JPH01315021A - 固定磁気ディスク装置用コアスライダ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、固定磁気ディスク装置に用いられる浮上型の
コアスライ”ダ及びその製造方法に関するものである。

（背景技術） 従来から、固定磁気ディスク装置（ＲＤＤ）に用いられ
る、バルク形状のコアを用いた浮上型磁気ヘッド用スラ
イダの一つとして、第１図に示される如きモノリシック
型スライダ１が知られている。このスライダ１は、スラ
イダ本体２とＣ字形状のヨーク部３とから一体的に構成
されており、その記録媒体との摺動面には、その摺動方
向に延びる所定高さの互いに平行な左右の空気ベアリン
グ部（面）４ａ、４ｂを有し、またそれら空気ベアリン
グ部４ａ、４ｂの間に、トラック部を与える同じ高さの
センターレール５が設けられ、そしてこのセンターレー
ル５の端部に前記ヨーク部３が一体的に設けられて、そ
れらヨーク部３とスライダ本体２にて磁気ヘッドのため
の閉磁路が形成されている。

しかしながら、このモノリシック型スライダ１は、フェ
ライトのみで構成されるため、低価格であるという優位
性を有しているものの、センターレール５のテーパー加
工によりトラック部が形成されるものであるところから
、トラック幅精度及び狭トラツク化が得難く、更にスラ
イダがディスク上で浮上するためには、空気ベアリング
部４ａ。

４ｂがディスクより外にはみ出すことが出来ないところ
から、トラック部（５）がスライダ中央部にあることが
有効記録面積を減するという記録容量上の欠点を有して
いた。

また、スライダ本体とコアとを別体として、それらを組
み合わせてなる、所謂コンポジット型スライダも知られ
ている。このコンポジット型スライダは、トラック部が
直角に加工されたフェライトコアを非磁性のスライダ本
体に埋め込み、固定するものであるところから、トラッ
ク幅精度、狭トラツク化が、前記モノリシック型に比べ
て得易いという利点を有しており、また空気ベアリング
部の延長上にトラック部を配することが可能であり、記
録容量上において有利ではあるものの、スライダ本体や
コアを個々に加工し、それらを接合一体化するという工
程の採用が必須となるため、コスト高となる欠点を有し
ている。

一方、かかるコンポジット型スライダと同様な性能を持
たせ、また低コスト化を図るために、特開昭６２−１８
６１５号公報には、スライダ本体の空気ベアリング部の
端部にヨーク部を一体的に設けて、コアを構成するよう
にした構造のスライダが明らかにされている。そして、
そのようなスライダは、予めトラック規定溝にガラスを
埋め込んだ両ブロックを突き合わせて、接合一体化する
ことにより、ギャップ接合を行ない、その後、空気ベア
リング部及びヨーク部を形成するための溝加工を行なう
ことによって、製作されることとなる。

しかしながら、この構造では、モノリシック型スライダ
に比べて、トラック部が空気ベアリング部の延長上にあ
るために、空気ベアリング部形成のための溝加工により
両者が同時に形成されるという利点を有するものの、ト
ラック幅規定のための溝入れ、更にはその溝へのガラス
の埋込みの工程が新たに付加されることとなるところか
ら、スライダ製造に際してのトータルの製造工数が多く
なるという点において、優位性を発揮することが出来ず
、加えて、このスライダでは、ヨーク部の断面積が前記
したコンポジット型スライダ、更には第１図の如きモノ
リシック型スライダに比べて大きく、従ってインダクタ
ンスが大きくなって、高周波対応、換言すれば高密度記
録に不利であるという問題を内在している。

しかも、上記の如き従来のコアスライダにおいて、その
左右の二つの空気ベアリング部やセンターレールを形成
するための溝加工やそれらの面取り加工は、何れも、ダ
イヤモンド砥石等による機械加工により行なわれること
となるところから、チン１１個当たり合計８ケ所の砥石
加工を施す必要があり、そのため、全工程中の中で最も
加工時間を必要とする工程であったのであり、また面取
り加工においては、ダイヤモンド砥石の割出し誤差に加
えて、製品の高さや接着誤差等により、空気ベアリング
部及びトラック（センターレール）の幅に±３μｍの誤
差の発生が避けられ得す、更にダイヤモンド砥石の加工
面には、大きさ：１μｍ以上のチッピングの発生が避け
られ得ない等という問題も内在しているのである。

（解決課題） ここにおいて、本発明は、かかる事情を背景にして為さ
れたものであって、その解決すべき課題とするところは
、固定磁気ディスク装置用コアスライダにおいて、トレ
ーリング部の面取りを不要と為しつつ、そのトラック部
の保護を図り、且つディスクの損傷を防ぐに有効な構造
を与えると共に、そのコア部のインダクタンスを小さく
して、高周波対応、ひいては高密度記録に有利と為すこ
とにあり、また従来の製造手法に比べて、その製造工数
を格段に低減し、そのコストダウンを有利に図ることに
ある。

（解決手段） そして、本発明は、かかる課題解決のために、スライダ
本体に設けられた所定高さの互いに平行な左右の空気ベ
アリング部の少なくとも一方の端部に、形成されるトラ
ック部の幅よりも広いが、該空気ベアリング部の幅より
は狭いヨーク部を一体的に配して、該ヨーク部と前記ス
ライダ本体にて、磁気ヘッドのための閉磁路を構成する
と共に、前記空気ベアリング部から該ヨーク部上に同じ
高さで延びる狭幅のトラック部を設け、更に該トラック
部より延びて該ヨーク部上に位置する、該トラック部よ
りも幅の広い凸部を、該トラック部と同じ高さにおいて
設ける一方、少なくとも、かかる凸部及びトラック部の
周囲に、それら凸部及びトラック部よりも高さの低い微
小段差部を設けたことを特徴とする固定磁気ディスク装
置用コアスライダを、その要旨とするものである。

また、本発明にあっては、＜ａ＞スライダ本体を与える
第一のフェライトブロックとヨーク部を与える第二のフ
ェライトブロックとを突き合わせて一体的に接合せしめ
、それらフェライトブロックにて磁気ヘッドのための閉
磁路を構成してなるギャップバーを作製する工程と、（
ｂ）該ギャップバーの空気ベアリング部形成側の面に対
して、互いに平行な所定幅の二つの空気ベアリング部と
それら空気ベアリング部の少なくとも一方の延長上に位
置する狭幅のトラック部と更に該トラック部の延長上に
位置する、該トラック部の幅よりも広いが、前記空気ベ
アリング部の幅よりは狭い凸部とに対応する形状のマス
クパターンを、前記第一のフェライトブロック側より第
二のフェライトブロック側に延びるように、付与する工
程と、（Ｃ）前記ギャップバーの少なくとも前記マスク
パターンの付与された面をエツチングして、該マスクパ
ターンに対応した凹凸パターンを形成する工程と、（ｄ
）前記エツチングの施されたギャップバーより、前記互
いに平行な空気ベアリング部を左右に存するスライダ本
体と、該空気ベアリング部から前記トラック部を介して
同じ高さで延びる凸部を有する、該空気ベアリング部の
幅よりも狭いヨーク部とからなる形状のコアスライダを
、少なくとも、かかる凸部及びトラック部の周囲に、そ
れら凸部及びトラック部よりも高さの低い微小段差部を
残しつつ、切り出す工程とを、含むことを特徴とする固
定磁気ディスク装置用コアスライダの製造方法をも、そ
の要旨とするものでもある。

さらに、本発明は、磁気ディスク装置における磁気ディ
スクに対する第一の方向への移動のための磁気ヘッドコ
アスライダにおいて、（ｉ）所定の周囲にて境界される
領域に亘って、スライダ本体から所定高さで突出する空
気ベアリング面を有するスライダ本体と、（ｉｉ　）　
該所定周囲内の空気ベアリング面上に形成されると共に
、前記第一の方向に対して実質的に垂直な第二の方向に
延びる長手の磁気記録用ギャップと、（ｉｉｉ）前記所
定周囲内において、咳長手の磁気記録用ギャップを取り
囲み、空気ベアリング面の少なくとも一つの他の部分の
第二の方向における幅より狭い幅を有する空気ベアリン
グ面の第一の部分とを有することを、特徴とするもので
ある。

なお、本発明においては、前記空気ベアリング面の第一
の部分は、前記第一の方向において空気ベアリング面の
第二及び第三の部分にて境界され、且つそれら第二及び
第三の部分は、それぞれ、前記第二の方向において該第
一の部分より広い幅を有するように構成されることが好
ましい。

また、好適には、前記第二の部分は、ヨーク部を有し、
前記第三の部分は、前記空気ベアリング面の大部分から
なり、更に前記第三の部分が、前記第二の方向ばおいて
、前記第二の部分より広い幅を有するように構成される
のである。

そして、本発明にあっては、前記スライダ本体が、前記
所定周囲以外に、第二の空気ベアリング面を有し、前記
長手の磁気記録用ギャップが、前記空気ベアリング面の
第一の部分を完全に横切って延びていることが好ましい
。

さらに、本発明は、磁気ディスク装置における磁気ディ
スクに対する第一の方向への移動のための磁気ヘッドコ
アスライダにおいて、（Ｉ）所定の周囲にて境界される
領域に亘って、スライダ本体から所定高さで突出する空
気ベアリング面を有すると共に、該領域の有する第一の
部分が、該第一の部分を跨ぐ第二及び第三の部分より、
前記第一の方向に垂直な第二の方向において狭い幅とさ
れているスライダ本体と、（ＩＩ）前記空気ベアリング
面の第一の部分に形成されると共に、前記第二の方向に
延びる長手の磁気記録用ギャップと、を含む磁気ヘッド
コアスライダをも、その要旨とするものである。

かかる本発明において、好ましくは、前記長手の磁気記
録用ギャップは、前記空気ベアリング面の第一の部分を
完全に横切って延び、前記第二の部分は、前記第二の方
向において前記第三の部分より狭いヨーク部を有し、更
に前記第三の部分は、前記空気ベアリング面の大部分か
らなり、前記スライダ本体は、前記所定周囲にて境界さ
れる前記領域以外に、第二の空気ベアリング面を有する
のである。

また、本発明にあっては、前記第三の部分は、前記第二
の方向において、前記第二の部分より広い幅を有するよ
うに構成されていることが望ましい。

本発明は、更に、（イ）磁気ヘッドコアスライダを与え
る第一及び第二のフェライトブロックを突き合わせて、
磁気ギャップを有する閉磁路を構成する工程と、（ロ）
該磁気ギャップにより分断された該フェライトブロック
突合せ体の表面に、該表面上の他の領域よりも磁気ギャ
ップの領域において狭いパターンとされたエツチングマ
スクを付与する工程と、（ハ）かかるフェライトブロッ
ク突合せ体の表面をエツチングして、前記パターンに対
応した凹凸を形成する工程と、を含むことを特徴とする
磁気ディスク装置用磁気ヘッドコアスライダの製造方法
をも、その要旨とするものである。

なお、本発明において、好適には、前記パターンは、前
記磁気ギャップの領域を境界し、且つ該磁気ギャップの
領域より幅の広い第一及び第二の領域を有するようにさ
れ、前記エツチングマスクのパターンは、前記磁気ギャ
ップに平行な方向において、前記表面の他の領域より磁
気ギャップの領域において幅が狭くされるように構成さ
れることとなる。

ところで、磁気ディスク装置用のコアスライダ、そして
これに巻線を施した固定磁気ディスク装置用ヘッドとし
ては、次の機能が要求されている。

即ち、コアスライダとしては、ディスク上にスライダが
接触した状態からディスクが回転して浮上する時、或い
は浮上状態から接触状態へ移行する際に（ｃｏｎｔａｃ
ｔ　５ｔａｒｔ　ａｎｄ　５ｔｏｐ　：　ＣＳ　Ｓと略
称する）、かかるスライダがディスクを傷つけないよう
にすることである。これは、スライダの表面状態、つま
り空気ベアリング部（面）及びトラック部の表面性、そ
してそれらのエツジ部の形状に依存し、これらの状態が
悪い場合、ディスクを傷つけると同時に、スライダ自身
の破損にも繋がることとなる。

そこで、本発明では、ディスク摺動面側のスライダ面に
対して、充分な表面性及び平面度を確保すべく研磨した
後、レジストの如きマスクのパターニングを施して、−
括エッチングを行なうことにより、かかるパターニング
に対応して形成される突起部が−様な表面性及び平面度
にて確保され、空気ベアリング部、そしてその延長上に
トラック部が形成されるようにしたものであり、また本
発明では、かかるトラック部の延長上に該トラック部よ
り幅広の凸部を、空気ベアリング部及びトラック部に連
結された構成とすることにより、これらが同一平面上に
なるところから、幅の狭いトラック部を前記Ｃ３Ｓ時に
保護する効果をもたらすのである。

また、空気ベアリング部のトレーリング側のコーナ一部
やトラック部の延長上に位置する幅の大きな凸部のトレ
ーリング側のコーナ一部を直角とせず、所定の曲率を持
たせた構造とすることにより、上記Ｃ３Ｓ時にディスク
を傷付は或いはスライダ自らが破損する等という事故も
良好に防止可能となるのである。

さらに、少なくともトラック部及びそれから延長された
凸部の周囲には、それらトラック部や凸部よりも高さの
低い微小領域、換言すれば微小段差部が設けられている
ことにより、ヨーク加工時及びスライダ切り出し時のチ
ッピングが許容され、これら加工を容易に出来る。また
、磁気記録に重要なトラック部を取り扱い時等において
直接触れることがないため、有効に保護され、更に従来
のコアスライダで必要とされるトレーリング側の面取り
加工も不要と為し得たのである。

（実施例） 以下、図面に示される実施例を参照しつつ、本発明を更
に具体的に明らかにすることとする。

先ず、本発明に従う固定磁気ディスク装置用コアスライ
ダを得るために、第一及び第二のフェライトブロックが
準備される。第一のフェライトブロックはスライダ本体
を与え、また第二のフェライトブロックはヨーク部を与
えるものである。そして、それらフェライトブロックに
は、従来からの高透磁率のフェライト材が用いられ、ま
たそれらフェライトブロックは、所定厚さの長手板状の
ブロック形状とされ、それらの突合わせによって、磁気
ヘッドのための閉磁路、換言すれば環状の磁路が構成せ
しめられる。なお、高透磁率のフェライトブロックとし
ては、Ｍｎ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライト等
の単結晶体或いは多結晶体が用いられ、また単結晶体と
多結晶体の複合体も有利に用いられる。また、単結晶体
を用いるにあたっては、（１（１０）、（１１０）、（
３１１）。

（３３２）、（６１１）、（２１１）等の結晶面が空気
ベアリング面（ディスク摺動面）として有利に選択され
る。

そして、かかる選択された第一のフェライトブロック１
０及び第二のフェライトブロック１２の少なくとも一方
のブロックに対して、第２図に示されるように、巻線溝
１４が形成される。この巻線溝１４は、ギャップ対向面
のブロック長手方向に少なくとも１条入れられる。この
第２図に示される例では、ギャップバーを２個製造する
ため、２条の巻線溝１４が入れられており、そしてそれ
ら巻線溝１４．１４間の中央の溝１６は、ガラス流込み
時の空気逃げ溝として設けられている。次に、それら溝
１４．１６の形成されたフェライトブロック１０．１２
の少なくとも一方のギャップ対向面に、エツチング処理
等によって、ギャップ長に相当する所定の深さのギャッ
プ加工が施される。この場合のギャップ加工の施される
場所は、２条の巻線溝１４．１４に挟まれた領域となる
。

なお、かかる一対のフェライトブロック１０．１２の長
さは、後のデプス長規制のための研磨の際に、デプス長
読取りを容易にするために、異なる長さとされているこ
とが望ましい。

次いで、かかる巻線溝１４が施された一対のフェライト
ブロックｉｏ、１２は、第３図に示される如く、それら
のギャップ対向面が突き合わされて、公知の固相反応法
による焼結接合等によって接合一体化せしめられ、また
その一体化された接合体には、その後、その巻線溝１４
内に、公知の如く所定のガラスが挿入され、その溶融に
よってギャップ間隙内にガラスを流し込んで、かかるギ
ャップの保護が図られる。

また、このようにして得られた二つのフェライトブロッ
ク１０．１２の接合体は、第４図に示されるように、そ
の中央溝１６部分において切断されて二分割され、それ
ぞれ、巻線溝１４を有する２個のギャップパーｉｓ、ｉ
ｓとされる。

さらに、かくして得られたギャップパー１８には、第５
図に示されるように、所定のデプス長二！となるように
、ディスクが摺動する浮上面側に研磨が施されることと
なる。この際、次工程が空気ベアリング部、トラック部
及び凸部を形成するためのエツチング工程となるところ
から、レジスト等のマスクの密着性及び均一なサイドエ
ッチ量を得るためのフェライトの表面処理が適宜に施さ
れるのである。

次いで、かかるギャップパー１８には、空気ベアリング
部、トラック部、更にその延長上のトラック部より幅広
の凸部を形成するため、第６図に示される如く、そのデ
ィスク摺動面２０上に、所定パターンのマスク２２が形
成される。このマスク２２は、互いに平行な所定幅の二
つの空気ベアリング部とそれら空気ベアリング部の少な
くとも一方の延長上に位置する狭幅のトラック部と更に
該トラック部の延長上に位置する、該トラック部の幅よ
りも広いが前記ベアリング部の幅よりは狭い凸部とに対
応する形状のパターンにおいて、第一のフェライトブロ
ック１０側より第二のフェライトブロック１２側に延び
るように付与されるのである。

なお、この所定パターンのマスク２２の形成には、スク
リーン印刷等の公知の手法が必要精度と経済性の点から
適宜に選択され、中でも、好適にはパターン精度と工程
の簡便さからフォトレジストを用いた露光による方法が
採用され、例えば、レジストをディスク摺動面２０に塗
布した後、上記した空気ベアリング部、トラック部及び
凸部となるところを残して、他の部分のレジストは除去
し、フェライト面を露出させること等によって実施され
ることとなる。また、かかるマスクには、ポジ型或いは
ネガ型のフォトレジストや、真空蒸着、スパッタリング
若しくはＣＶＤ法等によって形成されたＣｒ等の金属や
ＳｉＯ若しくはＳｉＯ□等の各種のマスクを使用するこ
とが可能であり、操作性、経済性と併わせで、マスクの
フェライト表面への密着性等の点から適宜に選択される
こととなる。

そして、かかる所定パターンのマスク２２が付与された
ギャップパー１８には、その露出せしめられたフェライ
ト部分を介して、所定の深さのエツチング処理が施され
、これによって、第７図及び第８図に示される如く、マ
スクパターン（２２）に対応する凹凸パターンが形成さ
れ、ここに、所定幅の空気ベアリング部２４、狭幅のト
ラック部２６及び該トラック部２６よりは幅広で、空気
ベアリング部２４よりは幅の狭い凸部２日が、所定高さ
において形成されるのである。なお、かかるエツチング
処理は、通常の電解エツチング或いは化学エツチングに
て行なわれることとなるが、特に有利には、本願出願人
が特願昭６０−２２２３８８号において明らかにした、
リン酸主体水溶液を用いた化学エツチング処理にて実施
されることとなる。そして、このようなエツチング処理
によって、空気ベアリング部２４、トラック部２６、凸
部２８の周囲には、図示の如（傾斜面３０が形成される
こととなるのである。

次いで、このエツチング処理により、ディスク摺動面２
０に、空気ベアリング部２４、トラック部２６、凸部２
８の設けられたギャップパー１８には、スライダの長さ
を決めるべく、その幅方向の両端部を切断する加工が施
され、例えば第９図に示される如く、かかるギャップパ
ー１８が切断線３２．３４にて切断された後、第１０図
に示されるように、空気ベアリング部２４の長手方向の
リーディング部に、空気ベアリング面に対し所定の角度
及び所定の長さのテーパ一部（リーディングランプ）３
６が形成され、更にその後、第１１図に示される如く、
トラック部２６及び凸部２８の周りのフェライトブロッ
クが、それらの周りに微小領域を残して切除せしめられ
ることにより、ヨーク部３８が形成せしめられる。なお
、このヨーク部３８は、第１図に示されるヨーク部３と
同様なＣ字形状を為している。そして、このようなヨー
ク部３８の形成されたギャップパー１８より、第１２図
に示される如く、二つの空気ベアリング部２４．２４が
対となるように、切断線４０．４０によって、ブロック
幅方向に平行にギャップパー１８を所定の位置にて切断
することにより、第１３図に示される、本発明の目的と
する固定磁気ディスク用コアスライダ４２の少なくとも
１個が、切り出されることとなるのである。

要するに、第１３図に示されるように、互いに平行な空
気ベアリング部２４．２４を左右に有するスライダ本体
４４と、該空気ベアリング部２４からトラック部２６を
介して同じ高さで延びる凸部２８を有する、該空気ベア
リング部２４の幅よりも狭いヨーク部３８とからなる形
状のコアスライダ４２が、かかる凸部２８及びトラック
部２６の周囲に、更には空気ベアリング部２４の周囲に
も、それら凸部２８、トラック部２６、空気ベアリング
部２４よりも高さの低い微小領域の段差部４６を残しつ
つ、前記エツチング処理の施されたギャップパー１８よ
り切り出されるのである。

このように、かかるコアスライダ４２は、第１４図に拡
大して示されるように、スライダ本体４４の空気ベアリ
ング部２４からヨーク部３８上に同じ高さで延びる、狭
幅のトラック部２６を有すると共に、更に該トラック部
２６から延びてヨーク部３８上に位置する、該トラック
部２６よりも幅の広い、しかし空気ベアリング部２４よ
りは幅の狭い凸部２８を、同じ高さにおいて有している
のであり、しかもそれら凸部２８、トラック部２６、更
には空気ベアリング部２４の周りには、高さの低い段差
部４６が微小領域において形成されているのであり、こ
れによって、それら突起部、特に狭幅のトラック部２６
を前記したＣ８Ｓ時に効果的に保護し得ることとなった
のであり、またスライダ本体４４と共に、磁気ヘッドの
ための閉磁路を構成するヨーク部３８も、空気ベアリン
グ部２４の幅よりも狭くされていることにより、かかる
ヨーク部３８の断面積を小さく為し得て、そのインダク
タンスの増大を抑制せしめ、以て高周波対応を良好なら
しめ、高密度記録を有利と為し得たのである。

なお、かかるコアスライダ４２においては、空気ベアリ
ング部２４のトレーリング側のコーナー部４８や、トラ
ック部２６から延びる幅広の凸部２８のトレーリング側
のコーナ一部５０が直角とされておらず、所定の曲率半
径を持たせた湾曲構造とされており、これによって、前
述のＣ３Ｓ時におけるディスクの損傷やスライダ自らの
破損等という事故が、より一層効果的に防止され得るよ
うになっている。

また、トラック部２６と空気ベアリング部２４との連結
部５２や、トラック部２６と凸部２８との連結部５４に
おいて、トラック部２６の稜部と空気ベアリング部２４
の幅方向の稜部の為す角度を直角と為さず、漸次幅を広
げる構造とすることが望ましく、これによって、幅の狭
いトラック部２６の強度が増大すると共に、磁気ヘッド
の性能上、磁束の絞込み効果が得られるのである。なお
、これら連結部５２．５４とトラック部２６の延びる方
向との為す角度：αとしては、３０°〜６０゜程度が有
効である。尤も、かかる連結部５２，５４を湾曲部にて
構成し、かかるトラック部２６が曲線的に漸次幅を広げ
るような構造としても充分効果が得られるが、本発明に
あっては、好ましくは、直線的に広げることが推奨され
る。

さらに、トラック部２６や空気ベアリング部２４、トラ
ック部延長上の幅の大きな凸部２日は、エツチング処理
により一括形成される突起部であって、第１５図に示さ
れる如く、その側壁は傾斜面３０となるが、その側壁と
ディスク摺動面の為す角度：βは、４５°〜８０°、好
ましくは６０゜〜７５°　とすることが望ましい。この
角度：βが余りにも大きくなると、エツジの強度が弱く
なり、欠は易くなるという問題を惹起するのであり、ま
た余りにも小さくなると、特にトラック部２６において
問題を生じ、書込み幅が大きくなり、実効的なトラック
幅が大きくなって記録密度が小さくなるという問題を生
じるようになる。

以上、本発明に従う固定磁気ディスク装置用コアスライ
ダ及びその製造手法について、その−例に基づき、詳細
に説明してきたが、本発明が、かかる例示の具体例にの
み限定して解釈されるものでは決してなく、本発明の趣
旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて
種々なる変更修正、改良等を加えた形態において実施さ
れ得るものであることが、理解されるべきである。

例えば、上記の具体例においては、磁気ヘッド用コアの
磁気ギャップがトラック部２６に位置するように、第一
のフェライトブロック１０と第二のフェライトブロック
１２の突き合わせによって形成され、それらフェライト
ブロックの対向するフェライト面にてギャップ長が規定
されるようになっているが、また、そのようなフェライ
ト面の少なくとも何れか一方に所定厚さの金属磁性膜を
設けて、かかる磁気ギャップ部に磁性膜を存在せしめる
ことによって、高保磁力媒体に対して有効な特性を付与
した複合型磁気ヘッド用コアスライダに対して、本発明
を適用することも可能であり、その場合には、第２図に
示される第一のフェライトブロック１０や第二のフェラ
イトブロック１２の突合わせ面（ギャップ対向面）に対
して、公知の手法に従って、所定の金属磁性膜が所定厚
さで形成せしめられることとなる。また、そのような金
属磁性膜の形成に際しては、それが形成されるフェライ
ト面が公知の如く波形等の凹凸形状とされる擬似ギャッ
プ対策を講じることも可能である。

そして、そのような金属磁性膜を磁気ギャップ部に存在
せしめる場合にあっては、エツチング操作において、一
般に、そのような金属磁性膜とフェライトとが同じ速度
でエツチングされる条件が選定され、以て所定のトラッ
ク幅がエツチング処理によって形成せしめられることと
なる。

（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明に従う同定磁気
ディスク装置用コアスライダにあっては、トラック部が
空気ベアリング部の延長上に形成されていることによっ
て、記録容量上有利であることに加えて、更にトラック
部の延長上のトレーリング側に、かかるトラック部より
も幅広の凸部が同じ高さにおいて形成され、しかもそれ
らトラック部や凸部の周囲に微小領域において高さの低
い段差部が設けられることにより、ヨーク加工時及びス
ライダ切り出し時のチッピングが許容され、これら加工
を容易に出来る。また、磁気記録に重要なトラック部を
取り扱い時等において直接触れることがないため、有効
に保護され、更に従来のコアスライダで必要とされるト
レーリング側の面取り加工も不要と為し得たのである。

加えて、かかる本発明に従う同定磁気ディスク装置用コ
アスライダにおいては、そのヨーク部が空気ベアリング
部よりも幅が狭くされているところから、磁路の断面積
、ひいてはインダクタンスの増大が抑制され得て、高周
波対応に有利となり、高密度記録を有利に為し得るので
ある。

また、本発明に従うコアスライダの製造手法によれば、
空気ベアリング部、トラック部、凸部をエツチングとい
う手法により一括して且つ高精度な寸法にて加工し得る
ところから、かかるコアスライダの製造工数が格段に低
減せしめられ得、以てその製造コストの低減を有利に図
り得ることとなったのである。

さらに、本発明にあっては、トラック部の延長上の該ト
ラック部より幅広の凸部の形成、またこの凸部及び空気
ベアリング部のコーナ一部、更にＧ１トラック部と他の
突起部（空気ベアリング部〜凸部）との連結部を、曲率
を持たせた形状またはテーパー形状にして連結せしめる
ことにより、トラック部の保護やディスクの損傷を防ぐ
ことが可能となると共に、これらの形成がエツチングと
いう手法にて任意に行ない得ることとなったのである。

更にまた、本発明によれば、結晶面の選択とエツチング
手法の採用により、空気ベアリング部、トラック部及び
トラック部延長上の凸部の側壁のディスク摺動面に対し
て為す角（β）を任意に制御することが可能となり、こ
れによって、機械的強度とヘッド性能の双方が有利に得
られるのである。本発明では、それらトラック部等の突
起部をエツチング手法にて形成するものであるところか
ら、機械加工の如き幅精度、チッピングの制約がなく、
また結晶面の選択により、例えば結晶面として、ギャッ
プ対向面に（１（１０）面、空気ベアリング部面に（１
１０）面を選択することによって、６５゛〜８０°の角
度のトラック形成が可能となるのである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来の固定磁気ディスク装置用モノリシック
型コアスライダの一例を示す斜視図である。 第２図乃至第１２図は、本発明の一実施例に係る各工程
の説明図であって、第２図は、組み合わされる二つのフ
ェライトブロックを示す斜視図、第３図は、それら二つ
のフェライトブロックを接合一体化してなる接合体を示
す斜視図、第４図は、そのような接合体を二分割して得
られるギャップバーの斜視図、第５図は、研磨加工後の
ギャップバーを示す側面図、第６図は、所定のマスクパ
ターンの施されたギャップバーの要部平面図、第７図及
び第８図は、それぞれ、エツチング処理の施されたギャ
ップバーの要部平面図及び要部正面図、第９図は、エツ
チング処理されたギャップバーの幅方向の両端部の切断
位置を示す要部平面図、第１０図は、空気ベアリング部
の長手方向のリーディング部にテーパ一部を形成したギ
ャップバーの要部平面図、第１１図は、切除によりヨー
ク部を形成したギャップバーの要部平面図、第１２図は
、一つのコアスライダを切り出すための切断位置を示す
ギャップバーの要部平面図であり、第１３図は、上記の
ようにして得られた本発明に従うコアスライダの一例を
示す平面図であり、第１４図は、そのようなコアスライ
ダにおける要部拡大部分図であり、第１５図は、第１４
図におけるＡ−Ａ断面説明図である。 １０：第一のフェライトブロック １２：第二のフェライトブロック １４：巻線溝　　　　１６：中央溝 １８：ギャップバー　２０：ディスク摺動面２２：マス
ク　　　　２４：空気ベアリング部２６：トラツク部　
　２日：凸部 ３０：傾斜面　　　　３６：テーバ一部３８：コーク部
　　　４２：コアスライダ４４；スライダ本体　４６；
微小段差部４８．５０：コーナ一部 ５２．５４：連結部

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. （１）スライダ本体に設けられた所定高さの互いに平行
   な左右の空気ベアリング部の少なくとも一方の端部に、
   形成されるトラック部の幅よりも広いが、該空気ベアリ
   ング部の幅よりは狭いヨーク部を一体的に配して、該ヨ
   ーク部と前記スライダ本体にて、磁気ヘッドのための閉
   磁路を構成すると共に、前記空気ベアリング部から該ヨ
   ーク部上に同じ高さで延びる狭幅のトラック部を設け、
   更に該トラック部より延びて該ヨーク部上に位置する、
   該トラック部よりも幅の広い凸部を、該トラック部と同
   じ高さにおいて設ける一方、少なくとも、かかる凸部及
   びトラック部の周囲に、それら凸部及びトラック部より
   も高さの低い微小段差部を設けたことを特徴とする固定
   磁気ディスク装置用コアスライダ。
2. （２）スライダ本体を与える第一のフェライトブロック
   とヨーク部を与える第二のフェライトブロックとを突き
   合わせて一体的に接合せしめ、それらフェライトブロッ
   クにて磁気ヘッドのための閉磁路を構成してなるギャッ
   プバーを作製する工程と、 該ギャップバーの空気ベアリング部形成側の面に対して
   、互いに平行な所定幅の二つの空気ベアリング部とそれ
   ら空気ベアリング部の少なくとも一方の延長上に位置す
   る狭幅のトラック部と更に該トラック部の延長上に位置
   する、該トラック部の幅よりも広いが、前記空気ベアリ
   ング部の幅よりは狭い凸部とに対応する形状のマスクパ
   ターンを、前記第一のフェライトブロック側より第二の
   フェライトブロック側に延びるように、付与する工程と
   、 前記ギャップバーの少なくとも前記マスクパターンの付
   与された面をエッチングして、該マスクパターンに対応
   した凹凸パターンを形成する工程と、 前記エッチングの施されたギャップバーより、前記互い
   に平行な空気ベアリング部を左右に有するスライダ本体
   と、該空気ベアリング部から前記トラック部を介して同
   じ高さで延びる凸部を有する、該空気ベアリング部の幅
   よりも狭いヨーク部とからなる形状のコアスライダを、
   少なくとも、かかる凸部及びトラック部の周囲に、それ
   ら凸部及びトラック部よりも高さの低い微小段差部を残
   しつつ、切り出す工程とを、 含むことを特徴とする固定磁気ディスク装置用コアスラ
   イダの製造方法。
3. （３）磁気ディスク装置における磁気ディスクに対する
   第一の方向への移動のための磁気ヘッドコアスライダに
   して、 所定の周囲にて境界される領域に亘って、スライダ本体
   から所定高さで突出する空気ベアリング面を有するスラ
   イダ本体と、 該所定周囲内の空気ベアリング面上に形成されると共に
   、前記第一の方向に対して実質的に垂直な第二の方向に
   延びる長手の磁気記録用ギャップと、 前記所定周囲内において、該長手の磁気記録用ギャップ
   を取り囲み、空気ベアリング面の少なくとも一つの他の
   部分の第二の方向における幅より狭い幅を有する空気ベ
   アリング面の第一の部分と、 を有することを特徴とする磁気ヘッドコアスライダ。
4. （４）前記空気ベアリング面の第一の部分が、前記第一
   の方向において空気ベアリング面の第二及び第三の部分
   にて境界されており、且つそれら第二及び第三の部分が
   、それぞれ、前記第二の方向において該第一の部分より
   広い幅を有する請求項（３）記載の磁気ヘッドコアスラ
   イダ。
5. （５）前記第二の部分が、ヨーク部を有している請求項
   （４）記載の磁気ヘッドコアスライダ。
6. （６）前記第三の部分が、前記空気ベアリング面の大部
   分からなる請求項（４）記載の磁気ヘッドコアスライダ
   。
7. （７）前記第三の部分が、前記第二の方向において、前
   記第二の部分より広い幅を有する請求項（４）記載の磁
   気ヘッドコアスライダ。
8. （８）前記スライダ本体が、前記所定周囲以外に、第二
   の空気ベアリング面を有する請求項（３）記載の磁気ヘ
   ッドコアスライダ。
9. （９）前記長手の磁気記録用ギャップが、前記空気ベア
   リング面の第一の部分を完全に横切って延びている請求
   項（３）記載の磁気ヘッドコアスライダ。
10. （１０）磁気ディスク装置における磁気ディスクに対す
    る第一の方向への移動のための磁気ヘッドコアスライダ
    にして、 所定の周囲にて境界される領域に亘って、スライダ本体
    から所定高さで突出する空気ベアリング面を有すると共
    に、該領域の有する第一の部分が、該第一の部分を跨ぐ
    第二及び第三の部分より、前記第一の方向に垂直な第二
    の方向において狭い幅とされているスライダ本体と、前
    記空気ベアリング面の第一の部分に形成されると共に、
    前記第二の方向に延びる長手の磁気記録用ギャップと、 を含む磁気ヘッドコアスライダ。
11. （１１）前記長手の磁気記録用ギャップが、前記空気ベ
    アリング面の第一の部分を完全に横切って延びている請
    求項（１０）記載の磁気ヘッドコアスライダ。
12. （１２）前記第二の部分が、前記第二の方向において前
    記第三の部分より狭いヨーク部を有している請求項（１
    ０）記載の磁気ヘッドコアスライダ。
13. （１３）前記第三の部分が、前記空気ベアリング面の大
    部分からなる請求項（１２）の記載の磁気ヘッドコアス
    ライダ。
14. （１４）前記スライダ本体が、前記所定周囲にて境界さ
    れる前記領域以外に、第二の空気ベアリング面を有する
    請求項（１０）記載の磁気ヘッドコアスライダ。
15. （１５）前記第三の部分が、前記第二の方向において、
    前記第二の部分より広い幅を有する請求項（１０）記載
    の磁気ヘッドコアスライダ。
16. （１６）磁気ヘッドコアスライダを与える第一及び第二
    のフェライトブロックを突き合わせて、磁気ギャップを
    有する閉磁路を構成する工程と、該磁気ギャップにより
    分断された該フェライトブロック突合せ体の表面に、該
    表面上の他の領域よりも磁気ギャップの領域において狭
    いパターンとされたエッチングマスクを付与する工程と
    、 かかるフェライトブロック突合せ体の表面をエッチング
    して、前記パターンに対応した凹凸を形成する工程と、 を含むことを特徴とする磁気ディスク装置用磁気ヘッド
    コアスライダの製造方法。
17. （１７）前記パターンが、前記磁気ギャップの領域を境
    界し、且つ該磁気ギャップの領域より幅の広い第一及び
    第二の領域を有している請求項（１６）記載の製造方法
    。
18. （１８）前記エッチングマスクのパターンが、前記磁気
    ギャップに平行な方向において、前記表面の他の領域よ
    り磁気ギャップの領域において幅が狭くされている請求
    項（１６）記載の製造方法。