JPH01299788A - レーザ加工方法およびその装置 - Google Patents
レーザ加工方法およびその装置Info
- Publication number
- JPH01299788A JPH01299788A JP63130224A JP13022488A JPH01299788A JP H01299788 A JPH01299788 A JP H01299788A JP 63130224 A JP63130224 A JP 63130224A JP 13022488 A JP13022488 A JP 13022488A JP H01299788 A JPH01299788 A JP H01299788A
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- JP
- Japan
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- processing
- nozzle
- sensor
- processing nozzle
- speed
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
この発明は、レーザ加工装置に係り、更に詳細には、加
工ヘッドの先端に取付けられた加工ノズルが加工ノズル
の進行方向の前方にある被検出部材に衝突しないように
したレーザ加工方法およびその装置に関する。
工ヘッドの先端に取付けられた加工ノズルが加工ノズル
の進行方向の前方にある被検出部材に衝突しないように
したレーザ加工方法およびその装置に関する。
(従来の技術)
従来、レーザ加工装置においては、加工ヘッドが加工す
べきワークと相対的にNC装置により×軸およびY軸方
向へ移動する。その加工ヘッドの先端には加工ノズルが
装着されている。
べきワークと相対的にNC装置により×軸およびY軸方
向へ移動する。その加工ヘッドの先端には加工ノズルが
装着されている。
その加工ノズルからレーザビームを加工すべきワークに
照射してレーザ加工を行っている間に、加工ノズルが突
部に当って損傷することがある。
照射してレーザ加工を行っている間に、加工ノズルが突
部に当って損傷することがある。
その加工ノズルの損傷を防止するために、加工ノズルの
外周部に接触式センサが取付けられている。
外周部に接触式センサが取付けられている。
したがって、接触式センサが前記突部に当ることにより
検出している。
検出している。
(発明が解決しようとする課題)
ところで、接触式センサが前記突部に当ることにより検
出しているから、その接触式センサによる検出時期から
加工ノズルを停止させるように停止指令信号を発してい
る。そのため、どうしても惰走が生じて加工ノズルの損
傷を完全に防止することは非常に難かしいという問題が
あった。
出しているから、その接触式センサによる検出時期から
加工ノズルを停止させるように停止指令信号を発してい
る。そのため、どうしても惰走が生じて加工ノズルの損
傷を完全に防止することは非常に難かしいという問題が
あった。
この発明の目的は、上記問題点を改善するため、加工ノ
ズルの外周部に非接触式センサを取付け、そのセンサで
センサの進行方向の一1方にある被検出部材を検出し、
加工ノズルの惰走を生ぜしめることなく加工ノズルを停
止せしめる人うにしたレーザ加工方法およ“びその装置
を提供することにある。
ズルの外周部に非接触式センサを取付け、そのセンサで
センサの進行方向の一1方にある被検出部材を検出し、
加工ノズルの惰走を生ぜしめることなく加工ノズルを停
止せしめる人うにしたレーザ加工方法およ“びその装置
を提供することにある。
[発明の構成]
(課題を解決するための手段)
上記目的を達成するために、この発明は、加工すべきワ
ークと相対的にX軸およびY軸方向へ移動すると共に先
端部に装着された加工ノズルの外周部に非接触式のセン
サを設けた加工ヘッドがある決められた進行方向に移動
した際に、前記加工ノズルとセンサを撮像装置で撮像し
ながら、加工ノズルの進行方向と加工ノズルの速度に応
じて決められた検出範囲により加工ノズルの進行方向に
ある被検出部材を前記センサで検出すると、撮像装置に
接続された画像処理装置で処理して前記加工ヘッドの速
度を減速して停止するようにしたレーザ加工方法である
。
ークと相対的にX軸およびY軸方向へ移動すると共に先
端部に装着された加工ノズルの外周部に非接触式のセン
サを設けた加工ヘッドがある決められた進行方向に移動
した際に、前記加工ノズルとセンサを撮像装置で撮像し
ながら、加工ノズルの進行方向と加工ノズルの速度に応
じて決められた検出範囲により加工ノズルの進行方向に
ある被検出部材を前記センサで検出すると、撮像装置に
接続された画像処理装置で処理して前記加工ヘッドの速
度を減速して停止するようにしたレーザ加工方法である
。
また、この発明は、X軸およびY軸方向へ加工すべきワ
ークと相対的にNC装置で移動制御せしめる加工ヘッド
と、その加工ヘッドの先端に装着されレーザビームを前
記加工すべきワークに照射する加工ノズルと、その加工
ノズルの外周部に取付けられた非接触式のセンサと、そ
のセンサと前記加工ノズルの先端を撮像する撮像装置と
、その撮像装置で撮像された加工ノズルの進行方向と加
工ノズルの速度に応じて決められた検出範囲により前記
加工ノズルの進行方向の前方にある被検出部材を前記セ
ンサで検出し加工ノズルの速度を制御する!ii像処理
装置と、を備えたレーザ加工装置を構成した。
ークと相対的にNC装置で移動制御せしめる加工ヘッド
と、その加工ヘッドの先端に装着されレーザビームを前
記加工すべきワークに照射する加工ノズルと、その加工
ノズルの外周部に取付けられた非接触式のセンサと、そ
のセンサと前記加工ノズルの先端を撮像する撮像装置と
、その撮像装置で撮像された加工ノズルの進行方向と加
工ノズルの速度に応じて決められた検出範囲により前記
加工ノズルの進行方向の前方にある被検出部材を前記セ
ンサで検出し加工ノズルの速度を制御する!ii像処理
装置と、を備えたレーザ加工装置を構成した。
(作用)
この発明のレーザ加工方法およびその装置を採用するこ
とにより、加工ヘッドの先端に装着された加工ノズルは
NC装置によりX−Y平面における進行方向と速度が制
御される。加工ノズルの外周部には非接触式のセンサが
取付けられているから、そのセンサの進行方向と速度も
制御される。
とにより、加工ヘッドの先端に装着された加工ノズルは
NC装置によりX−Y平面における進行方向と速度が制
御される。加工ノズルの外周部には非接触式のセンサが
取付けられているから、そのセンサの進行方向と速度も
制御される。
また、センサと加工ノズルの先端は撮像装置により撮像
され、加工ノズルが決められた進行方向へ進行し、加工
ノズルの進行方向の前方にある被検出部材をセンサで検
出すると、画像処理装置で処理されて加工ノズルの速度
が減速されながら停止される。
され、加工ノズルが決められた進行方向へ進行し、加工
ノズルの進行方向の前方にある被検出部材をセンサで検
出すると、画像処理装置で処理されて加工ノズルの速度
が減速されながら停止される。
(実施例)
以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
る。
第4図を参照するに、レーザ加工装置1はベース3上に
固定のワークテーブル5を備え、このワークテーブル5
上でワークW@X−Y平面(左右平面)内に案内するX
Yキャレツジ7を備えている。
固定のワークテーブル5を備え、このワークテーブル5
上でワークW@X−Y平面(左右平面)内に案内するX
Yキャレツジ7を備えている。
そのXYキャレッジ7には、前記ワークテーブル5上に
載置されワークWを把持し、ワークWの加工すべき位置
を後述する加工ヘッド直下に運ぶクランプ装置が設けら
れている。
載置されワークWを把持し、ワークWの加工すべき位置
を後述する加工ヘッド直下に運ぶクランプ装置が設けら
れている。
前記ベース3の後端から上方へ延伸したコラム9が立設
され、このコラム9には前方に向けて梁11が突設され
ている。コラム9の後部にはレーザ発振装@13が取付
けられている。梁11の舶方下端にはZ軸方向(上下方
向)へ移動自在な加工ヘッド15が装着されている。
され、このコラム9には前方に向けて梁11が突設され
ている。コラム9の後部にはレーザ発振装@13が取付
けられている。梁11の舶方下端にはZ軸方向(上下方
向)へ移動自在な加工ヘッド15が装着されている。
また、加工ヘッド15の先端には加工ノズル17が装着
されており、その加工ノズル17の外周部には円錐形状
の例えば複数の光ファイバーなどからなる非接触式のセ
ンサ19の一端が取付けられている。そのセンサ19の
他端は前記ベース3の近傍に設けられ、そのセンサ19
の他端における上方にはフレーム21に取付けられたC
ODカメラなどの撮像装置23が設けられている。
されており、その加工ノズル17の外周部には円錐形状
の例えば複数の光ファイバーなどからなる非接触式のセ
ンサ19の一端が取付けられている。そのセンサ19の
他端は前記ベース3の近傍に設けられ、そのセンサ19
の他端における上方にはフレーム21に取付けられたC
ODカメラなどの撮像装置23が設けられている。
搬像装置23は画像処理装置25と接続され、画像処理
装置25は前記XYキャレッジ7を数値制御するNC装
置27と接続されている。
装置25は前記XYキャレッジ7を数値制御するNC装
置27と接続されている。
前記レーザ発振装置13は、加工用の炭酸ガスレーザビ
ームLBを発振させると共に、そのレーザビームLBの
光軸ないし焦点調整時に1−1e −Nθなどの可視光
レーザlbを発振させるものである。
ームLBを発振させると共に、そのレーザビームLBの
光軸ないし焦点調整時に1−1e −Nθなどの可視光
レーザlbを発振させるものである。
前記ワークテーブル5にはレーザビームLBないし可視
光レーザlbを透光させる穴29が明けられている。ま
た、ワークWには基準穴31が付けられている。
光レーザlbを透光させる穴29が明けられている。ま
た、ワークWには基準穴31が付けられている。
萌記加エノズル17は、第1図および第2図に示されて
いるように、前記NC装置27により進行方向と速度が
制御される。第1図および第2図において、加工ノズル
17が矢印のごとく速度ベクトルFで進行すれば、X−
Y平面におけるX。
いるように、前記NC装置27により進行方向と速度が
制御される。第1図および第2図において、加工ノズル
17が矢印のごとく速度ベクトルFで進行すれば、X−
Y平面におけるX。
Y軸の座標では、速度ベクトルFX、FVとなり、X軸
に対する加工ノズル17の進行方向は、tanθ=Fy
/Fxから、 θ−jan−1 (Fy/Fx )の角度で進行するも
のである。
に対する加工ノズル17の進行方向は、tanθ=Fy
/Fxから、 θ−jan−1 (Fy/Fx )の角度で進行するも
のである。
加工ノズル17の進行方向に対し、センサ19の検出範
囲は、加工ノズル17の外形に沿った巾からなる検出長
で指定される。その最大の検出長L ylaxは、1a
+ax=F・αr7設定する。(但し、α:検出エリア
の定数)また、最小の検出長L1nは加工ノズル17の
外径から予め定められた長さで設定する。而して、セン
サ19の検出範囲は、加工ノズル17の速度に応じて決
められるようにしたものである。
囲は、加工ノズル17の外形に沿った巾からなる検出長
で指定される。その最大の検出長L ylaxは、1a
+ax=F・αr7設定する。(但し、α:検出エリア
の定数)また、最小の検出長L1nは加工ノズル17の
外径から予め定められた長さで設定する。而して、セン
サ19の検出範囲は、加工ノズル17の速度に応じて決
められるようにしたものである。
第1図および第2図において、加工ノズル17の進行方
向の前方に被検出部材としてのワークWの突部W丁があ
るものとし、加工ノズル17が速度ベクトルFで進行し
、センサ19の最大の検出長1 maxが突部WTを横
切って検出すると、加工ノズル17の速度が減速され、
さらに加工ノズル17が進行し、センサ19の最小の検
出長L sinが突部WTを横切って検出されると加工
ノズル17が停止して、加工ノズル17が突部Wrに衝
突するのを防止するようにしたものである。
向の前方に被検出部材としてのワークWの突部W丁があ
るものとし、加工ノズル17が速度ベクトルFで進行し
、センサ19の最大の検出長1 maxが突部WTを横
切って検出すると、加工ノズル17の速度が減速され、
さらに加工ノズル17が進行し、センサ19の最小の検
出長L sinが突部WTを横切って検出されると加工
ノズル17が停止して、加工ノズル17が突部Wrに衝
突するのを防止するようにしたものである。
前記加工ノズル17とその加工ノズル17の外周部に取
付けられたセンサ19は前記撮像装置23で撮像される
と共に、その画像が撮像装置23に接続された画像処理
装置25で処理される。
付けられたセンサ19は前記撮像装置23で撮像される
と共に、その画像が撮像装置23に接続された画像処理
装置25で処理される。
その画像処理装置25は、第3図に示されているように
、2値化回路33と、フレームメモリ35と、CPtJ
37.ROM39.RAM41.入出力装置43と、を
有している。
、2値化回路33と、フレームメモリ35と、CPtJ
37.ROM39.RAM41.入出力装置43と、を
有している。
2値化回路33は、アナログ信号であるビデオ信号を1
.0コードにデジタル化し、このデジタル信号を画像デ
ータとしてフレームメモリ35に格納する。フレームメ
モリ35は、各ビクセルに画像の白黒部分に対応して1
,0信号を記憶するようになる。フレームメモリ35の
物理座標をxyとする。この座Iffxyは、前記ワー
クテーブル5の座標X、Yの取付位置(Xo、Yo)に
座標(xOlyo)を対応させ、変位置の関係では、X
=Kx −x 、 v=ky−yの関係にある。Kx、
Kyは、1画素当りの相当距離とIIE)装置23の倍
率によって定まる定数である。而して、前記最大、R小
の検出長L1aX 、 Llllinはフレームメモリ
35の座標X、Yに対応されて処理されることは勿論で
ある。
.0コードにデジタル化し、このデジタル信号を画像デ
ータとしてフレームメモリ35に格納する。フレームメ
モリ35は、各ビクセルに画像の白黒部分に対応して1
,0信号を記憶するようになる。フレームメモリ35の
物理座標をxyとする。この座Iffxyは、前記ワー
クテーブル5の座標X、Yの取付位置(Xo、Yo)に
座標(xOlyo)を対応させ、変位置の関係では、X
=Kx −x 、 v=ky−yの関係にある。Kx、
Kyは、1画素当りの相当距離とIIE)装置23の倍
率によって定まる定数である。而して、前記最大、R小
の検出長L1aX 、 Llllinはフレームメモリ
35の座標X、Yに対応されて処理されることは勿論で
ある。
ROM39には、後述する演算処理するためのプログラ
ムが格納されている。入出力装置43は画像処理装置2
5のバス45とNC装置27のその内部の入出力装置と
に接続されており、NC装置27からの起動信号やNC
装置27へのデータ信号を伝達する役目を果すものであ
る。
ムが格納されている。入出力装置43は画像処理装置2
5のバス45とNC装置27のその内部の入出力装置と
に接続されており、NC装置27からの起動信号やNC
装置27へのデータ信号を伝達する役目を果すものであ
る。
RAM41には、加工ノズル17の速度ベクトルFによ
って1IlaX=Fφαの式で決められる最大の検出長
L waxと、予め設定された最小の検出長L sin
が記憶される。
って1IlaX=Fφαの式で決められる最大の検出長
L waxと、予め設定された最小の検出長L sin
が記憶される。
上記構成により、NC装置27によって加工すべきワー
クWに対する加工ノズル17の進行方向が上述した式よ
りX軸に対して角度θだけ傾いた進行方向へ速度ベクト
ルFで第1図および第2図に示した矢印方向へ進行する
。その加工ノズル17の進行方向における前方に被検出
部材としてのワークWの突部WTがあって、加工ノズル
17が進行して、センサ19の最大の検出長さl ma
xの先端が突部WTを横切ることにより、センサ19が
作動し検出して画像処理装置27の2値化回路33を経
てフレームメモリ25に記憶され、CPU37で処理さ
れて加工ノズル17の速度を減速するように減速指令信
号が出される。その減速指令信号が11043を介して
NC装置27に送られて加工ノズル17は速度ベクトル
Fより遅い速度に減速される。
クWに対する加工ノズル17の進行方向が上述した式よ
りX軸に対して角度θだけ傾いた進行方向へ速度ベクト
ルFで第1図および第2図に示した矢印方向へ進行する
。その加工ノズル17の進行方向における前方に被検出
部材としてのワークWの突部WTがあって、加工ノズル
17が進行して、センサ19の最大の検出長さl ma
xの先端が突部WTを横切ることにより、センサ19が
作動し検出して画像処理装置27の2値化回路33を経
てフレームメモリ25に記憶され、CPU37で処理さ
れて加工ノズル17の速度を減速するように減速指令信
号が出される。その減速指令信号が11043を介して
NC装置27に送られて加工ノズル17は速度ベクトル
Fより遅い速度に減速される。
さらに、減速された加工ノズル17が進行し、センサ1
9の最小の検出長L sinの先端が突部W■を横切る
ことにより、センサ19が作動し検出して上述した要領
で処理されて停止指令信号が出される。その停止指令信
号がl1043を介してNC装置27に送られ加工ノズ
ル17は停止される。
9の最小の検出長L sinの先端が突部W■を横切る
ことにより、センサ19が作動し検出して上述した要領
で処理されて停止指令信号が出される。その停止指令信
号がl1043を介してNC装置27に送られ加工ノズ
ル17は停止される。
したがって、加工ノズル17の進行方向における前方に
被検出部材としての例えばワークWの突部WTがあって
も、加工ノズル17が進行した際に加工ノズルの外周部
に取付けたセンサ19の最大、最小の検出長LIlaX
、 Llinで突部WTを検出することにより、加工
ノズル17の速度を減速しながら停止することができる
。なお、加工ノズル17およびセンサ19は撮像装置2
3で搬像されると共に画像処理装置25で処理される。
被検出部材としての例えばワークWの突部WTがあって
も、加工ノズル17が進行した際に加工ノズルの外周部
に取付けたセンサ19の最大、最小の検出長LIlaX
、 Llinで突部WTを検出することにより、加工
ノズル17の速度を減速しながら停止することができる
。なお、加工ノズル17およびセンサ19は撮像装置2
3で搬像されると共に画像処理装置25で処理される。
而して、加工ノズル17の進行方向にお(プる前方に被
検出部材があったとしても、被検出部材はセンサ19で
検出され、加工ノズル17の速度を減速しながら停止す
ることができるから、加工ノズル17を被検出部材に衝
突することを防止することができる。
検出部材があったとしても、被検出部材はセンサ19で
検出され、加工ノズル17の速度を減速しながら停止す
ることができるから、加工ノズル17を被検出部材に衝
突することを防止することができる。
また、センサ19の検出範囲は加工ノズル17の速度に
応じて決められるようになっているから、加工ノズル1
7の速度に関係なく、加工ノズル17を被検出部材に衝
突することを避けることができる。
応じて決められるようになっているから、加工ノズル1
7の速度に関係なく、加工ノズル17を被検出部材に衝
突することを避けることができる。
なお、この発明は前述した実施例に限定されることなく
、適宜の変更を行うことにより、その他の態様で実施し
得るものである。
、適宜の変更を行うことにより、その他の態様で実施し
得るものである。
[発明の効果]
以上のごとき実施例の説明より理解されるように、この
発明によれば、加工ヘッドの先端に装着された加工ノズ
ルはNC装置によりX−Y平面における進行方向と速度
が制御される。加工ノズルの外周部には被接触式のセン
サが取付けられているから、そのセンサの進行方向と速
度は加工ノズルと共に制御される。
発明によれば、加工ヘッドの先端に装着された加工ノズ
ルはNC装置によりX−Y平面における進行方向と速度
が制御される。加工ノズルの外周部には被接触式のセン
サが取付けられているから、そのセンサの進行方向と速
度は加工ノズルと共に制御される。
しかも、センサと加工ノズルの先端は撮像装置により搬
像され、前記NC装置により加工ノズルが決められた進
行方向へ進行し、加工ノズルの進行方向の前方にある検
出部材をセンサで検出すると画像処理装置で処理されて
、加工ノズルの速度を減速させて停止することができる
。而して、加工ノズルを被検出部材に衝突することを防
止することができる。
像され、前記NC装置により加工ノズルが決められた進
行方向へ進行し、加工ノズルの進行方向の前方にある検
出部材をセンサで検出すると画像処理装置で処理されて
、加工ノズルの速度を減速させて停止することができる
。而して、加工ノズルを被検出部材に衝突することを防
止することができる。
また、センサの検出範囲は加工ノズルの速度に応じて決
められた範囲に設定するようになっているから、加工ノ
ズルの速度に関係なく、加工ノズルを被検出部材に衝突
することを避けることができる。
められた範囲に設定するようになっているから、加工ノ
ズルの速度に関係なく、加工ノズルを被検出部材に衝突
することを避けることができる。
第1図はこの発明の主要部である加工ノズル。
センサと、被検出部材としてのワークの突部との関係を
説明する説明図、第2図は第1図における■−■線の断
面図である。 第3図はセンサで被検出部材を検出した際の検出値を画
像処理装置で処理するための構成ブロック図、第4図は
この発明を実施した一実施例のレーザ加工装置の斜視図
である。 1・・・レーザ加工装置 7・・・XYキャレツジ15
・・・加工ヘッド 17・・・加工ノズル19・・・セ
ンサ 23・・・比像装置25・・・画像処理装置 2
7・・・NC装置代理人 弁理士 三 好 保 男 1・・・レーザ加工装置7・・・XY*pレッジ15・
・・加工ヘッド 17・・・加工ノズル19・・・セン
サ 23・・・1il幽装冒25・・・画象処理装M
27・・・NC装置! 第1図 陣 !へ− にム/L+−1 第2図
説明する説明図、第2図は第1図における■−■線の断
面図である。 第3図はセンサで被検出部材を検出した際の検出値を画
像処理装置で処理するための構成ブロック図、第4図は
この発明を実施した一実施例のレーザ加工装置の斜視図
である。 1・・・レーザ加工装置 7・・・XYキャレツジ15
・・・加工ヘッド 17・・・加工ノズル19・・・セ
ンサ 23・・・比像装置25・・・画像処理装置 2
7・・・NC装置代理人 弁理士 三 好 保 男 1・・・レーザ加工装置7・・・XY*pレッジ15・
・・加工ヘッド 17・・・加工ノズル19・・・セン
サ 23・・・1il幽装冒25・・・画象処理装M
27・・・NC装置! 第1図 陣 !へ− にム/L+−1 第2図
Claims (2)
- (1)加工すべきワークと相対的にX軸およびY軸方向
へ移動すると共に先端部に装着された加工ノズルの外周
部に非接触式のセンサを設けた加工ヘッドがある決めら
れた進行方向に移動した際に、前記加工ノズルとセンサ
を撮像装置で撮像しながら、加工ノズルの進行方向と加
工ノズルの速度に応じて決められた検出範囲により加工
ノズルの進行方向にある被検出部材を前記センサで検出
すると、撮像装置に接続された画像処理装置で処理して
前記加工ヘッドの速度を減速して停止するようにしたこ
とを特徴とするレーザ加工方法。 - (2)X軸およびY軸方向へ加工すべきワークと相対的
にNC装置で移動制御せしめる加工ヘッドと、その加工
ヘッドの先端に装着されレーザビームを前記加工すべき
ワークに照射する加工ノズルと、その加工ノズルの外周
部に取付けられた非接触式のセンサと、そのセンサと前
記加工ノズルの先端を撮像する撮像装置と、その撮像装
置で撮像された加工ノズルの進行方向と加工ノズルの速
度に応じて決められた検出範囲により前記加工ノズルの
進行方向の前方にある被検出部材を前記センサで検出し
加工ノズルの速度を制御する撮像処理装置と、を備えた
ことを特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63130224A JP2698376B2 (ja) | 1988-05-30 | 1988-05-30 | レーザ加工方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63130224A JP2698376B2 (ja) | 1988-05-30 | 1988-05-30 | レーザ加工方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01299788A true JPH01299788A (ja) | 1989-12-04 |
| JP2698376B2 JP2698376B2 (ja) | 1998-01-19 |
Family
ID=15029058
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63130224A Expired - Fee Related JP2698376B2 (ja) | 1988-05-30 | 1988-05-30 | レーザ加工方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2698376B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008212954A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
-
1988
- 1988-05-30 JP JP63130224A patent/JP2698376B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008212954A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2698376B2 (ja) | 1998-01-19 |
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