JPH01263287A - 洗浄処理装置 - Google Patents
洗浄処理装置Info
- Publication number
- JPH01263287A JPH01263287A JP8961488A JP8961488A JPH01263287A JP H01263287 A JPH01263287 A JP H01263287A JP 8961488 A JP8961488 A JP 8961488A JP 8961488 A JP8961488 A JP 8961488A JP H01263287 A JPH01263287 A JP H01263287A
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- JP
- Japan
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- cleaned
- cleaning
- cleaning tank
- container
- vibrates
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0011—Working of insulating substrates or insulating layers
- H05K3/0055—After-treatment, e.g. cleaning or desmearing of holes
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/26—Cleaning or polishing of the conductive pattern
Landscapes
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、プリント基板やアルマイトの製造工程で洗浄
に使用する洗浄処理装置の改良に関する。
に使用する洗浄処理装置の改良に関する。
（従来の技術）
この種の装置としては、洗浄槽の洗浄液中で気泡（エア
ー）を発生し、この気泡の発生している洗浄液中に薬品
等が付着した被洗浄物を漬けて洗浄するものが知られて
いる。
ー）を発生し、この気泡の発生している洗浄液中に薬品
等が付着した被洗浄物を漬けて洗浄するものが知られて
いる。
（発明が解決しようとする問題点）
しかし、この種の従来装置では、被洗浄物がスルーホー
ル用の小孔を有するプリント基板、または母材がアルミ
ニウムで表面がセラミックス層からなるアルマイトとし
、そのセラミックス層にクラックが生じているような場
合には、小孔やクラック内の薬品が完全に除去されずに
残留するという欠点があった。
ル用の小孔を有するプリント基板、または母材がアルミ
ニウムで表面がセラミックス層からなるアルマイトとし
、そのセラミックス層にクラックが生じているような場
合には、小孔やクラック内の薬品が完全に除去されずに
残留するという欠点があった。
そのため、従来は、この薬品の残留に起因してプリント
基板やアルマイトの製造工程において、不良品が出て歩
留まりが悪いという欠点があった。
基板やアルマイトの製造工程において、不良品が出て歩
留まりが悪いという欠点があった。
そこで、本発明は、これらの問題点を解消することを目
的とする。
的とする。
（問題点を解決するための手段）
かかる目的を達成するために、本発明は以下のような構
成とした。
成とした。
すなわち、請求項１の発明は、小さな四部または小孔を
有する被洗浄物を支持する支持体と、その支持体に支持
して被洗浄物を浸漬する洗浄槽と、 前記支持体を振動する振動発生器とからなる。
有する被洗浄物を支持する支持体と、その支持体に支持
して被洗浄物を浸漬する洗浄槽と、 前記支持体を振動する振動発生器とからなる。
また、請求項２の発明は、小さな凹部または小孔を有す
る・被洗浄物を遊動自在に吊す吊し部材と、 その吊し部材に吊して被洗浄物を浸漬する洗浄槽と、 その洗浄槽を振動する振動発生器とからなり、前記洗浄
槽が振動するときに、その洗浄槽の内面が前記被洗浄物
に接触できるようにしてなる。
る・被洗浄物を遊動自在に吊す吊し部材と、 その吊し部材に吊して被洗浄物を浸漬する洗浄槽と、 その洗浄槽を振動する振動発生器とからなり、前記洗浄
槽が振動するときに、その洗浄槽の内面が前記被洗浄物
に接触できるようにしてなる。
さらに、請求項３の発明は、小さな凹部または小孔を有
する被洗浄物を遊動自在に吊す吊し部材と、 その吊し部材に吊して被洗浄物を浸漬する洗浄槽と、 前記被洗浄物を前記洗浄槽内に浸漬したときにその被洗
浄物を収容する収容体と、 その収容体を振動する振動発生器とからなり、前記収容
体が振動するときに２その収容体が前記被洗浄物に接触
できるようにしてなる。
する被洗浄物を遊動自在に吊す吊し部材と、 その吊し部材に吊して被洗浄物を浸漬する洗浄槽と、 前記被洗浄物を前記洗浄槽内に浸漬したときにその被洗
浄物を収容する収容体と、 その収容体を振動する振動発生器とからなり、前記収容
体が振動するときに２その収容体が前記被洗浄物に接触
できるようにしてなる。
（作用）
請求項１の発明では、支持体であるギヤリヤバー６が振
動発生器５によって振動すると、その振動が被洗浄物２
に伝達されるので、被洗浄物２は洗浄液中で振動する。
動発生器５によって振動すると、その振動が被洗浄物２
に伝達されるので、被洗浄物２は洗浄液中で振動する。
請求項２の発明では、洗浄槽３１が振動発生器３７によ
って振動すると、洗浄槽３１の内面が遊動自在な吊し片
３２に吊された被洗浄物２に接触するので、被洗浄物２
は洗浄液中で振動する。
って振動すると、洗浄槽３１の内面が遊動自在な吊し片
３２に吊された被洗浄物２に接触するので、被洗浄物２
は洗浄液中で振動する。
また、請求項３の発明では、収容体４２が振動発生器４
４によって振動すると、収容体４２が遊動自在な吊し片
３２に吊された被洗浄物２に接触するので、被洗浄物２
は洗浄液中で振動する。
４によって振動すると、収容体４２が遊動自在な吊し片
３２に吊された被洗浄物２に接触するので、被洗浄物２
は洗浄液中で振動する。
このように、請求項１〜請求項３の各発明は、いずれも
被洗浄物２が洗浄府中で振動する。従って、この振動に
よって被洗浄物２に付着する薬品の洗浄液中における拡
散が活発化し、被洗浄物は表面のみならずその小さな凹
部内や小孔内に付着する薬品が洗浄液中に容易に溶は出
し、薬品が確実に除去される。
被洗浄物２が洗浄府中で振動する。従って、この振動に
よって被洗浄物２に付着する薬品の洗浄液中における拡
散が活発化し、被洗浄物は表面のみならずその小さな凹
部内や小孔内に付着する薬品が洗浄液中に容易に溶は出
し、薬品が確実に除去される。
（実施例）
第１図は本発明の実施例を示す。
図において、■は洗浄を行う洗浄槽、２はその洗浄槽１
に漬けて後述のように水などで洗浄される被洗浄物であ
る。この被洗浄物２としては、スルーホール用の小孔を
有するプリント基板や表面にクラック等の小さな凹部を
有するアルマイトなどが好適である。
に漬けて後述のように水などで洗浄される被洗浄物であ
る。この被洗浄物２としては、スルーホール用の小孔を
有するプリント基板や表面にクラック等の小さな凹部を
有するアルマイトなどが好適である。
また、洗浄槽ｌは、図示しないが洗浄中は新しい洗浄液
が供給されると、その供給された分だけあふれ出るよう
にするのが好ましい。
が供給されると、その供給された分だけあふれ出るよう
にするのが好ましい。
４は洗浄槽２の左右に配置したキャリヤパー受は台であ
り、このキャリヤバー受は台４，４上に左右一対の振動
発生器５．５をそれぞれ配置する。
り、このキャリヤバー受は台４，４上に左右一対の振動
発生器５．５をそれぞれ配置する。
６は被洗浄物２を一対のクリップ７．７によって支持す
るとともに、その被洗浄物２を後述のように搬送するキ
ャリヤバーである。このキャリヤ／へ−６の左右両端に
は、振動発生器５に設けたＶ学費は部材８．８と嵌合す
るＶ室部材９，９を取付ける（第２図参照）。
るとともに、その被洗浄物２を後述のように搬送するキ
ャリヤバーである。このキャリヤ／へ−６の左右両端に
は、振動発生器５に設けたＶ学費は部材８．８と嵌合す
るＶ室部材９，９を取付ける（第２図参照）。
次に、振動発生器５の構成について第２図を参照して説
明する。
明する。
図において、１０．１０は一対のスプリングであり、そ
の下端をキャリヤバー受は台４上にそれぞれ固定すると
ともに、その上端を振動板１１の下面両端にそれぞれ固
定し、振動板１１をキャリヤバー受は台４上に弾性支持
する。さらに、その振動板１１上にＶ学費は部材８を固
定する。
の下端をキャリヤバー受は台４上にそれぞれ固定すると
ともに、その上端を振動板１１の下面両端にそれぞれ固
定し、振動板１１をキャリヤバー受は台４上に弾性支持
する。さらに、その振動板１１上にＶ学費は部材８を固
定する。
１２は振動板１１を所定の振動数で振動させる振動モー
タであり、振動板１１の下面に固定する。従って、この
振動モータ１２が回転すると、そのモータ軸の両端に固
定されたアンバランスウェイトによって、振動板１１が
左右一対のスプリング１０の弾性支持に抗して振動する
。
タであり、振動板１１の下面に固定する。従って、この
振動モータ１２が回転すると、そのモータ軸の両端に固
定されたアンバランスウェイトによって、振動板１１が
左右一対のスプリング１０の弾性支持に抗して振動する
。
なお、振動発生器５は、振動源として上述の振動モータ
１２の他に、いわゆる電磁式バイブレータやエアー式バ
イブレータを使用することができる。
１２の他に、いわゆる電磁式バイブレータやエアー式バ
イブレータを使用することができる。
次に、このように構成する本発明実施例の動作例につい
て説明する。ここで、被洗浄物２を例えばスルーホール
用の小孔を有するプリント基板とする。
て説明する。ここで、被洗浄物２を例えばスルーホール
用の小孔を有するプリント基板とする。
いま、前処理工程が終了して薬品が付着する被洗浄物２
は、搬送装置（図示せず）に案内されて第１図で示す洗
浄槽１の頭上に到来すると、その位置でキャリヤバー６
が下降する。そして、キャリヤバー６は、その左右両端
に取付けたＶ室部材９．９が対応するＶ学費は部材８，
８上に嵌合して位置決め固定されると（第２図参照）、
搬送装置はキャリヤバー６の支持を１ヒめて上方の所定
位欝で待機する。
は、搬送装置（図示せず）に案内されて第１図で示す洗
浄槽１の頭上に到来すると、その位置でキャリヤバー６
が下降する。そして、キャリヤバー６は、その左右両端
に取付けたＶ室部材９．９が対応するＶ学費は部材８，
８上に嵌合して位置決め固定されると（第２図参照）、
搬送装置はキャリヤバー６の支持を１ヒめて上方の所定
位欝で待機する。
ここで、キャリヤバー６にクリップ７．７によって支持
される被洗浄物２は、第１図に示すように洗浄槽１の洗
浄液中に完全に浸漬させる。
される被洗浄物２は、第１図に示すように洗浄槽１の洗
浄液中に完全に浸漬させる。
次に、振動発生器５が起動すると、この振動はｖ字受は
部材８、Ｖ室部材９、キャリヤバー６、およびクリップ
７を経由して被洗浄物２に伝達され、被洗浄物２は洗浄
液中で振動する。
部材８、Ｖ室部材９、キャリヤバー６、およびクリップ
７を経由して被洗浄物２に伝達され、被洗浄物２は洗浄
液中で振動する。
この振動により、被洗浄物２であるプリント基板に付着
する薬品（例えばメツキ液）の洗浄液中における拡散が
活発化し、プリント基板は表面のみならずスルーホール
用の小孔内に付着する薬品が洗浄液中に容易に溶は出し
、薬品が確実に除去される。
する薬品（例えばメツキ液）の洗浄液中における拡散が
活発化し、プリント基板は表面のみならずスルーホール
用の小孔内に付着する薬品が洗浄液中に容易に溶は出し
、薬品が確実に除去される。
その後、被洗浄物２の洗浄処理が終了すると、搬送装置
が再び移動してきて、キャリヤバー６に一体の被洗浄物
２が洗浄槽１から引き上げられ、次の処理工程に進む。
が再び移動してきて、キャリヤバー６に一体の被洗浄物
２が洗浄槽１から引き上げられ、次の処理工程に進む。
以上の動作例では、被洗浄物２をスルーホール用の小孔
を有するプリント基板として説明したが、これに代えて
被洗浄物２を母材がアルミニウムで表面がセラミックス
層からなるアルマイトとし、そのセラミックス層にクラ
ックが生じているような場合にもそのクラブク内の薬品
が完全に除去されるので、以後の工程でセラミックス層
の表面に染色が確実になされる。
を有するプリント基板として説明したが、これに代えて
被洗浄物２を母材がアルミニウムで表面がセラミックス
層からなるアルマイトとし、そのセラミックス層にクラ
ックが生じているような場合にもそのクラブク内の薬品
が完全に除去されるので、以後の工程でセラミックス層
の表面に染色が確実になされる。
第３図は本発明の他の実施例を示す。
図において、３１は被洗浄物２を洗浄する洗浄槽である
。
。
３２は被洗浄物２を洗浄槽３１内に遊動自在に吊す吊し
片であり、その吊し片３２の上端を搬送装置３３の搬送
棒３４に掛ける。搬送棒３４は、搬送装置３３に設けた
案内ガイド（図示せず）に案内されるとともに、被洗浄
物２の洗浄処理の際に第３図の位置で停止する。
片であり、その吊し片３２の上端を搬送装置３３の搬送
棒３４に掛ける。搬送棒３４は、搬送装置３３に設けた
案内ガイド（図示せず）に案内されるとともに、被洗浄
物２の洗浄処理の際に第３図の位置で停止する。
洗浄槽３１は、その左右の上端部３１Ａ、３１Ｂを左右
一対のスプリング３５．３５を介在して外枠３６の上端
部に弾性支持する。そして、その洗浄槽３１の上端部３
１Ａ、３１Ｂ上には、洗浄槽３１を振動させるバイブレ
ータや振動モータなどの振動発生器３７．３７をそれぞ
れ取付ける。
一対のスプリング３５．３５を介在して外枠３６の上端
部に弾性支持する。そして、その洗浄槽３１の上端部３
１Ａ、３１Ｂ上には、洗浄槽３１を振動させるバイブレ
ータや振動モータなどの振動発生器３７．３７をそれぞ
れ取付ける。
また洗浄槽３１は、例えば図示のように漏斗状とし、そ
の底部側の内径を被洗浄物２の横幅よりもわずかに大き
くする。これにより、後述のように洗浄槽３１が振動す
るときに、洗浄槽３１が被洗浄物２に接触して被洗浄物
２が振動する。
の底部側の内径を被洗浄物２の横幅よりもわずかに大き
くする。これにより、後述のように洗浄槽３１が振動す
るときに、洗浄槽３１が被洗浄物２に接触して被洗浄物
２が振動する。
なお、洗浄４（’！３１は、後述のように振動するとき
に被洗浄物２と容易に接触できるような関係にあれば、
その形状等は上述のものに限定されるものではない。
に被洗浄物２と容易に接触できるような関係にあれば、
その形状等は上述のものに限定されるものではない。
次に、このように構成する実施例の動作例について説明
する。ここで、被洗浄物２を例えばスルーホール用の小
孔を有するプリント基板とする。
する。ここで、被洗浄物２を例えばスルーホール用の小
孔を有するプリント基板とする。
いま、前工程処理を終了して薬品が付着する被洗浄物２
が、搬送装置３３の搬送棒３４に吊し片３２で吊された
状態で搬送され、その搬送棒３４が第３図で示す位置で
停止すると、被洗浄物２は搬送棒３４に吊されたまま洗
浄槽３１内に浸漬された状態となる。
が、搬送装置３３の搬送棒３４に吊し片３２で吊された
状態で搬送され、その搬送棒３４が第３図で示す位置で
停止すると、被洗浄物２は搬送棒３４に吊されたまま洗
浄槽３１内に浸漬された状態となる。
ここで、振動発生器３７が起動し、これにより洗浄槽３
１が振動を開始するので、洗浄槽３１の内面が遊動自在
な吊し片３２に吊された被洗浄物２に接触し、洗浄液中
で被洗浄物２が振動する。
１が振動を開始するので、洗浄槽３１の内面が遊動自在
な吊し片３２に吊された被洗浄物２に接触し、洗浄液中
で被洗浄物２が振動する。
この振動により、被洗浄物２であるプリント基板に付着
する薬品（例えばメツキ液）の洗浄液中における拡散が
活発化し、プリント基板は表面のみならずスルーホール
用の小孔内に付着する薬品が洗浄液中に容易に溶は出し
、薬品が確実に除去される。
する薬品（例えばメツキ液）の洗浄液中における拡散が
活発化し、プリント基板は表面のみならずスルーホール
用の小孔内に付着する薬品が洗浄液中に容易に溶は出し
、薬品が確実に除去される。
その後、被洗浄物２の洗浄処理が終了すると、搬送装置
３３の搬送棒３４が搬送を開始し、被洗浄物２が洗浄槽
３１内から引き上げられ、次工程の処理のために搬送さ
れる。
３３の搬送棒３４が搬送を開始し、被洗浄物２が洗浄槽
３１内から引き上げられ、次工程の処理のために搬送さ
れる。
第４図は未発明のさらに他の実施例を示す。
図において、４１は被洗浄物２を洗浄する洗浄槽である
。
。
４２は被洗詐物２を洗浄槽４１内に浸漬するときに収容
する収容体であり、左右一対のスプリング４３ 、４３
輛介在して洗浄槽４１内に配置する。そして、収容体４
２の左右の上端突部４２Ａ、４２Ｂ上には、その収容体
４２を振動する振動発生器４４．４４をそれぞれ取付け
る。
する収容体であり、左右一対のスプリング４３ 、４３
輛介在して洗浄槽４１内に配置する。そして、収容体４
２の左右の上端突部４２Ａ、４２Ｂ上には、その収容体
４２を振動する振動発生器４４．４４をそれぞれ取付け
る。
収容体４２は、例えば図示のように漏斗状にするととも
に、洗浄槽４１内に浸漬する部分は洗浄液が充満するよ
うに多数の通孔４５を穿ったり、または網目状とする。
に、洗浄槽４１内に浸漬する部分は洗浄液が充満するよ
うに多数の通孔４５を穿ったり、または網目状とする。
また、収容体４２の底部側の内径を被洗浄物２の横幅よ
りもわずかに大きくする。
りもわずかに大きくする。
これにより、後述のように収容体４２が振動するときに
、収容体４２が被洗浄物２に接触して被洗浄物２が振動
する。
、収容体４２が被洗浄物２に接触して被洗浄物２が振動
する。
なお、収容体４２は、後述のように振動するときに被洗
浄物２と容易に接触できるような関係にあれば、その形
状等は上述のものに限定されるものではない。
浄物２と容易に接触できるような関係にあれば、その形
状等は上述のものに限定されるものではない。
次に、このように構成する他の実施例の動作例について
説明する。ここで、被洗浄物２を例えばスルーホール用
の小孔を有するプリント基板とする。
説明する。ここで、被洗浄物２を例えばスルーホール用
の小孔を有するプリント基板とする。
いま前工程が終了して薬品が付着する被洗浄物２が、搬
送装置３３の搬送棒３４に吊し片３２で吊された状態で
搬送され、その搬送棒３４が第４図で水中位置で停止上
すると、被洗浄物２は搬送棒３４に吊されたまま収容体
４２を介して洗浄槽３１内に浸漬された状態となる。
送装置３３の搬送棒３４に吊し片３２で吊された状態で
搬送され、その搬送棒３４が第４図で水中位置で停止上
すると、被洗浄物２は搬送棒３４に吊されたまま収容体
４２を介して洗浄槽３１内に浸漬された状態となる。
ここで、振動発生器４４が起動し、これにより収容体４
２が振動を開始するので、収容体４２が遊動自在な吊し
片３２に吊された被洗浄物２に接触し、洗浄液中で被洗
浄物２が振動する。
２が振動を開始するので、収容体４２が遊動自在な吊し
片３２に吊された被洗浄物２に接触し、洗浄液中で被洗
浄物２が振動する。
この振動により、被洗浄物２であるプリント基板に付着
する薬品（例えばメツキ液）の洗浄液中における拡散が
活発化し、プリント基板は表面のみならずスルーホール
用の小孔内に付着する薬品が洗浄液中に容易に溶は出し
、薬品が確実に除去される。
する薬品（例えばメツキ液）の洗浄液中における拡散が
活発化し、プリント基板は表面のみならずスルーホール
用の小孔内に付着する薬品が洗浄液中に容易に溶は出し
、薬品が確実に除去される。
その後、被洗浄物２の洗浄が終了すると、搬送装置３３
の搬送棒３４が搬送を開始し、被洗浄物２が収容体４２
内から引き上げられ、次工程の処理のために搬送される
。
の搬送棒３４が搬送を開始し、被洗浄物２が収容体４２
内から引き上げられ、次工程の処理のために搬送される
。
（発明の効果）
以上のように本発明では、被洗浄物を洗浄液中で振動さ
せ、被洗浄物に付着する薬品の洗浄液中における拡散を
活発化させるようにしたので、被洗浄物は表面のみなら
ずその小さな凹部内や小孔内に付着する薬品が洗浄液中
に容易に溶は出し、薬品が確実に除去される。従って、
本発明をプリント基板やアルマイトの製造工程に適用す
れば、洗浄不良が解消されて歩留まりを格段に向上させ
ることができる。
せ、被洗浄物に付着する薬品の洗浄液中における拡散を
活発化させるようにしたので、被洗浄物は表面のみなら
ずその小さな凹部内や小孔内に付着する薬品が洗浄液中
に容易に溶は出し、薬品が確実に除去される。従って、
本発明をプリント基板やアルマイトの製造工程に適用す
れば、洗浄不良が解消されて歩留まりを格段に向上させ
ることができる。
第１図は本発明の実施例の断面図、第２図は振動発生器
の構成を示す図、第３図および第４図は、それぞれ本発
明の他の実施例の断面図である。 １．３１．４１は洗浄槽、２は被洗浄物、５゜３７．４
４は振動発生器、６はキャリヤバー、３２は吊し片、４
２は収容体。 特許 出願人 株式会社プランテックス代 理 人
牧 舌部（ほか３名）第１図 糧 第２図
の構成を示す図、第３図および第４図は、それぞれ本発
明の他の実施例の断面図である。 １．３１．４１は洗浄槽、２は被洗浄物、５゜３７．４
４は振動発生器、６はキャリヤバー、３２は吊し片、４
２は収容体。 特許 出願人 株式会社プランテックス代 理 人
牧 舌部（ほか３名）第１図 糧 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、小さな凹部または小孔を有する被洗浄物を支持する
支持体と、 その支持体に支持して被洗浄物を浸漬する洗浄槽と、 前記支持体を振動する振動発生器とからなる洗浄処理装
置。 ２、小さな凹部または小孔を有する被洗浄物を遊動自在
に吊す吊し部材と、 その吊し部材に吊して被洗浄物を浸漬する洗浄槽と、 その洗浄槽を振動する振動発生器とからなり、 前記洗浄槽が振動するときに、その洗浄槽の内面が前記
被洗浄物に接触できるようにしてなる洗浄処理装置。 ３、小さな凹部または小孔を有する被洗浄物を遊動自在
に吊す吊し部材と、 その吊し部材に吊して被洗浄物を浸漬する洗浄槽と、 前記被洗浄物を前記洗浄槽内に浸漬したときにその被洗
浄物を収容する収容体と、 その収容体を振動する振動発生器とからなり、 前記収容体が振動するときに、その収容体が前記被洗浄
物に接触できるようにしてなる洗浄処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8961488A JPH01263287A (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | 洗浄処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8961488A JPH01263287A (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | 洗浄処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01263287A true JPH01263287A (ja) | 1989-10-19 |
Family
ID=13975627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8961488A Pending JPH01263287A (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | 洗浄処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01263287A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0841659A (ja) * | 1994-07-27 | 1996-02-13 | Kengo Hiruta | エッチング装置 |
| US6530388B1 (en) * | 2000-02-15 | 2003-03-11 | Quantum Global Technologies, Llc | Volume efficient cleaning systems |
| US6926016B1 (en) | 2001-02-15 | 2005-08-09 | Quantum Global Technologies, Llc | System for removing contaminants from semiconductor process equipment |
| US7328712B1 (en) | 2000-02-15 | 2008-02-12 | Quantum Global Technologies | Cleaning bench for removing contaminants from semiconductor process equipment |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS5923886A (ja) * | 1982-07-31 | 1984-02-07 | Akio Watabe | 溶液浸漬式金属表面処理装置 |
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| JPS6335789A (ja) * | 1986-07-30 | 1988-02-16 | Daido Steel Co Ltd | 洗浄装置 |
-
1988
- 1988-04-12 JP JP8961488A patent/JPH01263287A/ja active Pending
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