JPS59175019A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents

磁気記録媒体及びその製造方法

Info

Publication number
JPS59175019A
JPS59175019A JP58049239A JP4923983A JPS59175019A JP S59175019 A JPS59175019 A JP S59175019A JP 58049239 A JP58049239 A JP 58049239A JP 4923983 A JP4923983 A JP 4923983A JP S59175019 A JPS59175019 A JP S59175019A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic recording
film
ferromagnetic
durability
coated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP58049239A
Other languages
English (en)
Inventor
Koichi Shinohara
紘一 篠原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP58049239A priority Critical patent/JPS59175019A/ja
Publication of JPS59175019A publication Critical patent/JPS59175019A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
    • G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
    • G11B5/658—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing oxygen, e.g. molecular oxygen or magnetic oxide
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、磁気記録層として強磁性薄膜を有する磁気記
録媒体と、前記磁気記録媒体の製造方法に関する。
従来例の構成とその問題点 従来よシ磁気記録媒体としては、非磁性支持体束として
高分子基板上にγ−Fe2O3やCOをドープしたγ−
Fe2O3やCr O2等の酸化物磁性粉末、或いはC
o、Fe等の強磁性合金粉末等の粉末磁性材料を塩化ビ
ニル−酢酸ビニル共重合体、エポキシ樹脂、ポリウレタ
ン樹脂等の有機バインダー中に分散せしめ塗布、乾燥さ
せた塗布型磁気記録媒体が広く使用されてきている。
しかし近年、記録密度向上に対する要望の高まりと共に
、従来の塗布型磁気記録媒体による改良に限界が見えは
じめたため、原理的に高密度記録に適する強磁性薄膜を
磁気記録層とする薄膜型磁気記録媒体が注目されはじめ
ている。
めっき法によるコンピューター用のノ・−ドディスクメ
モリや、オーディオ用マイクロカセットテープが真空蒸
着法により製造され、一部で実用にまで至り、更に高密
度記録用として、ビデオ用の蒸着テープやCoCrに代
表される垂直磁気記録用媒体の実用化研究が進みはじめ
ている。
しかし現状では、電磁変換特性上の圧倒的優位性は認め
られるものの、実用信頼性面で疑問視され、実用化は困
難であるという声すらあがっている。
それは塗布型であれ、薄膜型であれ、記録波長が短かく
なると、スペーシングロス対策が重要となり、表面の平
滑化がはかられ、表面の平滑化は、摩擦抵抗の増大につ
ながり、走行不安定の問題が発生することや、回転ヘッ
ド、回転シリンダとの高速摺動による媒体表面の破壊現
象に対する耐久性、とりわけビデオテープに於けるステ
ルモードでの耐久寿命が低いことから端を発している声
である。
かかる問題解決のため、各方面で試みられているのは、
有機物、無機物の保護層を強磁性層上に配した媒体構成
を採用する方法である。
酸化物、窒化物、炭化物等の薄膜による保護効果は、高
湿中では殆んど期待できないものであるし、又必要厚み
からいっても高密度記録時のスペーシングロスが大きく
なり現実的な解決に至るものではない。
一力脂肪酸、脂肪酸エステル、脂肪酸アミド。
/リコーンオイン、動植物油等の単独、又は混合系等を
塗布することにより得られる媒体は、上記した無機物系
の保護膜に比べて、薄くて、潤滑効果、防錆効果等を発
揮できる利点はあるが、公知の湿式コーティング手法、
乾式の真空蒸着、スパッタリング、イオンブレーティン
グ、プラズマ重合、プラズマCVD等のいずれによって
保護層を形成して得られる媒体では、広範囲な温度、湿
度環境条件下で実用レベルのステル耐久性、走行安定性
を得られていない。
発明の目的 本発明は、電磁変換特性を低下させずに、実用耐久性、
走行耐久性の改良された薄膜型磁気記録媒体の提供及び
、前記媒体の製造方法の提供を目的とするものである。
発明の構成 本発明の目的は、表面が酸化物で被覆された柱状結晶か
ら成る強磁性薄膜を磁気記録層とし、前記柱状結晶の全
周が有機物質で被覆されていることを特徴とする磁気記
録媒体により達成される。
又本発明の媒体の製造は、回転支持体に沿って移動する
基板に有機物質を蒸着した後、酸化性雰囲気中で強磁性
金属を蒸着することを特徴とする方法によって行われる
ものである。
本発明の媒体に用いることのできる強磁性薄膜は、Co
 、 Co−Ni 、 Co−Cr 、 Co −T 
i 、 Co −Mo 。
Co−W、 Co−Ru 、 Co −V 、 Co 
−Mn 、 Co−Cu 、 C。
−Pd、Co−Fe、Co−Ni−Cr、等の強磁性金
属。
強磁性合金の部分酸化状態にある柱状結晶より構成され
るものである。
柱状結晶の断面構造については、何ら問うものではない
。
本発明で用いられる基板は、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリエチレンナフタレート、芳香族ポリアミド、ポ
リイミド等の高分子フィルム単独か、これらの高分子フ
ィルムの一方又は両方の面に、微粒子を分散させた塗膜
を形成せしめたもの等が適している。
本発明で用いられる有機物質は、パラフィン系炭化水素
、高級脂肪酸ンオキシ脂肪酸、脂肪酸アミド脂肪酸エス
テル、脂肪アルコール、脂肪酸の金属塩2等よシ選ぶこ
とができる。
それらは単独、又は複合で用いることができるし、キレ
ート化合物等の防錆剤等とも併用することもできるもの
である。
本発明の磁気記録媒体の断面の一例を第1図に示した。
本発明の媒体は基板1の上に、配された強磁性層4は、
柱状の強磁性粒子2と、前記粒子の全体を被覆する有機
物層3とで構成され、必要に応じて、前記強磁性層と反
対側の面は、走行補助性能を改良するための、塗布層力
和己され(図示せず)磁気テープ、磁気ディスク、磁気
ソート等のいずれかの形態で具体化されるものである。
本発明の媒体は、部分的に有機物層で被覆された従来の
媒体にない特長的な効果を有するもので、広範な環境下
で示す耐久性の良さは、基板との界面での応力集中を、
界面部にも存在する有機物層かかんオロすることによる
ものと考えられるものである。
本発明の磁気記録媒体の製造方法に用いられる蒸着とけ
、電子ビーム蒸着、抵抗加熱蒸着、誘導加熱蒸着、電界
蒸着、イオンブレーティングの中より選ばれるもので、
基板は回転支持体に沿って移動する際、有機物質の蒸着
を受け、引き続き、酸素等の酸化性気体を積極的に真空
槽内部に導入した状態で強磁性層を蒸着法にて得るよう
構成される。
合金系で、蒸気圧の異なる材料構成の場合、公知の二元
蒸発源を用いることや、回転支持体を2組準備し、はぼ
独立した系で有機物層の形成と、強磁性層の形成を行う
ことや、前記回転支持体の回転自動制御等は、当然必要
に応じて実施できるものである。
又膜厚の制御は、センサによる検出を利用するか、経験
的に条件を決定し、蒸発源の温度制御を投入電力の制御
により行う等適宜工夫されるのは勿論である。
本発明は、短波長記録での使用を目的としているもので
あるから、有機物層の厚み制御は重要であり、表面部分
の厚みが100入り丁になるよう条件設定を適切に行う
必要がある。
そのため、本発明の有機物層を高分子フィルムに従来の
湿式塗布方法により塗布した基板上への強磁性層の形成
を蒸着により行うことでは、安定に本発明の効果が得ら
れないために、有機物蒸着法を要件としているのである
。
実施例の説明 以下に具体的に実施例で本発明を説明する汐5、下記実
施例のみに本発明が限定されるものでないのは勿論であ
る。
先ず、本発明の媒体を得るために用いた製造装置の一例
について説明し、その装置で用いた製造方法及び、その
製造方法で得られた磁気記録媒体に関して説明する。
第2図は、真空槽を2分割して、有機物蒸着と強磁性層
蒸着を連続して行うよう構成した蒸着装置の要部断面図
の一例で、巻取り蒸着の実施に不可欠であっても、本発
明の説明に直接関係のない部分は省略しである。
高分子フィルム6は、送り出し軸6よシ巻取軸7へ移動
する間に、第1の回転支持体8.第2の回転支持体9に
沿っている状態で蒸着される。
第1の蒸発源は、蒸返源容器10.内の蒸発材料11を
、加熱気化するもので、蒸発材料11は、有機物質であ
る。
第2の蒸発源は、蒸発減容512内の蒸発飼料13を、
電子源14より放射される加熱電子ビームにより照射す
ることで構成される。
蒸発材料13は、強磁性金属である。
蒸着時に、ガス導入ポート16からバリアルブリーフ弁
16の調節により、酸素などの酸化性気体が導入出来る
ように構成されている。
17.18は蒸気流の入射角成分を限定するためのマス
クである。
19は回転ローラーである。
真空槽2oは、有機物蒸着のための空間21と、強磁性
体蒸着のための空間22に、スリット23を有する、か
く壁24により仕切られ、夫々排気系25.26により
真空に保持される。
101転支持体は、円筒状キャン、又は、薄肉の金属製
エンドレスベルト等で構成され、且つ、表面温度は制御
される。
以下に述べる実施例で共通している装置条件について記
す。
第1の回転支持体の直径は60(7)、第2の回転支持
体の直径は、f OOcmで幅は夫々65(mである0 温度制御は、媒体の循環力式で、媒体温度を制御するこ
とで行った。
有機物の蒸発源と第1の回転支持体との至近距離は18
cm1強磁性体の蒸発源と第2の回転支持体との至近距
離は28cmで、有機物の蒸発源は、ジャケン8式の湯
槽で、熱媒循環方式で、pIp!媒の温調は±1℃以内
で制御した。
排気系は、25がエジェクタ油拡散ポンプで、26が、
液体窒素トラップを介した油拡散ポンプで、高分子フィ
ルムは、作用長22(1)の交流グロー放電で前処理し
た。(図示していない。)〔実施例1〕 ポリエチレンテレフタレート(60cm幅。
10、5 μm厚)フィルムの表面を300V、0.6
Aのグロー放電で処理した。
圧力はπ1Torrで、放電ガスはXsである。
前記フィルムにステアリン酸アミドを、約300人蒸着
した。
第1の回転支持体の表面温度は55℃であった。
引き続き、Co80%、Ni2O%から成る合金を、3
0Kv3Aの電子ビームにより、加熱気化し最小の入射
角を400として、酸素を0.9t/m i n導入し
ながら、0.13μm 蒸着した。
この時第2の回転支持体の表面温度は0℃とした0 このフィルムを、sMn幅の磁気テープ吉して、比較倹
削した。
〔実施例2〕 実施例1の条件で、有機物を、ミリスチン酸に代えて磁
気テープを製造した。
〔実施例3〕 実施例1の条件で、有機物をラウリン酸のニッケル塩と
天然パラフィンを二元蒸着法により、同一厚みずつ如な
るような条件でトータル厚み270人蒸人蒸て、磁気テ
ープを製造した。
〔実施例4〕 芳香族ポリアミド(5,C)crn幅、8.6μm厚)
フィルムノ表面ヲ、圧力−’−’I’orr 、 35
0 V 、 0.500 A (7) X eのグロー放電によ逆処理して、天然
パラフィンを、20℃の表面温度の回転支持体上で38
0人蒸漬した。
続いて、Co 78%Cr 22%となるよう二元蒸着
法により、CoCr垂直磁化膜をo、16μm形成した
。この時の回転キャン温度は60℃であった。
又、導入ガスはオゾンで0.0477m1nであった。
〔比較例−1〕 ポリエチレンテレフタレート(som幅。
10.611m厚)、フイ/l、ムの表面を土T。rr
 。
00 350 V 、 0.45 AノlCe t7) りo
−放電で処理した上に、d080%Ni2O%から成る
合金を田KV、3Aの電子ビームによシ加熱気化し、最
小入射角40°とし、酸素0.9υ菊in導入下で  
  ゛o、13μm蒸着した後、ひとつは、バーコータ
ーで、ステアリン酸アミドを塗布した。
均一厚み換算で30人〜40人の条件で塗布したものを
Aテープとした。
もう一方は、有機蒸着法で、30人〜36A蒸着して得
たテープをBテープとした。
〔比較例−2〕 芳香族ポリアミドフィルムを用い、実施例4と天然パラ
フィンの厚み榮件以外は同一で実施した。
天然パラフィンの厚みを760人で実施したものをテー
プCとし、天然パラフィンの厚みを226へのものをテ
ープ゛Dとした。
上記した実施例、比較例のテープのステル特性を調べた
。
ステルライフは、初期の出力が6dBダウンした時点を
ライフとした。
ステルライフに達したテープの表面を顕微鏡がん祭して
同時に比較した。
又、出力については、有機物層を有しない、蒸着テープ
をレファレンスとして製造したものの値をOdBとして
相対比較した。
尚ヘッドは0.28μmのギャップのフェライトヘッド
で、記録波長0.83μmでの比較で統一した。
又走行耐久性の口重として、動摩擦係数を測定した。
環境条件以外は、ステンレスのφ6でo、1Sのポスト
で統一した。
上記した特性比較を表でまとめて示した。
ステルライフについては、30分以上のものは、30分
で中止して、30分経過後の出力を表示した0 以下余白 他の環境条件として、6℃90%RH,eso℃2o%
RHで比較した結果についても本発明品の耐久性能が実
用域にあるのに比して、比較例では初期特性は満たされ
ても、くり返し使用にたえないものであった。
テープCとDの差は、強磁性層を蒸着にて形成する際の
下地となる有機物層の厚みの差で〆あり第3図に他の条
件も含めて示したように、下地の有機物が溶融して、強
磁性層の結晶成長時に、結晶粒子の表面拡散によシ、全
体を有機物層で被覆できるか否かによるものであると推
察される。
蒸着条件の最適範囲が狭い場合は、有機物層をあらかじ
め薄めに下地層として配してから強磁性層を配して結晶
粒子の表面の一部被覆されない部分の補修を、再度有機
蒸着、湿式塗布等で行うことでも実施できるが工程が複
雑で、他の特性例えばドロップアウトの面で、好ましく
ないといえる。
又、本発明の条件に強磁性層の結晶表面が酸化物で被覆
されていることの重要性は、耐久性が著しく増加するこ
とと、結晶成長時のモビリティ−制御に酸化性気体が寄
与して、有機物層の結晶粒子の被覆条件を安定に行える
ことに連がっていると考えられる。
一例として挙げれば、酸素導入なしで本発明に類似の製
造方法で磁気テープを得た場合、動摩擦係数がo、3.
相対出力が一1dB〜−2dB程度となる有機物層の最
適蒸着厚みは、天然パラフィンで460人±10人と極
めて狭い上、ステルライフは数分以下と実用にならない
ものであり、本発明の有用性が理解される。
発明の効果 本発明は、短波長記録特性の優れた金属薄膜型磁気記録
媒体の、耐久性能を著しく向上せしめ、具体的には、出
力低下が殆んどない状態でステル特性が良好で、且つ走
行耐久性に優れている媒体が得られるのであり、その製
法は、再現性に優れ大量生産向きであシ、ドロップアウ
トを増加させることな〈実施できるもあである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例における磁気記録r体の断面
図、第2図は、本発明の磁気記録媒体の製造方法を実施
するために用いた蒸着装置の要部構成図、第3図は、本
発明の磁気記録媒体を得る条件の一例を示す有機物蒸着
層厚みと、動摩擦係数と相対出力の関係図である。 1・・・・・・基板、2・・・・・・柱状強磁性粒子、
3・・・・・・有機物層、8,9・・・・・・回転支持
体、11・・・・・・蒸発材料(有機物)、13・・・
・・・蒸発材料(強磁性体)、代理人の氏名 弁理士 
中 尾 敏 男 ほか1名第1図 第2図 ?2             ど5 第3図 2o040060o 80010oO 大然ツマb

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 0)表面が酸化物で被覆された柱状結晶から成る強磁性
    薄膜を磁気記録層とし、前記柱状結晶の全周が有機物質
    で被覆されていることを特徴とする磁気記録媒体。 (2)回転支持体に沿って移動する基板に、有機物質を
    蒸着した後、酸化性雰囲気中で、強磁性金属を蒸着する
    ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
JP58049239A 1983-03-23 1983-03-23 磁気記録媒体及びその製造方法 Pending JPS59175019A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58049239A JPS59175019A (ja) 1983-03-23 1983-03-23 磁気記録媒体及びその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58049239A JPS59175019A (ja) 1983-03-23 1983-03-23 磁気記録媒体及びその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59175019A true JPS59175019A (ja) 1984-10-03

Family

ID=12825318

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58049239A Pending JPS59175019A (ja) 1983-03-23 1983-03-23 磁気記録媒体及びその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59175019A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62125524A (ja) * 1985-11-27 1987-06-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気記録媒体

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54154306A (en) * 1978-05-26 1979-12-05 Ulvac Corp Wear resistant magnetic record and method of fabricating same
JPS567237A (en) * 1979-07-02 1981-01-24 Fuji Photo Film Co Ltd Magnetic recording medium and its production
JPS57164432A (en) * 1981-04-02 1982-10-09 Fuji Photo Film Co Ltd Magnetic recording medium
JPS57183128A (en) * 1981-05-06 1982-11-11 Hitachi Ltd Optically driven electronic switch
JPS5968822A (ja) * 1982-10-13 1984-04-18 Toyo Ink Mfg Co Ltd 磁気記録媒体
JPS59171029A (ja) * 1983-03-18 1984-09-27 Fuji Photo Film Co Ltd 磁気記録媒体
JPS59171028A (ja) * 1983-03-18 1984-09-27 Fuji Photo Film Co Ltd 磁気記録媒体

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54154306A (en) * 1978-05-26 1979-12-05 Ulvac Corp Wear resistant magnetic record and method of fabricating same
JPS567237A (en) * 1979-07-02 1981-01-24 Fuji Photo Film Co Ltd Magnetic recording medium and its production
JPS57164432A (en) * 1981-04-02 1982-10-09 Fuji Photo Film Co Ltd Magnetic recording medium
JPS57183128A (en) * 1981-05-06 1982-11-11 Hitachi Ltd Optically driven electronic switch
JPS5968822A (ja) * 1982-10-13 1984-04-18 Toyo Ink Mfg Co Ltd 磁気記録媒体
JPS59171029A (ja) * 1983-03-18 1984-09-27 Fuji Photo Film Co Ltd 磁気記録媒体
JPS59171028A (ja) * 1983-03-18 1984-09-27 Fuji Photo Film Co Ltd 磁気記録媒体

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62125524A (ja) * 1985-11-27 1987-06-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気記録媒体

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0445889B2 (ja)
EP0174024B1 (en) Magnetic recording medium and method of producing the same
JPH061551B2 (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPS6148128A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPH0445888B2 (ja)
JPS61236025A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPH0479065B2 (ja)
JPH01319119A (ja) 磁気記録媒体
JP2833444B2 (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPS58222439A (ja) 磁気記録媒体及びその製造方法
JPS59165244A (ja) 磁気記録媒体の製造装置
JP2548231B2 (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPS608304B2 (ja) 真空蒸着法
JPS6043915B2 (ja) 真空蒸着方法
JPS608305B2 (ja) 真空蒸着法
JPS59175030A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPH05205246A (ja) 磁気記録媒体及びその製造方法
JPS60211634A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPH02116026A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPS61144722A (ja) 磁気記録媒体
JPH01162226A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPS6378339A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPH10255263A (ja) 磁気記録媒体
JPS61278015A (ja) 磁気記録媒体
JPH10198953A (ja) 磁気記録媒体の製造方法及びその製造装置