JPH0145584B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0145584B2 JPH0145584B2 JP55148988A JP14898880A JPH0145584B2 JP H0145584 B2 JPH0145584 B2 JP H0145584B2 JP 55148988 A JP55148988 A JP 55148988A JP 14898880 A JP14898880 A JP 14898880A JP H0145584 B2 JPH0145584 B2 JP H0145584B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- sample
- voltage
- extraction electrode
- deceleration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/302—Contactless testing
- G01R31/305—Contactless testing using electron beams
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電圧測定装置に係り、特に該エネルギ
アナライザーの引き出し電極を改良した電圧測定
装置に関する。
アナライザーの引き出し電極を改良した電圧測定
装置に関する。
従来から電子ビームを試料に照射して該試料面
より放出される２次電子をアナライズして精度よ
く電圧測定するための電圧測定装置として引き出
し電極を設けたエネルギアナライザーを利用する
電圧測定装置が知られている。第１図は従来の引
き出し電極を用いたエネルギアナライザーの略線
的な電極構成図であり半円球状の金属メツシユよ
りなる減速電極１にマイナス電位VRが与えられ、
該半円球状の減速電極内に平板状の引き出し電極
２が配置されている。該引き出し電極は同じくメ
ツシユ状となされ、プラス電位VEが与えられて
いる。引き出し電極２の下端にはIC等の試料３
が置かれて電子ビーム４を該試料３の表面に照射
することで低エネルギの２次電子５が放出され
る。該２次電子は引き出し電極２によつて加速さ
れ、減速電極１に与えられる電圧VR以上のエネ
ルギを有する２次電子のみをメツシユを通して通
過させて２次電子検知手段６に与えられるように
なされる。
より放出される２次電子をアナライズして精度よ
く電圧測定するための電圧測定装置として引き出
し電極を設けたエネルギアナライザーを利用する
電圧測定装置が知られている。第１図は従来の引
き出し電極を用いたエネルギアナライザーの略線
的な電極構成図であり半円球状の金属メツシユよ
りなる減速電極１にマイナス電位VRが与えられ、
該半円球状の減速電極内に平板状の引き出し電極
２が配置されている。該引き出し電極は同じくメ
ツシユ状となされ、プラス電位VEが与えられて
いる。引き出し電極２の下端にはIC等の試料３
が置かれて電子ビーム４を該試料３の表面に照射
することで低エネルギの２次電子５が放出され
る。該２次電子は引き出し電極２によつて加速さ
れ、減速電極１に与えられる電圧VR以上のエネ
ルギを有する２次電子のみをメツシユを通して通
過させて２次電子検知手段６に与えられるように
なされる。
第３図は試料３の電圧がOVの場合の、２次電
子エネルギスペクトル分布曲線を示し、減速電極
に加えられるマイナス電位VRに依存して斜線で
示す部分のエネルギのみが減速電極を通過する。
次に試料３に或るマイナスの電圧が加わると同一
のマイナス電位VRが減速電極１に与えられてい
ても第４図示の如くエネルギスペクトル分布曲線
は当該印加電圧分だけ右方にシフトし減速電極１
を通過するエネルギは増加する。この様な現象を
利用して試料３への電圧印加時のエネルギアナラ
イザから出力される２次電子を測定することによ
つて試料３の電圧を測定することが出来る。上述
の第１図の構成に於ける減速電極１及び引き出し
電極２部分の拡大図を第２図に示す。同図に上記
電極に所定の電圧を加えた状態での電位分布７を
一点鎖線で示す。この等電位面からも解る様に平
板状の引き出し電極２の影響によつて試料３より
放出された２次電子５は、検知手段６に至る経路
でその方向を変えられてしまう。この作用のため
第４図の如く試料３に加えられる電圧変化に応じ
て減速電極を通過する２次電子は電界分布の違い
によつて生ずる２次電子放出方向の差が加味され
て測定点近傍（減速電極）は平板状の引き出し電
極による電界分布の影響を十分にとり除くことが
できない。即ち平板状の電極近傍の電界の影響が
正確なエネルギアナライズを不可能とする欠点を
生ずる。
子エネルギスペクトル分布曲線を示し、減速電極
に加えられるマイナス電位VRに依存して斜線で
示す部分のエネルギのみが減速電極を通過する。
次に試料３に或るマイナスの電圧が加わると同一
のマイナス電位VRが減速電極１に与えられてい
ても第４図示の如くエネルギスペクトル分布曲線
は当該印加電圧分だけ右方にシフトし減速電極１
を通過するエネルギは増加する。この様な現象を
利用して試料３への電圧印加時のエネルギアナラ
イザから出力される２次電子を測定することによ
つて試料３の電圧を測定することが出来る。上述
の第１図の構成に於ける減速電極１及び引き出し
電極２部分の拡大図を第２図に示す。同図に上記
電極に所定の電圧を加えた状態での電位分布７を
一点鎖線で示す。この等電位面からも解る様に平
板状の引き出し電極２の影響によつて試料３より
放出された２次電子５は、検知手段６に至る経路
でその方向を変えられてしまう。この作用のため
第４図の如く試料３に加えられる電圧変化に応じ
て減速電極を通過する２次電子は電界分布の違い
によつて生ずる２次電子放出方向の差が加味され
て測定点近傍（減速電極）は平板状の引き出し電
極による電界分布の影響を十分にとり除くことが
できない。即ち平板状の電極近傍の電界の影響が
正確なエネルギアナライズを不可能とする欠点を
生ずる。
本発明は上述の欠点を除いた電圧測定の出来る
引き出し電極の改良に関し、減速電極と平板状メ
ツシユの引き出し電極との間に半円球状の引き出
し電極を付加して試料より放出された２次電子が
減速作用のみを持つ減速電界を形成し２次電子が
方向を変えないようにして精度の高い電圧測定を
高速に行うようにしたものである。
引き出し電極の改良に関し、減速電極と平板状メ
ツシユの引き出し電極との間に半円球状の引き出
し電極を付加して試料より放出された２次電子が
減速作用のみを持つ減速電界を形成し２次電子が
方向を変えないようにして精度の高い電圧測定を
高速に行うようにしたものである。
以下、本発明の１実施例を第５図及び第６図に
ついて詳記する。尚第１図及び第２図と同一部分
には同一符号を付して重復説明を省略する。即ち
平板状のメツシユよりなる引き出し電極２と半円
球状メツシユよりなる減速電極１間に該減速電極
１と同心円状の半円球状メツシユよりなる引き出
し電極８を設け、上記平板上の引き出し電極と半
円球状の引き出し電極に同一の引き出し電圧VE
を印加する。
ついて詳記する。尚第１図及び第２図と同一部分
には同一符号を付して重復説明を省略する。即ち
平板状のメツシユよりなる引き出し電極２と半円
球状メツシユよりなる減速電極１間に該減速電極
１と同心円状の半円球状メツシユよりなる引き出
し電極８を設け、上記平板上の引き出し電極と半
円球状の引き出し電極に同一の引き出し電圧VE
を印加する。
上述の構成の減速電極１と引き出し電極８，２
近傍の等電位面７ａは第７図に示す如く同心球面
となり試料３より放出された２次電子は平板上メ
ツシユの引き出し電極２内から半円球状メツシユ
の引き出し電極８に至る間は半円球上の等電位面
を形成し、２次電子は方向を変えずに直進し、減
速電極によつて減速のみが与えられることにな
る。
近傍の等電位面７ａは第７図に示す如く同心球面
となり試料３より放出された２次電子は平板上メ
ツシユの引き出し電極２内から半円球状メツシユ
の引き出し電極８に至る間は半円球上の等電位面
を形成し、２次電子は方向を変えずに直進し、減
速電極によつて減速のみが与えられることにな
る。
本発明は上述の如く構成したのでエネルギのア
ナライザに於て、試料に照射した電子ビームによ
つて放出される２次電子が平板状メツシユよりな
る引き出し電極によつて生ずる等電位面により方
向を変えられることがなく、この方向変換によつ
て生ずる差が減速電界で増大することもなく、引
き出し電極としての機能を充分に果し、且つ測定
点（減速電極）近傍の電位分布の影響をとり除く
ことが出来るので精密な電圧測定が出来る特徴を
有するものである。
ナライザに於て、試料に照射した電子ビームによ
つて放出される２次電子が平板状メツシユよりな
る引き出し電極によつて生ずる等電位面により方
向を変えられることがなく、この方向変換によつ
て生ずる差が減速電界で増大することもなく、引
き出し電極としての機能を充分に果し、且つ測定
点（減速電極）近傍の電位分布の影響をとり除く
ことが出来るので精密な電圧測定が出来る特徴を
有するものである。
第１図は従来のエネルギアナライザに用いる電
圧測定装置の原理的説明図、第２図は第１図の減
速電極と引き出し電極部分の電界分布を示す説明
図、第３図及び第４図は、第１図の電圧測定装置
の動作説明図、第５図は本発明のエネルギアナラ
イザに用いる電圧測定装置の原理的説明図、第６
図は第５図の減速電極と引き出し電極部分の電界
分布を示す説明図である。 １……減速電極、２……引き出し電極、３……
試料、４……電子ビーム、５……２次電子、６…
…検知手段、７，７ａ……等電位面、８……半円
球状の引き出し電極。
圧測定装置の原理的説明図、第２図は第１図の減
速電極と引き出し電極部分の電界分布を示す説明
図、第３図及び第４図は、第１図の電圧測定装置
の動作説明図、第５図は本発明のエネルギアナラ
イザに用いる電圧測定装置の原理的説明図、第６
図は第５図の減速電極と引き出し電極部分の電界
分布を示す説明図である。 １……減速電極、２……引き出し電極、３……
試料、４……電子ビーム、５……２次電子、６…
…検知手段、７，７ａ……等電位面、８……半円
球状の引き出し電極。
Claims (1)
- １ 試料に電子ビームを照射して該試料面より放
出される２次電子をエネルギアナライズして該試
料の電圧を測定する電圧測定装置に於てエネルギ
アナライザーの減速電極と、前記減速電極と同心
状の半円球状メツシユと該半円球状メツシユの下
部に配設された平面メツシユとよりなる引き出し
電極とを設けてなる電圧測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55148988A JPS5772073A (en) | 1980-10-24 | 1980-10-24 | Voltage measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55148988A JPS5772073A (en) | 1980-10-24 | 1980-10-24 | Voltage measuring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5772073A JPS5772073A (en) | 1982-05-06 |
| JPH0145584B2 true JPH0145584B2 (ja) | 1989-10-04 |
Family
ID=15465182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55148988A Granted JPS5772073A (en) | 1980-10-24 | 1980-10-24 | Voltage measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5772073A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3638682A1 (de) * | 1986-11-13 | 1988-05-19 | Siemens Ag | Spektrometerobjektiv fuer korpuskularstrahlmesstechnik |
-
1980
- 1980-10-24 JP JP55148988A patent/JPS5772073A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5772073A (en) | 1982-05-06 |
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