JPH085553Y2 - ウエハの受渡装置 - Google Patents
ウエハの受渡装置Info
- Publication number
- JPH085553Y2 JPH085553Y2 JP1988136475U JP13647588U JPH085553Y2 JP H085553 Y2 JPH085553 Y2 JP H085553Y2 JP 1988136475 U JP1988136475 U JP 1988136475U JP 13647588 U JP13647588 U JP 13647588U JP H085553 Y2 JPH085553 Y2 JP H085553Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- pins
- ring
- delivery device
- movable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この考案は半導体製造の工程において、ウエハ上に電
子回路が形成された状態で、各回路素子を検査するプロ
ービング機におけるウエハの受渡装置に係るものであ
る。
子回路が形成された状態で、各回路素子を検査するプロ
ービング機におけるウエハの受渡装置に係るものであ
る。
〈従来技術〉 プロービング機に供給されるウエハは上面に極めて微
細な回路が多数個構成され、かつ配置位置方向が規制さ
れている。そこでこれを載物用テーブル上にセットする
には方向を狂わすことなく、静かにテーブル上に移す必
要があり、その上面に触れることはできない。なおプロ
ービング機においては、載物用テーブルはその作業の必
要上移動するもので、ウエハ受取り、送り出し位置も特
定されている。ここでウエハは下面もしくは、外周によ
って保持されて、ウエハ受取り、位置に送られてくる。
ここでウエハを一度中間保持機構に渡して、静かにテー
ブル上に置く方式が一般に使われる。これは載物用テー
ブルから３本のピンを上昇させ、これにウエハを受け、
次にピン下降させてテーブル上に置く順序をとる。そし
て送り出すときには逆の操作が行なわれる。
細な回路が多数個構成され、かつ配置位置方向が規制さ
れている。そこでこれを載物用テーブル上にセットする
には方向を狂わすことなく、静かにテーブル上に移す必
要があり、その上面に触れることはできない。なおプロ
ービング機においては、載物用テーブルはその作業の必
要上移動するもので、ウエハ受取り、送り出し位置も特
定されている。ここでウエハは下面もしくは、外周によ
って保持されて、ウエハ受取り、位置に送られてくる。
ここでウエハを一度中間保持機構に渡して、静かにテー
ブル上に置く方式が一般に使われる。これは載物用テー
ブルから３本のピンを上昇させ、これにウエハを受け、
次にピン下降させてテーブル上に置く順序をとる。そし
て送り出すときには逆の操作が行なわれる。
ここでウエハ取扱いの中間保持機構は載物用テーブル
内に設けられるため、載物用テーブルの重量が増加し、
テーブルの精密な移動に対して、慣性が増加することは
望ましいことではない。
内に設けられるため、載物用テーブルの重量が増加し、
テーブルの精密な移動に対して、慣性が増加することは
望ましいことではない。
〈本考案の問題解決手段〉 本考案においては上記中間受渡機構の主要部をなす駆
動源を受取り位置、搬出位置に固定して設けることによ
り、載物用テーブルの構造の簡易軽量化を可能とする。
動源を受取り位置、搬出位置に固定して設けることによ
り、載物用テーブルの構造の簡易軽量化を可能とする。
〈実施例〉 第１図において載物用テーブルが取付けられている基
部の垂直円筒体２の外側にリング３を上下動可能に嵌め
る。なおリング３は円筒２の中間の棚４にスプリング５
により押し付けられている。
部の垂直円筒体２の外側にリング３を上下動可能に嵌め
る。なおリング３は円筒２の中間の棚４にスプリング５
により押し付けられている。
そしてテーブル１の上面を貫通して自由に上下動でき
るピン６を３本立てて、その下端をリング３に接触し、
支持させる。
るピン６を３本立てて、その下端をリング３に接触し、
支持させる。
このような構造をもつ載物用テーブルはウエハを受け
取る位置に移動すると、ウエハ10を下面において支える
支持体11がテーブル１の直上に移動してくる。なおこの
受取位置の固定部には、支点12を有するレバー13が設け
られ、エアシリンダ14が作動することにより、レバー13
は時計方向に旋回する。
取る位置に移動すると、ウエハ10を下面において支える
支持体11がテーブル１の直上に移動してくる。なおこの
受取位置の固定部には、支点12を有するレバー13が設け
られ、エアシリンダ14が作動することにより、レバー13
は時計方向に旋回する。
なお載物用テーブルが受取り位置に移動してくると、
レバー13の図の左端はリング３の下に差し込まれる。そ
してエアシリンダ14の作動によってレバー13はリング３
を押し上げピン６を一斉に上昇させて、ウエハ10を下か
ら支えて、ウエハと支持体11とを離し、支持体11が経過
した所で、エアシリンダを戻し、ピン６を下降させてウ
エハ10をテーブル１の上に静かに移す。
レバー13の図の左端はリング３の下に差し込まれる。そ
してエアシリンダ14の作動によってレバー13はリング３
を押し上げピン６を一斉に上昇させて、ウエハ10を下か
ら支えて、ウエハと支持体11とを離し、支持体11が経過
した所で、エアシリンダを戻し、ピン６を下降させてウ
エハ10をテーブル１の上に静かに移す。
第２図に他の実施例を示す。ここではウエハ受取り位
置に上向きのエアシリンダ15を固定して設け、その垂直
ロッド16の先端が移動してくるウエハテーブルに内蔵さ
れるリング３の下面に位置をとる。そしてエアシリンダ
15を作動させることにより、ピンを上昇させることは前
述同様である。なお第１図、第２図のものも、いずれも
ウエハの搬出の場合は上記と逆の操作が行なわれる。
置に上向きのエアシリンダ15を固定して設け、その垂直
ロッド16の先端が移動してくるウエハテーブルに内蔵さ
れるリング３の下面に位置をとる。そしてエアシリンダ
15を作動させることにより、ピンを上昇させることは前
述同様である。なお第１図、第２図のものも、いずれも
ウエハの搬出の場合は上記と逆の操作が行なわれる。
〈効果〉 本考案において、移動する必要のある載物用テーブル
駆動源を設ける方式に比較して構成が簡単で、移動体の
軽量化を計ることができる。
駆動源を設ける方式に比較して構成が簡単で、移動体の
軽量化を計ることができる。
第１図は本考案の構成説明図、第２図は他の実施例を示
す説明図。 １……テーブル、２……円筒部、３……リング ４……棚、６……ピン、10……ウエハ 11……支持体、12……支点、13……レバー 14,15……エアピストン、16……垂直ロッド
す説明図。 １……テーブル、２……円筒部、３……リング ４……棚、６……ピン、10……ウエハ 11……支持体、12……支点、13……レバー 14,15……エアピストン、16……垂直ロッド
Claims (1)
- 【請求項１】ウエハを移動可能な載物用テーブルに受け
渡す装置において、前記載物用テーブルに内蔵された上
下動可能なリングと、前記載物用テーブルに垂直に、か
つ前記リングの動きに伴って上下動可能に支持され、そ
の一端が前記載物用テーブル上に突出しているときにウ
エハに接触しこれを保持する複数本のピンと、ウエハの
受け渡し位置に固定配置され、前記載物用テーブルが前
記ウエハの受け渡し位置に位置決めされたとき、前記リ
ングを介して前記ピンを上下動させる駆動機構とからな
るウエハの受渡装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988136475U JPH085553Y2 (ja) | 1988-10-19 | 1988-10-19 | ウエハの受渡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988136475U JPH085553Y2 (ja) | 1988-10-19 | 1988-10-19 | ウエハの受渡装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0258336U JPH0258336U (ja) | 1990-04-26 |
| JPH085553Y2 true JPH085553Y2 (ja) | 1996-02-14 |
Family
ID=31397022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988136475U Expired - Lifetime JPH085553Y2 (ja) | 1988-10-19 | 1988-10-19 | ウエハの受渡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085553Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6153930U (ja) * | 1984-09-14 | 1986-04-11 | ||
| JPS6214434A (ja) * | 1985-07-12 | 1987-01-23 | Canon Inc | ウエハチヤツク |
-
1988
- 1988-10-19 JP JP1988136475U patent/JPH085553Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0258336U (ja) | 1990-04-26 |
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| JPS6348353Y2 (ja) | ||
| JPH0258336U (ja) | ||
| JPH0258335U (ja) |