JPH0158967U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0158967U JPH0158967U JP15432187U JP15432187U JPH0158967U JP H0158967 U JPH0158967 U JP H0158967U JP 15432187 U JP15432187 U JP 15432187U JP 15432187 U JP15432187 U JP 15432187U JP H0158967 U JPH0158967 U JP H0158967U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical window
- opening
- gas container
- flange member
- closing
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の構成を示す構成図
である。 主要部分の符号の説明、１…レーザガス容器、
２，３…フランジ部、４，５…光学窓、６，７…
気密バルブ、１１…真空ポンプ。
である。 主要部分の符号の説明、１…レーザガス容器、
２，３…フランジ部、４，５…光学窓、６，７…
気密バルブ、１１…真空ポンプ。
Claims (1)
- レーザビームを通過させるための光学窓とレー
ザガス容器とを接続するフランジ部材と、前記フ
ランジ部材に設けられ、かつ前記光学窓とレーザ
ガス容器との間の開閉を行う開閉手段と、前記開
閉手段が閉状態とされているとき、前記光学窓と
前記開閉手段との間の空間の排気を行う排気手段
とを有することを特徴とするエキシマレーザ発振
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15432187U JPH0158967U (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15432187U JPH0158967U (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0158967U true JPH0158967U (ja) | 1989-04-13 |
Family
ID=31430947
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15432187U Pending JPH0158967U (ja) | 1987-10-08 | 1987-10-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0158967U (ja) |
-
1987
- 1987-10-08 JP JP15432187U patent/JPH0158967U/ja active Pending