JPH01312844A - Ｉｌｂテープのアウターリードのカットフォーミング装置及び該装置によるカットフォーミング方法 - Google Patents
Ｉｌｂテープのアウターリードのカットフォーミング装置及び該装置によるカットフォーミング方法Info
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- JPH01312844A JPH01312844A JP14440388A JP14440388A JPH01312844A JP H01312844 A JPH01312844 A JP H01312844A JP 14440388 A JP14440388 A JP 14440388A JP 14440388 A JP14440388 A JP 14440388A JP H01312844 A JPH01312844 A JP H01312844A
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- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009432 framing Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ｉ）・・・産業上の利用分野
本発明は、タブボンディング即ち、基板のパターンにＩ
ＬＢテープのリードを、ミクロ単位の精度で位置決め及
び平衡当接し、それを調整加圧加熱してボンディングす
るタブボンディングに先だって、ＩＬＢテープのアウタ
ーリードをボンディング作業に適した形状にカットフォ
ーミングするための方法と、該方法を実施するための金
型装置の構成と、該装置を用いたカントフォーミング方
法に係るものであり、主として、出願人が先に出願した
特願昭６３−９７６５３号、発明の名称［タブボンディ
ング用す−モード′ンール及び１亥゛ンールによるタブ
ボンディング方法」に供給するＩＬＢテープのカットフ
ォーミングを行う方法及び装置に係るものである。
ＬＢテープのリードを、ミクロ単位の精度で位置決め及
び平衡当接し、それを調整加圧加熱してボンディングす
るタブボンディングに先だって、ＩＬＢテープのアウタ
ーリードをボンディング作業に適した形状にカットフォ
ーミングするための方法と、該方法を実施するための金
型装置の構成と、該装置を用いたカントフォーミング方
法に係るものであり、主として、出願人が先に出願した
特願昭６３−９７６５３号、発明の名称［タブボンディ
ング用す−モード′ンール及び１亥゛ンールによるタブ
ボンディング方法」に供給するＩＬＢテープのカットフ
ォーミングを行う方法及び装置に係るものである。
■）・・・本発明の目的
（１）・・・現在、基板（主に、ＰＣＢ＝プリント・サ
ーキット・ボード、ＩＣカード等）のパターンにチップ
（主に半導体）をボンディング（溶接）する方法として
は、ワイヤーボンディングとタブボンディング（タブー
ＴＡＢ−テープ・オートメ−チット・ボンディング）の
２通りが一般的に行われている。
ーキット・ボード、ＩＣカード等）のパターンにチップ
（主に半導体）をボンディング（溶接）する方法として
は、ワイヤーボンディングとタブボンディング（タブー
ＴＡＢ−テープ・オートメ−チット・ボンディング）の
２通りが一般的に行われている。
ワイヤーボンディングは、リード間のピンチ１００μが
限界とされ、リード数は１２５〜２５０位であって、そ
れ以上狭いピッチ及び多いリード数（例、コンピュータ
ー用の５００本以上のもの等）のものは、タブボンディ
ングでなければ無理とされている。
限界とされ、リード数は１２５〜２５０位であって、そ
れ以上狭いピッチ及び多いリード数（例、コンピュータ
ー用の５００本以上のもの等）のものは、タブボンディ
ングでなければ無理とされている。
而して、タブボンディングは、周知の如く、テープ（フ
ィルム）にプリント及びエツチング加工等によってリー
ドを形成し、該テープのインナーリードにチップを予じ
めボンディングしたのち、アウターリードをカットフォ
ーミングしたＩＬＢテープ（インナーリードボンディン
グチーブ）の、アウターリードを基板のパターンにボン
ディング（ＯＬ Ｅ ＝アウターリードボンディング）
するものである。
ィルム）にプリント及びエツチング加工等によってリー
ドを形成し、該テープのインナーリードにチップを予じ
めボンディングしたのち、アウターリードをカットフォ
ーミングしたＩＬＢテープ（インナーリードボンディン
グチーブ）の、アウターリードを基板のパターンにボン
ディング（ＯＬ Ｅ ＝アウターリードボンディング）
するものである。
即ち、第１図の（ロ）に示すものが、テープ（フィルム
）にプリント及びエツチング加工等によってリードを形
成したもののインナーリードＬ＋ にチップ乞をボンデ
ィングしたものであり、第４図の（ロ）に示すものが、
本発明方法装置によって、そのアウターリードＬ、をカ
ットフォーミングして得たＩＬＢテープである。
）にプリント及びエツチング加工等によってリードを形
成したもののインナーリードＬ＋ にチップ乞をボンデ
ィングしたものであり、第４図の（ロ）に示すものが、
本発明方法装置によって、そのアウターリードＬ、をカ
ットフォーミングして得たＩＬＢテープである。
（２）・・・本発明は、ＩＬＢテープを得るためのカッ
トフォーミング方法及び装置であり、１台の本発明装置
を使用して、本発明方法を実施することによって、アウ
ターリードを、リード間のピッチＰ（例、５０μ）のば
らつきを最小限におさえ得た、つまり、リードの変形や
相互接触等の無い極精密かつ安定的なカットフォーミン
グを可能としたことを特徴とするものである。
トフォーミング方法及び装置であり、１台の本発明装置
を使用して、本発明方法を実施することによって、アウ
ターリードを、リード間のピッチＰ（例、５０μ）のば
らつきを最小限におさえ得た、つまり、リードの変形や
相互接触等の無い極精密かつ安定的なカットフォーミン
グを可能としたことを特徴とするものである。
■）・・・従来の課題
（１）・・・従来、一般的に行われているＩＬＢテープ
のアウターリードのカットフォーミングは、第５図（イ
）〜（ハ）の如く、 まず、テープのアウターリード先端部分を直接カットし
てしまってから、その切りはなされた状態のアウターリ
ードをフォーミングしているものである。また、カット
とフォーミングは別工程で行われているン よって、下記のような課題点があった。
のアウターリードのカットフォーミングは、第５図（イ
）〜（ハ）の如く、 まず、テープのアウターリード先端部分を直接カットし
てしまってから、その切りはなされた状態のアウターリ
ードをフォーミングしているものである。また、カット
とフォーミングは別工程で行われているン よって、下記のような課題点があった。
（ｉ）、極めて細く （例、輻６０μ、厚さ３５μ）、
極めて狭いピッチ（例５０μ）に形成されている多数本
（例、５００本）のアウターリードが、カットによって
、各々がフリーの極めて不安定な状態となり、移動その
他における微小な外力によっても変形し相互接触してし
まうような状態となる。
極めて狭いピッチ（例５０μ）に形成されている多数本
（例、５００本）のアウターリードが、カットによって
、各々がフリーの極めて不安定な状態となり、移動その
他における微小な外力によっても変形し相互接触してし
まうような状態となる。
（ｉｉ ） 、そして、上記状態のアウターリードに対
してフォーミングを行うため、リードの変形や相互接触
が更にひんばんに発生する欠点があり、従って、リード
が細くてピッチが狭いものには、高精度のカットフォー
ミングを行い難い欠点があった。
してフォーミングを行うため、リードの変形や相互接触
が更にひんばんに発生する欠点があり、従って、リード
が細くてピッチが狭いものには、高精度のカットフォー
ミングを行い難い欠点があった。
（ｉｉｉ ） 、而して、仮に５００本のリードの中の
たった１木のリードの変形や相互接触でも、完全な不良
品であるに相違ないものであるので、上記欠点の解決が
重大な課題とされてきたものである。
たった１木のリードの変形や相互接触でも、完全な不良
品であるに相違ないものであるので、上記欠点の解決が
重大な課題とされてきたものである。
■）・・・本発明の説明
本発明は、アウターリードのカットフォーミングを本発
明に係る新規な方法によって行うこと、及び、該方法を
本発明に係る新規な構成の１台の装置によって行うこと
によって、上記従来の課題を有効に解決したものである
。
明に係る新規な方法によって行うこと、及び、該方法を
本発明に係る新規な構成の１台の装置によって行うこと
によって、上記従来の課題を有効に解決したものである
。
（１）・・・本発明方法は、
テープのインナーリードＬ１に予じめチップＬをボンデ
ングしたｒＬＢテープｌにおいて、まず、上記ＴＬＢテ
ープ１のアウターリードＬＸの先端にテープ片１′を付
けた状ａ（残存した状態）に、アウターリードＬｘの外
周りをカットし、 次いで、テープ片１′を付けたままの状態でアウターリ
ードＬ２をフォーミングし、該フォーミング終了に続い
てアウターリードしヨ先端をカットしてテープ片１′を
取除くようにしたＩＬＢテープのアウターリードカット
フォーミング方法である。
ングしたｒＬＢテープｌにおいて、まず、上記ＴＬＢテ
ープ１のアウターリードＬＸの先端にテープ片１′を付
けた状ａ（残存した状態）に、アウターリードＬｘの外
周りをカットし、 次いで、テープ片１′を付けたままの状態でアウターリ
ードＬ２をフォーミングし、該フォーミング終了に続い
てアウターリードしヨ先端をカットしてテープ片１′を
取除くようにしたＩＬＢテープのアウターリードカット
フォーミング方法である。
（２）・・・次に、上記本発明方法を実施するに用いる
ｒＬＢテープのアウターリードカットフォーミング装置
につき説明すると、 下面方形の型Ａの内側に同じく方形の型Ｂを設定寸法上
下摺動自在に密嵌し、該型Ｂの内側に同じく方形の型Ｃ
を設定寸法上下摺動自在に密嵌して、冬型Ａ、Ｂ、Ｃの
下面を面一に位置せしめ、 型Ｃ下面中央にチップ嵌挿用の凹部２を、またＢ下面の
内側辺部にフォーミングスペース３を夫々形成し、型Ｃ
及び型Ｂを夫々ばね４．５で下方付勢すると共にストッ
パー６．７でその弾発力を受止めて設けた上金型９と、 型Ｃ′を、上記型Ｃ下面と対称に形成した上面の外側辺
部に型Ｂ下端が嵌合する切欠部１０を形成すると共に設
定寸法上下動自在に形成し、該型Ｃの外側に、上記型Ａ
が嵌合する空間１１をおいて型Ａ′を固定形成して設け
た下金型１２とを、相対設置して構成したものである。
ｒＬＢテープのアウターリードカットフォーミング装置
につき説明すると、 下面方形の型Ａの内側に同じく方形の型Ｂを設定寸法上
下摺動自在に密嵌し、該型Ｂの内側に同じく方形の型Ｃ
を設定寸法上下摺動自在に密嵌して、冬型Ａ、Ｂ、Ｃの
下面を面一に位置せしめ、 型Ｃ下面中央にチップ嵌挿用の凹部２を、またＢ下面の
内側辺部にフォーミングスペース３を夫々形成し、型Ｃ
及び型Ｂを夫々ばね４．５で下方付勢すると共にストッ
パー６．７でその弾発力を受止めて設けた上金型９と、 型Ｃ′を、上記型Ｃ下面と対称に形成した上面の外側辺
部に型Ｂ下端が嵌合する切欠部１０を形成すると共に設
定寸法上下動自在に形成し、該型Ｃの外側に、上記型Ａ
が嵌合する空間１１をおいて型Ａ′を固定形成して設け
た下金型１２とを、相対設置して構成したものである。
（３）・・・而して、上記実施例装置による本発明方法
の実施例を、該装置の作用説明を兼ねて説明すると、 （１）、 ＋ＬＢテープｌを、そのチップｔを型Ｃｘ
Ｅｔｃδ凹部２に嵌挿して、下金型１２上に適宜セント
し、 （ｉｉ ） 、上金型９全部（型Ａ、Ｂ、Ｃ）を下金型
１２に向い設定寸法下降して、型Ｃ、Ｃ′間でテープ１
を挟持すると共に、型Ａの外側辺角部（刃部ａ）と型Ａ
′の内側辺角部（刃部ａ′）との間で、アウターリード
Ｌ、先端にテープ片１′を付けた状態に、アウターリー
ドＬ２の外周りをカントし、（ｆｆ１図→１２図）（ｉ
ｉｉ ） 、次に、下金型１２の型Ｃ′を上昇して、核
型Ｃ′の切欠部１０に型Ｂ下端を嵌合開始し、そのフォ
ーミングスペース３内でアラターリ−２，２を１形等、
ユ、オーミ、グしつつ、（第３図）（ｉｖ）、続く型Ｃ
′の上昇で、その切欠部１０に型Ｃ下端を嵌合してアウ
ターリードＬ、のフＪ−ミングを終了すると共にその端
末を挟持し、同時に型Ｃ′の切欠部１０外側辺角部（刃
部ｂ゛）と型への内側辺角部（刃部ｂ）との間でアウタ
ーリード先端先端をカントし、（１４図、）（ｖ）、最
後に、上下金型９．１２を復元しカットフォーミング済
みのＩＬＢテープ１を取り外すようにしたものである。
の実施例を、該装置の作用説明を兼ねて説明すると、 （１）、 ＋ＬＢテープｌを、そのチップｔを型Ｃｘ
Ｅｔｃδ凹部２に嵌挿して、下金型１２上に適宜セント
し、 （ｉｉ ） 、上金型９全部（型Ａ、Ｂ、Ｃ）を下金型
１２に向い設定寸法下降して、型Ｃ、Ｃ′間でテープ１
を挟持すると共に、型Ａの外側辺角部（刃部ａ）と型Ａ
′の内側辺角部（刃部ａ′）との間で、アウターリード
Ｌ、先端にテープ片１′を付けた状態に、アウターリー
ドＬ２の外周りをカントし、（ｆｆ１図→１２図）（ｉ
ｉｉ ） 、次に、下金型１２の型Ｃ′を上昇して、核
型Ｃ′の切欠部１０に型Ｂ下端を嵌合開始し、そのフォ
ーミングスペース３内でアラターリ−２，２を１形等、
ユ、オーミ、グしつつ、（第３図）（ｉｖ）、続く型Ｃ
′の上昇で、その切欠部１０に型Ｃ下端を嵌合してアウ
ターリードＬ、のフＪ−ミングを終了すると共にその端
末を挟持し、同時に型Ｃ′の切欠部１０外側辺角部（刃
部ｂ゛）と型への内側辺角部（刃部ｂ）との間でアウタ
ーリード先端先端をカントし、（１４図、）（ｖ）、最
後に、上下金型９．１２を復元しカットフォーミング済
みのＩＬＢテープ１を取り外すようにしたものである。
〜パ）・・・効果
（１）・・・本発明方法は、従来方法と異なり、まず、
Ｉ Ｌ Ｂテープのアウターリード先端にテープ片を残
した状態に力ントシ、その状態のままでフォーミング及
びカットを行うようにしたので、各アウターリードの両
端を安定的に支持したままの状態でフォーミングを行い
、続いてカットを行うことができ、 よって、該工程によるアウターリードの変形や隣接リー
ド相互の誤接触等のトラブルを生しることなり、！＃密
かつ安定的にカットフォーミングを行うことができる優
れた特徴がある。
Ｉ Ｌ Ｂテープのアウターリード先端にテープ片を残
した状態に力ントシ、その状態のままでフォーミング及
びカットを行うようにしたので、各アウターリードの両
端を安定的に支持したままの状態でフォーミングを行い
、続いてカットを行うことができ、 よって、該工程によるアウターリードの変形や隣接リー
ド相互の誤接触等のトラブルを生しることなり、！＃密
かつ安定的にカットフォーミングを行うことができる優
れた特徴がある。
（２）・・・而して、本発明装置は、上記３工程、即ち
■アウターリード先端にテープ片を取付けた状態のカン
ト、■前項状態のアウターリードのフォーミング、■フ
ォーミングしたアウターリード先端のカットの工程を、
全て上、下金型からなる１台の本発明装置によって、Ｉ
ＬＢテープを該装置の定位置にセットしたままで行い得
るので、工程順にワークの移動等を行う必要がなく、よ
って、極めて精密で安定したカントフォーミングを遂行
し得る秀れた装置を従供し得る。
■アウターリード先端にテープ片を取付けた状態のカン
ト、■前項状態のアウターリードのフォーミング、■フ
ォーミングしたアウターリード先端のカットの工程を、
全て上、下金型からなる１台の本発明装置によって、Ｉ
ＬＢテープを該装置の定位置にセットしたままで行い得
るので、工程順にワークの移動等を行う必要がなく、よ
って、極めて精密で安定したカントフォーミングを遂行
し得る秀れた装置を従供し得る。
第１図、第２図、第３図及び第４図（二失いて、第１図
の（イ）、第２図の（イ）、第３図の（イ）、第４図の
（イ）は、本発明装置の断面図で、併せて本発明方法の
工程順を示す図、第１図の（ロ）、（ハ）、第２図の（
ロ）、（ハ）、第３図の（ロ）、（ハ）、第４図の（ロ
）、（ハ）は 、ＩＬＢテープの平面図及び側面図で同
じく工程順を示す図であり、第５図の（イ）、（ロ）、
（ハ）は従来方法の工程順を示し、（イ）はＩＬＢテー
プの平面図、（ロ）、（ハ）は側面図である。 付号 し・・・チップ、Ｌ、・・・ＩＬＢテープｌのインナー
リード、Ｌ２ ・・・アウターリード、Ｐ・・・リード
間のピンチ、 １・・・ＩＬＢテープ、１′・・・テープ片、９・・・
上金型（型Ａ、Ｂ、Ｃからなる）、１２・・・下金型（
型Ａ’ 、Ｃ’からなる）、２・・・凹部、３・・・フ
ォーミングスペース、４．５・・・ばね、６．７・・・
ストッパー、１０切欠部、１１・・・空間。 第２図 （イ） １′−一一テープ用 第３図 （イ） 八 （ロ）（ｌ・） 第４図 （イ） ｂ、ｂ’−１郁 Ａ＼
の（イ）、第２図の（イ）、第３図の（イ）、第４図の
（イ）は、本発明装置の断面図で、併せて本発明方法の
工程順を示す図、第１図の（ロ）、（ハ）、第２図の（
ロ）、（ハ）、第３図の（ロ）、（ハ）、第４図の（ロ
）、（ハ）は 、ＩＬＢテープの平面図及び側面図で同
じく工程順を示す図であり、第５図の（イ）、（ロ）、
（ハ）は従来方法の工程順を示し、（イ）はＩＬＢテー
プの平面図、（ロ）、（ハ）は側面図である。 付号 し・・・チップ、Ｌ、・・・ＩＬＢテープｌのインナー
リード、Ｌ２ ・・・アウターリード、Ｐ・・・リード
間のピンチ、 １・・・ＩＬＢテープ、１′・・・テープ片、９・・・
上金型（型Ａ、Ｂ、Ｃからなる）、１２・・・下金型（
型Ａ’ 、Ｃ’からなる）、２・・・凹部、３・・・フ
ォーミングスペース、４．５・・・ばね、６．７・・・
ストッパー、１０切欠部、１１・・・空間。 第２図 （イ） １′−一一テープ用 第３図 （イ） 八 （ロ）（ｌ・） 第４図 （イ） ｂ、ｂ’−１郁 Ａ＼
Claims (3)
- （１）、テープのインナーリードに予じめチップをボン
デングしたＩＬＢテープにおいて、 まず、上記ＩＬＢテープのアウターリードの先端にテー
プ片を付けた状態に、アウターリードの外周りをカット
し、 次いで、テープ片を付けたままの状態でアウターリード
をフォーミングし、 該フォーミング終了に続いてアウターリード先端をカッ
トしてテープ片を取除くようにしたことを特徴とする、 ＩＬＢテープのアウターリードカットフォーミング方法
。 - （２）、下面方形の型Ａの内側に同じく方形の型Ｂを設
定寸法上下摺動自在に密嵌し、該型Ｂの内側に同じく方
形の型Ｃを設定寸法上下摺動自在に密嵌して、各型Ａ、
Ｂ、Ｃの下面を面一に位置せしめ、 型Ｃ下面中央にチップ嵌挿用の凹部を、また型Ｂ下面の
内側辺部にフォーミングスペースを夫々形成し、型Ｃ及
び型Ｂを夫々ばねで下方付勢すると共にストッパーでそ
の弾発力を受止めて設けた上金型と、 型Ｃ′を、上記型Ｃ下面と対称に形成した上 面の外側
辺部に型Ｂ下端が嵌合する切欠部を形成すると共に設定
寸法上下動自在に形成し、該型Ｃの外側に、上記型Ａが
嵌合する空間をおいて型Ａ′を固定形成して設けた下金
型とを、相対設置して成る、 ＩＬＢテープのアウターリードカットフォーミング装置
。 - （３）、（ｉ）、ＩＬＢテープを、そのチップを型Ｃ又
はＣ’の凹部に嵌挿して、下金型上に適宜セットし、 （ｉｉ）、上金型全部（型Ａ、Ｂ、Ｃ）を下金型に向い
設定寸法下降して、型Ｃ、Ｃ′間でテープを挟持すると
共に、型Ａの外側辺角部（刃部ａ）と型Ａ′の内側辺角
部（刃部ａ′）との間で、アウターリード先端にテープ
片を付けた状態に、アウターリードの外周りをカットし
、（ｉｉｉ）、次に、下金型の型Ｃ′を上昇して、該型
Ｃ′の切欠部に型Ｂ下端を嵌合開始し、そのフォーミン
グスペース内でアウターリードをフォーミングしつつ、 （ｉｖ）、続く型Ｃ′の上昇で、その切欠部に型Ｃ下端
を嵌合してアウターリードのフォーミングを終了すると
共にその端末を挟持し、同時に型Ｃ′の切欠部外側辺角
部（刃部ｂ′）と型Ａの内側辺角部（刃部ｂ）との間で
アウターリード先端をカットし、 （ｖ）、最後に、上下金型を復元しカットフォーミング
済みのＩＬＢテープを取り外すようにした、 特許請求の範囲第（２）項記載のＩＬＢテープのアウタ
ーリードカットフォーミング装置によるアウターリード
カットフォーミング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63144403A JP2673124B2 (ja) | 1988-06-11 | 1988-06-11 | Ｉｌｂテープのアウターリードのカットフォーミング装置及び該装置によるカットフォーミング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63144403A JP2673124B2 (ja) | 1988-06-11 | 1988-06-11 | Ｉｌｂテープのアウターリードのカットフォーミング装置及び該装置によるカットフォーミング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01312844A true JPH01312844A (ja) | 1989-12-18 |
| JP2673124B2 JP2673124B2 (ja) | 1997-11-05 |
Family
ID=15361359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63144403A Expired - Lifetime JP2673124B2 (ja) | 1988-06-11 | 1988-06-11 | Ｉｌｂテープのアウターリードのカットフォーミング装置及び該装置によるカットフォーミング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2673124B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5775450A (en) * | 1980-10-28 | 1982-05-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of electronic circuit device |
| JPS6160575A (ja) * | 1984-08-30 | 1986-03-28 | 株式会社東芝 | 群管理制御エレベ−タ装置 |
-
1988
- 1988-06-11 JP JP63144403A patent/JP2673124B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5775450A (en) * | 1980-10-28 | 1982-05-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of electronic circuit device |
| JPS6160575A (ja) * | 1984-08-30 | 1986-03-28 | 株式会社東芝 | 群管理制御エレベ−タ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2673124B2 (ja) | 1997-11-05 |
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