JPH01258226A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分！ＰＦ１ 本発明は磁気記録媒体の製造方法に関する。更に詳細に
は、本発明は連続斜めＭ打法により形成された柱状構造
の磁性層において、該柱状構造が斜め柱状部分と垂直柱
状部分とから構成されている磁気記録媒体の製造方法に
関する。

［従来の技術］ 非磁性基体上に磁性体粒子を物理蒸着させることにより
磁性薄膜を形成させた、いわゆる非バインダー型磁気記
録媒体は、短波長領域における電磁変換特性に優れてい
るので、高密度記録用として好適である。

高密度記録用媒体としての機能を発揮するためには、媒
体表面の平滑性を高めてスペーシングロスを極力減少さ
せることが好ましい。しかし、媒体表面をあまり平坦化
させすぎると、磁気ヘッドのへラドタッチおよび走行性
が不良となる。

この問題点を解決する手段として、特開昭５９−９２４
２８号公報には粒子杖突起を有する下地層を設けたプラ
スチックフィルム面上に強磁性薄膜を形成させた磁気記
録媒体が提案されている。

この公報に開示された媒体では、粒子状突起を有するＦ
地層を設けたプラスチックフィルム面上に磁性体粒子を
重置蒸着させると、下地層の突起形状に対応した凸状部
が磁性層表面に形成される。

［発明が解決しようとする課題］ しかし、磁性体粒子を斜め蒸着させると、第６図に示さ
れるように、磁性層表面の凸状部の形状は下地層の突起
の形状に対応した形状とならず、緩斜面部分Ａと急斜面
部分Ｂとを有する不規則な形状の凸状部が形成される。

磁気ヘッドが緩斜面方向から急斜面方向に向かって走行
する場合、下地層の突起の形状によって本来もたらされ
る走行性の改善効果はあまりみられなくなる。また、逆
に、急斜面方向から緩斜面方向にヘッドが走行する場合
、急斜面によりヘッドが引っ掛り、耐久性劣化の原因と
なる。

従って、粒子状突起を有する下地層を設けたプラスチッ
クフィルム面上に磁性体粒子を斜め蒸着させると、ヘッ
ドタッチおよび走行性は垂直蒸着させた時はど改占され
ない。

東向蒸着磁性膜に比べて、斜め蒸着磁性膜の方が高密度
記録がＩＩＪ能な面内記録膜を形成するのに適している
。

この発明は、−１ユ記従来技術が持っていた、斜め蒸着
法により磁性体粒子を蒸着させた場合に生じる磁性層表
面における突起形状の乱れという欠点を解決し、以て走
行性、耐久性および電磁変換特性に優れた磁気記録媒体
およびその製造方法を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段コ 本発明者が長年にわたり広範な研究と実験を続けた結果
、連続斜め蒸着法により非磁性基体ｉ−に磁性体粒子の
柱状構造磁性層を形成する場合、前記磁性体粒子の蒸気
流の高入射側および／または低入射側にガスを吹付ける
ことにより、柱状構造中に斜め柱状部分と垂直柱状部分
とを形成させることにより前記の従来技術の欠点が解消
されることが発見された。本発明は斯かる知見に基づき
完成された。

斜め柱状部分は柱状構造の基部寄りに形成され、垂直柱
状部分は頂部寄りに形成されることが好ましい。

本発明の磁気記録媒体における基体は平滑基体でもよい
が、表面に、様々な形状の突起を有する基体が特に好ま
しい。

［作用］ このような突起を有する基体に、斜め柱状部分と垂直柱
状部分とからなる柱状構造の磁性体粒子の磁性膜を積層
させると、垂直柱状部分の頂点を結ぶと、下の突起の形
状と大体同じ形状の凸状部が形成される。

かくして、斜め蒸着膜でありながら、垂直蒸着膜の場合
とほぼ同じ形状の凸状部を表面に有する磁性膜を形成す
ることができる。

また、基体の表面の突起の有無に拘わらず、柱状粒子の
頂部寄りを〜γ、ちあげ、斜め柱状部分を少なくすると
カラー信号Ｓ／Ｎが改善されることも期待できる。

［実施例］ 以下、図面を参照しながら本発明の具体例について更に
詳細に説明する。

第１図は本発明の磁気記録媒体の製造に使用される連続
斜め蒸着装置の一例を、Ｊ＜すａ四囲である。

真空系１で排気された真空槽２内において、送り出しロ
ール３から送り出された基体４は、ガイドロール５を介
して円筒状キャンロール６に沿って移動し、再びガイド
ロール５を介して巻き取りロール７に巻き取られる。こ
の時、円筒状キャンロール６の下に配設されたるつぼ８
内にセットされたＣｏ−２ＯＮｉから成る蒸発源９を加
熱蒸発させ、防着板１０ａおよび１０ｂを用い、Ｃｏ−
２ＯＮｉの蒸気流１１の入射角を９０〜５０″の範囲に
規制しながら６００人／ｓｅｃの析出速度　で基体４上
にＣｏ−２ＯＮｉより成る厚さ１５００人の磁性層を形
成する。

基体には、表面に平均直径約５００人の突起を１０６個
／ｍｔａ２有する厚さ９μｍのポリエチレンテレフタレ
ートフィルムを用いた。

実１ｊ１− 第２図（ａ）に示されるように、円筒状キャンロール６
に沿って移動する基体４に入射するＣ。

−２ＯＮｉの蒸気流１１の低入射角部Ａに、ガス吹田［
］１２から種々の流ＭのＡｒガスを吹付けることにより
磁気記録媒体を作製した。

Ｋ五阻λ 第２図（ｂ）に示されるように、円筒状キャンロール６
に沿って移動する基体４に入射するＣ。

−２ＯＮｉの蒸気流１１の高入射角部Ｂに、ガス吹出口
１３から種々の流量のＡｒガスを吹付けることにより磁
気記録媒体を作製した。

支五匠１ 第２図（Ｃ）に示されるように、円筒状キャンロール６
に沿って移動する基体４に入射するＣ。

−２ＯＮｉの蒸気流１１の低入射角部Ａと高入射角部Ｂ
に、それぞれガス吹出口１２．１３から種々の流量のＡ
ｒガスを吹付けることにより磁気記録媒体を作製した。

実施例１において蒸気流の低入射角部にガスを吹付ける
ことにより作製された磁気記録媒体の断面を第３図（ａ
）に示す。図示されているように、柱状構造の磁性体粒
子２０の頂部寄りが立ちトげられることに伴い、斜め成
分が減少し、垂直な柱状構造に近くなる。

第３図（ｂ）は実施例２で作製された磁気記録媒体の断
面図である。磁性体蒸気流の高入射角部にガスが吹付け
られ、柱状構造の基部寄りは倒伏されたような形になる
ため、頂部寄りは垂直に起ｓｉｔされたような形になる
。

第３図（Ｃ）は実施例３で作製された磁気記録媒体の断
面図である。磁性体蒸気流の低入射角部と高入射角部に
ガスが吹付けられ、柱状構造の基部寄りが立ちｔげられ
るとともに、頂部寄りも８翫γされるので、柱状構造は
あたかもＳ字状のような形になる。

基体４の表面に突起１４がある場合、磁性体粒Ｊ’２０
は第４図に示されるように、突起の位置および形状に対
応した凸状部を形成する。これは前記第３図（ａ）〜（
Ｃ）に示された何れの柱状構造の磁性体粒子によっても
同等に形成される。柱状構造の頂部寄りが巾１１″１′
杖にｑちＬげられているためと思われる。

表面形状観察の結果、いずれの実施例においても、ガス
流にの多いほど、ベースフィルムの表面形状に近い磁性
層表面が得られることを確認した。

このように、斜め蒸着時に磁性体粒子の蒸気流に吹付け
るガスの壜と方向を、３１節することにより、種々の形
状のベースフィルムに対し、必要とする表面形状を有す
る磁性層が容易に得られる。

ガス流量を増大させれば柱状構造の立ち上がりも大きく
なる。一般的な指標として、ガス流量は２００〜１００
０Ｊ／ｗｉｎの範囲内である。２００Ｊ　／ｗｉｎ末滴
では柱状構造の立ち−Ｌげ効果が不）−分である。−・
方、１０００　Ｊ　／ｗｉｎ超では蒸気流の乱れにより
柱状構造の形成が困難になる。

吹付は用ガスは、Ａｒのみでなく、チッ素、ヘリウム、
００２などのガスや、これらのイオン化ガス、あるいは
、酸素などの酸化性ガスと混合しても良く、その効果も
変わらず、質埴の大きいガスはど立−Ｌげ効果が大きい
。

ガスの吹付け［−１の数および方向は、前記実施例で例
示されたものに限定されない。磁性体粒子の蒸気流の方
向を変えることができれば、吹付は口の数や方向は特に
限定されず、同様の柱状構造ｑ］−げ効果が得られる。

磁性体粒子の蒸気流の密度が低い程効果が大きいが、低
すぎるき、形状のコントロールは困難になる。

磁性体粒子の蒸着速度に対する吹付はガスの流量の比率
自体は本発明の必須要件ではないが、−般的には、８０
〜１８０対１の範囲内であることが好ましい。

実施例１〜３で得られた各磁気記録媒体は、走査形電子
顕微鏡（日立製８５２０−ＬＢ型）で、表面形状を観察
し、触＄１式表面粗さ計で磁性層表面の粗度をａ１定し
た。

各実施例において、吹付けるガスの総流量が２００１　
／ｗｉｎのときを基準として、それぞれ得られた磁気テ
ープの表面粗度の測定結果を第５図に示す。ガス流量、
吹付は方向により、表面粗度が変化するのが理解される
。

なお、この実施例では、基体にポリエチレンテレフタレ
ートフィルムを用いたが、一般に連続斜め蒸着に用いら
れる基体であれば、いずれも本発明の磁気記録媒体で使
用できる。

また、基体表面の突起形状は、シワのようなミミズ状、
粒伏など通常基体表面に形成可能な形状であれば、形状
、密度にかかわらず、本発明の方法が用いられる。

蒸発源に用いられる磁性材も、Ｃｏ　　Ｎ　ｉに限らず
、Ｃｏ−Ｃｒ＋　　Ｃｏ−Ｆｅｗ　　Ｃｏ−Ｍｎ５　　
Ｃｏ−Ｔｉ＋　Ｎｉ−Ｃｒ、Ｎ１−Ｆｅｅ　Ｎｉ−Ｆｅ
−Ｃｒ、　Ｃｏ−Ｎ１−Ｃｒｑ　Ｃｏｔ　Ｎｉｅ　Ｆｅ
など、通常用いられる材料はいずれも使用できる。

また、本発明の方法は磁性層の形成以外にも使用できる
。例えば、ド地層、保護層など、連続斜め蒸着法を用い
て膜を形成する時であれば、いずれも、本発明の、方法
が使用できる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の製造方法により得られた
磁気記録媒体は高密度記録が可能な面内記録膜の形成に
適した斜め蒸着磁性膜をｆｒするが、磁性膜は斜め柱状
部分と昨直柱状部分とからなる柱状構造の磁性体粒子に
より形成されている。

柱状構造の頂部寄りに重置柱状部分が存在すると、表面
に突起を有する基体に磁性体粒子を斜め蒸着させても、
丁の突起の形状と大体同じ形状の凸状部が、下の突起の
位置に対応した位置に形成される。

かくして、斜め蒸着膜でありながら、垂直蒸着膜の場合
とほぼ同じ形状の凸状部を表面に有する磁性膜を形成す
ることができる。その結果、磁気ヘッドの走行方向に依
存せず、走行性およびヘッドタッチに優れた磁気記録媒
体が得られる。

また、基体の表面の突起の有無に拘わらず、柱状粒子の
頂部寄りを立ちあげ、斜め柱状部分を少なくするとカラ
ー信号Ｓ／Ｎが約＋１．０ｄＢ程度改丹されることが確
認された。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の磁気記録媒体の製造に使用される連続
斜め蒸着装置の一例を示すＷ１霞図であり、第２図（ａ
）〜（Ｃ）は磁性体の蒸気流に対するガスの吹付は態様
を示す構成図であり、第３図（ａ）〜（Ｃ）は基体の平
滑部分に形成された柱状構造の断面図であり、第４図は
基体の突起部分に形成された柱状構造の断面図であり、
第５図は磁性層の表面粗さとガス吹付は量との関係を示
す特性図であり、第６図は表面に突起を有する基体に磁
性体を従来の方法に従って斜め蒸着させて得られた磁気
記録媒体の断面図である。 １・・・真空系、２・・・真空榊、３・・・送出ロール
、４・・・基体、５・・・カイトロール、６・・・キャ
ンロール、７・・・巻取ロール、８・・・るつぼ、９・
・・蒸発源、１０ａ。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）連続斜め蒸着法により非磁性基体上に磁性体粒子
   の柱状構造磁性層を形成することからなる磁気記録媒体
   の製造方法において、前記磁性体粒子の蒸気流の高入射
   側および／または低入射側にガスを吹付けることにより
   、前記柱状構造中に斜め柱状部分と垂直柱状部分とを形
   成させることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
2. （２）柱状構造の基部寄りが斜め柱状部分であることを
   特徴とする請求項（１）記載の磁気記録媒体の製造方法
   。
3. （３）非磁性基体の表面には突起が分散配設されていて
   、斜め柱状部分と垂直柱状部分とからなる柱状構造の磁
   性体粒子が前記突起の形状に沿った凸状部を有する磁性
   層表面を形成することを特徴とする請求項（１）記載の
   磁気記録媒体の製造方法。