JPH0143243B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

本発明は長さや角度を測定するためのエンコー
ダに係り、特に測定の高精度化、高分解能化を図
つたエンコーダに関する。 従来エンコーダとしてリニヤエンコーダ、ロー
タリーエンコーダが知られており、リニヤエンコ
ーダは長さ測定に、またロータリーエンコーダは
角度の測定に使用されるが、これら２つは本質的
には同じで、エンコーダの配列が直線上か円周上
かの相違があるだけである。またエンコーダの種
類として、光を利用した光電式、磁気または電磁
誘導を利用したものなどがある。 しかして、長さや角度の読み取り測定を行うと
き、目盛の製作にあたつてその細分化には製造上
の限度があり、従つて最小測定限度は目盛の細分
化の限界によつて定められる。この限度を超えて
さらに微小量の測定を行うには最小目盛間を内挿
する必要があり、そのために従来より種々の方法
が考えられている。 その１つとして、光学式エンコーダの場合コー
ド板の目盛に相当する光学格子あるいは磁気格子
の情報を読み出すためにセンサーを２個設け、そ
の各々によつて互いにコード板の1/4ピツチすな
わち位相角90゜の位相差をもつた情報を読み出し、
これら２つの信号を処理することによつてコード
板の格子パターンの最小目盛間の内挿を行う方法
がある。そしてその内挿の仕方として次の３つの
方法が知られている。すなわち第１は零点基準内
挿法と呼ばれるもので、コード板から読み出した
２つの位相の異なる正弦波状の信号の零電位を切
る点を基準として方形パルスに成形し、２つのパ
ルス系列の方形パルスの立上り、立下りのエツジ
を計数することによつて一周期の間を内挿するも
のである。また第２は振幅基準内挿法と呼ばれる
もので、やはり同様にエンコーダより得られる
90゜の位相差をもつ出力信号の振幅に一定の比の
差をもたせて合成することによつて１周期の間を
内挿するものである。さらに第３は位相基準内挿
法と呼ばれるもので、やはり90゜の位相差をもつ
た２つの信号を一定の周波数をもつた搬送波で変
調し、これらの合成波と搬送波との位相差を検出
して１周期の間を内挿するものである。 しかしながら上述した内挿法の場合に得られる
精度は高くて1/4ピツチまでである。また、これ
を改善するために90゜以外の位相差をもつた信号
を用いることも考えられているが、信号処理回路
が複雑化するのに対しそれほどの高精度は容易に
得られていない。 本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、ア
ブソリユート方式による有効な内挿法を採用した
高精度かつ高分解能なエンコーダを提供すること
を目的とする。 本発明の他の目的は、要求される高精度を構成
の大幅な変更なしで容易に実現できるエンコーダ
を提供することにある。 以下図面を参照しながら本発明を詳細に説明す
る。まず第１図乃至第９図を用い、光学式エンコ
ーダを例にあげて本発明の原理について述べる。
第１図ａにおいて１は光学格子（コード板）で、
光の透過率に差をもたせた部分が周期的に配列さ
れている。ここでこのコード板１の全長をＬ、1/
２ピツチの長さをＷとする。また第１図ｂにおい
て２はＮ＋１個の光電変換素子から成るリニアセ
ンサーで、その全長はＬ、各素子間のピツチＰは
Ｐ＝WN／（Ｎ＋１）である。さらにこれらＮ＋
１個の光電変換素子は各々独立して信号を出力す
るようにされている。すなわち本発明ではコード
板１とリニアセンサー２を設け、コード板である
光学格子１の全長Ｌの間に透明、不透明のスリツ
トを全部でＮ個設け、一方向一長のリニアセンサ
ー２中にＮ＋１個の光学変換素子を存在させ、コ
ード板に光を照射したときにコード板を透過する
光をこれらＮ＋１個の光電変換素子で受光するよ
うにしたものである。従つて本発明では上記リニ
アセンサー２はいわゆる副尺として用いられるこ
とになり、これが本発明の特徴とするところであ
る。なお、本明細書中においては、透過率“１”
の光学格子及び透過率“０”の光学格子のいずれ
をもスリツトと呼ぶ。 次に第２図によつてコード板１とリニアセンサ
ー２の相対的な移動を考える。第２図ａはコード
板を示し、また第２図ｂ〜ｇはリニアセンサーを
示す。そしてコード板１の１つのスリツトの縦方
向の一辺を基準にとり、この基準線Ａとリニアセ
ンサー２の一端が一致している状態（第２図ｂ）
より、順次リニアセンサー２が右の方向に移動す
ると考える。ここで移動量Ｓは格子１のスリツト
幅をＷとし、S₀＝Ｗ／（Ｎ＋１）を長さの１単位
として考える。そして第２図ｃ，ｄ，ｅに示すよ
うにＳ＝S₀、2S₀、3S₀と移動量が増加して第２図
ｆの状態ではＳ＝（Ｎ＋１）S₀＝Ｗすなわちコー
ド板１の1/2周期移動したことになり、さらに第
２図ｇの状態で丁度コード板１の１周期移動した
ことになる。 今コード板１を光の完全透過と不完全透過の規
則格子とし、Ｎ＝10とする。従つてリニアセンサ
ー２の素成数は11（＝Ｎ＋１）となる。このコー
ド板を通過した平行光線をリニアセンサー２で受
光し、その各素子には照射された光量に比例した
電気信号が得られる。この電気信号量の相対値と
移動量Ｓの値との関係を第１表に示す。

【表】

【表】 この表の数値はリニアセンサー２の１つの素子
の全面が完全に光で照射された場合の信号を10と
し、光の入射が無い場合の信号を０として相対値
である。 第３図ａ〜ｖは、リニアセンサー２の各素子よ
りの信号を時系列に読み出したときのその波高値
を示すものである。第４図ａ〜ｄは第３図ａ〜ｖ
のうちのａ，ｂ，ｌ，ｍに対応した図で、リニア
センサー２の各素子のうち奇数番目の素子から得
られる信号を第１の系列とし、また偶数番目の素
子から得られる信号を第２の系列として、移動に
伴なうこれら第１及び第２の系列の変化の様子を
示している。これらの図において第１の系列と第
２の系列の信号レベルが同一になる点が移動量Ｓ
の変化とともに変化していることがわかる。すな
わちたとえばＳ＝０のときは素子番号６の位置に
交点が存在し、またＳ＝S₀のときは素子番号７の
位置に交点が存在する。ここで第４図ａ〜ｄにお
ける交点は、第３図ａ〜ｖにおける位相反転点に
相当する。従つて交点（位相反転点）がたとえば
素子番号６の位置にあるときを基準として交点
（位相反転点）の移動量を測定することにより、
格子１とリニアセンサー２との相対移動量を高精
度に測定することができる。また交点を求める場
合、第５図に示すようにリニアセンサー２よりの
パルス信号の波高値を例えば50±５％のレベルで
デイスクリミネトし、その波高値のパルスの位置
を求めるようにしてもよい。 以上が本発明の測定原理であるが、実際のリニ
アセンサーの各受光エレメントは分割されている
ので光の不感帯が存在する。すなわち第６図ａ，
ｂに示すようにコード板１のスリツト幅をＷと
し、これと副尺関係にあるリニアセンサー２の各
素子の幅をＰとしたとき、幅Ｐのうちの幅ｌが光
の不感帯となる。このように不感帯がある場合に
ついて簡単に説明する。今ｌが長さの１単位S₀＝
Ｗ／（Ｎ＋１）の倍数すなわちｌ＝αS₀として考
える。ここでＮ＝10、α＝３とすると、Ｐ＝
WN／（Ｎ＋１）であるからｌ＝0.3Pとなり、副
尺的関係にあるリニアセンサー２の各素子幅の30
％が光に対して感度をもたないことになる。この
リニアセンサーでコード板を透過する光を受けた
場合の信号は第７図ａ〜ｆの如くとなる。第７図
ａ〜ｆはＳ＝０、S₀、2S₀、11S₀、12S₀、13S₀の
みについて例示したものであるがこれらの図から
わかるように、この場合にも位相の反転が検出さ
れ、前述の測定原理と同様、この位相反転点の移
動量を用いて高精度、高分解能の内挿を行うこと
ができる。 次にリニアセンサー２の各素子の幅ＰがWN／
（Ｎ−１）の場合及びWN／（Ｎ＋２）の場合に
ついて以下に述べる。先ずＰ＝WN／（Ｎ−１）、
（Ｎ＝10、α＝０）の場合のリニアセンサーの信
号は第８図ａ〜ｊのようになる。但し第８図ａ〜
ｊはＳ＝０、S₀、…、9S₀の場合を例示したもの
である。これらの図から明らかなようにこの場合
もやはり位相の反転が検出され、この位相反転点
がＳの量に従つて移動していることがわかる。例
えばＳ＝０のときの位相反転点は素子番号５の位
置にあり、またＳ＝S₀のときは４、Ｓ＝2S₀のと
きは３の如くである。ここでわかるようにＰ＝
WN／（Ｎ−１）の場合の位相反転点の移動量Ｓ
の方向と逆になつている。しかしこの事実は測定
原理を何ら否定するものではない。次にＰ＝
WN／（Ｎ＋２）、（Ｎ＝10、α＝２）の場合を考
える。この場合のリニアセンサー２の出力信号は
第９図ａ〜ｌに示すようになる。これらの図が示
す如く、この場合は位相反転が２個所に現れる。
すなわちＳ＝０のときの位相反転は素子番号3.5
と9.5の位置に現われる。（実際には3.5や9.5とい
う素子はないが、素子番号３と４の出力が同じで
あること、また素子番号９と10の出力が同じであ
ることを検出すればそれらの中間位置が位相反転
点であるとして決定できる。）従つてこの２個所
の平均位置あるいは片方の位置を検出すれば、こ
の位相と相対移動量Ｓとが１対１に対応すること
になり、コード板の目盛を内挿することができ
る。 以上の本発明の測定原理の説明は、コード板が
直線的に配列されている場合であるが、円形のコ
ード板とこれに副尺として円弧状又は直線状のリ
ニアセンサーを設けた場合でも全く同様であるこ
とは容易に理解できるところである。そして円形
コード板とこれに副尺として円弧状又は直線状の
リニアセンサーを配列することによつて回転角の
高精度な測定を行うことを可能とする。 次に上記測定原理を用いた本発明の光学式エン
コーダの一実施例を第１０図ａ，ｂ及び第１１図
ａ〜ｅを用いて説明する。第１０図ａにおいて１
はコード板で、移動量を測定しようとする部材例
えば工作機類の移動台、回転テーブルあるいは投
影機や工具顕微鏡類の微動載物台などの一部に固
定される。また２はリニアセンサーで、コード板
１に並行して設置される。ここでリニアセンサー
２は静止しておりコード板１が部材の移動ととも
に移動するので両者は相対移動を行う。そして光
源３の光を、レンズ４を介して平行光としてコー
ド板１を照射する。コード板１を透過した光はコ
ード板１上のパターンに対応した光強度のパター
ンをもつた光となり、レンズ５を経てコード板１
の背後にあるCCDリニアセンサー２の受光面上
に投射される。レンズ５の倍率を変えることによ
りコード板とリニアセンサー間の副尺関係を任意
に設定できる。ここで今第１０図ｂに示すように
コード板１の光学格子を幅10μｍの白黒等間隔の
スリツトを配列したものとし、またこのコード板
１に副尺的関係にあるリニアセンサー２をコード
板の長さ100μｍに対して光電変換素子11個を配
列したものとする。すなわちコード板１の５ピツ
チ（Ｎ＝10）内に11個（Ｎ＋１個）の素子が配列
されるものとする。 コード板１とリニアセンサー２とが第１０図ｂ
に示す位置関係にある場合のリニアセンサー２の
出力は、第１１図ａに示すようになる。この波形
はコード板１とリニアセンサー２との相対位相で
決まる。そして、コード板が１周期（Ｎ＝１から
Ｎ＝10まで）移動する間はその波形は第１１図ａ
に示す波形から移動量に応じて順次変化してい
き、コード板が１周期移動すると再び第１１図ａ
に示す波形のようになり、以後順次これを繰返
す。 次に、上記の如きリニアセンサー２の出力信号
を用いて相対移動量を測定する方法について説明
する。 第１０図ａに示す本発明の装置によれば、イン
クリメンタル方式によつて「粗読」が行われ、ア
ブソリユート方式によつて「微読」が達成され
る。すなわちある時点からコード板のスリツトが
何個移動したかによつて先ず粗読を行い、コード
板が静止した時点における微読を前述の内挿原理
によつて行おうとするものである。 先ず粗読の方法から説明する。これまでの説明
からも明らかなように、リニアセンサー２上の特
定の１つの素子の出力だけに注目すると、その素
子のリニアセンサ１走査毎の出力は、2Wの移動
量を１周期とした正弦波状の出力となる。このこ
とは第１表に示した11個の素子のいずれか１個に
注目して、相対移動量Ｓに伴なう素子出力の値を
みても明らかである。そこで本発明では第１０図
ａに示すように、リニアセンサー２の出力を増幅
器６を介してサンプルアンドホールド回路７に導
びき、このサンプルアンドホールド回路７によつ
てある特定の素子の出力をリニアセンサーの走査
毎に繰り返してサンプルホールドし、その出力を
サンプル間隔に応じた適当な時定数をもつ積分器
８によつて包絡線検波して上記正弦波状の信号を
得るようにしている。ここでサンプルアンドホー
ルド回路７によつてサンプルホールドすべき時点
の決定（すなわちその出力がサンプルホールドさ
れるところの素子の決定）は駆動回路９より送ら
れてくるサンプリング信号によつてなされる。す
なわち駆動回路９は例えばリニアセンサー２の内
容を読み出すためのクロツクパルスをカウンタで
数え、そのカウント数とレジスタ中に貯えられた
所定の値とを比較器で比較して、その一致信号を
サンプリング信号として得るようにされている。
従つてレジスタ中に例えば３なる値を記憶させて
おくことにより、リニアセンサーの３番目の素子
内容が読み出される毎にその値がサンプルホール
ドされることになる。 積分器８の出力は次にシユミツトトリガー回路
１０に加えられ、適当なスライスレベル（例えば
50％のレベル）で方形波に変換され、この方形波
の立上り、立下りエツジが計数器１１によつて計
数される。すなわちこの方形波の立上りから立下
りまであるいは立ち下りから立上りまでがコード
板１のスリツト幅Ｗに１対１に対応するため、上
記計数器１１の計数値から、スリツト幅Ｗを最小
単位とした移動量の測定が可能となる。計数器１
１はコード板１が移動している間計数を進め、コ
ード板１が停止すると計数器１１の計数も停止す
る。そして計数器１１によつて得られた計数値は
換算回路１２に加えられ、実際の移動量が求めら
れる。なお粗読の際の上記計数器１１の計数方向
の判定、つまり立上り、立下りエツジを加算計数
するか減算計数するかの判定は、注目した１つの
素子の出力と位相のずれを生ずるような任意の素
子の出力とを合せて調べ、両方の位相の進みある
いは遅れの状態より容易に行える。 以上が粗読の方法についてであるが、上述の説
明から明らかなように粗読における測定の最小単
位はスリツト幅Ｗである。従つてそれ以上の精度
で読み取るために先に述べた原理による内挿が行
われる。以下この微読の方法について説明する。 第１０図ａにおいて増幅器６の出力は信号分配
器１３に加えられる。この信号分配器１３はリニ
アセンサー２の偶数番目の素子の信号と寄数番目
の素子の信号とに分配するための回路で、簡単な
ゲート回路によつて構成されている。この分配器
１３によつて分配された２つのパルス系列の信号
は各々包絡線検波器１４，１５に供給されて包絡
線検波される。その結果第１１図ａに示すリニア
センサー２の出力信号は第１１図ｂ及び第１１図
ｃに示すようになる。これらの信号は次に比較器
１６によつて比較され、２つの信号が同一電位に
なる点で比較出力が発生される。そしてこの比較
出力は計数器１７に加えられ、計数器１７は、そ
の時点で、それまでカウントしていたクロツクパ
ルスの数（カウント数）を換算回路１２に出力す
る。第１１図ｄは包絡線検波器１４，１５の出力
を比較器１６で比較している状態を示し、第１１
図ｅは計数器１７のカウント状態を示す。第１１
図ｅは６個のクロツクパルスを数えたとき比較出
力が発生される例を示したものである。 このようにしてコード板のスリツト幅Ｗ内を
１／（Ｎ＋１）（Ｎ＝10）の分解能で読み取るこ
とにより微読が行われる。 こうして得られた微読結果は上述の粗読結果と
同様に換算回路１２によつて実際の移動量に換算
され、表示装置１８に表示される。 なお、包絡線検波器１４，１５の一構成例を第
１６図に示す。これらはサンプルアンドホールド
回路２３及び積分器２４とからなり、サンプルア
ンドホールド回路２３には奇数番目毎のクロツク
パルス（検波器１４の場合）又は偶数番目毎のク
ロツクパルス（検波器１５の場合）が供給され
る。 以上詳しく説明したように上記実施例は、光の
透過率に一定の比をもたせたスリツトを周期的に
配例した光学格子と、これに副尺的関係をもたせ
た光電変換素子を上記光学格子に並行して配列し
た光電変換装置とを備え、上記光学格子に光を照
射したときに上記光電変換装置から得られる電気
信号を用いて上記光学格子のスリツト幅内を内挿
読み取りするようにしたものである。この場合光
電変換素子（Ｎ＋１）個上には、Ｎ個のスリツト
の像が投影されているので、センサーのピツチの
１／Ｎという高精度な内挿が可能である。 第１２図は本発明の他の実施例を示す図であ
る。但し本実施例は微読のための回路のみが示さ
れている。この実施例の場合も光源３から発され
た光はレンズ４を介して平行光とされ、この平行
光でコード板１が照射される。そしてコード板１
の像はレンズ５でリニアセンサー２上に結像され
る。結像することによりコード板１のパターンと
リニアセンサー素子構造との副尺関係を発生させ
る。コード板１のパターンとリニアセンサー２の
構造は第１０図ｂに示すものと同じであるとす
る。本実施例において増幅器６の出力は第１３図
ａに示すようなパルス列となる。この信号は包絡
線検波器１９に供給されて第１３図ｂに示すよう
な信号とされる。そしてこの信号は位相反転弁別
器２０に加えられ、第１３図ｂの信号のうちの位
相反転点Ｐを検出する。計数器１７は予め定めら
れた始点からクロツクパルスを計数しており、位
相反転弁別器２０によつて位相反転点Ｐが検出さ
れたとき計数動作を停止する。この様子を第１３
図ｃに示す。しかして計数器１７の計数結果は換
算回路１２に供給されて実際の移動量が求められ
る。換算回路１２の出力は表示装置１８によつて
表示される。なお包絡線検波器１９としては第１
６図に示すものを用いることができる。 第１４図は本発明のさらに他の実施例を示す図
である。但し本実施例も微読のための回路のみを
示している。この実施例の場合は増幅器６の出力
（第１５図ａ）はパルス成形器２１に加えられて
第１５図ｂに示すような信号に成形される。そし
てこの信号は次にパルス波高分析器２２に加えら
れて、50％±△の波高値を持つ信号が到来する時
点が検出され、その時点までのクロツクパルス数
が計数器１７で計数される。 また、第１５図ｂに示す信号の波高値を50％の
レベルで弁別し、50％以上のものを“１”レベ
ル、以下のものを“０”レベルとした２値のパル
スコードに変換して第１５図ｂの信号を第１５図
ｃに示すような“１”、“０”のパルス系列となる
ように第１４図中のパルス波高分析器を構成すれ
ば、この信号から位相の反転点を容易に検出する
ことができる。 第１７図に上記各実施例で用いられる換算回路
１２の一構成例を示す。計数器１１による計数値
をＡ、計数器１７による計数値をＢとすれば、Ａ
は粗読による計数結果、Ｂは微読による計数結果
である。Ａ及びＢはそれぞれレジスタ１２１，１
２２にセツトされる。次にレジスタ１２２の値Ｂ
をアドレス信号としてROM１２３より対応する
内挿値を読み出し、レジスタ１２４にセツトす
る。ROM１２３は第２表に示すような対応表を
収容している。

【表】 第２表においては説明の便宜上アドレスＢ及び
そのアドレスの内容ともに10進数で表現した。但
し、計数値Ｂはリニアセンサ２の左端から第何番
目に位相変化点があるかを示している。この対応
表は計数値Ｂ（すなわち、位相変化点の位置）と
内挿値Ｃとの関係を示している。例えば、計数値
Ｂが７であれば、これは第３図ｂに示すように位
相変化点が第７ビツトにある場合であり、このと
きリニアセンサー２とコード板１とはS₀だけずれ
ている。よつて内挿値はコード板１のスリツト幅
Ｗに対して1/11である。 次にレジスタ１２４の内容Ｃとレジスタ１２１
の内容Ａとは加算器１２５によつて加算される。
この加算結果は乗算器１２６に供給される。乗算
器１２６は加算器１２５の出力にレジスタ１２７
の内容を乗じることにより、位置又は角度データ
に変換する。レジスタ１２７はコード板１のスリ
ツト幅Ｗに相当する長さデータ又は角度データが
予じめ収容されており、例えば、第１０図ｂに示
すような場合Ｗは10μｍである。加算器１２５の
出力にこの値を掛ければ実際の位置が求められ
る。この乗算結果は表示装置１８に送られて表示
される。 以上詳細に説明したように、この発明は“１”、
“０”情報が周期的に配列されてなる格子パター
ンを有するコード板に対してこのコード板の格子
パターンを読み取るセンサーに副尺関係を持たせ
たことに特徴を有するものである。これによつて
従来のものでは得られなかつた高精度な内挿が可
能である。また格子パターンのスリツト数とセン
サーの素子数との対応関係を変化きせるだけで任
意の精度を容易に実現することができる。 本発明は上記実施例に何ら限定されるものでは
なく、以下に示すように種々変形して実施するこ
とができる。 (1) コード板及びセンサーとしては実施例のよう
に光学的なものではなく、磁気又は電磁誘導を
利用してもよい。特に磁気を利用するエンコー
ダは特殊な用途に用いられ光学式のものに較べ
て精度が低いという欠点があつたが本発明を適
用することにより充分な精度向上が計れる。 (2) 上記実施例では直線上もしくは円弧状のコー
ド板及びセンサーを相対的に移動させた場合の
位置又は角度を測定するものとしたが、コード
板及びセンサーを固定しておき、コード板の像
が変位可能物体例えば反射鏡で反射した後セン
サーに投影されるように構成すれば、その物体
の変位量を高精度で読み取るこことができる。 (3) 光学式エンコーダとしては、コード板の透過
像を用いることなく、コード板による反射像を
センサーに投影するように構成することができ
る。 (4) 本発明は微読による内挿読に特徴を有するも
のであるから、従来から知られているコード板
の１ピツチまでの測定方法であるインクリメン
タル方式もしくはアブソリユート方式等からな
る粗読方法を併用して用いてもよい。 その他、リニアセンサーからの出力信号を処理
する信号処理系についても上記実施例以外の種々
の回路構成を用いることができることは言うまで
もない。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第９図ａ〜ｌは本発明の原理を説明
するための図、第１０図ａは本発明の一実施例を
示す図、第１０図ｂは第１０図ａで用いられるコ
ード板とリニアセンサーの配置関係を説明するた
めの図、第１１図ａ〜ｅは第１０図ａに示した実
施例の各部信号波形図、第１２図は本発明の他の
実施例を示す図、第１３図ａ〜ｃは第１２図に示
した実施例の各部信号波形図、第１４図は本発明
のさらに他の実施例を示す図、第１５図ａ〜ｃは
第１４図に示した実施例の各部信号波形図、第１
６図及び第１７図は本発明の一実施例の一部分の
具体的構成例を示す図である。 １……コード板、２……リニアセンサー、３…
…光源、４，５……レンズ、６……増幅器、９…
…駆動回路、１２……換算回路、１３……信号分
配器、１４，１５……包絡線検波器、１６……比
較器、１７……計数器、１８……表示装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ それぞれ同一幅を有する“１”の情報をもつ
   担体と“０”の情報をもつ担体とが交互に所定の
   ピツチで直列的に配列されてなる担体列パターン
   を有するコード板と、該コード板の前記担体列パ
   ターンを読み取るためのセンサーとを用いて長さ
   や角度を測定する装置において； 前記センサーは前記担体列パターンと並行に、
   実質上連続的に配列された多数のセンサー素子か
   ら構成され； 前記担体の1/2ピツチ（Ｗ）と前記センサー素
   子のピツチ（Ｐ）との間にわずかな差をもたせて
   構成され前記センサー素子列から読み出される出
   力信号レベルから作られる振動波形の位相反転点
   の位置を検出する装置と、検出された位相反転点
   の位置を１ピツチ内の変位量に変換する装置とを
   具備することを特徴とするエンコーダ。 ２ 前記内挿を行なうための手段は、前記センサ
   ーの各素子によつて得られる電気信号をクロツク
   パルスによつて順次取り出す手段と； この手段によつて取り出された信号の位相反転
   点を検出する手段と； 前記クロツクパルスを計数する計数手段とを備
   え； この計数手段は予め定められた始点から前記位
   相反転点が検出されるまでもしくは前記位相反転
   点から予め定めた終点まで前記クロツクパルスを
   計数することを特徴とする特許請求の範囲第１項
   記載のエンコーダ。 ３ 前記位相反転点を検出する手段は、前記クロ
   ツクパルスによつて前記センサーから取り出され
   た信号を波形成形する手段と； この手段によつて成形された信号のうち最大波
   高値をとる信号と最小波高値をとる信号とのほぼ
   中間の波高値をとる信号を検出する手段とを備
   え； 前記ほぼ中間の波高値をとる信号が検出された
   ときを位相反転点として定めることを特徴とする
   特許請求の範囲第２項記載のエンコーダ。 ４ 前記コード板の担体は光の透過率に一定の比
   をもたせたスリツト群で構成されるとともに、前
   記センサーが光電変換素子群で構成され、前記ス
   リツト群がその1/2ピツチ（Ｗ）が前記光電変換
   素子群のピツチ（Ｐ）と異なる幅となるように投
   影されるよう構成されたことを特徴とする特許請
   求の範囲第１項ないし第３項いずれかに記載のエ
   ンコーダ。