JPH01304706A - 膜抵抗体のトリミング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、絶縁基板上に設けた一対の端子電極間に抵抗
膜を設けてなる膜抵抗体のトリミング方法に関する。

（従来の技術） 従来の膜抵抗体の代表的なトリミング方法は、第２図お
よび第３図に示すようなものである。つまり、第２図に
示すものは、一対の端子電極１１゜１２間に設けた抵抗
膜１３を直線形状の切り溝Ｉ４によりトリミングしたも
のである。また、第３図に示すものは、抵抗膜１３をＬ
形状の切り溝１５によりトリミングしたものである。つ
まり、いずれもトリミングの始点は抵抗膜１３の外部に
位置しているが、その終点は抵抗膜１３の内部に位置し
ている。

（発明が解決しようとする課題） 上記のような従来のトリミング方法においては、トリミ
ングの終点部分が抵抗膜Ｉ３の内部に位置しているため
、その部分にマイクロクラックが生じやすくなる。その
ため、端子電極１１．１２間に誘導雷等による大きなサ
ージ電流が流れた場合、その終点部分に電流集中による
局部発熱が生じ、トリミング時に生じたマイクロクラッ
クが進行して拡大され、その結果、大きな抵抗変化が生
じるとという問題がある。また、トリミングの切り溝形
状が単調なため、一定のトリミング量に対する抵抗変化
が略一定となり、高精度のトリミングがしがたいという
問題もある。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、
大きなサージ電流が流れても大きな抵抗変化の生じない
耐パルス性に優れた膜抵抗体を実現するとともに、高精
度のトリミングを可能とした膜抵抗体のトリミング方法
を提供することを目的としている。

（課題を解決するための手段） このような目的を達成するために、本発明は一対の端子
電極間に設けた抵抗膜にトリミングの始点および終点が
ともに抵抗膜の外部に位置するようにして尖鋭部のない
形状の切り溝を設けて電気的に独立した部分を形成し、
少なくともそのトリミングの終点側の端子電極に対向す
る部分における切り溝の形状が、その端子電極に対して
突き出た弧状となるようにしたことを特徴としている。

（作用） 本発明の膜抵抗体のトリミング方法によれば、トリミン
グの始点および終点がともに抵抗膜の外部に位置する尖
鋭部のない形状の切り溝によりトリミングされて電気的
に独立した抵抗膜部分が形成されているため、マイクロ
クラックの生じる部分がなく、大きな抵抗変化が生じる
ことがない。

また、トリミングの終点側の端子電極に対向する部分に
おける切り溝の形状が、その端子電極に対して突き出た
弧状を有するものであるため、トリミングの終点に近い
部分は一対の端子電極間を流れる電流経路から遠のいた
ものとなり、一定のトリミング量に対する抵抗変化の割
合が他の部分よりも小さくなって高精度のトリミングが
可能となる。

（実施例） 以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する
。

第１図は本発明の実施例に係る膜抵抗体の平面図である
。第１図において、符号１．２は図示しないアルミナ等
の絶縁基板上に対向して設けた一対の端子電極である。

この端子電極１．２は、例えばＡｇ−Ｐｄペーストを印
刷して焼き付けたものである。この一対の端子電極１．
２間には、抵抗膜３が設けられている。この抵抗膜３は
、例えば酸化ルテニウム等の抵抗材料ペーストを印刷し
て焼き付けたものである。このような構成を有する膜抵
抗体は、チップ状の絶縁基板上に形成されてチップ抵抗
体を構成したり、他のチップ状電子部品等の搭載された
絶縁基板上に形成されて混成集積回路を構成する等、種
々の用途に用いることができるものである。

このような構成を有する膜抵抗体をトリミングするには
、次のような手順で行われる。まず、始めに、トリミン
グの始点Ａを抵抗膜３の外部に設け、端子電極１に対向
する部分がその端子電極に対して突き出た弧状となる尖
鋭部のない形状の切り溝を設ける。この領域をＢとする
。ついで、この領域Ｂに連続して一対の端子電極１．２
を結ぶ軸線に平行な切り溝を設ける。この領域をＣとす
る。この領域Ｃに連続して、端子電極２に対向する部分
がその端子電極に対して突き出た弧状となる尖鋭部のな
い形状の切り溝を設ける。この領域をＤとする。この領
域りの切り溝は、領域Ｃの切り溝につづいてトリミング
され、トリミングの終点Ｅが抵抗膜３の外部に位置する
ようにして形成される。本発明の膜抵抗体のトリミング
方法は、上記のように領域Ｂ　、Ｃ、Ｄを有する切り溝
４を形成することにより、抵抗膜３に電気的に独立した
部分５を形成することにより行われる。なお、トリミン
グの始点側である領域Ｂの切り溝は、必ずしも上記実施
例のように端子電極１に対して突き出た弧状になってい
る必要はなく、尖鋭部が無ければ他の形状であってもよ
い。

このような膜抵抗体のトリミング方法によれば、トリミ
ングの始点および終点がともに抵抗膜３の外部に位置し
、かつ、尖鋭部の無い形状の切り溝により電気的に独立
した抵抗膜部分５が形成されているため、マイクロクラ
ックが生じない。また、トリミングの終点側の端子電極
２に対向する部分における切り溝の形状が、その端子電
極に対して突き出た弧状を有するものであるため、トリ
ミングの終点に近い部分は一対の端子電極１．２間を流
れる電流経路から遠のいたものとなり、一定のトリミン
グ量に対する抵抗変化の割合が他の部分よりも小さくな
る。

（効果） 以上説明したことから明らかなように本発明の膜抵抗体
のトリミング方法によれば、上記のような切り溝により
行われるものであるため、大きなサージ電流が流れても
大きな抵抗変化の生じることのない耐パルス性に優れた
膜抵抗体が実現でき、高精度のトリミングが可能になる
という優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係る膜抵抗体の平面図である
。 第２図および第３図は従来例のトリミング方法を説明す
るための膜抵抗体の平面図である。 １．２・・・端子電極、３・・・抵抗膜、４・・・切り
溝、５・・・電気的に独立した抵抗膜部分。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）　一対の端子電極間に設けた抵抗膜に、トリミン
   グの始点および終点がともに抵抗膜の外部に位置するよ
   うにして尖鋭部のない形状の切り溝を設けることにより
   、その抵抗膜とは電気的に独立した部分を形成した、膜
   抵抗体のトリミング方法であって、少なくともそのトリ
   ミングの終点側の端子電極に対向する部分における切り
   溝の形状が、その端子電極に対して突き出た弧状となる
   ようにしたことを特徴とする膜抵抗体のトリミング方法
   。