JPH01238148A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPH01238148A JPH01238148A JP63065431A JP6543188A JPH01238148A JP H01238148 A JPH01238148 A JP H01238148A JP 63065431 A JP63065431 A JP 63065431A JP 6543188 A JP6543188 A JP 6543188A JP H01238148 A JPH01238148 A JP H01238148A
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- Japan
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- chip
- bump
- dummy
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors
- H05K3/303—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors with surface mounted components
-
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
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- H05K3/3431—Leadless components
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/012—Manufacture or treatment of bump connectors, dummy bumps or thermal bumps
-
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/20—Bump connectors, e.g. solder bumps or copper pillars; Dummy bumps; Thermal bumps
-
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W74/10—Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition
- H10W74/15—Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition on active surfaces of flip-chip devices, e.g. underfills
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/721—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bump connectors
- H10W90/724—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bump connectors between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ワイヤレスボンディング方式による半導体チ
ップの支持基板上への実装のために、半導体チップに形
成された回路素子部上には絶縁膜を介して配線導体およ
びバンプi&tiを設けた半導体装置に関する。
ップの支持基板上への実装のために、半導体チップに形
成された回路素子部上には絶縁膜を介して配線導体およ
びバンプi&tiを設けた半導体装置に関する。
バンプ電極を用いて半導体チップを支持基板上に実装す
るのにワイヤレスボンディング方式を用いた場合、安定
した支持を目的として第2図に示すようにチップ1の周
辺の図示しないパッドの上にバンプ電8i2を形成する
ことが一触的であることはよく知られている。
るのにワイヤレスボンディング方式を用いた場合、安定
した支持を目的として第2図に示すようにチップ1の周
辺の図示しないパッドの上にバンプ電8i2を形成する
ことが一触的であることはよく知られている。
しかし、チップ1の面積が大きくなるに伴い、バンプ電
極2の間の最大距離は大きくなり、半導体材料とセラミ
ックなどの支持基板材料との熱膨腸係数差から起こるし
一トサイクル時の熱応力のため、バンプ電極接続部の損
傷ないし破壊などの故障が起こり、半導体装置の信鯨性
が低下する欠点があった。この欠点を除(ために、本出
願人の出願に係る特願昭62−279676号明細書に
記載されているように、バンプ電極をチップの中心部に
隣接するバンプ電極間の間隔がほぼ等しくなるように配
置することが提案されている。
極2の間の最大距離は大きくなり、半導体材料とセラミ
ックなどの支持基板材料との熱膨腸係数差から起こるし
一トサイクル時の熱応力のため、バンプ電極接続部の損
傷ないし破壊などの故障が起こり、半導体装置の信鯨性
が低下する欠点があった。この欠点を除(ために、本出
願人の出願に係る特願昭62−279676号明細書に
記載されているように、バンプ電極をチップの中心部に
隣接するバンプ電極間の間隔がほぼ等しくなるように配
置することが提案されている。
本発明の課題は、上記提案の半導体装置の信頼性をさら
に向上せしめることにある。
に向上せしめることにある。
上記の課題の解決のために、本発明は、半導体チップの
一面上の中心部に隣接するバンプ電極相互間の間隔をほ
ぼ等しくして配置されたバンプ電極を用いてワイヤレス
ボンディング方式により半導体チップ面上の導体と対向
する支持基板面上の導体が接続される半導体装置におい
て、半導体ナツプの周辺全域にわたって半導体チップ面
および支持1&板面の少なくとも一方の前記導体と接続
される導体の存在しない個所で対向面に接触し、樹脂に
よって被覆される複数のダミーバンプが設けられたもの
とする。
一面上の中心部に隣接するバンプ電極相互間の間隔をほ
ぼ等しくして配置されたバンプ電極を用いてワイヤレス
ボンディング方式により半導体チップ面上の導体と対向
する支持基板面上の導体が接続される半導体装置におい
て、半導体ナツプの周辺全域にわたって半導体チップ面
および支持1&板面の少なくとも一方の前記導体と接続
される導体の存在しない個所で対向面に接触し、樹脂に
よって被覆される複数のダミーバンプが設けられたもの
とする。
半導体チップの実装のためにチップ中央部にほぼ等間隔
を保って配置されたバンプ電極の周囲を全域にわたって
チップおよび半導体基板に接触するダミーバンプで囲む
ことにより、チップと基板の平行度が保持され、ねじれ
等に対する接続強度が向上する。さらにダミーバンプを
樹脂の被覆により補強することにより接続強度が一層高
(なる。
を保って配置されたバンプ電極の周囲を全域にわたって
チップおよび半導体基板に接触するダミーバンプで囲む
ことにより、チップと基板の平行度が保持され、ねじれ
等に対する接続強度が向上する。さらにダミーバンプを
樹脂の被覆により補強することにより接続強度が一層高
(なる。
第1図は本発明の一実施例のバンプ電極の配置を示し、
バンプ電極2はチップ1の中央部にそれぞれ正三角形の
頂点を占める位置にチップ内の各回路素子と支持基板の
配線導体との接続のために設けられている。従って隣接
バンプ電極2間の間隔はほぼ等しい、これらのバンプ電
極2を取囲んで、チップ1の周縁部にダミーバンプ3が
ほぼ等間隔で設けられていて、さらに樹脂4によって包
囲されている。
バンプ電極2はチップ1の中央部にそれぞれ正三角形の
頂点を占める位置にチップ内の各回路素子と支持基板の
配線導体との接続のために設けられている。従って隣接
バンプ電極2間の間隔はほぼ等しい、これらのバンプ電
極2を取囲んで、チップ1の周縁部にダミーバンプ3が
ほぼ等間隔で設けられていて、さらに樹脂4によって包
囲されている。
第3図はチップ1の一部を拡大して示したもので、チッ
プ1のGM域11に酸化膜51の開口部で接触するMか
らなる第一配線導体61の上に低温CVD酸化物からな
る眉間絶縁11!52を介して第二配線導体62が形成
され、絶縁[52の開口部で第一配線導体61と接触し
ている。この第二配線導体62の上および眉間絶縁II
!52の上を窒化物からなるパソシベーンッン1tfi
8で覆い、フォトエツチングで第二配線導体62の上お
よびチップlの外周近くに開口部を設ける。さらにCr
、 Cu、 AuM4を積層して下地金属層7を形成後
、フォトエツチング加工でパターンニングし、はんだめ
っきで下地金属層7上にはんだを被着し、約350℃に
加熱して球軟化し、バンプ電極2およびそれよりやや径
の大きいダミーバンプ3を形成する。はんだの被着は、
約50−の厚さに真空蒸着することによってもよい。
プ1のGM域11に酸化膜51の開口部で接触するMか
らなる第一配線導体61の上に低温CVD酸化物からな
る眉間絶縁11!52を介して第二配線導体62が形成
され、絶縁[52の開口部で第一配線導体61と接触し
ている。この第二配線導体62の上および眉間絶縁II
!52の上を窒化物からなるパソシベーンッン1tfi
8で覆い、フォトエツチングで第二配線導体62の上お
よびチップlの外周近くに開口部を設ける。さらにCr
、 Cu、 AuM4を積層して下地金属層7を形成後
、フォトエツチング加工でパターンニングし、はんだめ
っきで下地金属層7上にはんだを被着し、約350℃に
加熱して球軟化し、バンプ電極2およびそれよりやや径
の大きいダミーバンプ3を形成する。はんだの被着は、
約50−の厚さに真空蒸着することによってもよい。
第4図(al、(blは本発明の一実施例の実装工程を
示し、第2図あるいは第3図に示したように半導体チッ
プlを下向きにして配線支持基板9の上に載せる (図
aL ごの際、ダミーバンプ3とバンプ電極2の高さの
差を補償する厚さの予備はんだ層lOを基Fi9の配線
上に被着しておく、このあと、はんだをリフローさせる
が、径の小さいバンプ電極3が先に融けて予備はんだ層
と接着し、その間径の大きいダミーバンプ3で一定に保
たれるチップ1.M板9間の距離だけの高さのはんだ柱
にバンプ電極2がなる。しばらく後にダミーバンプ3が
融けて基板9とチップ1の外周部が接着される。
示し、第2図あるいは第3図に示したように半導体チッ
プlを下向きにして配線支持基板9の上に載せる (図
aL ごの際、ダミーバンプ3とバンプ電極2の高さの
差を補償する厚さの予備はんだ層lOを基Fi9の配線
上に被着しておく、このあと、はんだをリフローさせる
が、径の小さいバンプ電極3が先に融けて予備はんだ層
と接着し、その間径の大きいダミーバンプ3で一定に保
たれるチップ1.M板9間の距離だけの高さのはんだ柱
にバンプ電極2がなる。しばらく後にダミーバンプ3が
融けて基板9とチップ1の外周部が接着される。
なお、ダミーバンプ3の接着性をよくするため、予めダ
ミーバンプ接触部のMi9あるいはチップlに導体層を
独立して設け、予備はんだ層を設けてもよい。例えば、
バンプ電極2の直径が50賜。
ミーバンプ接触部のMi9あるいはチップlに導体層を
独立して設け、予備はんだ層を設けてもよい。例えば、
バンプ電極2の直径が50賜。
ダミーバンプ3のInが62nとすれば、体積について
はダミーバンプはバンプ電極の2倍となり、リフロー時
間も加える熱漬を一定とすればほぼ2倍となるので上述
のようにバンプ電極3は細長い柱状となり、断面に比し
て高さが長いので、チップlと基板9との熱膨張係数差
による応力が分散し、接続部の撰傷ないし破壊が起こる
ことがない。
はダミーバンプはバンプ電極の2倍となり、リフロー時
間も加える熱漬を一定とすればほぼ2倍となるので上述
のようにバンプ電極3は細長い柱状となり、断面に比し
て高さが長いので、チップlと基板9との熱膨張係数差
による応力が分散し、接続部の撰傷ないし破壊が起こる
ことがない。
さらに、第4口出)に示すようにダミーバンプ、3にエ
ポキシ4JA脂などの樹脂4を被覆し、て固定すること
によりダミーバンプ3によるチップlと配線基(反9の
平行保持は補強され、ねじれ、熱応力等の歪に対する強
度が向上する。
ポキシ4JA脂などの樹脂4を被覆し、て固定すること
によりダミーバンプ3によるチップlと配線基(反9の
平行保持は補強され、ねじれ、熱応力等の歪に対する強
度が向上する。
本発明によれば、゛P−導体材料と実装支持基板材料と
の熱膨張係数の差による熱応力を小さくするためチップ
中央にバンプmlをほぼ等間隔にして配置した場合、電
極の設けられないチップ周辺部に全周にわたってダミー
バンプを設けることにより、チップと実装基板の固着が
中央部ばかりでなく周辺部でも行われて両者の平行保持
が確実にでき、さらにダミーバンプを樹脂で被覆するこ
とにより、熱応力の負荷の大きい周辺部の接続強度がよ
り強くなるので、実装の信鯨性の向上への寄与は大きい
、またチップに形成したダミーバンプの径をバンプを極
より大きくすることにより、バンプ電極はチップと基板
間で引きのばされた柱状にすることも可能で、バンプ電
極内の応力の分散を図ることができ、信頼性の一層の向
上が可能になる。
の熱膨張係数の差による熱応力を小さくするためチップ
中央にバンプmlをほぼ等間隔にして配置した場合、電
極の設けられないチップ周辺部に全周にわたってダミー
バンプを設けることにより、チップと実装基板の固着が
中央部ばかりでなく周辺部でも行われて両者の平行保持
が確実にでき、さらにダミーバンプを樹脂で被覆するこ
とにより、熱応力の負荷の大きい周辺部の接続強度がよ
り強くなるので、実装の信鯨性の向上への寄与は大きい
、またチップに形成したダミーバンプの径をバンプを極
より大きくすることにより、バンプ電極はチップと基板
間で引きのばされた柱状にすることも可能で、バンプ電
極内の応力の分散を図ることができ、信頼性の一層の向
上が可能になる。
第1図は本発明の一実施例の半導体チップの平面図、第
2図は従来の半導体チップの平面図、第3図は本発明の
一実施例の実装前の半導体チップの要部断面図、第4図
(al、(blは本発明の一実施例の実装工程を順に示
す断面図である。 l二手導体チップ、2:バンプ電極、3:ダミーバンプ
、4:樹脂、9:配線基板。 代理人弁理士 山 口 厳・ ′) 2バ2τ(啄 s1図 ′ 7 112図
2図は従来の半導体チップの平面図、第3図は本発明の
一実施例の実装前の半導体チップの要部断面図、第4図
(al、(blは本発明の一実施例の実装工程を順に示
す断面図である。 l二手導体チップ、2:バンプ電極、3:ダミーバンプ
、4:樹脂、9:配線基板。 代理人弁理士 山 口 厳・ ′) 2バ2τ(啄 s1図 ′ 7 112図
Claims (1)
- 1)半導体チップの一面上の中心部に隣接するバンプ電
極相互間の間隔をほぼ等しくして配置されたバンプ電極
を用いてワイヤレスボンディング方式により半導体チッ
プ面上の導体と対向する支持基板面上の導体が接続され
るものにおいて、半導体チップ周辺の全域にわたって半
導体チップ面および支持基板面の少なくとも一方の前記
導体に接続される導体の存在しない個所で対向面に接触
し、樹脂によって被覆される複数のダミーバンプが設け
られたことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63065431A JPH01238148A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63065431A JPH01238148A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01238148A true JPH01238148A (ja) | 1989-09-22 |
Family
ID=13286906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63065431A Pending JPH01238148A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01238148A (ja) |
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-
1988
- 1988-03-18 JP JP63065431A patent/JPH01238148A/ja active Pending
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