JPH0130225B2 - - Google Patents

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JPH0130225B2
JPH0130225B2 JP54082708A JP8270879A JPH0130225B2 JP H0130225 B2 JPH0130225 B2 JP H0130225B2 JP 54082708 A JP54082708 A JP 54082708A JP 8270879 A JP8270879 A JP 8270879A JP H0130225 B2 JPH0130225 B2 JP H0130225B2
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magnetic
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ferromagnetic
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JP54082708A
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Yoshihiro Ono
Akira Nahara
Tomoaki Ikeda
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Fujifilm Holdings Corp
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Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication of JPH0130225B2 publication Critical patent/JPH0130225B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62Record carriers characterised by the selection of the material
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    • G11B5/71Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent on a base layer characterised by the lubricant
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
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    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は磁気記録媒体の製造方法に関するもの
で、特に強磁性体蒸着薄膜型磁気記録媒体の膜面
強度、滑り性の改良に関するものである。
従来より磁気記録媒体としてはγ―Fe2O3、Co
をドープしたγ―Fe2O3、Fe3O4、CrO2あるいは
強磁性体合金等の微小粉末磁性材料を塩化ビニー
ル―酢酸ビニル共重合体、スチレン―ブタジエン
共重合体、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂等の
有機バインダ中に分散させ、非磁性体基板上に塗
布、乾燥させる塗布型のものが広く使用されてい
る。近年、高密度記録への要求の高まりと共にス
パツタリング、真空蒸着、イオンプレーテイング
等の方法により形成される強磁性体金属薄膜はバ
インダを使用しないいわゆる非バインダ型の磁気
記録媒体として注目を浴びており実用化への努力
が種々行なわれている。しかしながら、これらは
単に非磁性基板上に強磁性体薄膜を形成したのみ
であり、従来の塗布型のものに比較して走行中に
ヘツドとの接触により磁性体層が剥離したり傷つ
いたりする欠点を有している。
上記の欠点を改良するために、特開昭52―
153707に非バインダ型磁気記録媒体表面に高分子
材料を塗布することにより被覆する方法が開示さ
れている。また特開昭53―88704にはHLB値が5
〜30の界面活性剤を湿布により設ける方法が述べ
られている。これらの方法は湿式法であるため溶
媒を使用し、公害発生の恐れがあり、また防爆等
のため附帯設備を必要とする。さらに強磁性体薄
膜を蒸着した後真空装置から取り出したり高分子
材料や界面活性剤を塗布するために取り扱う際
に、強磁性体薄膜が空気に触れ、表面が酸化等に
より変質したり、摩擦によりピンホールが増加し
たりして、ドロツプアウトの原因となる等の問題
がある。
また特開昭50―123304にはペーパーデポジシヨ
ン法により強磁性体とポリマーとを同時に析出さ
せる方法及び強磁体とモノマー又はオリゴマーを
同時に析出させた後、析出層を重合させる方法が
述べられている。この方法は、高密度記録媒体の
製造方法としては優れた方法であるが、滑り性が
劣るため充分な膜強度が得られない欠点を有して
いる。
本発明の目的は上記の欠点を改良した新規な磁
気記録媒体の製造方法を提供することである。
さらに、本発明は非磁性体基板上に強磁性体と
有機物滑剤とを該有機物滑剤の強磁性体に対する
容積比が0.5以下であるように同時蒸着して磁気
記録層を形成することを特徴とする磁気記録媒体
の製造方法を提供するものである。
本発明において蒸着とは、通常の抵抗加熱式真
空蒸着はもちろんであるが、電子ビーム加熱式真
空蒸着、スパツタリング法、イオンプレーテイン
グ法等を含むものである。
また本発明において滑剤とは、JISK6900に規
定されている如くプラスチツク成形材料を加熱成
形する際、その流動性をよくする作用又は成形品
の型離れをよくする作用を持つ化合物のことであ
る。上記滑剤のうち有機物滑剤とは、有機物、有
機金属化合物滑剤で室温における蒸気圧が5×
10-5トール以下の固体状のものである。蒸着前の
化合物の組成と蒸着膜被膜の組成とが異つていて
も差し支えはない。上記の有機物滑剤のうち好ま
しいものは、パラフイン系炭化水素、高級脂肪
酸、オキシ脂肪酸、脂肪酸アミド、脂肪酸エステ
ル、脂肪アルコール、金属石けん等である。以下
にこれらのうち代表的なものを例示する。パラフ
イン系炭化水素としては、天然パラフイン、マイ
クロワツクス等がある。高級脂肪酸としては、ラ
ウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステア
リン酸、ベヘン酸、オレイン酸、リノール酸、リ
ノレン酸、アラキドン酸等である。オキシ脂肪酸
としては、オキシステアリン酸、ラノパルミチン
酸等がある。脂肪酸アミドとしては、ラウリン酸
アミド、ミリスチン酸アミド、パルミチン酸アミ
ド、ステアリン酸アミド、ベヘン酸アミド、オレ
イン酸アミド、リノール酸アミド、エシル酸アミ
ド、メチレンビスステアロアミド、エチレンビス
ステアロアミド、硬化牛脂アミド等がある。脂肪
酸エステルとしては、ステアリン酸メチル、パル
ミチン酸セチル、ステアリン酸モノグリセリド等
がある。脂肪アルコールとしては、セチルアルコ
ール、ステアリルアルコール等がある。金属石け
んとしては、炭素数12〜30の脂肪酸と種々の金属
とから得られる化合物であり、ラウリン酸、ミリ
スチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、ベヘン
酸、オレイン酸、リノール酸、リノレン酸、アラ
キドン酸等の亜鉛、銅、マグネシウム、ニツケ
ル、鉄、アルミニウム、鉛、クロム、カルシウ
ム、ナトリウム、カリウム、ストロンチウム等の
塩である。
本発明において同時蒸着とは蒸着すべき物質を
それぞれ別の蒸着源に入れ独立に制御しながら同
時に同一基板上に蒸着する方法であり、蒸着関連
分野では既に公知の技術である。また同時蒸着混
合層とは上記の同時蒸着法により蒸着された蒸着
層のことである。
同時蒸着混合層についてさらに詳しく説明すれ
ば、例えば二元同時蒸着(二種の物質の同時蒸
着)の場合、二種の物質は蒸着膜中で分子的大き
さで均一に混合してもよいし、一方が他の物質中
に分散したような構造でもよい。上記同時蒸着混
合層中において、強磁性体と有機物滑剤との混合
比率は膜面強度、滑性が充分であれば有機物滑剤
の比率は少なければ少ないほど好ましい。通常は
強磁性体に対して容積比で3.0以下好ましくは0.5
以下特に好ましくは0.1以下である。
本発明に用いられる強磁性体薄膜としては、
Fe、Co、Niその他の強磁性金属、あるいはFe―
Co、Fe―Ni、Co―Ni、Fe―Rh、Fe―Cu、Fe
―Au、Co―Cu、Co―Au、Co―Y、Co―La、
Co―Pr、Co―Gd、Co−Ga、Co―Sn、Co―Pt、
Ni―Cu、Fe―Si、Fe―Co―Ni、Mn―Bi、Mn
―Sb、Mn―Alのような磁性合金、γ―Fe2O3
Fe3O4、CrO2などの酸化物磁性体、Fe3Nのよう
な窒化物磁性体、さらにバリウムフエライト、ス
トロンチウムフエライトのようなフエライト系磁
性体が用いられる。
上記の強磁性体薄膜の製造方法としては、真空
蒸着法、イオンプレーテイング法、スパツタリン
グ法、反応性蒸着法などがある。
また上記強磁性体薄膜が非磁性体との混合層で
あつたり、強磁性体薄膜上に非磁性体層を設けた
ような多層膜であつたり、また非磁性体基板と強
磁性体との間に他の非磁性体を設けたような構造
であつたりしても本発明の強磁性体薄膜として用
いることができるのは言うまでもない。
さらに本発明に使用される非磁性体基板として
はポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポ
リ塩化ビニル、三酢酸セルロース、ポリカーボネ
ート、ポリエチレンナフタレート、あるいはガラ
ス、セラミツクスのような非磁性体基板、アルミ
ニウム、ステンレススチール、黄銅のような金属
基板のいずれでもよい。さらに上記の基板上に蒸
着、メツキ等の方法により金属膜を形成せしめた
もの、接着剤等を塗布したものも本発明の強磁性
体薄膜の基板としてもよい。基板の形状について
もテープ、シート、カード、デイスク、ドラム等
いずれの形状でも使用され得る。
本発明によれば、高密度記録に適した磁気記録
媒体を製造することができ磁性体製造、塗布液製
造、塗布といつた複雑な製造工程を必要とせず溶
剤を一切使用しないため溶剤回収、公害対策等の
問題がなく、かつ防爆設備を必要としない。また
真空装置内で全ての製造工程を行えるので、空気
による強磁性体の変質や、擦り傷によるピンホー
ルの発生、記録層の剥離、ゴミその他の異物の付
着等を防止することができ、従つてドロツプアウ
トを格段に減少させることが可能で、記録・再生
特性が良好な磁気記録媒体が得られ、工業的価値
は大なるものである。
以下実施例により本発明を説明するが、本発明
はこれらによつて限定されるものではない。
実施例 25μ厚のポリエチレンテレフタレートフイルム
基板をコバルトの蒸着源に対して60゜、ステアリ
ン酸アミドの蒸発源に対して60゜の傾きになるよ
うに真空装置内に配置した。1×10-5トールの真
空度でコバルト金属を電子ビーム加熱法により2
Å/secの速度で、また同時にステアリン酸アミ
ドを抵抗加熱法で0.5Å/secの速度で蒸着した。
最終的な膜厚はコバルト2000Å、ステアリン酸ア
ミドは500Åであり、これらの膜厚は同時蒸着混
合層におけるコバルトとステアリン酸アミドの容
積比を与えるものである。
膜厚は米国スローン社製DTM200水晶振動子
型膜厚モニターを2台使つてコバルト、ステアリ
ン酸アミドをそれぞれ独立にかつ互に干渉しない
ようにして測定した。得られた同時蒸着混合膜は
コバルト金属単独の蒸着膜に比べて可視光の反射
率が低下しており、赤味を帯びていた。この同時
蒸着膜の膜面強度を新東科学(株)製“HEIDON―
18”膜面強度計によりR球針(R=0.1mm)を用
いて測定した。表面に傷がつく最少荷重をもつて
膜面強度の指標とした。同時蒸着膜の強度は60
g、コバルト単独の蒸着膜(比較試料)は30gで
傷つき、同時蒸着により2倍の膜面強度が得られ
た。磁気特性はコバルト単独蒸着膜よりやや劣る
が実用上何ら差しつかえなく、出力損失も認めら
れなかつた。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 非磁性体基板上に強磁性体と有機物滑剤とを
    該有機物滑剤の強磁性体に対する容積比が0.5以
    下であるように同時蒸着して磁気記録層を形成す
    ることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
JP8270879A 1979-07-02 1979-07-02 Magnetic recording medium and its production Granted JPS567237A (en)

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JP8270879A JPS567237A (en) 1979-07-02 1979-07-02 Magnetic recording medium and its production
US06/165,440 US4476195A (en) 1979-07-02 1980-07-02 Magnetic recording medium and process for the production thereof

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JPS567237A JPS567237A (en) 1981-01-24
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JPS567237A (en) 1981-01-24

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