JPH0141028B2 - - Google Patents
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- JPH0141028B2 JPH0141028B2 JP57169392A JP16939282A JPH0141028B2 JP H0141028 B2 JPH0141028 B2 JP H0141028B2 JP 57169392 A JP57169392 A JP 57169392A JP 16939282 A JP16939282 A JP 16939282A JP H0141028 B2 JPH0141028 B2 JP H0141028B2
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- JP
- Japan
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- copper
- lead frame
- iron
- wire
- alloy
- Prior art date
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/521—Structures or relative sizes of bond wires
- H10W72/522—Multilayered bond wires, e.g. having a coating concentric around a core
-
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/531—Shapes of wire connectors
- H10W72/536—Shapes of wire connectors the connected ends being ball-shaped
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/531—Shapes of wire connectors
- H10W72/5363—Shapes of wire connectors the connected ends being wedge-shaped
-
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/551—Materials of bond wires
- H10W72/552—Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver
- H10W72/5525—Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver comprising copper [Cu]
-
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/551—Materials of bond wires
- H10W72/555—Materials of bond wires of outermost layers of multilayered bond wires, e.g. material of a coating
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/756—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体装置に関する。
半導体装置は、図に示すように、リードフレー
ム1に半導体ペレツト2が取付けられ、リードフ
レーム1のリードと半導体ペレツト2の電極とを
ワイヤ3で接続してなる。
ム1に半導体ペレツト2が取付けられ、リードフ
レーム1のリードと半導体ペレツト2の電極とを
ワイヤ3で接続してなる。
前記リードフレーム1は、一般には銅、コバー
ル材の表面に金又は銀メツキ処理を施し、ワイヤ
3との接続を良好にしている。しかしながら、リ
ードフレーム1に金又は銀メツキを施すことは、
金又は銀が高価であるので、半導体装置がコスト
高になる。
ル材の表面に金又は銀メツキ処理を施し、ワイヤ
3との接続を良好にしている。しかしながら、リ
ードフレーム1に金又は銀メツキを施すことは、
金又は銀が高価であるので、半導体装置がコスト
高になる。
そこで最近、特開昭56−93338号公報に示すよ
うに、銅又は銅合金よりなるリードフレームに直
接、即ち表面処理を行わない状態で半導体ペレツ
ト及びワイヤのボンデイングを行うことが行われ
ている。しかしながら、銅又は銅合金材だけでは
表面が硬く、また表面が黒ずんで酸化膜ができる
ので、ワイヤの接続が弱く、ボンデイングされた
ワイヤがはがれることが時々発生する。
うに、銅又は銅合金よりなるリードフレームに直
接、即ち表面処理を行わない状態で半導体ペレツ
ト及びワイヤのボンデイングを行うことが行われ
ている。しかしながら、銅又は銅合金材だけでは
表面が硬く、また表面が黒ずんで酸化膜ができる
ので、ワイヤの接続が弱く、ボンデイングされた
ワイヤがはがれることが時々発生する。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたも
ので、品質の優れた半導体装置を提供することを
目的とする。
ので、品質の優れた半導体装置を提供することを
目的とする。
本発明は銅又は銅系合金もしくは鉄又は鉄系合
金のリードフレームの表面に銅メツキ処理を施し
たことを特徴とする。
金のリードフレームの表面に銅メツキ処理を施し
たことを特徴とする。
銅又は銅系合金(例えば銅−錫合金、銅−錫−
燐合金)もしくは鉄又は鉄系合金(例えば鉄−ニ
ツケル合金、鉄−ニツケル−コバルト合金)の基
材そのものの表面は硬いが、この表面に銅メツキ
処理を施すことにより、リードフレームの表面は
軟質材になる。そこで、ワイヤはこの軟質材より
なる銅メツキ部分に接続されるので、接続の強度
が増加し、ワイヤのはがれがなくなる。またリー
ドフレームは銅メツキされているので、表面の酸
化が防止され、この点からもワイヤの接続が強固
になる。
燐合金)もしくは鉄又は鉄系合金(例えば鉄−ニ
ツケル合金、鉄−ニツケル−コバルト合金)の基
材そのものの表面は硬いが、この表面に銅メツキ
処理を施すことにより、リードフレームの表面は
軟質材になる。そこで、ワイヤはこの軟質材より
なる銅メツキ部分に接続されるので、接続の強度
が増加し、ワイヤのはがれがなくなる。またリー
ドフレームは銅メツキされているので、表面の酸
化が防止され、この点からもワイヤの接続が強固
になる。
なお、前記銅メツキ処理はリードフレームの全
面に行つてもよいが、少なくともワイヤが接続さ
れるリードのみに施せば十分である。またワイヤ
の接続は、従来と同様に窒素ガス等の不活性ガス
雰囲気中で行うことにより、更に良好なボンデイ
ングが行えることは勿論である。
面に行つてもよいが、少なくともワイヤが接続さ
れるリードのみに施せば十分である。またワイヤ
の接続は、従来と同様に窒素ガス等の不活性ガス
雰囲気中で行うことにより、更に良好なボンデイ
ングが行えることは勿論である。
以上の説明から明らかな如く、本発明によれ
ば、銅又は銅系合金もしくは鉄又は鉄系合金より
なるリードフレームの表面に銅メツキ処理が施し
てなるので、ワイヤ接続の強度が増大し、ワイヤ
はがれがなくなり、品質が向上する。
ば、銅又は銅系合金もしくは鉄又は鉄系合金より
なるリードフレームの表面に銅メツキ処理が施し
てなるので、ワイヤ接続の強度が増大し、ワイヤ
はがれがなくなり、品質が向上する。
図は半導体装置の概略断面図である。
1……リードフレーム、2……半導体ペレツ
ト、3……ワイヤ。
ト、3……ワイヤ。
Claims (1)
- 1 リードフレームに半導体ペレツトが取付けら
れ、リードフレームのリードと半導体ペレツトの
電極とをワイヤで接続してなる半導体装置におい
て、前記リードフレームは銅又は銅系合金もしく
は鉄又は鉄系合金よりなり、少なくともワイヤが
接続されるリードの表面に銅メツキ処理を施して
なることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57169392A JPS5958833A (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57169392A JPS5958833A (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | 半導体装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5958833A JPS5958833A (ja) | 1984-04-04 |
| JPH0141028B2 true JPH0141028B2 (ja) | 1989-09-01 |
Family
ID=15885744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57169392A Granted JPS5958833A (ja) | 1982-09-28 | 1982-09-28 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5958833A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60225450A (ja) * | 1984-04-24 | 1985-11-09 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体装置の製造法 |
| JPS60240149A (ja) * | 1984-05-15 | 1985-11-29 | Sharp Corp | 半導体装置 |
| JPH0612796B2 (ja) * | 1984-06-04 | 1994-02-16 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置 |
| JPS6180844A (ja) * | 1984-09-28 | 1986-04-24 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体リ−ドフレ−ム用条材 |
| JPH07116573B2 (ja) * | 1985-03-05 | 1995-12-13 | 古河電気工業株式会社 | リードフレーム用Cu系条材の製造方法 |
| JPS62213269A (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-19 | Hitachi Cable Ltd | 半導体用リ−ドフレ−ム |
| US4800178A (en) * | 1987-09-16 | 1989-01-24 | National Semiconductor Corporation | Method of electroplating a copper lead frame with copper |
| JP2528765B2 (ja) * | 1992-03-14 | 1996-08-28 | 九州日立マクセル株式会社 | 半導体装置のリ―ドフレ―ム |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55138246A (en) * | 1979-04-13 | 1980-10-28 | Toshiba Corp | Manufacture of semicondoctor device |
| JPS5678357U (ja) * | 1979-11-09 | 1981-06-25 | ||
| JPS6057219B2 (ja) * | 1980-12-26 | 1985-12-13 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
-
1982
- 1982-09-28 JP JP57169392A patent/JPS5958833A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5958833A (ja) | 1984-04-04 |
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