JPH01280881A - マーク検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体製造工程の１つであるダイポンディン
グ工程で、ペアチップ上のマークを検出するため等に用
いられるマーク検出装置に関するものである。

従来の技術 ダンボンディング工程で用いられるマーク検出装置は、
第２図が示すように、認識対象範囲１１内の認識対象と
なるペアチップ１２の形状や、このペアチップの良否判
定結果をその上面中央部に表示するマーク１３を認識す
るものであり、従来は第３図に示すような構造となって
いた。

すなわち、テレビカメラ１６から取９込まれた前記認識
対象範囲１１内の画像信号は、二値化回路１７によシニ
値画像に変換されて、画像記憶部１８に記憶される。記
憶された画像情報は、制御部２ｏからの指令に基づきパ
ターン認識処理部１９によって前記画像記憶部１８から
取り出され、形状等の特徴を用いた認識アルゴリズムに
より認識結果が算出される。前記二値化回路１７の二値
化レベルは、前記制御部２０によって画像信号が取り込
まれる前に設定されている。

発明が解決しようとする課題 ところで、認識対象物の撮像の為には照明が必要である
が、前記認識対象範囲１１が広くなると、その全領域を
均一かつ安定に照明することが困難である。このだめに
、認識対象範囲１１のほぼ中心に位置するマーク検出対
象範囲１４とペアチップ１２の周辺部とでは、照明の明
暗差があり、単一の二値化レベルで二値化した場合、前
記マーク検出対象範囲１４とベアチップ周辺部の双方共
に安定した二値画像を得ることは難しく、認識率が低下
するという問題を有していた。すなわち、ペアチップ１
２の形状を二値画像で忠実に実現させようとすると、認
識対象範囲１１の中心位置の照度を比較的大きくする必
要があシ、これによって第４図に示すように、マーク１
３の形状が小さくなったシ、再現できなくなったりし、
マークの検出が安定しなかった。

本発明は前記問題点に鑑み、認識対象として広範囲の認
識を必要とする場合でも、高い信頼性でかつ高速に認識
処理を達成し得るマーク検出装置・を提供するものであ
る。

課題を解決するだめの手段 前記問題点を解決するだめに本発明のマーク検出装置は
、マーク検出対象範囲を小領域に分割し、その小領域の
各平均濃度を画像信号より求める手段と、求められた平
均濃度の濃度差よりマークの有無を判定する手段とを備
えたものである。

作　　　用 本発明は前記の構成によって、認識対象範囲内に大きな
明暗差が生じているような場合でも、濃度差という相対
情報を用いることにより、ペアチップの中心部のマーク
検出対象範囲の濃度レベルが変化しても安定したマーク
検出が可能となる。

実施例 以下本発明の一実施例のマーク検出装置について、図面
を参照しながら説明する。

第１図は、本発明の一実施例のマーク検出装置のブロッ
ク図である。第１図において、テレビカメラ２から入力
された画像信号は、光電変換部３によって濃淡画像に変
換され、画像記憶部４に記憶される。記憶された画像情
報は、制御部６からの指令に基づきパターン認識処理部
５によって画像記憶部４から取り出され、形状等の特徴
を用いり認識アルゴリズムにより、ペアチップ１の周辺
部の認識結果が算出され、この認識結果に基づいて、制
御部６がマーク検出対象範囲を決定する。

小領域平均濃度算出部７は、制御部６からの指令に基づ
き、マーク検出対象範囲の画像情報を画像記憶部４よシ
取り出し、マーク検出対象範囲を小領域に分割し、その
小領域の各平均濃度を算出し、最大平均濃度記憶部８及
び最小平均濃度記憶部９の内容を逐次更新する。濃度差
算出部１０は、各小領域の平均濃度が算出される毎に、
最大平均濃度記憶部８及び最小平均濃度記憶部９よシ情
報を取シ出し、最大平均濃度と最小平均濃度の濃度差が
、指定された値以上になると、マーク有りと判定する。

以上のように本実施例によれば、マーク検出対象範囲を
小領域に分割し、その小領域の各平均濃度の濃度差よシ
マークの有無を判定することによって、マーク検出対象
範囲が照明の明暗差により　　４濃度レベルが変化して
も、信頼性の高いマーク検出を行うことができる。

発明の効果 以上のように本発明は、マーク検出対象範囲を小領域に
分割し、その小領域の各平均濃度を画像信号より求める
手段と、求められた平均濃度の濃度差よりマークの有無
を判定する手段とを設けることにより、認識対象として
広範囲の認識を必要とする場合でも、高い信頼性でかつ
高速にマークを検出することができる。

また、本発明は濃度差という相対情報を用いることによ
り、ペアチップの表面の反射率が変化して、全体の濃度
レベルが変化した場合でも、高い信頼性でマークを検出
することができる。

さらに、マーク検出範囲の中心にある小領域より、うず
巻き状に各小領域の平均濃度を求め、逐次濃度差を検証
することにより、マークが検出範囲の中心に存在する確
率が高いことを利用して、平均マーク検出時間をより短
縮することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のマーク検出装置のブロック
図、第２図は同マーク検出装置の認識対象範囲における
マーク検出対象範囲の一例を示す図、第３図は従来のマ
ーク検出装置を示すブロック図、第４図は従来のマーク
検出装置の問題点を示す信号波形図である。 １・・・・・・ペアチップ、１１・・・・・・認識対象
範囲、１２・・・・・・ヘアチップ、１３・・・・・・
マーク、１４・・・・・・マーク検出対象範囲、１５・
・・・・・ペアチップ、２１．２４・・・・・・マーク
部分、２２．２５・・・・・・ベアチップ周辺部、２３
．２６・・・・・・二値化レベル。 代理人ど氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１６第　
３　図 第４図 ’１２４−−マーク舒少 ２ｔｓ−−−ゴアナーフ゛旧ｎ苓ヤ ２３ＩＣ・・−ユ便恍い゛ル

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）認識対象範囲に対応する画像信号を取り込む光電
   変換手段と、マーク検出対象範囲を小領域に分割し、そ
   の小領域の各平均濃度を画像信号より求める手段と、求
   められた各平均濃度の濃度差よりマークの有無を判定す
   る手段とを備えたことを特徴とするマーク検出装置。
2. （２）特許請求の範囲第１項に記載の装置において、小
   領域の各平均濃度の濃度差よりマークの有無を判定する
   手段は、マーク検出対象範囲の中心にある小領域より、
   うず巻き状に各小領域の平均濃度を求める構成としたマ
   ーク検出装置。