JPH0132655B2 - - Google Patents
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- JPH0132655B2 JPH0132655B2 JP402782A JP402782A JPH0132655B2 JP H0132655 B2 JPH0132655 B2 JP H0132655B2 JP 402782 A JP402782 A JP 402782A JP 402782 A JP402782 A JP 402782A JP H0132655 B2 JPH0132655 B2 JP H0132655B2
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- Japan
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- wire
- tool
- lead
- bonding
- lead frame
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/015—Manufacture or treatment of bond wires
- H10W72/01551—Changing the shapes of bond wires
-
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07521—Aligning
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07531—Techniques
- H10W72/07532—Compression bonding, e.g. thermocompression bonding
- H10W72/07533—Ultrasonic bonding, e.g. thermosonic bonding
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/531—Shapes of wire connectors
- H10W72/536—Shapes of wire connectors the connected ends being ball-shaped
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/531—Shapes of wire connectors
- H10W72/5363—Shapes of wire connectors the connected ends being wedge-shaped
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- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/756—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
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- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体のワイヤボンデイング方法に関
する。
する。
周知の如く、半導体部品の組立においては、ペ
レツトのパツトとリードフレームのリードポスト
との間をワイヤで接続する。このワイヤ接続はワ
イヤが挿通されたツールによつてワイヤをパツト
又はリードポストに押付け、熱圧着法又は超音波
法或いは超音波併用熱圧着法によつてボンデイン
グされる。
レツトのパツトとリードフレームのリードポスト
との間をワイヤで接続する。このワイヤ接続はワ
イヤが挿通されたツールによつてワイヤをパツト
又はリードポストに押付け、熱圧着法又は超音波
法或いは超音波併用熱圧着法によつてボンデイン
グされる。
前記ワイヤは金線又はアルミニウム線等よりな
り、またパツトには一般にアルミニウム金属膜が
形成されているので、パツトへのワイヤの接続は
上記方法で容易に行われる。しかしながら、リー
ドポスト(リードフレーム)はコバール、アロイ
等の金属材よりなるので、上記方法で金線等のワ
イヤを接続するのは容易でない。このためリード
フレームにはワイヤとの接続を良くするために金
メツキ又は銀メツキを施している。ところで、貴
金属である金、銀は非常に高価であるので、半導
体部品が非常にコスト高になるという問題があつ
た。
り、またパツトには一般にアルミニウム金属膜が
形成されているので、パツトへのワイヤの接続は
上記方法で容易に行われる。しかしながら、リー
ドポスト(リードフレーム)はコバール、アロイ
等の金属材よりなるので、上記方法で金線等のワ
イヤを接続するのは容易でない。このためリード
フレームにはワイヤとの接続を良くするために金
メツキ又は銀メツキを施している。ところで、貴
金属である金、銀は非常に高価であるので、半導
体部品が非常にコスト高になるという問題があつ
た。
そこで、本発明はリードフレームに特別に表面
処理を行わなくても良好なワイヤボンデイングが
行えるワイヤボンデイング方法を提供することを
目的とする。
処理を行わなくても良好なワイヤボンデイングが
行えるワイヤボンデイング方法を提供することを
目的とする。
以下、本発明を図示の一実施例により説明す
る。まず、ツール1の下端より延在したワイヤ2
の端部に水素又は電気トーチ(図示せず)によつ
てボールが形成される。次にツール1が下降して
ペレツト3のパツトにワイヤ2を押付け、熱圧着
又は超音波或いは超音波併用熱圧着等によつてワ
イヤ2がペレツト3のパツトにボンデイングされ
る。次にツール1が上昇及び水平移動してリード
フレーム4のリードポスト4aの上方に位置し、
続いてツール1が下降して前記と同様にリードポ
スト4aにワイヤ2を押付けてボンデイングす
る。次にツール1がわずかに上昇し、図示しない
クランパーによつてワイヤ2が引張られ、リード
ポスト4aの根元より切断される。
る。まず、ツール1の下端より延在したワイヤ2
の端部に水素又は電気トーチ(図示せず)によつ
てボールが形成される。次にツール1が下降して
ペレツト3のパツトにワイヤ2を押付け、熱圧着
又は超音波或いは超音波併用熱圧着等によつてワ
イヤ2がペレツト3のパツトにボンデイングされ
る。次にツール1が上昇及び水平移動してリード
フレーム4のリードポスト4aの上方に位置し、
続いてツール1が下降して前記と同様にリードポ
スト4aにワイヤ2を押付けてボンデイングす
る。次にツール1がわずかに上昇し、図示しない
クランパーによつてワイヤ2が引張られ、リード
ポスト4aの根元より切断される。
さて、本発明においては、ツール1が下降して
リードポスト4aにワイヤ2を押付けてボンデイ
ングする時に電源回路5を通電させ、ツール1と
リードフレーム4を載置するリードフレーム載置
台6との間に電流を流す。このようにワイヤ2と
リードポスト4aとのボンデイング部に電流を流
しながらボンデイングするので、リードフレーム
に金メツキ等を施さなくても従来の熱圧着又は超
音波或いは超音波併用熱圧着でワイヤ2はリード
ポスト4aに容易にボンデイングができる。
リードポスト4aにワイヤ2を押付けてボンデイ
ングする時に電源回路5を通電させ、ツール1と
リードフレーム4を載置するリードフレーム載置
台6との間に電流を流す。このようにワイヤ2と
リードポスト4aとのボンデイング部に電流を流
しながらボンデイングするので、リードフレーム
に金メツキ等を施さなくても従来の熱圧着又は超
音波或いは超音波併用熱圧着でワイヤ2はリード
ポスト4aに容易にボンデイングができる。
なお、ツール1の材質としては、耐熱性の導電
材、例えばタングステン等を用いる。また電源回
路5を通電させるタイミング信号は、例えば特開
昭56−8832号公報に示すようにツール(正確には
ツール先端のワイヤ)がリードポストに接触した
時に発する信号を用いる。
材、例えばタングステン等を用いる。また電源回
路5を通電させるタイミング信号は、例えば特開
昭56−8832号公報に示すようにツール(正確には
ツール先端のワイヤ)がリードポストに接触した
時に発する信号を用いる。
以上の説明から明らかな如く、本発明になるワ
イヤボンデイング方法によれば、リードフレーム
に金メツキ等の特殊な表面処理をしなくてもワイ
ヤボンデイングができるので、大幅なコストダウ
ンが図れる。
イヤボンデイング方法によれば、リードフレーム
に金メツキ等の特殊な表面処理をしなくてもワイ
ヤボンデイングができるので、大幅なコストダウ
ンが図れる。
図は本発明になるワイヤボンデイング方法の一
実施例を示す正面説明図である。 1……ツール、2……ワイヤ、3……ペレツ
ト、4……リードフレーム、4a……リードポス
ト、5……電源回路、6……リードフレーム載置
台。
実施例を示す正面説明図である。 1……ツール、2……ワイヤ、3……ペレツ
ト、4……リードフレーム、4a……リードポス
ト、5……電源回路、6……リードフレーム載置
台。
Claims (1)
- 1 ペレツトのパツトとリードフレームのリード
ポストとの間をツールに挿通されたワイヤで接続
するワイヤボンデイング方法において、前記リー
ドポストにワイヤをボンデイングする時に前記ツ
ールとリードフレーム載置台との間に電流を流し
てワイヤをリードポストに溶接することを特徴と
するワイヤボンデイング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57004027A JPS58122742A (ja) | 1982-01-16 | 1982-01-16 | ワイヤボンデイング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57004027A JPS58122742A (ja) | 1982-01-16 | 1982-01-16 | ワイヤボンデイング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58122742A JPS58122742A (ja) | 1983-07-21 |
| JPH0132655B2 true JPH0132655B2 (ja) | 1989-07-10 |
Family
ID=11573474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57004027A Granted JPS58122742A (ja) | 1982-01-16 | 1982-01-16 | ワイヤボンデイング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58122742A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112055889A (zh) | 2019-04-09 | 2020-12-08 | 株式会社海上 | 绝缘覆盖线的结合方法、连接构造、绝缘覆盖线的剥离方法以及接合装置 |
-
1982
- 1982-01-16 JP JP57004027A patent/JPS58122742A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58122742A (ja) | 1983-07-21 |
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