JPH01635A - 試料のセット装置 - Google Patents
試料のセット装置Info
- Publication number
- JPH01635A JPH01635A JP62-155043A JP15504387A JPH01635A JP H01635 A JPH01635 A JP H01635A JP 15504387 A JP15504387 A JP 15504387A JP H01635 A JPH01635 A JP H01635A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の属する技術分野］
本発明は電子ビーム描画装置における試料の試料ホルダ
へのセット装置に関する。
へのセット装置に関する。
［従来技術］
従来の試料ホルダの一例を第６図により述べる。試料ホ
ルダ１１の底面に一側を接したクランプバネ１２により
試料１３は上方へ押圧され、その上面が試料ホルダ１１
に固着された基準片１４に接することにより、試料１３
は厚さが変化しても描画面の高さ方向位置は変らないよ
うになっている。
ルダ１１の底面に一側を接したクランプバネ１２により
試料１３は上方へ押圧され、その上面が試料ホルダ１１
に固着された基準片１４に接することにより、試料１３
は厚さが変化しても描画面の高さ方向位置は変らないよ
うになっている。
このような方式において、試料１３が大型になるとこれ
を基準片１４に押し付けかつ横方向にも位置ずれを起こ
さ゛ないようにするには、クランプバネ１２の押付力を
大きくする必要があり、このため試料ホルダ１１は大き
くなりかつ試料１３の重量も大きくなってその操作は困
難であった。また、試料ホルダは電子ビーム描画装置か
ら＊ｈ′した位置で試料をセットされ、電子ビーム描画
装置に装填されるが、そのための搬送に注意を要し、作
業が困難であった。
を基準片１４に押し付けかつ横方向にも位置ずれを起こ
さ゛ないようにするには、クランプバネ１２の押付力を
大きくする必要があり、このため試料ホルダ１１は大き
くなりかつ試料１３の重量も大きくなってその操作は困
難であった。また、試料ホルダは電子ビーム描画装置か
ら＊ｈ′した位置で試料をセットされ、電子ビーム描画
装置に装填されるが、そのための搬送に注意を要し、作
業が困難であった。
［発明の目的］
本発明はこのような欠点を除去したのでその目的は、電
子ビーム描画装置に試料のセット装置を設けることによ
り大型の試料の場合でも搬送を容易にし、かつ試料の試
料ホルダへのセットを容易にした試料のセット装置を提
供することにある。
子ビーム描画装置に試料のセット装置を設けることによ
り大型の試料の場合でも搬送を容易にし、かつ試料の試
料ホルダへのセットを容易にした試料のセット装置を提
供することにある。
［発明の要点］
本発明における試料のセット装置は、試料の厚さに応じ
て試料ホルダの基準ビンの高さを調整す機 る試料ホルダをＸ用する電子ビーム描画装置において、
試料の厚さを測定する手段と、基準ピンの高さを調整す
る手段とを備えたことを特徴にしている。
て試料ホルダの基準ビンの高さを調整す機 る試料ホルダをＸ用する電子ビーム描画装置において、
試料の厚さを測定する手段と、基準ピンの高さを調整す
る手段とを備えたことを特徴にしている。
［発明の実施例］
以下本発明の一実施例を示した図について説明する。第
１図は本発明の電子ビーム描画装置全体の配置を示す乎
面図であって、描画室２１はゲートバルブ２２により試
料交換の際常に真空を保つエアロツクチャンバ２３に接
続され、エアロツクチャンバ２３はゲートバルブ２４に
より本発明のセット装置２５に接続されている。
１図は本発明の電子ビーム描画装置全体の配置を示す乎
面図であって、描画室２１はゲートバルブ２２により試
料交換の際常に真空を保つエアロツクチャンバ２３に接
続され、エアロツクチャンバ２３はゲートバルブ２４に
より本発明のセット装置２５に接続されている。
第２図において試料ホルダ３１は、本体ブラケット３２
の端部に支持されて試料３３を載置するホルダ本体３４
と、試料３３をホルダ本体３４ヘクランプするクランプ
機構３５と、・試料３３の上面に対し高さを同一にする
ため上下動可能な基準ビン３６と、高さが設定された基
準ビン３６に対しホルダ本体３４が下方へ移動しないよ
うにした偏心ピン３７等から構成されている。偏心ピン
３７を回転させるため本体ブラケット３２に支持され常
時はバネ３８により図において左方へ押圧されている回
転つまみ３９があり、偏心ピン３７の回転時は回転つま
み３９をバネ−３８に抗して押圧しその先端を偏心ビン
３７に係合させた後１回転つ・まみ３９を回転させるこ
とにより偏心ピン３７を回転させる。
の端部に支持されて試料３３を載置するホルダ本体３４
と、試料３３をホルダ本体３４ヘクランプするクランプ
機構３５と、・試料３３の上面に対し高さを同一にする
ため上下動可能な基準ビン３６と、高さが設定された基
準ビン３６に対しホルダ本体３４が下方へ移動しないよ
うにした偏心ピン３７等から構成されている。偏心ピン
３７を回転させるため本体ブラケット３２に支持され常
時はバネ３８により図において左方へ押圧されている回
転つまみ３９があり、偏心ピン３７の回転時は回転つま
み３９をバネ−３８に抗して押圧しその先端を偏心ビン
３７に係合させた後１回転つ・まみ３９を回転させるこ
とにより偏心ピン３７を回転させる。
第３図は基準ビン３６のクランプ機構を示した３６の平
面部に接し、他端は支点４２を中心に回動するレバー４
３の一端に係合し、レバー４３の他端はバネ４４に接し
ているため、基準ビン３６は常時クランプピン４１の抑
圧によりクランプされている。基準ビン３６の高さ調整
時にこれをアングランプするため、レバー４３に対し、
バネ ４５を本体ブラケット３２に取り付けたクランプ解除シ
リンダ４６が押圧することにより、クランプピン４１は
図において左行し基準ビン３６のクランプを解除する。
面部に接し、他端は支点４２を中心に回動するレバー４
３の一端に係合し、レバー４３の他端はバネ４４に接し
ているため、基準ビン３６は常時クランプピン４１の抑
圧によりクランプされている。基準ビン３６の高さ調整
時にこれをアングランプするため、レバー４３に対し、
バネ ４５を本体ブラケット３２に取り付けたクランプ解除シ
リンダ４６が押圧することにより、クランプピン４１は
図において左行し基準ビン３６のクランプを解除する。
再び第２図において、基準ビン３６の下端には本体ブラ
ケット３２へその一端が支点５１を中心にして回動する
レバー５２の凸部が対向しており、レバー５２の他端は
ベアリング５３を介してリフト５４の上面に接している
。リフト５４はリニアモーションベアリング５５により
本体ブラケット３２に支持され、かつその下端は支点５
６を中心に回動するリンク５７の一端に接している。リ
ンク５７の他端は本体ブラケット３２ヘリニアモーシヨ
ンベアリング５８を介して支持されている軸５９の一端
に係合し軸５９の他端はアクチュエータとして回転位置
の読み取りを可能にしたマイクロメータへラド６０に接
している。
ケット３２へその一端が支点５１を中心にして回動する
レバー５２の凸部が対向しており、レバー５２の他端は
ベアリング５３を介してリフト５４の上面に接している
。リフト５４はリニアモーションベアリング５５により
本体ブラケット３２に支持され、かつその下端は支点５
６を中心に回動するリンク５７の一端に接している。リ
ンク５７の他端は本体ブラケット３２ヘリニアモーシヨ
ンベアリング５８を介して支持されている軸５９の一端
に係合し軸５９の他端はアクチュエータとして回転位置
の読み取りを可能にしたマイクロメータへラド６０に接
している。
従ってマイクロメータヘッド６０を回転するとレバー５
２は軸５９・リンク５６・リフト５４を介して支点５１
を中心として揺動し、この結果アングランプ状態の基準
ピン３６を上昇させる。なおレバー５２はバネ６２によ
り常時下向きの力を受けていることによりベアリング５
３からマイクロメータへラド６０までの各接点間の隙間
がないようにしである。
２は軸５９・リンク５６・リフト５４を介して支点５１
を中心として揺動し、この結果アングランプ状態の基準
ピン３６を上昇させる。なおレバー５２はバネ６２によ
り常時下向きの力を受けていることによりベアリング５
３からマイクロメータへラド６０までの各接点間の隙間
がないようにしである。
本装置においては試料３３の交換時試料３３とホルダ本
体３４との間に隙間がなく試料３３を持つことが難かし
いため、ホルダ本体３４の複数個所に穴６６をあけこの
穴６６に出入する複数本の軸状の支え台６７Φ６８等を
設け、支え台６７等灸 が穴６６から裏山したとき試料３３を若干持ち上げるこ
とにより容易に手で把持し得るようにした。支え台６７
等はブラケット６９に固着されブラケット６９は本体ブ
ラケット３２にリニアモーションベアリング７０により
支持される軸７１の上端に接し、軸７１の下端は支点７
２より揺動自在に支持されたレバー７３に接しているた
めレバー７３のＥ端を斜め下方に移動させれば支え台６
７等は上昇する。なお支え台６７ｋｇは金属製の軸状体
上面にプラスチック材を取り付は試料３３に傷の付くこ
とを防いでおり、またブラケット６９はバネ７４により
常時下方へ付勢されている。
体３４との間に隙間がなく試料３３を持つことが難かし
いため、ホルダ本体３４の複数個所に穴６６をあけこの
穴６６に出入する複数本の軸状の支え台６７Φ６８等を
設け、支え台６７等灸 が穴６６から裏山したとき試料３３を若干持ち上げるこ
とにより容易に手で把持し得るようにした。支え台６７
等はブラケット６９に固着されブラケット６９は本体ブ
ラケット３２にリニアモーションベアリング７０により
支持される軸７１の上端に接し、軸７１の下端は支点７
２より揺動自在に支持されたレバー７３に接しているた
めレバー７３のＥ端を斜め下方に移動させれば支え台６
７等は上昇する。なお支え台６７ｋｇは金属製の軸状体
上面にプラスチック材を取り付は試料３３に傷の付くこ
とを防いでおり、またブラケット６９はバネ７４により
常時下方へ付勢されている。
前述した基準ピン３６は第４図に示すように一例として
３本設けてあり、従ってこれを上昇させるレバー５２も
３個設けであるが、レバー５２の他端即ちベアリング５
３側は１個のりフト５４に接しているため、３本の基準
ピン３６はマイクロメータヘッド６０を回転させれば同
時に上昇する。支え台６７等は第４図に示すように一例
としてそれぞれ４本づつ２組設けることによりそれぞれ
の組が試料３３を支えるようになっており。
３本設けてあり、従ってこれを上昇させるレバー５２も
３個設けであるが、レバー５２の他端即ちベアリング５
３側は１個のりフト５４に接しているため、３本の基準
ピン３６はマイクロメータヘッド６０を回転させれば同
時に上昇する。支え台６７等は第４図に示すように一例
としてそれぞれ４本づつ２組設けることによりそれぞれ
の組が試料３３を支えるようになっており。
第２図に示すように外側の支え台６７は大型の試。
料を支え内側へ行くに従って順次小型の試料を支えるよ
うになっている。
うになっている。
これに対し中間にカラー８２を置いた一対のアーム８３
の一端には近接センサ又は磁気センサ８４が取り付けて
あり、その他端はボルト８５により本体ブラケット３２
へ固着したブラケット８６へ回転自在に挿入された回転
軸８７に固定されている。従って厚さ測定機構８１は回
転軸８７を中心として回転自在になっている。
の一端には近接センサ又は磁気センサ８４が取り付けて
あり、その他端はボルト８５により本体ブラケット３２
へ固着したブラケット８６へ回転自在に挿入された回転
軸８７に固定されている。従って厚さ測定機構８１は回
転軸８７を中心として回転自在になっている。
近接センサ等８４は予かじめ厚さが既知の材料によって
校正した後使用する。また試料の厚さが大きく変った場
合はカラー８２を交換することにより２個の近接センサ
等８４の間隔調整を行う。
校正した後使用する。また試料の厚さが大きく変った場
合はカラー８２を交換することにより２個の近接センサ
等８４の間隔調整を行う。
厚さ測定機構８１は厚さ測定時以外は回転軸８７により
回転させて試料の交換等の邪魔にならないようになって
いる。なお上記説明ではセンサとして近接センサ等を使
用したがエアマイクロを使用してもよい。
回転させて試料の交換等の邪魔にならないようになって
いる。なお上記説明ではセンサとして近接センサ等を使
用したがエアマイクロを使用してもよい。
次に前述した実施例の動作を説明する。先づ第５図に示
す厚さ測定機構８１により試料参字の厚さを測定する０
次に第３図に示すクランプ解除シリンダ４６のピストン
ロッド４６Ａを前進させることにより基準ピン３６のク
ランプを解除した後回転つまみ３９をバネ３８に抗して
右進させ偏心ピン３７に係合させた状態で偏心ピン３７
を回転させることによりその大径部を最低位置にする。
す厚さ測定機構８１により試料参字の厚さを測定する０
次に第３図に示すクランプ解除シリンダ４６のピストン
ロッド４６Ａを前進させることにより基準ピン３６のク
ランプを解除した後回転つまみ３９をバネ３８に抗して
右進させ偏心ピン３７に係合させた状態で偏心ピン３７
を回転させることによりその大径部を最低位置にする。
この状態でマイクロメータヘッド６０を回転させて３本
の基準ピン３６の高さを試料３３の厚さ即ち高さに一致
させた後、偏心ピン３７を回転させてその大径部をホル
ダ本体３４の下面へ接触示した位置から試料室２１への
搬送中ないしは装置され＝ＦＩＰる。このとき基準ピン
３６とホルダ本体３４とは第３図に示すようにバネ４４
によりクランプ力をクランプピン４１により与えられて
一応のクランプ力を有するが、何等からの理由により振
動が発生してホルダ本体３４が基準ピン３６に対し降下
しないため偏心ピン３７が設けられている。
の基準ピン３６の高さを試料３３の厚さ即ち高さに一致
させた後、偏心ピン３７を回転させてその大径部をホル
ダ本体３４の下面へ接触示した位置から試料室２１への
搬送中ないしは装置され＝ＦＩＰる。このとき基準ピン
３６とホルダ本体３４とは第３図に示すようにバネ４４
によりクランプ力をクランプピン４１により与えられて
一応のクランプ力を有するが、何等からの理由により振
動が発生してホルダ本体３４が基準ピン３６に対し降下
しないため偏心ピン３７が設けられている。
このようにして基質ピン３６の高さが設定されかつクラ
ンプされると試料ホルダ３１は描画室２１へ不ｌ示の搬
送機構により搬送され、ここで不図示の描画機構の鏡筒
と一定関係を有する部材が基準ピン３６の上面に接する
ことにより、試料び戻ったとき、クランプ解除シリンダ
４６により基準ピン３６のクランプを解除しレバー７３
により支え台６７を上昇させれば、試料３３も上昇し容
易に手で把持することにより交換する。このと、き支え
台６７は試料３３の外周部を下方から支えているが、試
料が小さくなったときは支え台６７より低い支え台６８
により試料を支える。
ンプされると試料ホルダ３１は描画室２１へ不ｌ示の搬
送機構により搬送され、ここで不図示の描画機構の鏡筒
と一定関係を有する部材が基準ピン３６の上面に接する
ことにより、試料び戻ったとき、クランプ解除シリンダ
４６により基準ピン３６のクランプを解除しレバー７３
により支え台６７を上昇させれば、試料３３も上昇し容
易に手で把持することにより交換する。このと、き支え
台６７は試料３３の外周部を下方から支えているが、試
料が小さくなったときは支え台６７より低い支え台６８
により試料を支える。
なお前述の説明では、偏心ピン３７やマイクロメータヘ
ッド６０そしてレバー７３等の操作を手動としたが、こ
れらをステッピングモータやシリンダ等にすれば自動化
が可能である。
ッド６０そしてレバー７３等の操作を手動としたが、こ
れらをステッピングモータやシリンダ等にすれば自動化
が可能である。
［発明の効果］
本発明における試料のセンサ装置は以上説明しする機構
を備えたことにより、大型の試料を試料ホルダにセット
することが容易になりかつ試料ホルダの描画室への搬送
も容易になって生産性の上昇する利点を有する。
を備えたことにより、大型の試料を試料ホルダにセット
することが容易になりかつ試料ホルダの描画室への搬送
も容易になって生産性の上昇する利点を有する。
図は本発明の一実施例を示し第１図は電子ビーム描画装
置全体の配置図、第２図は試料のセット装置の要部断面
図、第３図は基準ピンのクランプａｍの断面図、第４図
は試料のセット装置の平面図、第５図は試料の厚さ測定
機構の一部を断面した側面図、第６図は従来の試料ホル
ダの断面図である。 ３１・・・試料ホルダ、３３・・・試料、３３・・・ホ
ルダ本体、３６・・・基準ピン、６０・・・マイクロメ
ータヘッド、６７・６８・・・支え台、８１・・・厚さ
測定機構。
置全体の配置図、第２図は試料のセット装置の要部断面
図、第３図は基準ピンのクランプａｍの断面図、第４図
は試料のセット装置の平面図、第５図は試料の厚さ測定
機構の一部を断面した側面図、第６図は従来の試料ホル
ダの断面図である。 ３１・・・試料ホルダ、３３・・・試料、３３・・・ホ
ルダ本体、３６・・・基準ピン、６０・・・マイクロメ
ータヘッド、６７・６８・・・支え台、８１・・・厚さ
測定機構。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）試料の厚さに応じて試料ホルダの基準ピンの高さを
調整する試料ホルダを使用する電子ビーム描画装置にお
いて、試料の厚さを測定する手段と、基準ピンの高さを
調整する手段とを備えた試料のセット装置。 ２）基準ピンの高さを調整する手段として、複数個所の
基準ピンの高さを１個のアクチュエータにより同時に調
整するようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の試料のセット装置。 ３）アクチュエータとしてマイクロメータヘッドを使用
したことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の試料
のセット装置。 ４）試料の厚さを測定する手段として、回転可能に支持
されたアクチュエータに固定された非接触のギャップセ
ンサにより試料との隙間を測定することにより厚さを測
定するようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第１
、２または３項記載の試料のセット装置。 ５）試料の厚さに応じて試料ホルダの基準ピンの高さを
調整する試料ホルダを使用する電子ビーム描画装置にお
いて、試料の厚さを測定する手段と、基準ピンの高さを
調整する手段と、試料ホルダにあけた１組或いは複数組
の穴を出入する１組或いは複数組の支え台を設けこの支
え台を上昇させることにより前記試料ホルダから前記試
料を分離させる試料分離手段とを備えた試料のセット装
置。 ６）支え台として試料の大きさに応じて前記試料の外周
部を支えるように配置した複数組の支え台を持ち、前記
試料が小さくなるに従って前記支え台の高さを低くした
ことを特徴とする特許請求の範囲第５項記載の試料のセ
ット装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62155043A JP2627065B2 (ja) | 1987-06-22 | 1987-06-22 | 試料のセット装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62155043A JP2627065B2 (ja) | 1987-06-22 | 1987-06-22 | 試料のセット装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS64635A JPS64635A (en) | 1989-01-05 |
| JPH01635A true JPH01635A (ja) | 1989-01-05 |
| JP2627065B2 JP2627065B2 (ja) | 1997-07-02 |
Family
ID=15597421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62155043A Expired - Fee Related JP2627065B2 (ja) | 1987-06-22 | 1987-06-22 | 試料のセット装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2627065B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4945156A (en) * | 1988-12-29 | 1990-07-31 | Honeywell Inc. | Solution processing of rigid chain and ladder polymers |
| KR100583641B1 (ko) * | 1999-04-27 | 2006-05-26 | 삼성전자주식회사 | 반도체 웨이퍼 이송장치 |
| CN113758796B (zh) * | 2021-08-27 | 2025-01-24 | 郑州大学 | 钢纤维张拉夹持夹具对中调距的固定装置及测试方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54146161U (ja) * | 1978-03-31 | 1979-10-11 | ||
| JPS59196549A (ja) * | 1983-04-22 | 1984-11-07 | Jeol Ltd | 電子線装置等用試料装置 |
| JPS60207239A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-18 | Shimadzu Corp | 微動往復駆動装置 |
| JPS6170930U (ja) * | 1984-10-15 | 1986-05-15 |
-
1987
- 1987-06-22 JP JP62155043A patent/JP2627065B2/ja not_active Expired - Fee Related
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