JPH01270293A - 厚膜積層配線基板 - Google Patents

厚膜積層配線基板

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Publication number
JPH01270293A
JPH01270293A JP9821288A JP9821288A JPH01270293A JP H01270293 A JPH01270293 A JP H01270293A JP 9821288 A JP9821288 A JP 9821288A JP 9821288 A JP9821288 A JP 9821288A JP H01270293 A JPH01270293 A JP H01270293A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thick film
resistor
wiring board
film wiring
wiring
Prior art date
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Pending
Application number
JP9821288A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshiaki Nishikawa
敏明 西川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、混成集積回路用厚膜配線基板に関し、特に多
層構造の厚膜配線基板に関する。
[従来の技術] 従来、この種の厚膜積層配線基板は、厚膜印刷法で形成
した場合、セラミックス基板上に導体。
抵抗体、誘電体の順で繰り返し形成した多層配線基板の
構造となっていた。
また、グリーンシート積層法で形成した場合、グリーン
シート上に導体、抵抗体を形成した後、積層−括焼成し
た多層配線基板の構造となっていた。
[解決すべき問題点] 上述した従来の厚膜配線基板では、内層抵抗をレーザト
リミングすることができないため、高才青度の抵抗値調
整ができないという問題点を有していた。
また、焼成後の抵抗値の製造バラツキが大きいため、製
造上抵抗値を制御することが難しいという問題点を有し
ていた。
本発明は上述した問題点にかんがみてなされたもので、
内層に高精度の抵抗体を内蔵し、高密度化、高集積化を
図ることのできる厚膜積層配線基板の提供を目的とする
[問題点の解決手段] 上記目的を達成するため、本発明の厚膜積層配線基板は
、セラミックス基板の両面に導体、誘電体、抵抗体を形
成し、前記抵抗体はレーザトリミングにより高精度に抵
抗値を調整し、セラミックス基板の両面の配線はスルー
ホールを介して接続した厚膜配線基板を少なくとも二枚
重ね合せ、各々の厚膜配線基板の間を半田またはろう材
を用い・て接続した構成としである。
し実施例] 以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
第1図は本発明の一実施例の厚膜積層配線基板の縦断面
図、第2図は両面にパターンのある厚膜配線基板の部分
平面図、第3図は第2図におけるA−A ’線断面図で
ある。
本実施例の厚膜積層配線基板は、第1図に示すように、
両面にパターンのある厚膜配線基板1を四枚重ね合せ、
各々の厚膜配線基板1のvi続は、80Au/ 20S
nのろう材2を用いて280℃で加熱することにより行
なっている。
前記厚膜配線基板lは、第2図に示すようにセラミック
ス基板1a、導体パターン3、スルーホールメタライズ
4.抵抗体5、抵抗体5のトリミング溝6.クロスオー
バーガラス7、保護ガラス8、および厚膜配線基板間の
接続を行なうろう付は用パット9からなっており、表面
の配線は。
第3図に示すようにスルーホールメタライズ4を介して
裏面の配線に接続されている。
このような厚膜積層配線基板は、抵抗体5をレーザトリ
ミングより高精度に調整することができ、各々の厚膜配
線基板lの間はろう材2を用いて接続しであるので、内
層に高精度の抵抗体5を内蔵し、高密度化、高集積化を
図ることができる。
[発明の効果] 以上説明したように本発明は、セラミックス基板の両面
に導体、誘電体、抵抗体を形成し、抵抗体はレーザトリ
ミングより高精度に調整し、セラミックス基板の両面の
配線はスルーホールを介して接続する構造の厚膜配線基
板を少なくとも二枚有し、各々の厚膜配線基板の間は、
半日またはろう材を用いて接続することにより、内層に
高精度の抵抗体を内蔵し、高密度化、高集積化を図るこ
とができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の厚膜積層配線基板の縦断面
図、第2図は両面にパターンのある厚膜配線基板の部分
平面図、第3図は第2図におけるA−A ’線断面図で
ある。 1:厚膜配線基板 la:セラミックス基板 2:ろう材 3:導体パターン 4ニスルーホールメタライズ 5:抵抗体 6  :  ト  リ  ミ  ン グ 溝7:クロス
オーバーガラス 8:保護ガラス 9:ろう材用バット 代理人 弁理士 渡 辺 喜 平 第1図 2う>才λ 第2図 第3図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. セラミックス基板の両面に導体,誘電体,抵抗体を形成
    し、前記抵抗体はレーザトリミングにより高精度に抵抗
    値を調整し、セラミックス基板の両面の配線はスルーホ
    ールを介して接続した厚膜配線基板を少なくとも二枚重
    ね合せ、各々の厚膜配線基板の間を半田またはろう材を
    用いて接続したことを特徴とする厚膜積層配線基板。
JP9821288A 1988-04-22 1988-04-22 厚膜積層配線基板 Pending JPH01270293A (ja)

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