JPH0138395B2 - - Google Patents
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- JPH0138395B2 JPH0138395B2 JP1141982A JP1141982A JPH0138395B2 JP H0138395 B2 JPH0138395 B2 JP H0138395B2 JP 1141982 A JP1141982 A JP 1141982A JP 1141982 A JP1141982 A JP 1141982A JP H0138395 B2 JPH0138395 B2 JP H0138395B2
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- basket
- plating
- printed circuit
- electroplating
- circuit boards
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- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 53
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 19
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 18
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 36
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 11
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はプリント基板製造工程において一次銅
メツキ処理を行うための方法と装置に関する。
メツキ処理を行うための方法と装置に関する。
一般にプリント基板製造工程は、フエノール板
等の基板素材全面に銅メツキを施す一次銅メツキ
工程と、上記一次銅メツキにマスキングを施して
電気銅メツキ(二次銅)と半田メツキによりパタ
ーンプレートを作成する工程と、パターンプレー
トにエツチングを施す工程とに大別される。そし
て上記一次銅メツキ工程は前処理、化学メツキ
(銅)、電気メツキ(銅)の各工程に分かれてお
り、従来は次の2種類の方法のいずれかにより一
次銅メツキが行われている。すなわち一方の方法
は第1図のかご1と第2図のラツク2を使用する
もので、まずかご1内に多数の垂直なプリント基
板P(素材)を水平方向に隙間mを隔てて重ねた
状態で収容し、この状態で化学メツキ槽(図示せ
ず)に浸ける。化学メツキが終了してかご1がメ
ツキ槽から引き上げられると、基板Pはかご1か
ら外されてラツク2に取付けられる。ラツク2は
垂直な額縁状で、数枚の基板Pをラツク2内の同
一垂直面内で保持するようになつており、基板P
はラツク2に保持された状態で電気メツキ槽(図
示せず)に浸けられる。ところがこの方法による
とかご1からラツク2へ基板Pを移し換える作業
に手間が掛かり、又その作業中に基板Pが汚され
やすいという不具合がある。更に設備が2分割さ
れ、例えばかご1の搬送及び回収設備とラツク2
の搬送及び回収設備を別々に設ける必要があるの
で、設備コスト及び占有スペースが増大するとい
う不具合がある。
等の基板素材全面に銅メツキを施す一次銅メツキ
工程と、上記一次銅メツキにマスキングを施して
電気銅メツキ(二次銅)と半田メツキによりパタ
ーンプレートを作成する工程と、パターンプレー
トにエツチングを施す工程とに大別される。そし
て上記一次銅メツキ工程は前処理、化学メツキ
(銅)、電気メツキ(銅)の各工程に分かれてお
り、従来は次の2種類の方法のいずれかにより一
次銅メツキが行われている。すなわち一方の方法
は第1図のかご1と第2図のラツク2を使用する
もので、まずかご1内に多数の垂直なプリント基
板P(素材)を水平方向に隙間mを隔てて重ねた
状態で収容し、この状態で化学メツキ槽(図示せ
ず)に浸ける。化学メツキが終了してかご1がメ
ツキ槽から引き上げられると、基板Pはかご1か
ら外されてラツク2に取付けられる。ラツク2は
垂直な額縁状で、数枚の基板Pをラツク2内の同
一垂直面内で保持するようになつており、基板P
はラツク2に保持された状態で電気メツキ槽(図
示せず)に浸けられる。ところがこの方法による
とかご1からラツク2へ基板Pを移し換える作業
に手間が掛かり、又その作業中に基板Pが汚され
やすいという不具合がある。更に設備が2分割さ
れ、例えばかご1の搬送及び回収設備とラツク2
の搬送及び回収設備を別々に設ける必要があるの
で、設備コスト及び占有スペースが増大するとい
う不具合がある。
このような従来方法に対して他方の従来方法
は、基板Pをラツク2で保持したまま化学メツキ
と電気メツキの両方を行うもので、このワンラツ
ク方法によると上記かご1を使用する場合の不具
合を解決できる。ところがワンラツク方法による
と基板Pを少数枚ずつしか処理することができな
いので生産性が悪いという欠点がある。又化学メ
ツキのロードフアクターが悪いという欠点があ
る。すなわち化学メツキの液量に対してある一定
値以上の処理面積(一定枚数以上の基板)がない
と化学反応が順当に進まないという特徴があるの
に対し、ワンラツク方法では化学メツキ液に同時
に浸けられる基板の数が小ないので液量に対する
処理面積が不足し、処理条件が悪化するという不
都合もある。
は、基板Pをラツク2で保持したまま化学メツキ
と電気メツキの両方を行うもので、このワンラツ
ク方法によると上記かご1を使用する場合の不具
合を解決できる。ところがワンラツク方法による
と基板Pを少数枚ずつしか処理することができな
いので生産性が悪いという欠点がある。又化学メ
ツキのロードフアクターが悪いという欠点があ
る。すなわち化学メツキの液量に対してある一定
値以上の処理面積(一定枚数以上の基板)がない
と化学反応が順当に進まないという特徴があるの
に対し、ワンラツク方法では化学メツキ液に同時
に浸けられる基板の数が小ないので液量に対する
処理面積が不足し、処理条件が悪化するという不
都合もある。
本発明は上記従来の不具合を解決するために、
複数のプリント基板を上下に間隔を隔ててそれぞ
れ傾斜姿勢でかごに収容し、かごに収容した状態
でプリント基板を化学メツキ槽及び電気メツキ槽
の両方に順々に浸けると共に、電気メツキ用の電
極を化学メツキ処理後にプリント基板間の上記隙
間に介装するようにしたもので、図面により説明
すると次の通りである。
複数のプリント基板を上下に間隔を隔ててそれぞ
れ傾斜姿勢でかごに収容し、かごに収容した状態
でプリント基板を化学メツキ槽及び電気メツキ槽
の両方に順々に浸けると共に、電気メツキ用の電
極を化学メツキ処理後にプリント基板間の上記隙
間に介装するようにしたもので、図面により説明
すると次の通りである。
斜視略図である第3図においては、本発明によ
る装置は一次銅メツキ用の化学メツキ槽5及び電
気メツキ槽6と、多数(例えば12枚以上:第3図
では5枚だけ図示)のプリント基板Pを収容する
かご7と、電気メツキ用アノード8(陽電極)と
を備えている。両メツキ槽5,6は処理槽群9の
途中に設けてあり、メツキ槽5,6の前後には前
処理用や後処理用等の槽10が設けてある。かご
7内の基板Pは互に平行で、隙間lを隔てて上下
に積み重ねられている。各基板Pは例えば45゜の
角度Dで傾斜しており、基板Pの長辺a,bが水
平になり、短辺c,dが傾斜していると共に、長
辺a,bがかご7の水平搬送方向F(処理槽群9
の長手方向)と直角になる姿勢でかご7内に収容
されている。
る装置は一次銅メツキ用の化学メツキ槽5及び電
気メツキ槽6と、多数(例えば12枚以上:第3図
では5枚だけ図示)のプリント基板Pを収容する
かご7と、電気メツキ用アノード8(陽電極)と
を備えている。両メツキ槽5,6は処理槽群9の
途中に設けてあり、メツキ槽5,6の前後には前
処理用や後処理用等の槽10が設けてある。かご
7内の基板Pは互に平行で、隙間lを隔てて上下
に積み重ねられている。各基板Pは例えば45゜の
角度Dで傾斜しており、基板Pの長辺a,bが水
平になり、短辺c,dが傾斜していると共に、長
辺a,bがかご7の水平搬送方向F(処理槽群9
の長手方向)と直角になる姿勢でかご7内に収容
されている。
拡大斜視図である第4図の如く、かご7は直方
体状の枠11を備え、枠11の垂直支柱12に基
板Pの長辺a,b(第3図)を支持する多数の棚
状水平部材13が取り付けられ、搬送方向Fと平
行な上枠両側部15の長手方向中間部には垂直部
材16の下端が連結されている。部材16は上端
にフツク17を備え、図示されていない搬送ロボ
ツトによりフツク17を係止してかご7を上下及
び矢印F方向に搬送できるようになつている。
体状の枠11を備え、枠11の垂直支柱12に基
板Pの長辺a,b(第3図)を支持する多数の棚
状水平部材13が取り付けられ、搬送方向Fと平
行な上枠両側部15の長手方向中間部には垂直部
材16の下端が連結されている。部材16は上端
にフツク17を備え、図示されていない搬送ロボ
ツトによりフツク17を係止してかご7を上下及
び矢印F方向に搬送できるようになつている。
第3図において20,21は電気メツキ槽6と
その前後の槽5,10の間の隔壁、23は槽6の
一方の側壁であり、隔壁20,21及び底壁(図
示せず)は側壁23と反対側(第3図の右上方)
へ突出して先端の垂直端壁25と共にアノード8
の収納部26を形成している。槽6と収納部26
間に隔壁は設けられておらず、両者は連通してい
る。27,28は隔壁20,21の突出部であ
る。アノード8は板状で複数枚設けてあり、それ
ぞれ基板Pと同方向に傾斜し、前記隙間lと同一
寸法の隙間l′を隔てて上下に積み重ねてある。ア
ノード8は端壁25側の縁に固定したホルダー3
0により上記姿勢に保持されており、ホルダー3
0の上端はローラ31等を利用して延長部27,
28の上縁に沿つて走行できるようになつてい
る。32はローラ31用のレールである。図示さ
れていないが、集電ブラシ機構又はフレキシブル
ケーブル等を介してホルダー30には陽極電源が
接続され、又モータとチエーンあるいはエヤーシ
リンダ等を備えた駆動機構によりホルダー30を
走行させるようになつている。アノード8の数及
び上下位置等は各アノード8を後述する如く基板
P,P間の隙間lに介装できるように設定されて
いる。
その前後の槽5,10の間の隔壁、23は槽6の
一方の側壁であり、隔壁20,21及び底壁(図
示せず)は側壁23と反対側(第3図の右上方)
へ突出して先端の垂直端壁25と共にアノード8
の収納部26を形成している。槽6と収納部26
間に隔壁は設けられておらず、両者は連通してい
る。27,28は隔壁20,21の突出部であ
る。アノード8は板状で複数枚設けてあり、それ
ぞれ基板Pと同方向に傾斜し、前記隙間lと同一
寸法の隙間l′を隔てて上下に積み重ねてある。ア
ノード8は端壁25側の縁に固定したホルダー3
0により上記姿勢に保持されており、ホルダー3
0の上端はローラ31等を利用して延長部27,
28の上縁に沿つて走行できるようになつてい
る。32はローラ31用のレールである。図示さ
れていないが、集電ブラシ機構又はフレキシブル
ケーブル等を介してホルダー30には陽極電源が
接続され、又モータとチエーンあるいはエヤーシ
リンダ等を備えた駆動機構によりホルダー30を
走行させるようになつている。アノード8の数及
び上下位置等は各アノード8を後述する如く基板
P,P間の隙間lに介装できるように設定されて
いる。
一次銅メツキ処理を行う場合、まず前記傾斜積
層状態で前処理済みプリント基板Pを収容したか
ご7を化学メツキ槽5に所定時間浸ける。化学メ
ツキが完了すると、かご7は引き上げられて矢印
F方向に搬送された後、電気メツキ槽6に浸けら
れる。次にアノード8が側壁23側へ前進して第
5図の如く基板P,P間に各隙間lにそれぞれ1
枚のアノード8が入り込む。各アノード8の面積
に充分に広く、各基板Pの略全面にわたつてアノ
ード8は対向する。アノード8に一定時間通電し
て電気メツキが完了すると、アノード8は第3図
の収納部26内へ後退し、かご7は引き上げられ
て次の工程へ送られる。
層状態で前処理済みプリント基板Pを収容したか
ご7を化学メツキ槽5に所定時間浸ける。化学メ
ツキが完了すると、かご7は引き上げられて矢印
F方向に搬送された後、電気メツキ槽6に浸けら
れる。次にアノード8が側壁23側へ前進して第
5図の如く基板P,P間に各隙間lにそれぞれ1
枚のアノード8が入り込む。各アノード8の面積
に充分に広く、各基板Pの略全面にわたつてアノ
ード8は対向する。アノード8に一定時間通電し
て電気メツキが完了すると、アノード8は第3図
の収納部26内へ後退し、かご7は引き上げられ
て次の工程へ送られる。
以上説明したように本発明によると、複数のプ
リント基板Pを積み重ねてかご7に収容し、かご
7を化学メツキ槽5及び電気メツキ槽6の両方に
順々に浸けるようにしたので、従来のように基板
Pをかご1(第1図)からラツク2(第2図)へ
移し換える作業を廃止でき、化学メツキ及び電気
メツキの両処理を連続的に行うことができる。従
つて人手を省くと共に、移換時に基板Pが汚され
ることを防止できる。又搬送設備を従来のように
かご用とラツク用とに分割する必要はなく、設備
を1本化して設備コスト及び占有スペースを減少
させることができる。基板Pは積み重ねられるの
でかご7内に多数収容することができ、従来のワ
ンラツク方式のように少数枚ずつ処理する場合に
比べ、1回毎の処理枚数を増大させて生産性を高
めることができる。
リント基板Pを積み重ねてかご7に収容し、かご
7を化学メツキ槽5及び電気メツキ槽6の両方に
順々に浸けるようにしたので、従来のように基板
Pをかご1(第1図)からラツク2(第2図)へ
移し換える作業を廃止でき、化学メツキ及び電気
メツキの両処理を連続的に行うことができる。従
つて人手を省くと共に、移換時に基板Pが汚され
ることを防止できる。又搬送設備を従来のように
かご用とラツク用とに分割する必要はなく、設備
を1本化して設備コスト及び占有スペースを減少
させることができる。基板Pは積み重ねられるの
でかご7内に多数収容することができ、従来のワ
ンラツク方式のように少数枚ずつ処理する場合に
比べ、1回毎の処理枚数を増大させて生産性を高
めることができる。
アノード8は基板P,P間の隙間lに介装され
るので、多数の基板Pを積み重ねた場合でも、そ
れぞれの基板Pに対してアノード8を隣接させて
配置することができ、基板P毎の通電状態を均一
化してメツキ仕上り状態を向上させることができ
る。基板Pを積み重ねて化学メツキ槽5に浸ける
ので、液量に対する処理面積を必要な値以上に保
ち、ロードフアクターの悪化を防止して好ましい
化学反応を行わせることができる。
るので、多数の基板Pを積み重ねた場合でも、そ
れぞれの基板Pに対してアノード8を隣接させて
配置することができ、基板P毎の通電状態を均一
化してメツキ仕上り状態を向上させることができ
る。基板Pを積み重ねて化学メツキ槽5に浸ける
ので、液量に対する処理面積を必要な値以上に保
ち、ロードフアクターの悪化を防止して好ましい
化学反応を行わせることができる。
本発明とは別に、基板Pを水平にして上下に積
み重ねることや、基板Pを垂直に重ねることも考
えられるが、それらの方法に比べて本発明は次の
ような利点を備えている。まず基板Pを水平にし
て上下に重ねると、槽5,6からかごを引き上げ
る際にメツキ液が水平な基板P上に残つて排出さ
れにくく、そのために上昇位置にある基板P上か
らメツキ液が流出して別の槽に混入したり、上面
にメツキ液を溜めたまま基板Pが次のメツキ槽に
浸けられるという不具合がある。これに対して本
発明のように基板Pを傾斜させると、引上時には
基板P上からメツキ液が速やかに流出するので、
上記不具合は発生しない。
み重ねることや、基板Pを垂直に重ねることも考
えられるが、それらの方法に比べて本発明は次の
ような利点を備えている。まず基板Pを水平にし
て上下に重ねると、槽5,6からかごを引き上げ
る際にメツキ液が水平な基板P上に残つて排出さ
れにくく、そのために上昇位置にある基板P上か
らメツキ液が流出して別の槽に混入したり、上面
にメツキ液を溜めたまま基板Pが次のメツキ槽に
浸けられるという不具合がある。これに対して本
発明のように基板Pを傾斜させると、引上時には
基板P上からメツキ液が速やかに流出するので、
上記不具合は発生しない。
基板Pを垂直にする方法と本発明を比較した場
合、メツキ槽の長さや高速メツキ用噴射ノズル等
に関連して下記の如く本発明の方が優れている。
すなわち側面略図である第6図の如く、例えば40
mmの隙間mを隔てて12枚の基板Pを垂直姿勢で並
べると、基板群全体の搬送方向長さL′は基板Pの
厚さを無視しても、40×12=480mmとなるのに対
し、本発明による例えば45゜の傾斜方法では第5
図の如く基板群全体の搬送方向長さLが(短辺d
の長さ:例えば500mm)×1/√2=500/√2mm
となり、極めて短くなる。従つて本発明の方が各
メツキ槽の長さ及びメツキ槽群9の全長を短くす
ることができ、工場におけるメツキ槽群9の設置
面積を小さくすることができる。
合、メツキ槽の長さや高速メツキ用噴射ノズル等
に関連して下記の如く本発明の方が優れている。
すなわち側面略図である第6図の如く、例えば40
mmの隙間mを隔てて12枚の基板Pを垂直姿勢で並
べると、基板群全体の搬送方向長さL′は基板Pの
厚さを無視しても、40×12=480mmとなるのに対
し、本発明による例えば45゜の傾斜方法では第5
図の如く基板群全体の搬送方向長さLが(短辺d
の長さ:例えば500mm)×1/√2=500/√2mm
となり、極めて短くなる。従つて本発明の方が各
メツキ槽の長さ及びメツキ槽群9の全長を短くす
ることができ、工場におけるメツキ槽群9の設置
面積を小さくすることができる。
前記高速メツキ用ノズル40は例えば第5図の
隔壁21の近傍に設置されて電気メツキ液を各隙
間lへ噴出するようになつており、他方の隔壁2
0の下端近傍にはメツキ液のドレン41が設けら
れる。高速メツキ用ノズル40を配置すると基板
Pの表面へ新しいメツキ液を常に供給することが
できるので、メツキ処理時間を短縮することがで
き、本発明ではそのようなノズル40を問題なく
設置することが可能になる。これに対して第6図
の垂直方式ではノズル40を隙間mの真上に設置
しなければならないが、そのようにするとノズル
40が邪魔になつてかごの昇降を行うことができ
ず、従つてノゾル40の設置は実際上不可能であ
る。垂直方式においては第6図の−矢視略図
である第7図の如くノズル40を側壁23の近傍
に設置してメツキ液を基板長辺bと平行に噴出さ
せることが考えられるが、長辺b(例えば1500mm)
は短辺c,d(一般に500mm以下)に比べて非常に
長いので、第7図の方式では短辺c側と短辺d側
とでメツキ液の流速等にむらが生じ、メツキを均
一に仕上げることができない。
隔壁21の近傍に設置されて電気メツキ液を各隙
間lへ噴出するようになつており、他方の隔壁2
0の下端近傍にはメツキ液のドレン41が設けら
れる。高速メツキ用ノズル40を配置すると基板
Pの表面へ新しいメツキ液を常に供給することが
できるので、メツキ処理時間を短縮することがで
き、本発明ではそのようなノズル40を問題なく
設置することが可能になる。これに対して第6図
の垂直方式ではノズル40を隙間mの真上に設置
しなければならないが、そのようにするとノズル
40が邪魔になつてかごの昇降を行うことができ
ず、従つてノゾル40の設置は実際上不可能であ
る。垂直方式においては第6図の−矢視略図
である第7図の如くノズル40を側壁23の近傍
に設置してメツキ液を基板長辺bと平行に噴出さ
せることが考えられるが、長辺b(例えば1500mm)
は短辺c,d(一般に500mm以下)に比べて非常に
長いので、第7図の方式では短辺c側と短辺d側
とでメツキ液の流速等にむらが生じ、メツキを均
一に仕上げることができない。
なお本発明を具体化する場合、第8図の如く電
気メツキ槽6の上方にアノード8を待機させ、槽
6の上方で基板P,P間にアノード8を介装して
槽6に浸け、電気メツキが完了して基板Pを槽6
の上方へ引き上げた後、アノード8を基板P,P
間から引き出すようにすることもできる。
気メツキ槽6の上方にアノード8を待機させ、槽
6の上方で基板P,P間にアノード8を介装して
槽6に浸け、電気メツキが完了して基板Pを槽6
の上方へ引き上げた後、アノード8を基板P,P
間から引き出すようにすることもできる。
第1図及び第2図は従来のかごとラツクの斜視
略図、第3図は本発明による装置の斜視図、第4
図はかごの拡大図、第5図はアノード介装状態に
おける装置の側面部分略図、第6図は本発明とは
別の装置の側面部分略図、第7図は第6図の−
矢視図、第8図は本発明による別の実施例の側
面図である。 5……化学メツキ槽、6……電気メツキ槽、7
……かご、8……アノード、(陽電極)、l……隙
間、P……プリント基板。
略図、第3図は本発明による装置の斜視図、第4
図はかごの拡大図、第5図はアノード介装状態に
おける装置の側面部分略図、第6図は本発明とは
別の装置の側面部分略図、第7図は第6図の−
矢視図、第8図は本発明による別の実施例の側
面図である。 5……化学メツキ槽、6……電気メツキ槽、7
……かご、8……アノード、(陽電極)、l……隙
間、P……プリント基板。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 複数のプリント基板を傾斜姿勢かつ隙間を隔
てて上下に積み重ねた状態でかごに収容し、上記
かごを化学メツキ槽に浸けてプリント基板に化学
メツキを施した後、かご内のプリント基板間の隙
間に電気メツキ用電極を介装し、次にプリント基
板をかごに収容したままの状態で電気メツキ槽内
において電気メツキ処理を行うようにしたことを
特徴とするプリント基板の一次銅メツキ方法。 2 複数のプリント基板を傾斜姿勢かつ隙間を隔
てて上下に積み重ねた状態で収容するかごと、該
かごが浸けられる一次銅メツキ用の化学メツキ槽
及び電気メツキ槽と、プリント基板間の上記隙間
に介装される電気メツキ電極とを備えたことを特
徴とするプリント基板の一次銅メツキ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1141982A JPS58128792A (ja) | 1982-01-26 | 1982-01-26 | プリント基板の一次銅メツキ方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1141982A JPS58128792A (ja) | 1982-01-26 | 1982-01-26 | プリント基板の一次銅メツキ方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58128792A JPS58128792A (ja) | 1983-08-01 |
| JPH0138395B2 true JPH0138395B2 (ja) | 1989-08-14 |
Family
ID=11777531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1141982A Granted JPS58128792A (ja) | 1982-01-26 | 1982-01-26 | プリント基板の一次銅メツキ方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58128792A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02117193A (ja) * | 1988-09-30 | 1990-05-01 | Molex Inc | パッド印刷されたリモートコントローラ |
| JPH02144987A (ja) * | 1988-11-26 | 1990-06-04 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | プリント配線板の製造方法 |
-
1982
- 1982-01-26 JP JP1141982A patent/JPS58128792A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58128792A (ja) | 1983-08-01 |
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