、ギャップ対向部の金属磁性材（１０）
の厚みが所定量となるように、そのような最終仕上げ操
作が実施されることとなる。

また、かかる第五工程で得られたフェライトブロック２
の少なくとも一方のギャップ対向仕上げ面の少なくとも
ギャップ対向部位（ギャップ形成部位）に、ＳｉＯ_２、
ガラス等のギャップ形成用非磁性材が、所定厚みにスパ
ッタリングにて被着される（第六工程）。

そして、この第六工程で得られた一対のフェライトブロ
ック２，２は、その後、第七工程において、それらのギ
ャップ対向仕上げ面を突き合わせて、巻線溝にガラス棒
を差し込み、加熱、加圧することによって、接合一体化
せしめられ、第８図及び第９図に示される如き組合せ接
合体１４とされるのである。そして、この一対のフェラ
イトブロック２，２の接合一体化によって、その突合せ
部に、前記第六工程において与えられる所定厚さの非磁
性層の存在によって、該非磁性層の厚さに相当する間隙
のギャップ１６が形成されることとなるのである。

次いで、かかる第七工程で接合されたフェライトブロッ
クの組立接合体１４には、そのギャップ１６が位置せし
められる面に、通常の砥石等による溝加工によって、ト
ラック幅規定溝１８が、例えば第８図や第９図に破線で
示されるように、コア幅全体に亘り、ギャップ１６と直
交する方向に互いに平行に形成される。このトラック幅
規定溝１８の形成の仕方によって、それらトラック幅規
定溝１８，１８にて挟まれるトラック部２０における金
属磁性層１０の境界部の形状が、第１０図に示される如
く、種々選択され得るのである。また、かかる金属磁性
層１０の境界部の形状は、一対のフェライトブロック
２，２に形成された金属磁性層１０（凹凸面８）の波形
状乃至は山形状が磁気ギャップ１６を挟んで対称となる
ように接合せしめられた第８図の場合にあっては、第１
０図に示されるように、ギャップ１６の両側に形成され
る金属磁性層１０，１０は対称的な形状となるのであ
り、また第９図に示されるように、金属磁性層１０の形
状が非対称の状態において、一対のフェライトブロック
２，２が接合されてなる組合せ接合体１４にあっては、
各種の形態の境界部を与える金属磁性層１０，１０を磁
気ギャップ１６の両側に有するトラック２０が形成され
るのである。

なお、このトラック幅規定溝１８を入れる第八工程にお
いて、その溝加工手法としては、上述の如き砥石による
溝加工の他にも、レジストによって被覆し、そしてエッ
チングにより除去する溝加工手法も採用可能であり、更
にはレーザ照射或いはレーザ誘起エッチング（反応液若
しくは反応ガス中でのレーザ照射）にて、レジスト等に
よるマスクを用いることなく、エッチングすることも可
能である。そして、そのような溝入れ加工手法を採用す
れば、上例の場合とは異なり、第１１図に示されるよう
な磁気ギャップ１６の近傍領域にのみトラック幅規定溝
１８を設けるようにすることが可能となるのである。

次いで、第九工程では、かかる組合せ接合体１４に設け
られたトラック幅規定溝１８内に、所定の非磁性材が埋
設されるのである。なお、この非磁性材には、ガラス、
セラミック系の無機接着剤、硬質樹脂等が適用出来る
が、媒体走行性等の安定性面からはガラスを用いること
が好ましい。このトラック幅規定溝に埋め込むガラスと
して、第七工程でギャップ接合に用いたガラスに比べ、
より低融点のガラスを用いれば、トラック位置ずれの発
生防止がより容易となる。また、このトラック幅規定溝
にガラスを溶融させて埋め込むに当たっては、適宜、治
具を用いて、二つのブロックを押さえて流し込めば、ト
ラック位置ずれの心配は必要となる。また、媒体走行面
上に露出する、埋設された非磁性材の不要な部分を除去
し、所定のデプス長となるように、砥石等によって研削
加工が施される。この砥石等による研削加工は、好まし
くは、磁気記録媒体の走行面形状がアール面となるよう
に行なうことが望ましい。そして、かかる研削加工によ
って、第１３〜第１５図に示されるように、トラック幅
規定溝１８内に埋設された非磁性材２２とトラック部２
０を形成するフェライト部位、更には金属磁性層１０、
ギャップ１６が、それぞれ媒体走行面に露出せしめられ
ることとなる。

そして、かくして得られた第１３〜１５図に示される如
き、そのトラック幅規定溝１８内に所定の非磁性材２２
が埋設されてなる組合せ接合体１４には、第十工程とし
て、トラック幅規定溝１８，１８にて挟まれたトラック
部２０を中心にして、それらの図において一点鎖線で示
される如き所要のコア幅Ｔとなるように、非磁性材２２
の充填されたトラック幅規定溝１８部位において切断さ
れることにより、目的とする複合型磁気ヘッド用コアが
順次切り出され、以てその少なくとも１個が取得される
こととなるのである。なお、このコアの切出しに際し
て、場合により、公知の如く、アジマス角だけ傾けて切
断する方法も採用される。

このような本発明手法に従って得られる複合型磁気ヘッ
ド用コアの構造が、第１６図及び第１７図に斜視図とし
て示されている。即ち、第１６図に示される複合型磁気
ヘッド用コア２４は、第１３図に示される組合せ接合体
１４から得られたものであり、また第１７図に示される
複合型磁気ヘッド用コア２６は、第１４図の構造の組合
せ接合体１４から得られたものであって、何れも、トラ
ック部２０表面に露呈されるギャップ１６によって、所
定間隙の磁気ギャップ２８が形成されている。そして、
このようなコア２４，２６には、更に公知の如く、その
コイル巻線用の溝１２によって形成される孔３０を利用
してコイルが巻装され、以て目的とする複合型磁気ヘッ
ドとされるのである。

以上、本発明に従う磁気ヘッド用コアの製造手法につい
て、ＶＴＲ用磁気ヘッド用コアの製造例に基づいて詳細
に説明してきたが、本発明が、かかる例示の具体例にの
み限定して解釈されるものでは決してなく、本発明の趣
旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づい
て、種々なる変更、修正、改良等を加えた形態において
実施され得るものであり、そしてそのような実施形態の
もが、何れも、本発明の範疇に属するものであること
が、理解されるべきである。

また、本発明に従う複合型磁気ヘッド用コアの製造手法
は、単に例示のＶＴＲ用ヘッドに止まらず、ＦＤＤ用ヘ
ッド、ＲＤＤ用ヘッド、更にはＤＡＴ用ヘッド等の磁気
ヘッドのためのコアの製造にも適用可能であることは言
うまでもないところである。

（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明に従う複合型磁
気ヘッド用コアの製造法は、 （ａ）得られる複合型磁気ヘッド用コアの主磁気回路が
フェライトから構成されており、金属磁性材は磁気ギャ
ップ近傍にのみ存在する構成ともなり得て、従来のもの
に比べて、渦電流損失を小さくすることが出来る、 （ｂ）金属磁性材が被着されるフェライト表面が凹凸面
とされていることにより、更には平坦部の存在しない構
造とされていることによって、ギャップ接合時の位置合
わせ、更にはトラック幅規定溝の形成位置に拘わらず、
トラック部のフェライトと金属磁性材の接合境界面が、
磁気ギャップ（ギャップ面）に対して傾いた構造とな
り、それによって擬似ギャップによるコンタ効果の影響
を無視することが出来る、 （ｃ）従来からのトラック幅規定溝形成後にギャップ接
合する製法に比べ、ギャップ接合による組合せ接合体を
形成後に、トラック幅規定用の溝を形成するものである
ところから、そのような組合せ接合体を構成する二つの
フェライトブロックの溝加工の厳密な管理や、トラック
の位置合わせ操作が全く不要となり、しかもトラックの
位置ずれも全く顧慮する必要がない、 等の数々の大きな利点を有しているのである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、フェライトブロックにレジスト膜が適用され
た状態を示す要部斜視図であり、第２図は、その拡大部
分断面図であり、第３図は、フェライトブロック一面に
エッチングにより凹凸面が形成された状態を示す要部斜
視図、第４図は、異なる凹凸面の形成されたフェライト
ブロックを示す部分断面図であり、第５図は、フェライ
トブロックの凹凸面上に金属磁性材の磁性層が所定厚さ
で形成された状態を示す要部斜視図であり、第６図は、
金属磁性層を所定厚さ除去して、平坦化せしめた状態を
示す要部斜視図であり、第７図は、金属磁性層を設けた
フェライトブロックに対して、コイル巻線用の溝入れ加
工を施した形態を示す斜視図である。 また、第８図、第９図及び第１１図は、それぞれ、一対
のフェライトブロックを突き合わせて、磁気ギャップを
形成せしめてなる組合せ接合体の磁気ギャップ露出部位
を示す平面説明図であり、第１０図及び第１２図は、そ
れぞれ、第８図及び第１１図の組合せ接合体に対して、
異なるトラック幅規定溝を入れた状態を示す平面図であ
り、第１３図、第１４図及び第１５図は、それぞれ、ト
ラック幅規定溝内に非磁性材を埋設してなる組合せ接合
体の異なる例を示す要部平面図である。 さらに、第１６図及び第１７図は、それぞれ、第１３図
及び第１４図に示される組合せ接合体から切り出して得
られた複合型磁気ヘッド用コアを示す斜視図である。 ２：フェライトブロック ４：スリット、６：レジスト膜 ８：凹凸面、１０：金属磁性層 １２：コイル巻線用溝、１４：組合せ接合体 １６：ギャップ、１８：トラック幅規定溝 ２０：トラック、２２：非磁性材 ２４，２６：複合型磁気ヘッド用コア ２８：磁気ギャップ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】一対のフェライトブロックを突き合わせ
   て、環状の磁路を構成する一方、それらフェライトブロ
   ックの突合せ部に所定間隙のギャップを形成してなる組
   合せ接合体を用いた磁気ヘッド用コアの製造法におい
   て、 前記一対のフェライトブロックの少なくとも一方のもの
   の突合せ面の少なくともギャップ形成部位に、レジスト
   を被着せしめ、かかるレジストをトラック幅方向に順次
   所定のピッチでパタニングする第一工程と、 かかるレジストで被覆されない露出部を介して、フェラ
   イトブロックの突合せ面の少なくともギャップ形成部位
   をエッチングせしめ、凹凸面を形成する第二工程と、 該フェライトブロックのエッチングされた突合せ面に、
   所定の金属磁性材を被着させる第三工程と、 該フェライトブロックの少なくとも該金属磁性材の被着
   された部分を所定厚さに除去して、平坦と為す第四工程
   と、 該第四工程に先立って、或いは該第四工程の後に、前記
   一対のフェライトブロックの少なくとも一方の突合せ面
   にコイル巻線用の溝を形成する第五工程と、 前記第一工程乃至第五工程の終了した、一対のフェライ
   トブロックの少なくとも一方のものの突合せ面の少なく
   ともギャップ形成部位に、所定厚さの非磁性層を形成す
   る第六工程と、 該第六工程の終了した、一対のフェライトブロックの突
   合せ面のギャップ形成部位を対向させ、互いに接合して
   一体化することにより、前記組合せ接合体を得る第七工
   程と、 かかる組合せ接合体に、トラック幅規定用の溝を、ギャ
   ップとは直交する方向において形成する第八工程と、 該トラック幅規定用の溝に、所定の非磁性材を埋設する
   第九工程と、 かかる非磁性材の埋設された組合せ接合体を、所定の位
   置にて切断し、少なくとも１個の複合型磁気ヘッド用コ
   アを得る第十工程とを、 含むことを特徴とする複合型磁気ヘッド用コアの製造
   法。
2. 【請求項２】前記第二工程において形成される、フェラ
   イトブロックのギャップ形成部位におけるエッチング形
   状が、ギャップ形成面に対し、平行部を有しない形状と
   されている特許請求の範囲第１項記載の製造法。
3. 【請求項３】前記第八工程において、トラック幅規定用
   の溝を形成するに際し、前記フェライトブロックの組合
   せ接合体の溝形成部位を露出せしめた状態で、レジスト
   を被着せしめた後、エッチングすることにより、かかる
   溝が形成される特許請求の範囲第１項または第２項記載
   の製造法。
4. 【請求項４】前記第八工程によって、トラック幅規定用
   の溝を形成するに際し、前記フェライトブロックの組合
   せ接合体の溝形成部位に対して、レーザ照射せしめるこ
   とにより、或いは反応液若しくは反応ガス中にてレーザ
   照射せしめることにより、目的とする溝を形成する特許
   請求の範囲第１項または第２項記載の製造法。