JPS642456U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS642456U JPS642456U JP9723987U JP9723987U JPS642456U JP S642456 U JPS642456 U JP S642456U JP 9723987 U JP9723987 U JP 9723987U JP 9723987 U JP9723987 U JP 9723987U JP S642456 U JPS642456 U JP S642456U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- pressure sensor
- semiconductor substrate
- notch
- adhesive glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 239000005355 lead glass Substances 0.000 claims 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図ａ，ｂは本考案の実施例に適用するセン
サチツプの裏面図及び同ａ図Ａ−Ａ′断面図、第
２図は本考案の一実施例構造を示す断面図である
。 図において１は半導体基体、２ａ，２ｂはピエ
ゾ抵抗体、３はダイヤフラム部、４４′は溝及び
切欠部５は台座板、６は接着用ガラスである。
サチツプの裏面図及び同ａ図Ａ−Ａ′断面図、第
２図は本考案の一実施例構造を示す断面図である
。 図において１は半導体基体、２ａ，２ｂはピエ
ゾ抵抗体、３はダイヤフラム部、４４′は溝及び
切欠部５は台座板、６は接着用ガラスである。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体基体の一面にピエゾ抵抗体を形成し
、該半導体基体の他面にダイヤフラム部を形成し
た半導体圧力センサにおいて、該半導体基体の他
面に該ダイヤフラム部をほぼ包囲する如く切欠部
もしくは溝を設けると共に接着用ガラスを介して
該ダイヤフラム封止用の台座板を設け、且つ該切
欠部もしくは溝を該接着用ガラスの堰止としたこ
とを特徴とする半導体圧力センサ。 (2) 接着用ガラスとして融点５００℃以下の鉛
糸ガラスを用いたことを特徴とする半導体圧力セ
ンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9723987U JPS642456U (ja) | 1987-06-24 | 1987-06-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9723987U JPS642456U (ja) | 1987-06-24 | 1987-06-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS642456U true JPS642456U (ja) | 1989-01-09 |
Family
ID=31322531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9723987U Pending JPS642456U (ja) | 1987-06-24 | 1987-06-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS642456U (ja) |
-
1987
- 1987-06-24 JP JP9723987U patent/JPS642456U/ja active Pending
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