JPH0158663U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0158663U JPH0158663U JP15410087U JP15410087U JPH0158663U JP H0158663 U JPH0158663 U JP H0158663U JP 15410087 U JP15410087 U JP 15410087U JP 15410087 U JP15410087 U JP 15410087U JP H0158663 U JPH0158663 U JP H0158663U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film thickness
- vapor deposition
- evaporation sources
- thickness monitors
- deposition apparatus
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 5
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案の１実施例にかかる多元蒸着
装置の構成図、第２図は第１図中の膜厚モニタの
構成を示す図、第３図は第２図に示した膜厚モニ
タの動作説明図、第４図はこの考案の他の実施例
にかかる多元蒸着装置の構成図、第５図は第４図
中の膜厚モニタの構成図、第６図はこの考案の第
３の実施例にかかる装置の構成図、第７図は従来
の多元蒸着装置の構成図、第８図は膜厚センサの
構成を示す図である。 １……真空容器、３，４……蒸発源、５……基
板、２０……膜厚モニタ、２１……モニタ部、２
２……中空管、３０……膜厚モニタ、３１，３２
……穴あき板。
装置の構成図、第２図は第１図中の膜厚モニタの
構成を示す図、第３図は第２図に示した膜厚モニ
タの動作説明図、第４図はこの考案の他の実施例
にかかる多元蒸着装置の構成図、第５図は第４図
中の膜厚モニタの構成図、第６図はこの考案の第
３の実施例にかかる装置の構成図、第７図は従来
の多元蒸着装置の構成図、第８図は膜厚センサの
構成を示す図である。 １……真空容器、３，４……蒸発源、５……基
板、２０……膜厚モニタ、２１……モニタ部、２
２……中空管、３０……膜厚モニタ、３１，３２
……穴あき板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 蒸着膜が形成される基板を納めた真空容器内に
少なくとも２個の蒸発源とこれらの蒸発源にそれ
ぞれ対応した少なくとも２個の膜厚モニタとを設
けた多元蒸着装置において、 上記膜厚モニタの少なくとも一方に、対応する
蒸発源を見通すガイド部材を設けたことを特徴と
する多元蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987154100U JPH0538052Y2 (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987154100U JPH0538052Y2 (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0158663U true JPH0158663U (ja) | 1989-04-12 |
| JPH0538052Y2 JPH0538052Y2 (ja) | 1993-09-27 |
Family
ID=31430529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987154100U Expired - Lifetime JPH0538052Y2 (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0538052Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5326356U (ja) * | 1976-08-13 | 1978-03-06 |
-
1987
- 1987-10-09 JP JP1987154100U patent/JPH0538052Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5326356U (ja) * | 1976-08-13 | 1978-03-06 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0538052Y2 (ja) | 1993-09-27 |