JPH01258207A - 磁気ヘッドのテープ式研磨方法およびその装置 - Google Patents
磁気ヘッドのテープ式研磨方法およびその装置Info
- Publication number
- JPH01258207A JPH01258207A JP8503288A JP8503288A JPH01258207A JP H01258207 A JPH01258207 A JP H01258207A JP 8503288 A JP8503288 A JP 8503288A JP 8503288 A JP8503288 A JP 8503288A JP H01258207 A JPH01258207 A JP H01258207A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- tape
- polishing
- frequency
- cylindrical surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/1871—Shaping or contouring of the transducing or guiding surface
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔腫東上の利用分野〕
本発明は、磁気ヘッドのテープ式研磨方法および七のｇ
ｃ直に係り、特に、−気ヘッドの円筒面を、高′１′＃
度に且つ高能率に一面研磨加工するに好適な、磁気ヘッ
ドのテープ式研磨方法およびその装置に関するものであ
る。
ｃ直に係り、特に、−気ヘッドの円筒面を、高′１′＃
度に且つ高能率に一面研磨加工するに好適な、磁気ヘッ
ドのテープ式研磨方法およびその装置に関するものであ
る。
本発明の加工対象となる、コンピュータ用出気テープ装
置などに用いられる磁気ヘッドと、これを加工する従来
の方法を説明する。
置などに用いられる磁気ヘッドと、これを加工する従来
の方法を説明する。
第２図は、磁気ヘッドの一例を示す斜視囚である。
磁気テープ装置用の磁気ヘッド３ｏは、この篤２図に示
すように１その磁気テープ対抗面は円筒面５０αをなし
ている。
すように１その磁気テープ対抗面は円筒面５０αをなし
ている。
磁気テープの磁気記録媒体と常に接触している６気ヘツ
ドの摺動面は、上記のように円筒面５０ａなので、その
Ｍ凹加工には徨々の方法が行なわれている。
ドの摺動面は、上記のように円筒面５０ａなので、その
Ｍ凹加工には徨々の方法が行なわれている。
たとえは、円′尚研Ｆ５１Ｊ盤による研削加工法、研磨
テープによるラッピング刀ロエ法などが知られている。
テープによるラッピング刀ロエ法などが知られている。
円面研削盤による研削加工法は、加工能率はよいが、加
工品にチッピングやクラックを与えたり、加工変質層が
発生したりするため、高′ｎ！良な制置を必豐とする場
合には、研ＲＩＪ加工後ラッピング加工法を採用するの
が一般的方法である。
工品にチッピングやクラックを与えたり、加工変質層が
発生したりするため、高′ｎ！良な制置を必豐とする場
合には、研ＲＩＪ加工後ラッピング加工法を採用するの
が一般的方法である。
研磨テープによるラッピング加工法の一つとして、テー
プを高速で往復動させながら、一方で加工試料をテープ
に押し当てつつ首振り運動を行ない、表面仕上げする方
法かある。しかし、この方法は、表面を鏡面に加工する
ことはできるが、円筒面を加工する場合には、母相方向
の真直度が恋化するという欠点があった。
プを高速で往復動させながら、一方で加工試料をテープ
に押し当てつつ首振り運動を行ない、表面仕上げする方
法かある。しかし、この方法は、表面を鏡面に加工する
ことはできるが、円筒面を加工する場合には、母相方向
の真直度が恋化するという欠点があった。
他の方法として、テープの表面に平面度をよくするため
のバックアッププレートを設置して、これを加工試料表
面に押し当てるようにし、一方、研磨テープは、バック
アッププレートにならって送られるようになっている。
のバックアッププレートを設置して、これを加工試料表
面に押し当てるようにし、一方、研磨テープは、バック
アッププレートにならって送られるようになっている。
丁なわち、この方法では、加工試料は、首振り運動しつ
つ、その表面を、一定圧力で加圧した研磨テープのバッ
クアップテープで押しながら研磨することである。
つ、その表面を、一定圧力で加圧した研磨テープのバッ
クアップテープで押しながら研磨することである。
この方法では、母線方向の真直度はよくなるが、単位時
間当りのラップ距離を増加させることが困難なので、加
工能率が悪いという欠点があった。
間当りのラップ距離を増加させることが困難なので、加
工能率が悪いという欠点があった。
この檜の装＊に関連した資料としては、例えば、特開昭
５５−１４５４６号公報、特開昭５８−１９６９６２号
公報等が公表されている。
５５−１４５４６号公報、特開昭５８−１９６９６２号
公報等が公表されている。
上記従来技術は、磁気ヘッドの表面加工にあたり、高能
率化という点の配慮が欠けており、高梢友、高品質の磁
気ヘッドの異図を得るためには、長時間な賛するという
課題があった。
率化という点の配慮が欠けており、高梢友、高品質の磁
気ヘッドの異図を得るためには、長時間な賛するという
課題があった。
本発明の目的は、従来の、研磨テープによるラッピング
加工法を改善して、磁気ヘッドの円筒面を、島精度かつ
、高屈率に廓面仕上加工することができる、磁気ヘッド
のテープ式研磨方法、およびこの実施に直接使用される
磁気ヘッドのテープ式研磨装置を、提供することである
。
加工法を改善して、磁気ヘッドの円筒面を、島精度かつ
、高屈率に廓面仕上加工することができる、磁気ヘッド
のテープ式研磨方法、およびこの実施に直接使用される
磁気ヘッドのテープ式研磨装置を、提供することである
。
上記課題を解決するための本発明に係る磁気ヘッドのテ
ープ式研磨方法の構成は、磁気ヘッドの円筒面へ、走行
する研磨テープを押し当てて前記円筒面を研磨するよう
にした磁気ヘッドのテープ式研磨方法において、磁気ヘ
ッドに、微小振鳴の高周波振動を重畳した低周及振動を
付与するようにしたものである。
ープ式研磨方法の構成は、磁気ヘッドの円筒面へ、走行
する研磨テープを押し当てて前記円筒面を研磨するよう
にした磁気ヘッドのテープ式研磨方法において、磁気ヘ
ッドに、微小振鳴の高周波振動を重畳した低周及振動を
付与するようにしたものである。
また、磁気ヘッドのテープ式研磨装置の構成は、磁気ヘ
ッドを保持し、この磁気ヘッドに低８彼の首振り運動を
与付することができる首振り機構と、前記−気ヘッドの
円筒面へ研磨テープを押し当てて摺動させることができ
る４Ａ磨愼傳とを有するテープ武器１１１ｇ装置に２い
て、首振り機構に、磁気ヘッドへ高［［振動を付与する
ことができる高周波振動発生装置を装置するようにした
ものである。
ッドを保持し、この磁気ヘッドに低８彼の首振り運動を
与付することができる首振り機構と、前記−気ヘッドの
円筒面へ研磨テープを押し当てて摺動させることができ
る４Ａ磨愼傳とを有するテープ武器１１１ｇ装置に２い
て、首振り機構に、磁気ヘッドへ高［［振動を付与する
ことができる高周波振動発生装置を装置するようにした
ものである。
ラッピング加工において（工、その刀り１狗と率は、研
磨テープの砥粒径、砥粒材質等の工具材が定まっている
場合には、加工試料面へのテープの刀ロ工圧力および加
工距離（相対速度）等によりて影響を受ける。この刀ロ
エ圧力は、ｉ！ｉ度に加えると圧力圧より、試料の表面
に損傷を生じるので好ましくない。一方、単位時間当り
の加工距ｌＩ＆（相対速度）を増すためには、加工試料
の首振り速度を増すか、研磨テープの送り速度を増す等
の方法がある。ここで、加工試料の頁振り速度を増すこ
とは、追従周波数に限界があって困峻である。また、研
磨テープの往復動を高速化することは、試料表面に傷が
入り易く好ましくない。
磨テープの砥粒径、砥粒材質等の工具材が定まっている
場合には、加工試料面へのテープの刀ロ工圧力および加
工距離（相対速度）等によりて影響を受ける。この刀ロ
エ圧力は、ｉ！ｉ度に加えると圧力圧より、試料の表面
に損傷を生じるので好ましくない。一方、単位時間当り
の加工距ｌＩ＆（相対速度）を増すためには、加工試料
の首振り速度を増すか、研磨テープの送り速度を増す等
の方法がある。ここで、加工試料の頁振り速度を増すこ
とは、追従周波数に限界があって困峻である。また、研
磨テープの往復動を高速化することは、試料表面に傷が
入り易く好ましくない。
上記のよ５に、単に首振り運動を高速化するのは、容易
でないが、本発明においては、首振り運動に加えて、加
工試料に高周波の５ＩＬ振動を付与して、高周波運動を
重畳するようにしたので、単位時間当りの加工距離を増
すことができ、加工能率の向上をはかることができ、ま
た加工精度も向上した。
でないが、本発明においては、首振り運動に加えて、加
工試料に高周波の５ＩＬ振動を付与して、高周波運動を
重畳するようにしたので、単位時間当りの加工距離を増
すことができ、加工能率の向上をはかることができ、ま
た加工精度も向上した。
以下に本発明の一実施例につき、第１図を用いて説明す
る。
る。
第１図は、本発明の磁気ヘッドのテープ式研磨装置の一
例を示す構成模式図である。
例を示す構成模式図である。
まず、構成について説明する。１は、刀ロエ試料である
ｄ気ヘッド、２はこれを保持するための加工治具、５は
首振り愼徊（駆動部は図示せず）で、加工治具２を保持
して矢印の方向ＶＣ駆動することができる。４は研磨テ
ープで、ブレーキ付きの株出しリール５よりテープガイ
ド６を通り、テープを平板状に押しつけるバックアップ
プレート７およびテープガイド６′を通り、巻き取りリ
ール８で巻取られる。バックアッププレート７は、中央
がビンで押えて固定され、図に示す上下方向の動きは規
制され、加工試料１の長手方向に対して回転し、回転方
向には、バネ９を配設（複数個）し、加工試料１の摺動
に対してバックアッププレート７が追従し易いようにし
である。バックアッププレート７には、シャフト１０に
より、＠線運動＠受１１を介して、刀ロエ荷厘Ｐがガロ
えられる慎栴となっている。一方、首掘り機構５には一
対の積場型の圧′ｆｔ素子１２ 、１２’および印加用
電源１５ 、１５’を配設し℃ある。
ｄ気ヘッド、２はこれを保持するための加工治具、５は
首振り愼徊（駆動部は図示せず）で、加工治具２を保持
して矢印の方向ＶＣ駆動することができる。４は研磨テ
ープで、ブレーキ付きの株出しリール５よりテープガイ
ド６を通り、テープを平板状に押しつけるバックアップ
プレート７およびテープガイド６′を通り、巻き取りリ
ール８で巻取られる。バックアッププレート７は、中央
がビンで押えて固定され、図に示す上下方向の動きは規
制され、加工試料１の長手方向に対して回転し、回転方
向には、バネ９を配設（複数個）し、加工試料１の摺動
に対してバックアッププレート７が追従し易いようにし
である。バックアッププレート７には、シャフト１０に
より、＠線運動＠受１１を介して、刀ロエ荷厘Ｐがガロ
えられる慎栴となっている。一方、首掘り機構５には一
対の積場型の圧′ｆｔ素子１２ 、１２’および印加用
電源１５ 、１５’を配設し℃ある。
つぎに、本装置の操作について説明する。予め与えられ
た加工試料１について予備試験を行ない、加工試料側に
ついては、例えば、首振り回数、高周波機動の振幅およ
び研磨時間等を決めておく。
た加工試料１について予備試験を行ない、加工試料側に
ついては、例えば、首振り回数、高周波機動の振幅およ
び研磨時間等を決めておく。
他方、研磨装ｆｔ９１ｉ１では、例えは、研磨テープ４
０ｍ類、研磨テープ送り速度、バックアッププレー）７
ｖ−かける加工荷重等を所定値として、電源を投入する
。圧電素子１２ 、１２’に加える電圧を谷々Ｖα、
Ｖｌ、とすると、Ｖ（ｚ ＝ Ｖ６−）−Ｖ、 ｚｉｎ
ωｔＶｂ＝ Ｖ６− Ｖ、 ＪＩＬ ｎωｔ（Ｖ、 、
Ｖ、は定数） すなわち、Ｖα＋Ｖｌ、 ＝ ２ Ｊ’、となり、圧電
素子１２と１２′の伸び量は一定となり、刀０工治具２
は、図面上、上下方向に移動する。
０ｍ類、研磨テープ送り速度、バックアッププレー）７
ｖ−かける加工荷重等を所定値として、電源を投入する
。圧電素子１２ 、１２’に加える電圧を谷々Ｖα、
Ｖｌ、とすると、Ｖ（ｚ ＝ Ｖ６−）−Ｖ、 ｚｉｎ
ωｔＶｂ＝ Ｖ６− Ｖ、 ＪＩＬ ｎωｔ（Ｖ、 、
Ｖ、は定数） すなわち、Ｖα＋Ｖｌ、 ＝ ２ Ｊ’、となり、圧電
素子１２と１２′の伸び量は一定となり、刀０工治具２
は、図面上、上下方向に移動する。
これによって研磨作業が円滑に進行する。
以下に具体例を説明する。
加工試料は多結晶フェライトの円筒面で、研磨テープの
表面は酸化クロム（０，５μｍ厚さ）、バックアッププ
レートの長手方向真直屓は０．２μｍ ７２５ｍｍ の
超硬プレートを用いて、第２図の６０αの面に鏡面加工
を施こした場合であるが、本発明の実施例による装置に
おいて、上記試料の首振り回数３４０回／ ｍ６ル、加
工荷重１時、研磨テープの送り速度５Ｑｍｍμｉｎの条
件で、４０分間加工試験を行なった。その結果、（１）
従来の！［（高周波振動を与えず）の場合の加工量は１
〜２μｍであった。同様の条件下で、（２１本発明の装
置において、高局１ｍ動振幅（４〜５μ７７１）を加え
た場合には、加工量は４〜５μｍとなり、前者に比べて
大幅に向上したことが明らかとなった。（加工精度は、
母線方向の真＠ ｉｔ Ｏ，５μｍ ７１６ｍｍ以内）
。
表面は酸化クロム（０，５μｍ厚さ）、バックアッププ
レートの長手方向真直屓は０．２μｍ ７２５ｍｍ の
超硬プレートを用いて、第２図の６０αの面に鏡面加工
を施こした場合であるが、本発明の実施例による装置に
おいて、上記試料の首振り回数３４０回／ ｍ６ル、加
工荷重１時、研磨テープの送り速度５Ｑｍｍμｉｎの条
件で、４０分間加工試験を行なった。その結果、（１）
従来の！［（高周波振動を与えず）の場合の加工量は１
〜２μｍであった。同様の条件下で、（２１本発明の装
置において、高局１ｍ動振幅（４〜５μ７７１）を加え
た場合には、加工量は４〜５μｍとなり、前者に比べて
大幅に向上したことが明らかとなった。（加工精度は、
母線方向の真＠ ｉｔ Ｏ，５μｍ ７１６ｍｍ以内）
。
本実施例による効果は、従来の頁掘り達′＠機構に加え
て、１ｉｉｌｌＩ１８波振動機構により、単位時間当り
の研磨距離が増加し、研磨能率が向上することになった
。
て、１ｉｉｌｌＩ１８波振動機構により、単位時間当り
の研磨距離が増加し、研磨能率が向上することになった
。
本発明によれは、磁気ヘッドの円筒面を、高精度かつ、
高能率ＩＣ説面仕上加工ができて、高性能な磁気テープ
用磁気ヘッドのテープ式研磨装置を、提供することがで
きる。これによって、高品質な磁気テープの製造能率が
向上し、経済性も向上する。
高能率ＩＣ説面仕上加工ができて、高性能な磁気テープ
用磁気ヘッドのテープ式研磨装置を、提供することがで
きる。これによって、高品質な磁気テープの製造能率が
向上し、経済性も向上する。
第１図は、本発明の一実施例に係る磁気ヘッドのテープ
式研磨装置の構成模式図、第２図は、本発明が対象とす
る磁気ヘッドの一例を示す斜視図である。 く符号の説明〉 １・・・加工試料 ５・・・首振り機構４・・
・研磨テープ ５・・・繰出しリール６．６′・
・・テープガイド ７・・・バックアッププレート８
・・・巻取りリール ９・・・はね１０・・・シャ
フト１１・・・厘巌運動軸受１２．１２’・・・圧電素
子 １３．１５’・・・印加電源１４・・・研磨機
構 １５・・・高ＷＩＵ波振動発生装置３０・
・・磁気ヘッド
式研磨装置の構成模式図、第２図は、本発明が対象とす
る磁気ヘッドの一例を示す斜視図である。 く符号の説明〉 １・・・加工試料 ５・・・首振り機構４・・
・研磨テープ ５・・・繰出しリール６．６′・
・・テープガイド ７・・・バックアッププレート８
・・・巻取りリール ９・・・はね１０・・・シャ
フト１１・・・厘巌運動軸受１２．１２’・・・圧電素
子 １３．１５’・・・印加電源１４・・・研磨機
構 １５・・・高ＷＩＵ波振動発生装置３０・
・・磁気ヘッド
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、磁気ヘッドの円筒面へ、走行する研磨テープを押し
当てて前記円筒面を研磨するようにした磁気ヘッドのテ
ープ式研磨方法において、一気ヘッドに、微小振幅の高
周波振動を重畳した低周波振動を付与するようにしたこ
とを特徴とする磁気ヘッドのテープ式研磨方法。 ２、磁気ヘッドを保持し、この磁気ヘッドに低周波の首
振り運動を与付することができる首振り機構と、前記磁
気ヘッドの円筒面へ研磨テープを押し当てて摺動させる
ことができる研磨機構とを有するテープ式研磨装置にお
いて、首振り機構に、磁気ヘッドへ高周波振動を付与す
ることができる高周波振動発生装置を装着したことを特
徴とする磁気ヘッドのテープ式研磨装置。 ３、高周波振動発生装置を、磁気ヘッドを保持する加工
治具の両側に配設した一対の積層型圧電素子を有する高
周波振動発生装置にしたことを特徴とする請求項２記載
の磁気ヘッドのテープ式研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8503288A JPH01258207A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | 磁気ヘッドのテープ式研磨方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8503288A JPH01258207A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | 磁気ヘッドのテープ式研磨方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01258207A true JPH01258207A (ja) | 1989-10-16 |
Family
ID=13847362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8503288A Pending JPH01258207A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | 磁気ヘッドのテープ式研磨方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01258207A (ja) |
-
1988
- 1988-04-08 JP JP8503288A patent/JPH01258207A/ja active Pending
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