JPH0136586B2 - - Google Patents
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- JPH0136586B2 JPH0136586B2 JP56180295A JP18029581A JPH0136586B2 JP H0136586 B2 JPH0136586 B2 JP H0136586B2 JP 56180295 A JP56180295 A JP 56180295A JP 18029581 A JP18029581 A JP 18029581A JP H0136586 B2 JPH0136586 B2 JP H0136586B2
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
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- G01N29/34—Generating the ultrasonic, sonic or infrasonic waves, e.g. electronic circuits specially adapted therefor
- G01N29/341—Generating the ultrasonic, sonic or infrasonic waves, e.g. electronic circuits specially adapted therefor with time characteristics
- G01N29/343—Generating the ultrasonic, sonic or infrasonic waves, e.g. electronic circuits specially adapted therefor with time characteristics pulse waves, e.g. particular sequence of pulses, bursts
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、二次元走査形超音波顕微鏡による可
視像に、擬似的に着色することにより従来の白黒
表示では得られない試料がもつ情報をも表示し得
るようにした擬似カラー表示式超音波顕微鏡に関
するものである。
視像に、擬似的に着色することにより従来の白黒
表示では得られない試料がもつ情報をも表示し得
るようにした擬似カラー表示式超音波顕微鏡に関
するものである。
第１図は周知の二次元走査形超音波顕微鏡の構
成の一例を示したものである。
成の一例を示したものである。
１は超音波をパースト波にして出すための制御
パルス信号を発生させる制御パルス発生器、２は
その制御パルス信号により超音波のバースト波電
気信号を発生させる高周波パルス発生器、３はサ
ーキユレータ、４は圧電トランスデユーサ、５は
超音波を送受する音響レンズ、６は超音波伝達媒
体である液体、７は観察したい試料、８は試料
台、９は試料７の情報のみを取り出すようにゲー
トを働かせるためのゲートパルスを発生する遅延
パルス発生器、１０はゲート部、増幅部および検
波部を含む反射波信号受信器、１１は試料７と音
響レンズ５を相対的に移動させて二次元（Ｘ−
Ｙ）走査させるための二次元走査制御装置、１２
は試料面上に対応する位置の輝度信号として走査
同期をとり、記憶して画像表示装置１３、例えば
陰極線管による白黒モニタに画像再生しうるよう
に出力するスキヤンコンバータである。
パルス信号を発生させる制御パルス発生器、２は
その制御パルス信号により超音波のバースト波電
気信号を発生させる高周波パルス発生器、３はサ
ーキユレータ、４は圧電トランスデユーサ、５は
超音波を送受する音響レンズ、６は超音波伝達媒
体である液体、７は観察したい試料、８は試料
台、９は試料７の情報のみを取り出すようにゲー
トを働かせるためのゲートパルスを発生する遅延
パルス発生器、１０はゲート部、増幅部および検
波部を含む反射波信号受信器、１１は試料７と音
響レンズ５を相対的に移動させて二次元（Ｘ−
Ｙ）走査させるための二次元走査制御装置、１２
は試料面上に対応する位置の輝度信号として走査
同期をとり、記憶して画像表示装置１３、例えば
陰極線管による白黒モニタに画像再生しうるよう
に出力するスキヤンコンバータである。
次にその動作を簡単に説明する。制御パルス発
生器１から短時間幅のパルス信号を発生させて、
そのパルス幅に応じた時間だけ高周波パルス発生
器２からバースト波電気信号を発生させ、これを
サーキユレータ３を介して圧電トランスデユーサ
４に供給する。この圧電トランスデユーサでバー
スト波電気信号を超音波に変換して音響レンズ５
により、集束させ、液体６を介し試料７面上に微
小スポツトを形成させる。
生器１から短時間幅のパルス信号を発生させて、
そのパルス幅に応じた時間だけ高周波パルス発生
器２からバースト波電気信号を発生させ、これを
サーキユレータ３を介して圧電トランスデユーサ
４に供給する。この圧電トランスデユーサでバー
スト波電気信号を超音波に変換して音響レンズ５
により、集束させ、液体６を介し試料７面上に微
小スポツトを形成させる。
その試料７に到達した超音波は、その試料７の
音響特性に応じて反射し、その反射波は再び音響
レンズ５で集音されて圧電トランスデユーサ４で
電気信号に変換され、サーキユレータ３を介して
受信器１０に入力する。第２図のａにその入力信
号の時間的経過の様子を示した。すなわち、同波
形図において、Ｐはサーキユレータ３を介して漏
洩した高周波パルス発生器２からの直接受信器１
０に入力する漏洩バースト波電気信号であり、ま
た、Ｒは試料７から反射波が圧電トランスデユー
サ４によつて電気信号に変換され、サーキユレー
タ３を介して受信器１０に入力する一次のバース
ト波状反射波信号であつて、何れも包絡線によつ
て表示したものである。
音響特性に応じて反射し、その反射波は再び音響
レンズ５で集音されて圧電トランスデユーサ４で
電気信号に変換され、サーキユレータ３を介して
受信器１０に入力する。第２図のａにその入力信
号の時間的経過の様子を示した。すなわち、同波
形図において、Ｐはサーキユレータ３を介して漏
洩した高周波パルス発生器２からの直接受信器１
０に入力する漏洩バースト波電気信号であり、ま
た、Ｒは試料７から反射波が圧電トランスデユー
サ４によつて電気信号に変換され、サーキユレー
タ３を介して受信器１０に入力する一次のバース
ト波状反射波信号であつて、何れも包絡線によつ
て表示したものである。
前記試料７からの直接の一次の反射波信号Ｒの
みを抽出し、漏洩バースト波信号Ｐや、音響レン
ズ５内で回折する不要な反射波信号等を排除する
ため、制御パルス発生器１から高周波パルス発生
器２への制御パルス信号を分岐して遅延パルス発
生器９に加え、ここで制御パルス信号を基準にし
て第２図ｂに示したように前記一次の反射波信号
Ｒのタイミングに一致した遅延パルス信号を発生
させ、これをゲート信号にして受信器１０内のゲ
ート部を動作させ前記一次の反射波信号Ｒのみを
取り出し、これをその受信器１０内で増幅し、検
波することにより前記反射波信号Ｒに対応した検
波信号を得る。
みを抽出し、漏洩バースト波信号Ｐや、音響レン
ズ５内で回折する不要な反射波信号等を排除する
ため、制御パルス発生器１から高周波パルス発生
器２への制御パルス信号を分岐して遅延パルス発
生器９に加え、ここで制御パルス信号を基準にし
て第２図ｂに示したように前記一次の反射波信号
Ｒのタイミングに一致した遅延パルス信号を発生
させ、これをゲート信号にして受信器１０内のゲ
ート部を動作させ前記一次の反射波信号Ｒのみを
取り出し、これをその受信器１０内で増幅し、検
波することにより前記反射波信号Ｒに対応した検
波信号を得る。
この検波信号は、試料７と音響レンズ４の相対
的二次元走査に応じ、前記制御パルス信号周期
で、つぎつぎに得られるので、これをスキヤンコ
ンバータ１２に導き、試料７面上の走査位置に対
応する輝度信号となるように前記二次元走査制御
装置からの制御信号に関連してつぎつぎに記録
し、これを所定の走査方式により読み出し、陰極
線管形の白黒モニタ１３上に画像再生して観察す
るようにしている。
的二次元走査に応じ、前記制御パルス信号周期
で、つぎつぎに得られるので、これをスキヤンコ
ンバータ１２に導き、試料７面上の走査位置に対
応する輝度信号となるように前記二次元走査制御
装置からの制御信号に関連してつぎつぎに記録
し、これを所定の走査方式により読み出し、陰極
線管形の白黒モニタ１３上に画像再生して観察す
るようにしている。
上述のような従来の超音波顕微鏡は、試料７面
の音響反射の強弱に応じて白黒の光学画像として
可視できるが、その画像を観察しただけでは最適
焦点位置に試料７の面があるか否かの判断、ある
いは非合焦の場合、焦点位置からの遠近の判断等
を容易に行うことができず、したがつて焦点調整
がきわめて面倒で時間がかかる欠点がある。
の音響反射の強弱に応じて白黒の光学画像として
可視できるが、その画像を観察しただけでは最適
焦点位置に試料７の面があるか否かの判断、ある
いは非合焦の場合、焦点位置からの遠近の判断等
を容易に行うことができず、したがつて焦点調整
がきわめて面倒で時間がかかる欠点がある。
本発明の目的は、上述の如き欠点を解消するた
めに、合焦もしくは非合焦の状態等を超音波画像
の着色の状態からきわめて容易に判別し得る擬似
カラー表示式超音波顕微鏡を提供しようとするも
のである。
めに、合焦もしくは非合焦の状態等を超音波画像
の着色の状態からきわめて容易に判別し得る擬似
カラー表示式超音波顕微鏡を提供しようとするも
のである。
その目的と達成するため、試料と音響レンズと
を相対的に移動させ前記試料を二次元走査すると
ともにその試料に前記音響レンズから超音波を投
射し、その反射波を受信して検波することによ
り、試料の走査位置に対応した検波信号をつぎつ
ぎに得て、これを前記二次元走査に同期させて画
像表示する二次元走査形超音波顕微鏡において、
超音波発生用圧電トランスデユーサを駆動するた
めのパルス信号に同期し、かつ若干の時間差を有
する少なくとも２種類のサンプリングパルスを発
生するパルス発生手段と、前記検波信号を前記サ
ンプリングパルスによりサンプリングしてホール
ドするサンプルホールド手段と、このホールドし
た信号のそれぞれに対して任意の色を指定してこ
れらを色信号に変換する色信号発生手段と、この
色信号をカラー画像として表示する表示手段とを
備え、上記サンプリングパルスの一つを上記試料
に対して上記音響レンズが合焦状態にある時に限
られる前記検波信号の発生タイミングに一致して
発生させ、そのサンプリングパルスに対応して得
られる特定の色のカラー画像が合焦状態であるこ
とを表示することを特徴とするものである。
を相対的に移動させ前記試料を二次元走査すると
ともにその試料に前記音響レンズから超音波を投
射し、その反射波を受信して検波することによ
り、試料の走査位置に対応した検波信号をつぎつ
ぎに得て、これを前記二次元走査に同期させて画
像表示する二次元走査形超音波顕微鏡において、
超音波発生用圧電トランスデユーサを駆動するた
めのパルス信号に同期し、かつ若干の時間差を有
する少なくとも２種類のサンプリングパルスを発
生するパルス発生手段と、前記検波信号を前記サ
ンプリングパルスによりサンプリングしてホール
ドするサンプルホールド手段と、このホールドし
た信号のそれぞれに対して任意の色を指定してこ
れらを色信号に変換する色信号発生手段と、この
色信号をカラー画像として表示する表示手段とを
備え、上記サンプリングパルスの一つを上記試料
に対して上記音響レンズが合焦状態にある時に限
られる前記検波信号の発生タイミングに一致して
発生させ、そのサンプリングパルスに対応して得
られる特定の色のカラー画像が合焦状態であるこ
とを表示することを特徴とするものである。
以下図面を参照して本発明を説明する。
第３図は、本発明の実施例の構成の一例を示す
ブロツク線図であり、第１図に示した従来のもの
と同一部分は同一符号をもつて示したものであ
る。
ブロツク線図であり、第１図に示した従来のもの
と同一部分は同一符号をもつて示したものであ
る。
この第３図において、１４は第４図ａに示した
超音波反射信号R′に相当する受信信号を増幅・
検波するための受信器である。１５ａ，１５ｂお
よび１５ｃは、制御パルス発生器１から供給され
る制御パルス信号を基準にして、前記超音波反射
信号R′に相当する前記受信器１４からの検波信
号のタイミングを有し、かつ互に若干の時間差を
有する遅延パルス信号を発生させるための遅延パ
ルス発生器である。１６ａ，１６ｂ，１６ｃは前
記受信器１４からの検波信号を、前記各遅延パル
ス発生器１５ａ，１５ｂ，１５ｃにより発生させ
た各遅延パルス信号をそれぞれサンプリングパル
スにしてサンプリングし、ホールドするように構
成したサンプル・ホールド器であり、１７ａ，１
７ｂ，１７ｃは、それら各サンプル・ホールド器
１６ａ，１６ｂ，１６ｃの各出力をそれぞれ増幅
するための増幅器である。また１８は各増幅器１
７ａ，１７ｂ，１７ｃの出力に対し、任意に例え
ば赤、緑、青のように色指定して、これらの信号
を走査制御装置１１からの制御信号により試料７
面上の位置に対応した部分の色信号となるように
音響レンズ５と試料７の相対走査に同期して記録
し、このように記録した色指定の信号を色信号に
してカラーモニタ１９にカラー画像として表示し
得る信号を出力できるように構成したカラースキ
ヤンコンバータである。なお、第１図と同一符号
で示した部分は、第１図のそれと同一のものであ
るのでそれらについては説明を省略する。以上の
如き本発明の実施例の動作について、説明を簡潔
にするため第１図に示した従来構成のものと異な
る点についてのみ説明することとする。
超音波反射信号R′に相当する受信信号を増幅・
検波するための受信器である。１５ａ，１５ｂお
よび１５ｃは、制御パルス発生器１から供給され
る制御パルス信号を基準にして、前記超音波反射
信号R′に相当する前記受信器１４からの検波信
号のタイミングを有し、かつ互に若干の時間差を
有する遅延パルス信号を発生させるための遅延パ
ルス発生器である。１６ａ，１６ｂ，１６ｃは前
記受信器１４からの検波信号を、前記各遅延パル
ス発生器１５ａ，１５ｂ，１５ｃにより発生させ
た各遅延パルス信号をそれぞれサンプリングパル
スにしてサンプリングし、ホールドするように構
成したサンプル・ホールド器であり、１７ａ，１
７ｂ，１７ｃは、それら各サンプル・ホールド器
１６ａ，１６ｂ，１６ｃの各出力をそれぞれ増幅
するための増幅器である。また１８は各増幅器１
７ａ，１７ｂ，１７ｃの出力に対し、任意に例え
ば赤、緑、青のように色指定して、これらの信号
を走査制御装置１１からの制御信号により試料７
面上の位置に対応した部分の色信号となるように
音響レンズ５と試料７の相対走査に同期して記録
し、このように記録した色指定の信号を色信号に
してカラーモニタ１９にカラー画像として表示し
得る信号を出力できるように構成したカラースキ
ヤンコンバータである。なお、第１図と同一符号
で示した部分は、第１図のそれと同一のものであ
るのでそれらについては説明を省略する。以上の
如き本発明の実施例の動作について、説明を簡潔
にするため第１図に示した従来構成のものと異な
る点についてのみ説明することとする。
受信器１４に入力する信号は第２図ａに示した
ようにサーキユレータ３を漏洩した高周波パルス
発生器２からの直接入力する漏洩バースト波電気
信号Ｐと試料７からの超音波反射波が電気信号に
変換された反射波信号Ｒである。従つて、それら
両信号がその受信器で増幅・検波されて取り出さ
れる。これらの検波信号を第４図ａにP′および
R′で示す。同図ｂはそれら検波信号のうちの第
一次の反射波信号に相当する検波信号R′を示し
たものであり、この反射波検波信号R′のタイミ
ングに対し、例えば同図ｃにC1，C2，C3に示し
たように互に若干の時間差を有する３つのタイミ
ングの３系列の遅延パルス信号を制御パルス発生
器からの制御パルス信号を基準にして各遅延パル
ス発生器１５ａ，１５ｂ，１５ｃのそれぞれから
発生させる。
ようにサーキユレータ３を漏洩した高周波パルス
発生器２からの直接入力する漏洩バースト波電気
信号Ｐと試料７からの超音波反射波が電気信号に
変換された反射波信号Ｒである。従つて、それら
両信号がその受信器で増幅・検波されて取り出さ
れる。これらの検波信号を第４図ａにP′および
R′で示す。同図ｂはそれら検波信号のうちの第
一次の反射波信号に相当する検波信号R′を示し
たものであり、この反射波検波信号R′のタイミ
ングに対し、例えば同図ｃにC1，C2，C3に示し
たように互に若干の時間差を有する３つのタイミ
ングの３系列の遅延パルス信号を制御パルス発生
器からの制御パルス信号を基準にして各遅延パル
ス発生器１５ａ，１５ｂ，１５ｃのそれぞれから
発生させる。
これら各遅延パルス発生器１５ａ，１５ｂ，１
５ｃから発生させた互に若干の時間差を有する３
系列の遅延パルス信号C1，C2，C3をその３系列
に対応して、設けた３組のサンプル・ホールド器
１６ａ，１６ｂ，１６ｃのそれぞれに導き、それ
ら３系列の遅延パルス信号C1，C2，C3のそれぞ
れをサンプリングパルスにして、各サンプル・ホ
ールド器１６ａ，１６ｂ，１６ｃに入力する第４
図ｂに示した受信器１４からの反射波検波信号
R′のみをサンプリング・ホールドする。このサ
ンプル・ホールドされた各出力信号をそれぞれの
増幅器１７ａ，１７ｂ，１７ｃにより適当に増幅
してカラー・スキヤンコンバータ１８に導く。
５ｃから発生させた互に若干の時間差を有する３
系列の遅延パルス信号C1，C2，C3をその３系列
に対応して、設けた３組のサンプル・ホールド器
１６ａ，１６ｂ，１６ｃのそれぞれに導き、それ
ら３系列の遅延パルス信号C1，C2，C3のそれぞ
れをサンプリングパルスにして、各サンプル・ホ
ールド器１６ａ，１６ｂ，１６ｃに入力する第４
図ｂに示した受信器１４からの反射波検波信号
R′のみをサンプリング・ホールドする。このサ
ンプル・ホールドされた各出力信号をそれぞれの
増幅器１７ａ，１７ｂ，１７ｃにより適当に増幅
してカラー・スキヤンコンバータ１８に導く。
カラー・スキヤンコンバータ１８においては、
それら各系列別のサンプル・ホールド信号に対し
任意の色を指定し、走査制御装置１１からの制御
信号により音響レンズ５と試料９の相対走査を同
期して、試料７の対応する位置における輝度信号
となつて画像再生されるようにそれぞれ記録す
る。このように色指定された各信号を色信号とし
て読み出し、カラーモニタ１９たとえばカラー陰
極線管によつて構成したカラーモニタにより画像
再生すれば、前記第４図ｂに示した反射波検波信
号のタイミング、波形、その波形の各部の振幅値
に応じて再生画像を構成する個々の画像が着色さ
れるので、その再生画像の色から音響レンズ５の
試料７に対する合焦、非合焦の状態等を容易に観
察することができる。すなわち、本発明において
は、第４図ｃに示した遅延パルス信号のうち、
C2の信号のタイミングが、合焦時に得られるべ
き反射波検波信号のタイミングに一致するものと
し、C1，C2，C3のタイミングでサンプル・ホー
ルドされる信号をそれぞれ赤、緑、青と色指定し
てあるものとすれば、合焦時にはC2の遅延パル
ス信号によるサンプル・ホールド値が最高値とな
り、非合焦の場合にはその非合焦の方向に応じて
C1もしくはC3の遅延パルス信号によるサンプ
ル・ホールド値が大きくなり、カラーモニタ画像
上、緑色の濃い部分に相当する試料の部分が合焦
面であることを表わすこととなる。またその程度
に応じて各画像毎に各色の混合の割合が変わるの
で、その着色の程度および着色の色ならびに輝度
によつてどの方向に焦点がずれているか等の非合
焦状態を容易に観察することができる。さらに
は、試料７の音響的特性に応じて前記反射波検波
信号R′の波形も大きく変化するので、その波形
の形状に応じて３色混合の割合も変化し、その混
合色ならびに像の隣接部分の輝度差から試料７に
おける各部分の音響的性質をも観察可能となる。
それら各系列別のサンプル・ホールド信号に対し
任意の色を指定し、走査制御装置１１からの制御
信号により音響レンズ５と試料９の相対走査を同
期して、試料７の対応する位置における輝度信号
となつて画像再生されるようにそれぞれ記録す
る。このように色指定された各信号を色信号とし
て読み出し、カラーモニタ１９たとえばカラー陰
極線管によつて構成したカラーモニタにより画像
再生すれば、前記第４図ｂに示した反射波検波信
号のタイミング、波形、その波形の各部の振幅値
に応じて再生画像を構成する個々の画像が着色さ
れるので、その再生画像の色から音響レンズ５の
試料７に対する合焦、非合焦の状態等を容易に観
察することができる。すなわち、本発明において
は、第４図ｃに示した遅延パルス信号のうち、
C2の信号のタイミングが、合焦時に得られるべ
き反射波検波信号のタイミングに一致するものと
し、C1，C2，C3のタイミングでサンプル・ホー
ルドされる信号をそれぞれ赤、緑、青と色指定し
てあるものとすれば、合焦時にはC2の遅延パル
ス信号によるサンプル・ホールド値が最高値とな
り、非合焦の場合にはその非合焦の方向に応じて
C1もしくはC3の遅延パルス信号によるサンプ
ル・ホールド値が大きくなり、カラーモニタ画像
上、緑色の濃い部分に相当する試料の部分が合焦
面であることを表わすこととなる。またその程度
に応じて各画像毎に各色の混合の割合が変わるの
で、その着色の程度および着色の色ならびに輝度
によつてどの方向に焦点がずれているか等の非合
焦状態を容易に観察することができる。さらに
は、試料７の音響的特性に応じて前記反射波検波
信号R′の波形も大きく変化するので、その波形
の形状に応じて３色混合の割合も変化し、その混
合色ならびに像の隣接部分の輝度差から試料７に
おける各部分の音響的性質をも観察可能となる。
なお、各系列のサンプリングパルスの幅は、第
４図ｄにC1′，C2′，C3′で示したように、各パル
ス幅Δtを同図ｃの例よりも広幅にして、互に時
間的に微少時間だけ重複する関係をもつたタイミ
ングのものでもよく、要は、各系列のサンプリン
グパルスのタイミングに互に若干の時間差をもた
せればよい。
４図ｄにC1′，C2′，C3′で示したように、各パル
ス幅Δtを同図ｃの例よりも広幅にして、互に時
間的に微少時間だけ重複する関係をもつたタイミ
ングのものでもよく、要は、各系列のサンプリン
グパルスのタイミングに互に若干の時間差をもた
せればよい。
また、上述の実施例において、受信器１４から
取り出される反射波検波信号R′は、試料７から
の第１次反射波を検波して得たものとして説明し
たが、本発明は、それに限定されるものではな
く、第二次以降の任意の反射波もしくは音響レン
ズ５内における反射波の干渉波等を検波して得た
検波信号を各遅延パルス発生器１５ａ，１５ｂ，
１５ｃからの３系列の遅延パルスによつてサンプ
ル・ホールドするようにしてもよい。色指定も
赤、緑、青に限るものではなく、２種以上であれ
ばどの色を用いても差し支えない。その場合、そ
の色指定による色の数に対応して、遅延パルス発
生器、サンプル・ホールド器およびその出力を増
幅するための増幅器の数が定まる。
取り出される反射波検波信号R′は、試料７から
の第１次反射波を検波して得たものとして説明し
たが、本発明は、それに限定されるものではな
く、第二次以降の任意の反射波もしくは音響レン
ズ５内における反射波の干渉波等を検波して得た
検波信号を各遅延パルス発生器１５ａ，１５ｂ，
１５ｃからの３系列の遅延パルスによつてサンプ
ル・ホールドするようにしてもよい。色指定も
赤、緑、青に限るものではなく、２種以上であれ
ばどの色を用いても差し支えない。その場合、そ
の色指定による色の数に対応して、遅延パルス発
生器、サンプル・ホールド器およびその出力を増
幅するための増幅器の数が定まる。
以上の実施例で明らかなように、本発明は、試
料の一点についての情報をもつ超音波反射信号の
検波信号を、微少時間差のタイミングを有し、そ
の内の１つが音響レンズの最適焦点位置に試料表
面を置いた場合に最大強度の超音波反射信号が得
られるタイミングとなる２系列以上のサンプリン
グパルスにより音響レンズと試料間の相対的二次
元走査に関連してつぎつぎにサンプル・ホールド
し、これら各系列のホールド出力信号に対し色指
定して得た２系列以上の色信号によつてカラー画
像を表示するものであるから、音響レンズの焦点
の状態が色の違いによつて表示されるので、合焦
か否かは勿論のこと焦点外れの方向をも一目して
観察することができ、焦点調整を容易に行うこと
ができる。音響レンズの最適焦点位置に試料表面
を置いた場合に最大強度の超音波反射信号が得ら
れるタイミングとなる。
料の一点についての情報をもつ超音波反射信号の
検波信号を、微少時間差のタイミングを有し、そ
の内の１つが音響レンズの最適焦点位置に試料表
面を置いた場合に最大強度の超音波反射信号が得
られるタイミングとなる２系列以上のサンプリン
グパルスにより音響レンズと試料間の相対的二次
元走査に関連してつぎつぎにサンプル・ホールド
し、これら各系列のホールド出力信号に対し色指
定して得た２系列以上の色信号によつてカラー画
像を表示するものであるから、音響レンズの焦点
の状態が色の違いによつて表示されるので、合焦
か否かは勿論のこと焦点外れの方向をも一目して
観察することができ、焦点調整を容易に行うこと
ができる。音響レンズの最適焦点位置に試料表面
を置いた場合に最大強度の超音波反射信号が得ら
れるタイミングとなる。
また、試料表面直下に音響特性に変化がある場
合、従来の超音波顕微鏡では試料の表面とその表
面直下の情報を合わせた超音波反射波の強弱を読
み取つて白黒画像として表示しているに過ぎない
ので、試料の音響特性については観察不可能であ
つたが、本発明によれば表示されたカラー画像
上、色の変化と像の隣接部分間の輝度差によつて
音響特性の変化を観察し得る等、従来の超音波顕
微鏡では観察し得なかつた試料の各種の情報を同
時に表示することができる効果がある。
合、従来の超音波顕微鏡では試料の表面とその表
面直下の情報を合わせた超音波反射波の強弱を読
み取つて白黒画像として表示しているに過ぎない
ので、試料の音響特性については観察不可能であ
つたが、本発明によれば表示されたカラー画像
上、色の変化と像の隣接部分間の輝度差によつて
音響特性の変化を観察し得る等、従来の超音波顕
微鏡では観察し得なかつた試料の各種の情報を同
時に表示することができる効果がある。
第１図は従来の二次元走査形超音波顕微鏡の構
成の一例を示すブロツク線図、第２図は第１図の
ものの動作を説明するための波形図、第３図は本
発明の実施例の構成の一例を示すブロツク線図、
第４図はその動作を説明するための波形図であ
る。 １……制御パルス発生器、２……高周波パルス
発生器、３……サーキユレータ、４……圧電トラ
ンスデユーサ、５……音響レンズ、、６……液体、
７……試料、８……試料台、１１……二次元走査
制御装置、１４……受信器、１５ａ，１５ｂ，１
５ｃ……遅延パルス発生器、１６ａ，１６ｂ，１
６ｃ……サンプル・ホールド器、１７ａ，１７
ｂ，１７ｃ……増幅器、１８……カラースキヤン
コンバータ、１９……カラーモニタ。
成の一例を示すブロツク線図、第２図は第１図の
ものの動作を説明するための波形図、第３図は本
発明の実施例の構成の一例を示すブロツク線図、
第４図はその動作を説明するための波形図であ
る。 １……制御パルス発生器、２……高周波パルス
発生器、３……サーキユレータ、４……圧電トラ
ンスデユーサ、５……音響レンズ、、６……液体、
７……試料、８……試料台、１１……二次元走査
制御装置、１４……受信器、１５ａ，１５ｂ，１
５ｃ……遅延パルス発生器、１６ａ，１６ｂ，１
６ｃ……サンプル・ホールド器、１７ａ，１７
ｂ，１７ｃ……増幅器、１８……カラースキヤン
コンバータ、１９……カラーモニタ。
Claims (1)
- １ 試料と音響レンズとを相対的に移動させ前記
試料を二次元走査するとともにその試料に前記音
響レンズから超音波を投射し、その反射波を受信
して検波することにより、試料の走査位置に対応
した検波信号をつぎつぎに得て、これを前記二次
元走査に同期させて画像表示する二次元走査形超
音波顕微鏡において、超音波発生用圧電トランス
デユーサを駆動するためのパルス信号に同期し、
かつ若干の時間差を有する少なくとも２種類のサ
ンプリングパルスを発生するパルス発生手段と、
前記検波信号を前記サンプリングパルスによりサ
ンプリングしてホールドするサンプルホールド手
段と、このホールドした信号のそれぞれに対して
任意の色を指定してこれらを色信号に変換する色
信号発生手段と、この色信号をカラー画像として
表示する表示手段とを備え、上記サンプリングパ
ルスの一つを上記試料に対して上記音響レンズが
合焦状態にある時に得られる前記検波信号の発生
タイミングに一致して発生させ、そのサンプリン
グパルスに対応して得られる特定の色のカラー画
像が合焦状態であることを表示する擬似カラー表
示式超音波顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56180295A JPS5882156A (ja) | 1981-11-12 | 1981-11-12 | 擬似カラー表示式超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56180295A JPS5882156A (ja) | 1981-11-12 | 1981-11-12 | 擬似カラー表示式超音波顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5882156A JPS5882156A (ja) | 1983-05-17 |
| JPH0136586B2 true JPH0136586B2 (ja) | 1989-08-01 |
Family
ID=16080708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56180295A Granted JPS5882156A (ja) | 1981-11-12 | 1981-11-12 | 擬似カラー表示式超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5882156A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61259169A (ja) * | 1985-05-14 | 1986-11-17 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波顕微鏡のテレビジヨン画像モニタ用表示出力装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5519392B2 (ja) * | 1973-07-25 | 1980-05-26 |
-
1981
- 1981-11-12 JP JP56180295A patent/JPS5882156A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5882156A (ja) | 1983-05-17 |
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