JPH0138510Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0138510Y2 JPH0138510Y2 JP17554783U JP17554783U JPH0138510Y2 JP H0138510 Y2 JPH0138510 Y2 JP H0138510Y2 JP 17554783 U JP17554783 U JP 17554783U JP 17554783 U JP17554783 U JP 17554783U JP H0138510 Y2 JPH0138510 Y2 JP H0138510Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- pressure
- measurement
- diaphragm
- pressure receiving
- Prior art date
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- Expired
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 28
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 9
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 2
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 206010034719 Personality change Diseases 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は圧力測定装置に関するものである。
更に詳述すれば、測定室と基準室とに受圧素子
により内部室が仕切られ、一液室形であつて、姿
勢誤差補償機構の設けられた圧力測定装置に関す
るものである。
により内部室が仕切られ、一液室形であつて、姿
勢誤差補償機構の設けられた圧力測定装置に関す
るものである。
第１図は、従来より一般に使用されている従来
例の構成説明図である。
例の構成説明図である。
図において、１は本体ボデー、２は本体ボデー
１に設けられた内部室である。３は内部室２に設
けられた受圧素子である。受圧素子３は、この場
合はリング状の支持部３１と測定ダイアフラム３
２とよりなる。３２１はダイアフラム３２に設け
られた変位検出手段で、この場合は、半導体歪ゲ
ージが用いられている。内部室２は受圧素子３に
より測定室２１と基準圧Psの導入される基準室２
２とに仕切られる。４は本体ボデー１の外表面を
覆つて設けられたシールダイアフラムである。５
はシールダイアフラム４を覆つて本体ボデー１に
設けられたカバーである。カバー５は本体ボデー
１と外部室６を構成する。而して、外部室６はシ
ールダイアフラム４により測定圧Pnの導入され
る受圧室６１と導圧室６２とに仕切られる。７は
測定室２１と導圧室６２とを結ぶ連通孔である。
８は測定室２１と連通孔７と導圧室６２とを満す
封入液で、この場合は、シリコンオイルが用いら
れている。
１に設けられた内部室である。３は内部室２に設
けられた受圧素子である。受圧素子３は、この場
合はリング状の支持部３１と測定ダイアフラム３
２とよりなる。３２１はダイアフラム３２に設け
られた変位検出手段で、この場合は、半導体歪ゲ
ージが用いられている。内部室２は受圧素子３に
より測定室２１と基準圧Psの導入される基準室２
２とに仕切られる。４は本体ボデー１の外表面を
覆つて設けられたシールダイアフラムである。５
はシールダイアフラム４を覆つて本体ボデー１に
設けられたカバーである。カバー５は本体ボデー
１と外部室６を構成する。而して、外部室６はシ
ールダイアフラム４により測定圧Pnの導入され
る受圧室６１と導圧室６２とに仕切られる。７は
測定室２１と導圧室６２とを結ぶ連通孔である。
８は測定室２１と連通孔７と導圧室６２とを満す
封入液で、この場合は、シリコンオイルが用いら
れている。
以上の構成において、測定圧Pnが受圧室６１
に導入されると、その圧力は、シールダイアフラ
ム４、封入液８を介して測定ダイアフラム３２に
加えられる。測定ダイアフラム３２は基準室２２
に導入された基準圧Psと測定室２１に伝達された
測定圧Pnとに対応して変位する。この変位は、
測定ダイアフラム３２に取付けられた変位検出手
段３２１により電気信号として検出することがで
きる。
に導入されると、その圧力は、シールダイアフラ
ム４、封入液８を介して測定ダイアフラム３２に
加えられる。測定ダイアフラム３２は基準室２２
に導入された基準圧Psと測定室２１に伝達された
測定圧Pnとに対応して変位する。この変位は、
測定ダイアフラム３２に取付けられた変位検出手
段３２１により電気信号として検出することがで
きる。
しかしながら、このようなものにおいては、下
記に示す如き、姿勢誤差を有する。
記に示す如き、姿勢誤差を有する。
今、第２図に示す如く、測定ダイアフラム３２
とシールダイアフラム４との距離をＬ、封入液８
の比重をｐ、重力方向をｙ，ｙ方向よりの傾斜角
をθ、測定ダイアフラム３２の有効面積をAeと
すれば、θ傾いたことによる姿勢変化によつて生
じる誤差成分ΔHは、ΔH＝HpgAesinθとなる。
とシールダイアフラム４との距離をＬ、封入液８
の比重をｐ、重力方向をｙ，ｙ方向よりの傾斜角
をθ、測定ダイアフラム３２の有効面積をAeと
すれば、θ傾いたことによる姿勢変化によつて生
じる誤差成分ΔHは、ΔH＝HpgAesinθとなる。
小さい圧力、たとえば、100mmH2O以下の圧力
を測定するときには傾斜角θが小さくても、上記
の値が大きく影響し、姿勢誤差の大なる圧力測定
装置となる。
を測定するときには傾斜角θが小さくても、上記
の値が大きく影響し、姿勢誤差の大なる圧力測定
装置となる。
本考案は、この問題点を解決するものである。
本考案の目的は、姿勢誤差の小さな、したがつ
て、振動にも強い圧力測定装置を提供するにあ
る。
て、振動にも強い圧力測定装置を提供するにあ
る。
この目的を達成するために、本体ボデーに設け
られた内部室と、該内部室を測定圧の導入される
測定室と基準圧の導入される基準室とに仕切る受
圧素子と、前記測定室を中心に対称に設けられ第
１シールダイアフラムにより第１受圧室と第１導
圧室とに仕切られた第１外部室と第２シールダイ
アフラムにより第２受圧室と第２導圧室とに仕切
られた第２外部室と、前記第１、第２導圧室と前
記測定室とを連通する連通孔と、該連通孔と前記
第１、第２導圧室と前記測定室とを満す封入液
と、前記測定ダイアフラムの変位を検出する変位
検出手段とを具備してなる圧力測定装置を構成し
たものでる。
られた内部室と、該内部室を測定圧の導入される
測定室と基準圧の導入される基準室とに仕切る受
圧素子と、前記測定室を中心に対称に設けられ第
１シールダイアフラムにより第１受圧室と第１導
圧室とに仕切られた第１外部室と第２シールダイ
アフラムにより第２受圧室と第２導圧室とに仕切
られた第２外部室と、前記第１、第２導圧室と前
記測定室とを連通する連通孔と、該連通孔と前記
第１、第２導圧室と前記測定室とを満す封入液
と、前記測定ダイアフラムの変位を検出する変位
検出手段とを具備してなる圧力測定装置を構成し
たものでる。
以下、実施例について説明する。
第３図は、本考案の一実施例の構成説明図であ
る。
る。
以下、第１図と相違部分のみ説明する。
４ａ，４ｂは測定室２１を中心に距離ｌをへだ
てゝ互い対称に本体ボデー１の外表面を覆つて設
けられた第１、第２シールダイアフラムである。
５ａ，５ｂは、それぞれシールダイアフラム４
ａ，４ｂを覆つて本体ボデー１に設けられたカバ
ーである。カバー５ａ，５ｂはそれぞれ本体ボデ
ー１と第１、第２外部室６ａ，６ｂを構成する。
而して、第１、第２外部室６ａ，６ｂは、それぞ
れ第１、第２シールダイアフラム４ａ，４ｂによ
り、測定圧Pnの導入される受圧室６１ａ，６１
ｂと、導圧室６２ａ，６２ｂとに仕切られる。７
ａは測定室２１と導圧室６２ａとを結ぶ連通孔で
ある。７ｂは測定室２１と導圧室６２ｂとを結ぶ
連通孔である。８ａは測定室２１と連通孔７ａ，
７ｂと導圧室６２ａ，６２ｂとを満す封入液であ
る。
てゝ互い対称に本体ボデー１の外表面を覆つて設
けられた第１、第２シールダイアフラムである。
５ａ，５ｂは、それぞれシールダイアフラム４
ａ，４ｂを覆つて本体ボデー１に設けられたカバ
ーである。カバー５ａ，５ｂはそれぞれ本体ボデ
ー１と第１、第２外部室６ａ，６ｂを構成する。
而して、第１、第２外部室６ａ，６ｂは、それぞ
れ第１、第２シールダイアフラム４ａ，４ｂによ
り、測定圧Pnの導入される受圧室６１ａ，６１
ｂと、導圧室６２ａ，６２ｂとに仕切られる。７
ａは測定室２１と導圧室６２ａとを結ぶ連通孔で
ある。７ｂは測定室２１と導圧室６２ｂとを結ぶ
連通孔である。８ａは測定室２１と連通孔７ａ，
７ｂと導圧室６２ａ，６２ｂとを満す封入液であ
る。
以上の構成において、その動作を説明する。
装置が、第４図に示す如く、ｙ方向よりθ度傾
いた場合には、導圧室６２ａ，６２ｂと連通孔７
ａ，７ｂはそれぞれ測定室２１を中心に対称の位
置にあるので、ヘツド誤差はキヤンセルされ姿勢
誤差は生じない。
いた場合には、導圧室６２ａ，６２ｂと連通孔７
ａ，７ｂはそれぞれ測定室２１を中心に対称の位
置にあるので、ヘツド誤差はキヤンセルされ姿勢
誤差は生じない。
なお、前述の実施例においては、半導体歪ゲー
ジ形の圧力測定装置について説明したが、これに
限ることはなく、たとえば、静電容量形圧力測定
装置、あるいは、差動コイル形圧力測定装置でも
よく、要するに、一液定形の圧力測定装置であれ
ばよい。
ジ形の圧力測定装置について説明したが、これに
限ることはなく、たとえば、静電容量形圧力測定
装置、あるいは、差動コイル形圧力測定装置でも
よく、要するに、一液定形の圧力測定装置であれ
ばよい。
以上説明したように、本考案は、受圧部分を圧
力検出機構を中心に対称に配置したので、封入液
のヘツド差によるヘツド誤差を生じないようにし
た。
力検出機構を中心に対称に配置したので、封入液
のヘツド差によるヘツド誤差を生じないようにし
た。
この結果、本考案によれば、姿勢誤差の小さ
な、したがつて、振動にも強い圧力測定装置を実
現することができる。
な、したがつて、振動にも強い圧力測定装置を実
現することができる。
第１図は従来より一般に使用されている従来例
の構成説明図、第２図は第１図の動作説明図、第
３図は本考案の一実施例の構成説明図、第４図は
第３図の動作説明図である。 １…本体ボデー、２…内部室、２１…測定室、
２２…基準室、３…受圧素子、３１…支持部、３
２…測定ダイアフラム、３２１…変位検出手段、
４ａ，４ｂ…シールダイアフラム、５ａ，５ｂ…
カバー、６ａ，６ｂ…外部室、６１ａ，６１ｂ…
受圧室、６２ａ，６２ｂ…導圧室、７ａ，７ｂ…
連通孔、８…封入液。
の構成説明図、第２図は第１図の動作説明図、第
３図は本考案の一実施例の構成説明図、第４図は
第３図の動作説明図である。 １…本体ボデー、２…内部室、２１…測定室、
２２…基準室、３…受圧素子、３１…支持部、３
２…測定ダイアフラム、３２１…変位検出手段、
４ａ，４ｂ…シールダイアフラム、５ａ，５ｂ…
カバー、６ａ，６ｂ…外部室、６１ａ，６１ｂ…
受圧室、６２ａ，６２ｂ…導圧室、７ａ，７ｂ…
連通孔、８…封入液。
Claims (1)
- 本体ボデーに設けられた内部室と、該内部室を
測定圧の導入される測定室と基準圧の導入される
基準室とに仕切る受圧素子と、前記測定室を中心
に対称に設けられ第１シールダイアフラムにより
第１受圧室と第１導圧室とに仕切られた第１外部
室と第２シールダイアフラムにより第２受圧室と
第２導圧室とに仕切られた第２外部室と、前記第
１、第２導圧室と前記測定室とを連通する連通孔
と、該連通孔と前記第１、第２導圧室と前記測定
室とを満す封入液と、前記測定ダイアフラムの変
位を検出する変位検出手段とを具備してなる圧力
測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17554783U JPS6082244U (ja) | 1983-11-14 | 1983-11-14 | 圧力測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17554783U JPS6082244U (ja) | 1983-11-14 | 1983-11-14 | 圧力測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6082244U JPS6082244U (ja) | 1985-06-07 |
| JPH0138510Y2 true JPH0138510Y2 (ja) | 1989-11-17 |
Family
ID=30381896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17554783U Granted JPS6082244U (ja) | 1983-11-14 | 1983-11-14 | 圧力測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6082244U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4508666B2 (ja) * | 2004-01-28 | 2010-07-21 | 京セラ株式会社 | 圧力検出装置用パッケージ |
-
1983
- 1983-11-14 JP JP17554783U patent/JPS6082244U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6082244U (ja) | 1985-06-07 |
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