JPH01310858A - 磁気記録媒体の研磨装置 - Google Patents
磁気記録媒体の研磨装置Info
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- JPH01310858A JPH01310858A JP14019788A JP14019788A JPH01310858A JP H01310858 A JPH01310858 A JP H01310858A JP 14019788 A JP14019788 A JP 14019788A JP 14019788 A JP14019788 A JP 14019788A JP H01310858 A JPH01310858 A JP H01310858A
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Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は磁気記録媒体の表面を研磨ロール等により研磨
する磁気記録媒体の研磨装置に関し、特に詳細には上記
研磨をパラ研磨により行なう磁気記録媒体の研磨装置に
関するものである。
する磁気記録媒体の研磨装置に関し、特に詳細には上記
研磨をパラ研磨により行なう磁気記録媒体の研磨装置に
関するものである。
(従来の技術)
周知のように、非磁性支持体上に磁性層が形成されてな
る磁気記録媒体はオーディオ、ビデオ。
る磁気記録媒体はオーディオ、ビデオ。
コンピューター用等に広く用いられている。
上記磁気記録媒体は、通常ポリエチレンテレフタレート
等の非磁性支持体」二に、強磁性粉末と結合剤、 fl
l滑剤、非磁性粉末、有機溶媒等からなる磁性塗料を塗
布することにより上記磁性層が形成され、磁性層形成後
、該磁性層に対して磁場配向処理、乾燥処理、カレンダ
ー処理等が施され、所望の形状に裁断されることにより
製造される。
等の非磁性支持体」二に、強磁性粉末と結合剤、 fl
l滑剤、非磁性粉末、有機溶媒等からなる磁性塗料を塗
布することにより上記磁性層が形成され、磁性層形成後
、該磁性層に対して磁場配向処理、乾燥処理、カレンダ
ー処理等が施され、所望の形状に裁断されることにより
製造される。
ところで上記のようにして製造された磁気記録媒体の磁
性層表面は、磁性層中の粒状成分の一部が浮き上って突
部となる場合かあり、このような突部や、磁性層上に付
着するゴミ等により磁性層の平滑性が損イつれると良好
なヘッドタッチか得られなくなり、ドロップアウトを発
生させる原因となる。
性層表面は、磁性層中の粒状成分の一部が浮き上って突
部となる場合かあり、このような突部や、磁性層上に付
着するゴミ等により磁性層の平滑性が損イつれると良好
なヘッドタッチか得られなくなり、ドロップアウトを発
生させる原因となる。
そこで磁性層表面の突部を除去するために、本出願人は
磁気記録媒体を一定方向に移送しつつ、周面に微小突起
を有する円筒状の研磨ロール等に接触させ、この研磨ロ
ールを磁気記録媒体の移送方向と逆方向に回転させるこ
とによって磁性層表面の上記突部やイ」着物を切削研磨
する方法を既に提案した(特願昭61−77596号、
同62−172532号等)。かかる研磨処理は磁気記
録媒体を乾燥させた後、カレンダー処理を行なう前に実
施されるのが望ましく、そのようにすれば、カレンダー
ロールにゴミ等が付着して良好なカレンダー効果が損わ
れるといった不都合が生じない。
磁気記録媒体を一定方向に移送しつつ、周面に微小突起
を有する円筒状の研磨ロール等に接触させ、この研磨ロ
ールを磁気記録媒体の移送方向と逆方向に回転させるこ
とによって磁性層表面の上記突部やイ」着物を切削研磨
する方法を既に提案した(特願昭61−77596号、
同62−172532号等)。かかる研磨処理は磁気記
録媒体を乾燥させた後、カレンダー処理を行なう前に実
施されるのが望ましく、そのようにすれば、カレンダー
ロールにゴミ等が付着して良好なカレンダー効果が損わ
れるといった不都合が生じない。
(発明が解決しようとする課題)
しかしなから、従来の研磨方法に用いられる研磨ロール
は、円筒状ロールの周面上に、金属質粉末や熱硬化性樹
脂を主体とする有機質の結合剤、またはガラスやセラミ
ックなどの無機質の結合剤により、あるいは電気メツキ
法によりダイヤモンド粒子か固められてなるもの、また
はジルコニア系、炭化ケイ素系、窒化ケイ素系、アルミ
ナ系等のセラミック円筒等の、周面に微小突起を有する
硬度の高いロールであるため、研磨砥粒により磁性面に
傷を付けないようにするために研磨条件の設定が厳密に
求められ、研磨砥粒の望ましい粒径や硬度、あるいは研
磨時に磁気記録媒体と研磨ロールの間にエアー膜を形成
して磁気記録媒体を若干浮上させつつ研磨を行なう場合
には、媒体の適切な浮上量を厳密に設定する必要があっ
た。このため、研磨条件の設定が煩雑であるとともに、
特に浮上量については、使用される研磨ロールの種類が
変わるたびに設定値を変えなくてはならないという不都
合か生していた。また、研磨屑が研磨ロール表面に(=
J着すると、研磨力が低下する、磁性面に傷を付けると
いった問題が生じるので、研磨ロールに対して不織布等
からなるクリーニング手段を設けることが望ましく、研
磨手段の構成か複雑化するという問題もあった。
は、円筒状ロールの周面上に、金属質粉末や熱硬化性樹
脂を主体とする有機質の結合剤、またはガラスやセラミ
ックなどの無機質の結合剤により、あるいは電気メツキ
法によりダイヤモンド粒子か固められてなるもの、また
はジルコニア系、炭化ケイ素系、窒化ケイ素系、アルミ
ナ系等のセラミック円筒等の、周面に微小突起を有する
硬度の高いロールであるため、研磨砥粒により磁性面に
傷を付けないようにするために研磨条件の設定が厳密に
求められ、研磨砥粒の望ましい粒径や硬度、あるいは研
磨時に磁気記録媒体と研磨ロールの間にエアー膜を形成
して磁気記録媒体を若干浮上させつつ研磨を行なう場合
には、媒体の適切な浮上量を厳密に設定する必要があっ
た。このため、研磨条件の設定が煩雑であるとともに、
特に浮上量については、使用される研磨ロールの種類が
変わるたびに設定値を変えなくてはならないという不都
合か生していた。また、研磨屑が研磨ロール表面に(=
J着すると、研磨力が低下する、磁性面に傷を付けると
いった問題が生じるので、研磨ロールに対して不織布等
からなるクリーニング手段を設けることが望ましく、研
磨手段の構成か複雑化するという問題もあった。
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、研
磨部材の種類によって研磨条件を細かく変更させる必要
がなく、また研磨屑を除去するために研磨手段をクリー
ニングする必要もない磁気記録媒体の研磨装置を提供す
ることを目的とするものである。
磨部材の種類によって研磨条件を細かく変更させる必要
がなく、また研磨屑を除去するために研磨手段をクリー
ニングする必要もない磁気記録媒体の研磨装置を提供す
ることを目的とするものである。
(課題を解決するための手段および作用)本発明の研磨
装置は、磁気記録媒体の表面に回転しつつ当接して該表
面を研磨する部材として、パラ研磨部材を用いることを
特徴とするものである。
装置は、磁気記録媒体の表面に回転しつつ当接して該表
面を研磨する部材として、パラ研磨部材を用いることを
特徴とするものである。
パラ研磨部材とは、周知のように、綿布、サイザル麻、
フェルト、皮革、羊毛、タオル地、スポンジ、コンパウ
ンド、ナイロン、不織布等の比較的軟らかい材質からな
る研磨部材であり、磁気記録媒体が長尺の磁気記録テー
プである場合には、周面にパラ層か設けられたパラ研磨
ロールが用いられ、磁気記録媒体が円盤状の磁気ディス
クである場合には表面にパラ層が設けられた円盤状のバ
フ研磨ホイールか用いられる。
フェルト、皮革、羊毛、タオル地、スポンジ、コンパウ
ンド、ナイロン、不織布等の比較的軟らかい材質からな
る研磨部材であり、磁気記録媒体が長尺の磁気記録テー
プである場合には、周面にパラ層か設けられたパラ研磨
ロールが用いられ、磁気記録媒体が円盤状の磁気ディス
クである場合には表面にパラ層が設けられた円盤状のバ
フ研磨ホイールか用いられる。
上記のようなパラ研磨部材を用いて研磨を行なえば、パ
ラ研磨部制自体が磁気記録媒体を傷付けるおそれはない
ので、ハフ研磨手段を異なった種類のものに交換する毎
に、媒体の研磨条件を微妙に調整し直す必要がない。ま
たパラ研磨部材は、柔軟であるため研磨屑等の捕捉能力
が高く、研磨部材に対して特別なりリーニング手段を設
けなくても、研磨効果を長時間に亘って維持することが
できる。
ラ研磨部制自体が磁気記録媒体を傷付けるおそれはない
ので、ハフ研磨手段を異なった種類のものに交換する毎
に、媒体の研磨条件を微妙に調整し直す必要がない。ま
たパラ研磨部材は、柔軟であるため研磨屑等の捕捉能力
が高く、研磨部材に対して特別なりリーニング手段を設
けなくても、研磨効果を長時間に亘って維持することが
できる。
次に図面を参照して本発明の研磨装置について説明する
。
。
第1図は長尺の磁気記録テープを研磨する研磨装置の斜
視図である。
視図である。
非磁性支持体の表面(第1図においては下面)に磁性層
が形成されてなる、−例として幅500〜1、ooo
mmの磁気記録テープ1は、100−1000m/mi
nで矢印A方向に走行せしめられ、この磁気記録テープ
]と接触する位置には、テープの走行方向と逆方向の矢
印B方向に回転するハフ研磨ロール2が配されており、
このパラ研磨ロール2により磁気記録テープ1の磁性面
か研磨されるようになっている。
が形成されてなる、−例として幅500〜1、ooo
mmの磁気記録テープ1は、100−1000m/mi
nで矢印A方向に走行せしめられ、この磁気記録テープ
]と接触する位置には、テープの走行方向と逆方向の矢
印B方向に回転するハフ研磨ロール2が配されており、
このパラ研磨ロール2により磁気記録テープ1の磁性面
か研磨されるようになっている。
上記パラ研磨ロールは、円筒状の輔ロール2Aの周囲に
パラ層2Bか設けられてなるものであり、直径は125
〜660 mm程度であり、回転速度は一般的に180
0〜2300ppm程度となっている。なお、回転速度
を上昇させる程研磨効果は向上するので、高度に研磨を
行なう必要がある場合には、ロールの回転駆動源として
高周波発生機を使用すれば、回転速度を最大で1.0
、000〜1−2.00Orpmまで上げることかでき
、さらにエアモータを使用すれば回転速度を最大で70
,000〜200 、00Orpmまで上げることかで
きる。
パラ層2Bか設けられてなるものであり、直径は125
〜660 mm程度であり、回転速度は一般的に180
0〜2300ppm程度となっている。なお、回転速度
を上昇させる程研磨効果は向上するので、高度に研磨を
行なう必要がある場合には、ロールの回転駆動源として
高周波発生機を使用すれば、回転速度を最大で1.0
、000〜1−2.00Orpmまで上げることかでき
、さらにエアモータを使用すれば回転速度を最大で70
,000〜200 、00Orpmまで上げることかで
きる。
また、第2図に示す研磨装置は、矢印C方向に1、.0
00〜3.OOOrpmで回転せしめられる、直径45
〜250 +nm程度の円盤状の磁気ディスク3に対し
て研磨を行なうものであり、研磨部材として、回軸軸1
2Aを中心として回転する円盤状のパラ研磨ホイール1
2が用いられる。このパラ研磨ホイール12は、磁気デ
ィスク3と接触する位置まで下降せしめられ、磁気ディ
スク3と同軸に、磁気ディスク3の回転方向と逆方向の
矢印り方向に1..000〜3.00Orpmで回転せ
しめられ、その直径は磁気ディスク3の直径と同程度と
なっている。なお、本発明の上記2つの研磨装置は、い
ずれも研磨装置のみが独立したものであってもよいし、
研磨位置の手前に磁性層塗布部や乾燥部が設けられたり
、研磨位置の後方にカレンダ一部等が設けられることに
よって磁気記録テープ(ディスク)の製造装置内に組み
入れられるものであってもよい。
00〜3.OOOrpmで回転せしめられる、直径45
〜250 +nm程度の円盤状の磁気ディスク3に対し
て研磨を行なうものであり、研磨部材として、回軸軸1
2Aを中心として回転する円盤状のパラ研磨ホイール1
2が用いられる。このパラ研磨ホイール12は、磁気デ
ィスク3と接触する位置まで下降せしめられ、磁気ディ
スク3と同軸に、磁気ディスク3の回転方向と逆方向の
矢印り方向に1..000〜3.00Orpmで回転せ
しめられ、その直径は磁気ディスク3の直径と同程度と
なっている。なお、本発明の上記2つの研磨装置は、い
ずれも研磨装置のみが独立したものであってもよいし、
研磨位置の手前に磁性層塗布部や乾燥部が設けられたり
、研磨位置の後方にカレンダ一部等が設けられることに
よって磁気記録テープ(ディスク)の製造装置内に組み
入れられるものであってもよい。
上記2つの研磨装置はいずれも比較的柔かいパラ研磨部
材により研磨を行なうので、研磨により磁気記録媒体が
ダメージを受けるおそれかなく、研磨部材の材質を変更
した場合にも、他の研磨条件を一定にして研磨を続ける
ことかできる。また、研磨屑は比較的柔軟なパラ研磨部
4Aにより良好に補集されるので、研磨部材を特別にク
リーニングすることなく研磨を長時間に亘って行なうこ
とができる。なお、いずれの装置においても研磨時には
研磨剤を併用することが可能である。研磨剤としては、
溶融アルミナ、炭化けい素、酸化クロム、トリポリ、酸
化鉄、エメリー等の研磨材をステアリン酸、硬化油、牛
脂、パラフィンなどの加熱溶融物に混練した後に冷却固
化した棒状研磨材や、脂肪酸、硬化油等の油脂類、水、
および乳化剤を適当に配合してエマルジョンを形成し、
このエマルジョン中に前記研磨材を分散させた比較的粘
度の高い液状研磨剤等を用いることかできる。このよう
に研磨剤を用いると、パラ研磨部材の材質、回転速度、
径等とともに研磨剤の材質を変えることにより、必要と
される磁気記録媒体の表面性を得るための調整が広範囲
に亘って行なえる。また磁気記録媒体は、上述した研磨
が行なわれた後、不織布等からなるクリーニング祠によ
り、磁性層表面にイ」着した研磨屑が除去されるのが好
ましい。
材により研磨を行なうので、研磨により磁気記録媒体が
ダメージを受けるおそれかなく、研磨部材の材質を変更
した場合にも、他の研磨条件を一定にして研磨を続ける
ことかできる。また、研磨屑は比較的柔軟なパラ研磨部
4Aにより良好に補集されるので、研磨部材を特別にク
リーニングすることなく研磨を長時間に亘って行なうこ
とができる。なお、いずれの装置においても研磨時には
研磨剤を併用することが可能である。研磨剤としては、
溶融アルミナ、炭化けい素、酸化クロム、トリポリ、酸
化鉄、エメリー等の研磨材をステアリン酸、硬化油、牛
脂、パラフィンなどの加熱溶融物に混練した後に冷却固
化した棒状研磨材や、脂肪酸、硬化油等の油脂類、水、
および乳化剤を適当に配合してエマルジョンを形成し、
このエマルジョン中に前記研磨材を分散させた比較的粘
度の高い液状研磨剤等を用いることかできる。このよう
に研磨剤を用いると、パラ研磨部材の材質、回転速度、
径等とともに研磨剤の材質を変えることにより、必要と
される磁気記録媒体の表面性を得るための調整が広範囲
に亘って行なえる。また磁気記録媒体は、上述した研磨
が行なわれた後、不織布等からなるクリーニング祠によ
り、磁性層表面にイ」着した研磨屑が除去されるのが好
ましい。
以下、本発明の実施例を比較例とともに示す。
(実施例1)
第1−図に示した装置において、幅500 mmの磁気
記録テープを張力約2.5kg、速度100 m/mi
nで走行させ、この磁気記録テープの走行方向と逆行す
る方向に、基材が綿布からなる直径205 mmのパラ
研磨ロールを180Orpmで回転させつつラップ角5
°で接触させて研磨を行なった。また研磨終了後、不織
布により、磁気記録テープの磁性面に伺着した研磨屑を
拭い取るクリーニングを行なった。
記録テープを張力約2.5kg、速度100 m/mi
nで走行させ、この磁気記録テープの走行方向と逆行す
る方向に、基材が綿布からなる直径205 mmのパラ
研磨ロールを180Orpmで回転させつつラップ角5
°で接触させて研磨を行なった。また研磨終了後、不織
布により、磁気記録テープの磁性面に伺着した研磨屑を
拭い取るクリーニングを行なった。
(実施例2)
実施例1において、パラ研磨ロールを基材がフェルトか
らなるものと交換し、他の条件はすべて実施例1と同じ
にして研磨、クリーニング処理を行なった。
らなるものと交換し、他の条件はすべて実施例1と同じ
にして研磨、クリーニング処理を行なった。
(比較例])
実施例1におけるパラ研磨ロールを排し、代りにRaO
,Bμrnカットオフ0.25mm、Rmax6.0μ
mカットオフ0.25mm5直径50mmのメタル系ダ
イヤモンドの研磨ロールを、磁気記録テープの走行方向
と逆行する方向に709rpmて回転させつつラップ角
5°で接触させて研磨を行ない、その後、実施例1と同
様にクリーニング処理を行なった。
,Bμrnカットオフ0.25mm、Rmax6.0μ
mカットオフ0.25mm5直径50mmのメタル系ダ
イヤモンドの研磨ロールを、磁気記録テープの走行方向
と逆行する方向に709rpmて回転させつつラップ角
5°で接触させて研磨を行ない、その後、実施例1と同
様にクリーニング処理を行なった。
(実施例3)
第2図に示す装置において、直径85.8mmの磁気デ
ィスクを1.ooorpmで回転させ、この磁気ディス
クの回転方向と逆行する方向に、2300ppmで回転
する、基材か綿布からなる直径125mmのパラ研磨ホ
イールを当接させて研磨を行なった。また研磨終了後、
不織布により、磁気ディスクの磁性面に付着した研磨屑
を拭い取るクリーニングを行なった。
ィスクを1.ooorpmで回転させ、この磁気ディス
クの回転方向と逆行する方向に、2300ppmで回転
する、基材か綿布からなる直径125mmのパラ研磨ホ
イールを当接させて研磨を行なった。また研磨終了後、
不織布により、磁気ディスクの磁性面に付着した研磨屑
を拭い取るクリーニングを行なった。
(比較例2)
実施例3におけるパラ研磨ホイールを排し、代りに幅が
磁気ディスクの半径と同等であり、磁気ディスクの回転
方向と逆行する方向に7mm/seeで走行する富士写
真フィルム(株)製Cr 02系# 8000のラッピ
ングテープを磁気ディスクの半径方向に接触させて研磨
を行なった。またその後、実施例3と同様に磁気ディス
クのクリーニングを行なった。
磁気ディスクの半径と同等であり、磁気ディスクの回転
方向と逆行する方向に7mm/seeで走行する富士写
真フィルム(株)製Cr 02系# 8000のラッピ
ングテープを磁気ディスクの半径方向に接触させて研磨
を行なった。またその後、実施例3と同様に磁気ディス
クのクリーニングを行なった。
上記実施例1.2、および比較例1により研磨、クリー
ニングされた磁気記録テープをそれぞれ1/2インチ幅
に裁断した後、そのドロップアウト数と擦傷の数と光沢
とを測定した。その結果を表1に示す。なお、ドロップ
アウトの定義は、−20dB以上の出力ダウンで長さが
15μs以上のものとし、1分間における発生回数を測
定した。また擦傷については、単位長さ(1m)あたり
に目視で確認できる擦傷の数をカウントした。また使用
したデツキは松下電気(株)製のA G −6200,
ドロップアウト測定装置はJVCモデルVD−3Mであ
る。
ニングされた磁気記録テープをそれぞれ1/2インチ幅
に裁断した後、そのドロップアウト数と擦傷の数と光沢
とを測定した。その結果を表1に示す。なお、ドロップ
アウトの定義は、−20dB以上の出力ダウンで長さが
15μs以上のものとし、1分間における発生回数を測
定した。また擦傷については、単位長さ(1m)あたり
に目視で確認できる擦傷の数をカウントした。また使用
したデツキは松下電気(株)製のA G −6200,
ドロップアウト測定装置はJVCモデルVD−3Mであ
る。
さらに光沢は磁気記録テープにカレンダー処理を行なう
前に、入射角および反射角45度の光沢度計により測定
した。
前に、入射角および反射角45度の光沢度計により測定
した。
表1
上記の結果から明らかなように、本発明装置を用いた実
施例1.2は、比較例1に比べてドロップアウトの数が
少なく、また擦傷もほとんど生じないとともに表面の光
沢度も高いなど、研磨が良好に行なわれたことが確かめ
られた。
施例1.2は、比較例1に比べてドロップアウトの数が
少なく、また擦傷もほとんど生じないとともに表面の光
沢度も高いなど、研磨が良好に行なわれたことが確かめ
られた。
また、上記実施例3および比較例2により研磨、クリー
ニングされた磁気ディスクをカレンダー処理して製品と
して平均出力値に対し、60%以上のレベルをドロップ
アウトとするために、スライスレベルを60%とした場
合の製品の得率、磁気ディスク1枚当たりの目視できる
平均発生倍数(スクラッチの数)、および表面の光沢を
調べた。その結果を表2に示す。なお、表2における光
沢の測定方法は表1の場合と同様であるが、測定された
磁気ディスクはカレンダー処理済のものである。
ニングされた磁気ディスクをカレンダー処理して製品と
して平均出力値に対し、60%以上のレベルをドロップ
アウトとするために、スライスレベルを60%とした場
合の製品の得率、磁気ディスク1枚当たりの目視できる
平均発生倍数(スクラッチの数)、および表面の光沢を
調べた。その結果を表2に示す。なお、表2における光
沢の測定方法は表1の場合と同様であるが、測定された
磁気ディスクはカレンダー処理済のものである。
表2
上記の結果から明らかなように、本実施例装置を用いた
実施例3は、比較例2に比べて傷の数が少なく、光沢も
高められており、得率も高くなる等、研磨が良好に行な
われたことが確認された。
実施例3は、比較例2に比べて傷の数が少なく、光沢も
高められており、得率も高くなる等、研磨が良好に行な
われたことが確認された。
(発明の効果)
以上説明したように、本発明の磁気記録媒体の研磨装置
によれば、パラ研磨部材により研磨を行なうようにした
ので、研磨部材により研磨屑を良好に補集することがで
き、研磨部材のクリーニングが不要になるとともに、研
磨部材により磁気記録媒体に傷がつくおそれがなくなり
、研磨条件の厳密な設定、研磨部材の種類による研磨条
件の微調整等が不要になる。
によれば、パラ研磨部材により研磨を行なうようにした
ので、研磨部材により研磨屑を良好に補集することがで
き、研磨部材のクリーニングが不要になるとともに、研
磨部材により磁気記録媒体に傷がつくおそれがなくなり
、研磨条件の厳密な設定、研磨部材の種類による研磨条
件の微調整等が不要になる。
第1図は本発明による磁気記録テープの研磨装置の斜視
図、 第2図は本発明による磁気ディスクの研磨装置の斜視図
である。 1・・・磁気記録テープ 2・・・パラ研磨ロール3
・・磁気ディスク 12・・パラ研磨ホイール第1図 八 第2図
図、 第2図は本発明による磁気ディスクの研磨装置の斜視図
である。 1・・・磁気記録テープ 2・・・パラ研磨ロール3
・・磁気ディスク 12・・パラ研磨ホイール第1図 八 第2図
Claims (1)
- 磁気記録媒体の表面に、回転する研磨部材を当接させて
該表面を研磨する磁気記録媒体の研磨装置において、前
記研磨部材がパラ研磨部材であることを特徴とする磁気
記録媒体の研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14019788A JPH01310858A (ja) | 1988-06-07 | 1988-06-07 | 磁気記録媒体の研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14019788A JPH01310858A (ja) | 1988-06-07 | 1988-06-07 | 磁気記録媒体の研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01310858A true JPH01310858A (ja) | 1989-12-14 |
Family
ID=15263171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14019788A Pending JPH01310858A (ja) | 1988-06-07 | 1988-06-07 | 磁気記録媒体の研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01310858A (ja) |
-
1988
- 1988-06-07 JP JP14019788A patent/JPH01310858A/ja active Pending
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