JPH0156883B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、半導体インゴツトを薄切りに切断
してウエハーを得るための切断方法およびその装
置の改良に関するものである。

（従来の技術とその問題点） 従来、半導体インゴツトを薄切りに切断するた
めの切断方法としては、外周式回転ブレードまた
は内周式回転ブレードすなわち外周縁または内周
縁にダイヤモンド砥材がつけられたデイスク形回
転ブレードを用い、これをインゴツトに当てて切
断する方法が提案されている。この中で内周式は
外周式に比べ、切断時の振れが少ないことから多
用されているが、切断するインゴツトが大口径と
なると、内周式でも振れが顕著にあらわれる傾向
があり、また切断装置も大型化するという難点が
ある。

また、インゴツトから薄切りに切断された後の
ウエハーの処理にも問題が残されている。すなわ
ち、この薄切りにされたウエハーは脆弱なもので
あるため、切り落とされた際のシヨツクで破損す
るおそれがあり、これを安全に回収処理できる手
段が強く望まれている。

（問題点を解決するための手段） この発明は、上述した問題点を解決するために
なされたもので、内周式回転ブレード（以下内周
式ブレードという）による切断方法の長所を活か
し、しかも内周式ブレードの直径を大きくしない
で、大口径のインゴツトを切断することのできる
切断方法およびその装置を提供することを目的と
する。

この発明の他の目的は、インゴツトを薄切りに
切断してウエハーを得た後移送し作業能率を大幅
に向上改善できる切断方法およびその装置を提供
することにある。

すなわち、第１の発明は、インゴツトに回転を
与え、該回転インゴツトとこれを囲む内周式回転
ブレードとを相対的に移動してインゴツトからウ
エハーを切断加工するに際し、該ウエハーが切り
落される前に負圧吸引部材に吸着保持され、完全
に切り落された後、可動受台と、その上に配設さ
れたハウジングと、そのハウジングに支持された
吸引管と、その吸引管の先端に回転自在に連通さ
れた吸着盤よりなる移送装置で移送されることを
特徴とする切断方法を要旨とするものであり、第
２の発明は、インゴツトを支持して回転する装置
と、インゴツトを囲む内周式回転ブレードを回転
筒の一筒口に装着して回転する装置と、両装置の
相対的移動によりインゴツトからウエハーが切り
落される前に該回転筒の他筒口より筒内に吸着盤
を挿入して負圧吸引作用で吸着保持され、完全に
切り落された後移送される移送装置とからなり、
該移送装置は、可動受台と、その上に配設された
ハウジングと、そのハウジングに支持された吸引
管と、その吸引管の先端に回転自在に連通された
吸着盤よりなることを特徴とする切断装置を要旨
とするものである。

（実施例） 以下この発明を、その実施の一例を示した第
１，２図に基いて詳しく説明する。

図面において１，２は受台であり、一方の受台
１上に、インゴツトを支持して回転させるための
機械が配設されている。すなわち、３はインゴツ
トの回転駆動用モータであり、その回転軸は軸受
ハウジング４の中で、継手５によつて従動軸６に
連結され、従動軸６が軸受ハウジング４から突出
する軸端に、継手７を介してインゴツト支持盤８
が連結され、この支持盤８にインゴツト９が接着
剤で接着支持されるようになつている。

前記受台２上には、内周縁でインゴツトを切断
するため、インゴツトを囲む内周式ブレードを装
着して回転させる機構が配設されている。すなわ
ち、１０は軸受体、１１はそれに支持された回転
筒であり、これの前記インゴツト９に向けられた
筒口に内周式ブレード１２が装着され、反対側の
筒口と受台２上に据付けられたモータ１３側のプ
ーリー１４とがベルト１５で連係されている。

１６は負圧吸引部材の受台である。すなわち、
１７はハウジングであり、これに吸引管１８が挿
通支持され、その先端に多孔吸着盤１９が回転自
在に連通保持されており、反対側の管部分は真空
ポンプ（図示していない）に接続されている。

次に、上記のように構成された切断装置を使用
してインゴツトを薄切りに切断する方法を説明す
る。

まず、受台１，２によつて、インゴツト９と内
周式ブレード１２とを、第１図に示すように、切
断加工のできる関係位置に設定し、また受台１６
を移動して、吸着盤１９をインゴツト９の端面と
わずかな間隙を保つて対向する位置に配設し、イ
ンゴツト９をモータ３により低速で回転駆動し、
内周式ブレード１２をモータ１３により高速で回
転駆動する。ついで吸引管１８より負圧吸引して
吸着盤１９をインゴツト９の端面に吸着させ、受
台１，２のいずれか一方を、図において、上また
は下方向に移動操作すると、第３図に示すよう
に、インゴツト９は内周式ブレード１２によつて
切断される。なお、受台１を移動させる場合に
は、受台１６も受台１と共に移動させ、吸着盤１
９とインゴツトの対向位置が変わらないよう保持
する。

しかして、前記インゴツトの端面に吸着させた
吸着盤１９は、回転自在のためインゴツトを回転
すると共にこれに従つて回転し、前記切断加工が
完了して、ウエハーが完全に切り落されると、落
下することなく吸着盤１９にそのまま吸着保持さ
れる。このウエハーは、受台１６の移動操作によ
つて所定部位に移送され、吸着盤から取外されて
一回の切断操作が終了する。

（発明の効果） かくして、本発明の切断装置を使う本発明の切
断方法を行なえば、下記の効果が得られる。

(1) 内周式回転ブレードを使用する切断方式であ
るから、この方式の振れの少ない利点がそのま
ま活かされる。

(2) 切断加工の際、インゴツトも回転するので、
内周式ブレードによるインゴツトへの切込み量
は、インゴツト直径の半分ですむ、このため大
口径のインゴツトに対し、小径のブレードで切
断加工できると共に切断速度が約２倍となる。
またインゴツトの中心部に「ヘソ」が残らな
い。

(3) インゴツトが大口径化しても、内周式ブレー
ドならびに装置の大型化が避けられる。

(4) インゴツトから薄切りに切断されるウエハー
を、切り落とされる前に吸着保持するので、脆
弱なウエハーを安全に回収することができる。

(5) 内周式ブレードは、回転筒の一筒口に装着さ
れ、他筒口は広く解放されているので、ここか
ら吸着盤を挿入してインゴツトに近づけ、これ
に吸着させることは容易であるうえ、切り落と
されたウエハーを吸着盤に吸着したまま直ちに
所定部位に移送することができるため、構造が
簡単で作業能率が上がる。

以上述べたように、この発明の切断方法および
装置によれば、大口径のインゴツトの切断加工を
可能にし、切断速度の大幅な増大が図れると共
に、完全に切断された後のウエハーを安全かつ敏
速に回収でき、しかも切断装置は安価に製造でき
るなど、従来の切断方法及び装置の問題点をすべ
て解消することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す切断装置の
縦断面図、第２図はその一部の端面図、第３図は
インゴツトを内周式ブレードで切断加工する状態
を示す説明図である。 １，２，１６……受台、３，１３……モータ、
４……軸受ハウジング、５，７……継手、６……
従動軸、８……支持盤、９……インゴツト、１０
……軸受体、１１……回転筒、１２……内周式ブ
レード、１４……プーリー、１５……ベルト、１
７……ハウジング、１８……吸引管、１９……吸
着盤。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ インゴツトに回転を与え、該回転インゴツト
   とこれを囲む内周式回転ブレードとを相対的に移
   動してインゴツトからウエハーを切断加工するに
   際し、該ウエハーが切り落される前に負圧吸引部
   材に吸着保持され、完全に切り落された後、可動
   受台と、その上に配設されたハウジングと、その
   ハウジングに支持された吸引管と、その吸引管の
   先端に回転自在に連通された吸着盤よりなる移送
   装置で移送されることを特徴とする切断方法。 ２ インゴツトを支持して回転する装置と、イン
   ゴツトを囲む内周式回転ブレードを回転筒の一筒
   口に装着して回転する装置と、両装置の相対的移
   動によりインゴツトからウエハーが切り落される
   前に該回転筒の他筒口より筒内に吸着盤を挿入し
   て負圧吸引作用で吸着保持され、完全に切り落さ
   れた後移送される移送装置とからなり、該移送装
   置は、可動受台と、その上に配設されたハウジン
   グと、そのハウジングに支持された吸引管と、そ
   の吸引管の先端に回転自在に連通された吸着盤よ
   りなることを特徴とする切断装置。 ３ 前記インゴツトを支持して回転する装置は、
   可動受台と、その上に据付けられたモータと、そ
   れによつて回転駆動されるインゴツト支持盤とで
   構成されている請求項２に記載の装置。 ４ 前記インゴツトを囲む内周式回転ブレードを
   回転筒の一筒口に装着して回転する装置は、可動
   受台と、その上に据付けられたモータと、それに
   よつて回転駆動される内周式回転ブレードを装着
   した回転筒とで構成されている請求項２に記載の
   装置。