JPH012379A - 熱電素子の製造方法 - Google Patents

熱電素子の製造方法

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JPH012379A
JPH012379A JP62-156645A JP15664587A JPH012379A JP H012379 A JPH012379 A JP H012379A JP 15664587 A JP15664587 A JP 15664587A JP H012379 A JPH012379 A JP H012379A
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JP
Japan
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metal alloy
thermoelectric element
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powder
thermoelectric
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隆 上杉
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Idemitsu Petrochemical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は熱電特性に考れた全屈合金熱電素子の製造方法
に関する。
[従来の技術] ゼーベック効果を応用して熱電発電を行なわせる熱電素
子は種々の分野において実用化か期待されている。
金属合金からなる熱電素子の実用化を妨げる要因の一つ
として、熱起電力か低いという問題かある。
このため、熱起電力の高い熱電素子を得るため種々の製
造方法か開発されており、その代表的な方法として、(
イ)金属合金の粉末を合成し、(ロ)これをプレス成形
して所定の形状を有する成形体とし、(ハ)次いて、こ
の成形体を焼結して熱電素子とする製造方法がある。
[解決すべき問題点] しかし、従来の製造方法によって製造した金属合金の熱
電素子の熱起電力は、通常、1 mV/に程度てあり、
種々の分野て熱電素子を利用するには低くすぎるもので
あった。
また、従来の製造方法(特に、機械的に金属合金を粉砕
する粉末冶金法)によって製造した金属合金の熱電素子
は、熱電素子間におけるばらつきか±50%程度と非常
に大きく、信頼性に欠けるものであった。
本発明は上記の問題点にかんがみてなされたもので、高
い熱起電力を得ることかてきるとともに、ばらつきか小
さく信頼性の高い8電素子を製造てきるようにしだ熱電
素子の製造方法の提供を目的とする。
[問題点の解決手段] 本発明者は上記目的を達成するため鋭意検討した結果、
成形体を焼結した後、さらに大気中において熱処理を行
なうことにより上記目的を達成てきることを見出し1本
発明に到達した。
すなわち、本発明は、 仁金属合金の粉末を製造し、これを合成する工程。
口0合成した粉末金属合金をプレスして所定の形状とす
る工程。
ハ、所定の形状に成形した金属合金成形体を焼結する工
程。
二、焼結した金属合金成形体を大気中において熱処理す
る工程。
によって熱電素子を製造する方法としである。そして、
好ましくは、二における大気中の熱処理をSOO〜10
00℃、特に好ましくは700〜900℃で行なうよう
にしている。
以下、本発明の内容を詳細に説明する。
第1図は本発明製造方法を説明するためのブロック図て
あり、1は金属合金粉末の合成工程、2は合成した粉末
金属合金を所定形状の成形体に成形するプレス成形工程
、3は成形体を真空中において焼結する焼結工程、4は
焼結した成形体を大気中において熱処理する熱処理工程
である。
本発明製造方法て製造される金属合金の熱電素子におい
ては、 Bi2Te3,5baTe:+、BI2Se:
+、5b2Se1+Zn5b、ZnTe、25BiaT
e:+”7!+Sb2Te3,70Bi、Te、+:1
OBi、Sez、PbTe、Pb5e、Bi(Si−3
b2) 、Biz(Ge−9e)3゜Cr5iz、  
MnSi+、t:++Fe5ia、CoSi、Ge、5
io7+GdSe+、 4’l+Cu19yAgo、 
o3se+、 004SI X−^18.2゜β−B、
 MgSi、MgSi+、yff、5iGe、またはS
 i 、 Teを含有する合金を用いる。
合成工程lにおいては、上述した金属合金を機械的に粉
砕したり、プラズマ法によって微粒子化することによっ
て金属合金の粉末を得ている(本発明においては、微粒
子を含めて粉末と称す)。
このうち、プラズマ法によって500nw以下の微粒子
を気相中にて合成したものを用いると、製造された熱電
素子の熱電特性を、さらに向上させることができる。
なお、プラズマ法としては、高周波プラズマ法あるいは
アークプラズマジェット法等を採用することか好ましい
プレス成形工程2に3いては、合成した粉末金属合金を
500〜1000kg/c+w2の圧力で圧縮し、所定
形状の成形体となるようにプレス成形する。成形圧力は
、粉末金属合金が成形体として所定の形状を保持できる
程度の圧力であればよく、必ずしも上記成形圧力に限定
されるものてはない。
焼結工程3においては、プレス成形された金属合金成形
体を800〜1500°C1好ましくは1000〜12
00℃の高温で加熱して結合する。プラズマ法によって
得た微粒子状の金属合金成形体の場合には、1O−2T
orrの真空中て、 800〜IZ00℃の加熱を2〜
5時間行なう。焼結時の加熱温度か低いと焼結不足とな
り、逆に高いと過焼結状態となり、いずれの場合も熱電
素子の素子特性低下につながる。
熱処理工程4においては、焼結した金属合金成形体を大
気中で500〜1000℃、好ましくは700〜900
℃の温度で数時間熱処理する。熱処理時における加熱温
度の設定も重要であり、低いと素子特性の向上を図れず
、高いと結晶形態が変化してしまい、やはり素子特性の
向上を図れない結果となる。
[実施例] 次に1本発明の実施例を比較例と比べつつ、本発明を具
体的に説明する。
O実施例 化合成工程1:プラズマ法により気相中で鉄ケイ化物微
粒子を合成。
ロ、プレス成形工程2 : 1 ton/c+*”の圧
力でプレス成形。
ハ、焼結工程3 : 10””Torrの真空中におい
て、1100°Cの温度で6時間加熱して 焼結。
二、熱処理工程4:大気中において、 850°Cの温
度で3時間加熱して熱処理。
上記工程を経て製造した結果、第2図に示すように高温
側での熱起電力が約7 @V/にと大巾に向上し、また
、ばらつきも±5%以内の熱電素子を得ることがてきた
O比 較 例1 化合成工程1.0.プレス成形工程2.ハ、焼結工程3
を実施例と同じ条件で行ない、熱処理工程を行なわない
で熱電素子を製造した結果、第2図に示すように約1.
5mV/にの熱起電力を発生した。
また、熱電素子間のばらつきは±20%であった。
O比 較 例2 金属合金を機械的に粉砕し、粉砕した粉末をプレスによ
って圧縮成形し、これを焼結する従来の粉末冶金法によ
って熱電素子を得た結果、第2図に示すように約0.I
5+sV/にの熱起電力を発生した。
また、熱電素子間のばらつきは±50%程度工程った。
[発明の効果] 以上のように本発明によれば、焼結工程後に、さらに熱
処理工程を施すことにより熱電特性に優れた熱電素子を
製造できるといった効果かある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明製造方法の実施手順を説明するためのブ
ロック図、第2図本発明製造方法によって得た熱電素子
と比較例熱電素子の熱電特性図を示す。 1:合成工程   2ニブレス成形工程3:焼結工程 
  4:熱処理工程

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)イ〜ニの工程からなることを特徴とした熱電素子
    の製造方法。 イ、金属合金の粉末を製造し、これを合成する工程。 ロ、合成した粉末金属合金をプレスして所定の形状とす
    る工程。 ハ、所定の形状に成形した金属合金成形体を焼結する工
    程。 ニ、焼結した金属合金成形体を大気中において熱処理し
    、熱電素子を製造する工程。
  2. (2)金属合金か、Bi_2Te_3、Sb_2Te_
    3、Bi_2Se_3、Sb_2Se_3、ZnSb、
    ZnTe、25Bi_2Te_3^+75Sb_2Te
    _3、70Bi_2Te_3^+30Bi_2Se_3
    、PbTe、PbSe、Bi(Si・Sb_2)、Bi
    _2(Ge・Se)_3、CrSi_2、MnSi_1
    _._7_3、FeSi_2、CoSi、Ge_3Si
    o_7、GdSe_1_._4_9、Cu_1_._9
    _7Ag_0_._0_3Se_1_._0_0_4_
    5、χ−AIIB_1_2、β−B、MgSi、MgS
    i_1、_73、SiGe、またはSi、Teを含有す
    るものからなることを特徴とした特許請求の範囲第1項
    記載の熱電素子の製造方法。
  3. (3)金属合金成形体の熱処理を800〜1500℃で
    行なうことを特徴とした特許請求の範囲第1または2項
    記載の熱電素子の製造方法。
  4. (4)金属合金の粉末が微粒子状であることを特徴とし
    た特許請求の範囲第1、2または3項記載の熱電素子の
    製造方法。
  5. (5)金属合金の微粒子をプラズマ法によって製造する
    ことを特徴とした特許請求の範囲第4項記載の熱電素子
    の製造方法。
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