JPH01303613A - 磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産ＪＬＬＱｌ団り別型− 本発明は磁気ヘッドに関するものであり、特に、強磁性
金属酸化物材料と強磁性金属薄膜材料よりなるコアを用
いるメタル・イン・ギャップ型磁気ヘッドに関するもの
である。

従】じ目支術− 磁気記録再生装置においては、記録信号の高密度化が進
められており、この高密度記録に対応して磁気記録媒体
として、いわゆるメタル塗布媒体や金属蒸着媒体が使用
されるようになっている。

この種の媒体は、高い抗磁力を有するので、記録再生に
用いる磁気ヘッド材料には高い飽和磁束密度を有するこ
とが要求されている。例えば、従来ヘッド材料として使
用されているフェライト材では、飽和磁束密度が低く、
上述の高抗磁力化に対処しきれない。

そこで、高抗磁力磁気記録媒体に対応するために、磁気
コア部が、フェライト等の強磁性金属酸化物磁性材料か
らなり、これらの磁気コアの磁気ギャップ対向面に、強
磁性金属薄膜を被着形成し、これらを突き合わせて磁気
ギャップを構成するようにした、いわゆるメタル・イン
・ギャップ型と称する複合型の磁気ヘッドが提案されて
いる。

上記磁気ヘッドは、第３図に示すように、強磁性金属酸
化物Ｍｎ−Ｚｎ系フェライトからなる、一対の磁気コア
１１．１２から形成され、対向面は、磁気ギャップｇ”
と平行に形成され、その両側が溝入れ加工により、トラ
ック幅が規制されている。磁気コア１１．１２の対向面
には、センダスト等の強磁性金属薄膜１３．１４が被着
形成され、磁気ギャップｇ′の両側にはガラスなどの非
磁性材１５．１６が溶融充てんされている。

口（１； ところで、強磁性金属薄膜１３．１４は、真空薄膜形成
技術で、被着形成される。上記強磁性金属薄膜１３．１
４と磁気コア１１．１２との界面では高温で熱処理した
場合、相互拡散が生じ、拡散層が形成される。

すなわち、センダスト（強磁性金属薄膜）が例えば、ス
パッタリングによりフェライト上に被着形成した後、ガ
ラス融着を行うために４５０°Ｃ〜６５０°Ｃの高温で
熱処理した場合、センダスト中のＦｅ原子、Ａ／原子、
Ｓ１原子はフェライト中へ、フェライト中の酸素原子は
センダスト膜中へ拡散する。酸素原子が移動したフェラ
イト部は、還元された状態となり結晶学的な欠陥層が形
成される。この欠陥層は、非磁性に近いものであり、し
かもメイン・ギャップｇ′と平行に位置するため疑似ギ
ャップとして作用するという欠点がある。

疑似ギャップは、第５図に示すように孤立波再生波形に
疑似パルス３２．３３を生じることになり、信号パルス
３１と疑似パルス３２．３３の比が＝１５〜−１８ｄＢ
となり再生出力の周波数特性にうねりが出る等、再生信
号の劣化を招（ことになる。

そこで、本発明は強磁性金属酸化物の磁気コア部と強磁
性金属薄膜との界面での欠陥層の形成を防止し、疑似ギ
ャップの影響を低減することを目的とする。

１　　°　　　、　の−。

本発明の磁気ヘッドは、強磁性金属酸化物よりなる一対
の磁気コアの磁気ギャップ対向面に強磁性金属薄膜を被
着形成し、上記金属薄膜同士を突き合わせ、磁気ギャッ
プを構成してなる磁気ヘッドにおいて、少なくとも磁気
ギャップ近傍において上記強磁性酸化物と強磁性金属薄
膜の界面に、例えばＴｉやＺｒ等の元素周期表で４Ａ族
の金属の酸化物よりなる拡散防止膜を介在させることを
特徴とする。

１皿 本発明によれば、ＴｉやＺｒ等の酸化物材料よりなる拡
散防止膜を介在させることにより、高温時の強磁性金属
薄膜からの磁気コアへのＦｅ原子、Ｓｉ原子、ＡＪ原子
の拡散および、磁気コアから強磁性金属薄膜への酸素原
子の拡散が確実に防止できる。

実」１例− 次に本発明について図面を参照して説明する。

第２図は本発明の磁気ヘッドの外観斜視図であり、第１
図はその磁気ヘッドの媒体摺動を示す部分拡大図である
。

この磁気ヘッドにおいては、磁気コア１，２は強磁性酸
化物材料、例えばＭｎ−Ｚｎ系フェライｌトで形成され
、トラック幅を規制するための溝５．６が両側に形成さ
れている。

上記磁気コア半体１には、この磁気ヘッドに信号を供給
あるいは取り出すための巻線窓９が形成されている。

上記磁気コア１，２の内接面には、まず、スパッタリン
グ法などの真空膜技術を用いて５０人〜３００Ａの膜圧
にＴｉの酸化物からなる反応防止膜７．８が成膜された
上に、センダストなどの強磁性金属薄膜３，４が成膜さ
れている。この上に、更に５ｉ０２等の非磁性酸化物薄
膜を成膜した後、つき合わせることにより、磁気ギャッ
プｇが形成されている。上記トラック幅規則用溝には、
硝子等の非磁性材５．６が溶融充てんされ、コアの機械
的強度を確保させている。

上記のＴｉの酸化物からなる拡散防止膜７，８は、上記
非磁性材５，６を溶融充てんする際の加熱処理に際し、
上記強磁性金属薄膜３，４と、磁気コア１，２を構成す
る強磁性金属材料との間の相互拡散を防止して、磁気コ
ア１，２の界面部分が低酸素状態となって軟磁性が劣化
するのを防ぐことができる。なお、上記の拡散防止膜７
，８のＴｉ酸化物を形成する方法として、Ｔｉをターゲ
ットとして、スパッタリングガスとしてＡｒガスに０２
ガスを添加した反応性ＲＦスパツタリン法を用いること
により、熱的に安定な膜を得ることができ、拡散防止膜
７，８の膜圧を薄くすることができ５０Ａの膜圧でも充
分な拡散防止効果を得ることができ、拡散防止膜自身が
疑似ギャップとして作用してしまうのを抑制させること
ができる。

尚、上記のＴｉの酸化物のスパッタリング条件は、スバ
・ツタリングガス圧がｌ　ｍ　Ｔｏｒｒ、Ａ　ｒガス流
量対０２ガス流量の比が４：１で、投入電力は、ターゲ
、／）面のｌｃｔ／　　当り４．３Ｗである。

磁気コア１，２としてＭｎＺｎフェライトを強磁性金属
薄膜３．４としてＦｅ−８ｉ　−ＡＪ系合金を使用し拡
散防止膜７，８として、Ｔｉの酸化物を１０ＯＡとして
形成した磁気ヘッドについて、孤立波再生出力を調べた
ところ、第４図に示すような結果となり、信号出力２１
に対する疑似ギャップに起因する疑似出力２２．２３の
比は一２６ｄＢ以下と実用上問題がないレベルとなった
。

尚、上記実施例では、拡散防止膜としてＴｉの酸化物を
用いたが、この発明では、その他のＺｒの酸化物等でも
よく、要するに元素周期表で４Ａ族の金属の酸化物を対
象とすればよい。

ｌ乳Δ肱敦 以上説明したように本発明によれば、上記磁気コアと強
磁性金属薄膜との間に拡散防止膜として４Ａ族の金属の
酸化物薄膜を形成することにより、磁気コアと強磁性金
属薄膜の相互拡散を防ぐことができ、磁気コアの界面付
近の低酸素状態の磁気的劣化層の発生を抑制することが
できる。また、疑似ギャップに起因する、再生出力に疑
似出力が発生するのを抑制し、良好な記録再生を得るこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による磁気ヘッドの一実施例を示す媒体
摺動面拡大図。第２図はその外観斜視図である。 １．２・・・強磁性金属酸化物の磁気コア、３．４・・
・強磁性金属薄膜、 ５．６・・・非磁性材、 ７．８・・・Ｔｉ酸化物膜、 ９・・・巻線窓部、 ｇ・・・磁気ギャップ。 第３図は従来の磁気ヘッドの媒体摺動面拡大図である。 第４図は本発明による磁気ヘッドの孤立波再生波形図で
ある。 第５図は従来の磁気ヘッドの孤立波再生波形図である。 第　１　　図 ３．４−−ｉ珠・ｌ’Ｌ−艷潟糧 第２図 ：　へ 「０　ｒＯ ０〜 叫＋ｌ−１甘く ＜州Ｍく

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 磁気ギャップを構成する強磁性金属酸化物よりなる磁気
   コア部と、この磁気コアの対向面の少なくとも片面に強
   磁性金属薄膜を形成した磁気ヘッドにおいて、少なくと
   も磁気ギャップ近傍で上記強磁性金属酸化物と強磁性金
   属薄膜との界面に、元素周期表で４Ａ族の金属の酸化物
   よりなる拡散防止膜を介在させたことを特徴とする磁気
   ヘッド。